JPS63129364A - Discharging device - Google Patents

Discharging device

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Publication number
JPS63129364A
JPS63129364A JP27527586A JP27527586A JPS63129364A JP S63129364 A JPS63129364 A JP S63129364A JP 27527586 A JP27527586 A JP 27527586A JP 27527586 A JP27527586 A JP 27527586A JP S63129364 A JPS63129364 A JP S63129364A
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JP
Japan
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dielectric
discharge
electrode
electrodes
resistance
Prior art date
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Pending
Application number
JP27527586A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukio Nagase
幸雄 永瀬
Hiroshi Satomura
里村 博
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPS63129364A publication Critical patent/JPS63129364A/en
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Abstract

PURPOSE:To uniformly and stably discharge under any circumstances and conditions by providing at least the discharge part of the surface of a dielectric with a means preventing a drop in the surface resistance of the dielectric on the side of a bare electrode. CONSTITUTION:The titled device has at least two buried electrodes 11 and 12 buried in the dielectric and the bare electrode 13 provided on the surface of the dielectric 10. Independent of the dielectric 10, a wind lead device is provided which brings an heated or dried air flow 20 to the discharge part of the dielectric 10. Hence the air heated or dried by a heater 21 is sent to a wind lead path 23, and it is fed toward the surface of the dielectric on the side of the bare electrode 13. Thus a drop in the surface resistance of the dielectric is prevented, whereby a uniform and stable discharge is attainable.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は放電技術の分野において利用され、特に電子写
真複写機の感光体等を帯電・除電するための放電装置に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention is used in the field of discharge technology, and particularly relates to a discharge device for charging and neutralizing a photoreceptor of an electrophotographic copying machine.

(従来の技術) この種の放電装置としては、誘電体を挟むように設けら
れた電極間に交流電圧を印加して一方の電極の近傍に放
電を行なわせて正・負イオンを生成し、このイオンのう
ち所定極性のイオンを、該一方の電極と被帯電部材との
間に印加したバイアス電圧で形成される電界によって被
帯電部材に向けて抽出し、該部材に付着させる帯電装置
が、例えば米国特許第4,155,093号明細書に示
されるように公知である。
(Prior Art) This type of discharge device applies an alternating current voltage between electrodes disposed to sandwich a dielectric material to generate a discharge near one electrode to generate positive and negative ions. A charging device extracts ions of a predetermined polarity among the ions toward the charged member by an electric field formed by a bias voltage applied between the one electrode and the charged member, and makes them adhere to the charged member, It is known, for example, as shown in US Pat. No. 4,155,093.

この方法では、放電か行なわれる電極は露出しており、
放電はこの露出した電極の近傍に強く行なわれるため、
該電極が放電に起因するプラズマエツチング作用、酸化
作用などによって容易に腐食する。このような腐食か発
生すると放電にムラか生じ、従って除・帯電作用が不均
一となるので、実用上耐久性に問題があった。
In this method, the electrodes where the discharge takes place are exposed;
Since the discharge occurs strongly near this exposed electrode,
The electrodes are easily corroded by plasma etching, oxidation, etc. caused by discharge. When such corrosion occurs, the discharge becomes uneven, resulting in nonuniform charge removal and charging effects, which poses a problem in practical durability.

そこて1本件出願人は上述の耐久性向上を目的として、
誘電体と、該誘電体に埋設された少なくとも2個の電極
と、裸出した電極とを有し、埋設電極は、それらの間に
交流電圧を印加したときに所定の放電開始電圧で、誘電
体の表面の一部の近傍に放電が発生する位置に配置され
、一方、裸出電極は、前記表面の一部またはその近傍の
位置であって、いずれの埋設電極との間の放電開始電圧
も前記所定の放電開始電圧よりも高くなる位置に設けら
れた構成の放電装置を特願昭61−18954号として
案出した。
Therefore, in order to improve the above-mentioned durability, the applicant has
It has a dielectric material, at least two electrodes buried in the dielectric material, and an exposed electrode, and the buried electrodes react to the dielectric material at a predetermined discharge starting voltage when an alternating current voltage is applied between them. The exposed electrode is placed at a position where a discharge occurs near a part of the surface of the body, while the exposed electrode is located at or near a part of the surface and has a discharge starting voltage between it and any buried electrode. In Japanese Patent Application No. 61-18954, a discharge device was devised in which the discharge device was installed at a position higher than the predetermined discharge starting voltage.

上述案により、放電による電極腐食の耐久性は著しく向
上した。
With the above-mentioned proposal, the durability against electrode corrosion due to electric discharge has been significantly improved.

(解決すべき問題点) ところか、この方法の放電装置ては、コロナ放電装置と
は異なるこの放電方法特有の問題か発生した。コロナ放
電器では重大な問題となる荷電粒子等の付着は、この方
法ではほとんど問題とならないばかりか、多少の付着は
、その交流放電にほとんど影響をあたえず、常に均一て
安定した放電か可能であったか、しかしながら。
(Problems to be Solved) However, the discharge device using this method has a problem unique to this discharge method that is different from the corona discharge device. Adhesion of charged particles, which is a serious problem in corona dischargers, is hardly a problem with this method, and even some adhesion has almost no effect on the alternating current discharge, and a uniform and stable discharge is always possible. Warm, however.

交流放電が発生する誘電体表面の表面抵抗を低下させる
ような物質の付着、たとえば、高湿中における空気中の
水分の付着(吸着)、あるいは放電生成物、たとえば、
アンモニア、硝酸等の低抵抗物質の付着は、誘電体表面
の表面抵抗をわずかに低下させ、その結果、低抵抗化し
た部分において、誘電体表面の交流放電か著しく不安定
となり、それか放電ムラを発生させるという問題が生じ
た。
Adhesion of substances that reduce the surface resistance of the dielectric surface where AC discharge occurs, such as adhesion (adsorption) of moisture in the air in high humidity, or discharge products, such as
The adhesion of low-resistance substances such as ammonia and nitric acid slightly lowers the surface resistance of the dielectric surface, and as a result, the alternating current discharge on the dielectric surface becomes extremely unstable in the low-resistance area, and the discharge becomes uneven. A problem arose in that it caused

そこで、更に、本出願人は、上述の案に係る誘電体に対
し、発熱体をその誘電体に埋設もしくは誘電体の外表面
に直接接面して形成するようにした放電装置を開発した
が、このものにあっては、誘電体にそのように発熱体、
例えば抵抗発熱体を埋設したり、誘電体語表面に蒸着、
エツチングなどて直接接面して形成したりする必要かあ
り、上述の案に係る誘゛心体に対しかかる特別の処理を
要するという面かあった。
Therefore, the present applicant has further developed a discharge device in which a heating element is embedded in the dielectric material or is formed in direct contact with the outer surface of the dielectric material according to the above-mentioned proposal. , in this one, the heating element is placed in the dielectric body,
For example, burying a resistance heating element, depositing it on the surface of a dielectric material,
It may be necessary to form them in direct contact with each other by etching or the like, and such special treatment may be required for the inducer according to the above-mentioned proposal.

(問題点を解決するための手段) 本発明は、上述のような点に鑑みてなされたものであり
、本発明の放電装置は、 交流電圧印加用の電極が少なくとも2個埋設せられる誘
電体にバイアス電圧印加用の裸出電極を設け、この裸出
電極側の誘電体表面の表面抵抗の低下を防止する手段を
上記誘電体表面の少なくとも放電部分に設けること、 により構成される。
(Means for Solving the Problems) The present invention has been made in view of the above points, and the discharge device of the present invention includes a dielectric body in which at least two electrodes for applying an AC voltage are embedded. An exposed electrode for applying a bias voltage is provided on the exposed electrode, and a means for preventing a decrease in surface resistance of the dielectric surface on the side of the exposed electrode is provided on at least the discharge portion of the dielectric surface.

(実施例) 以下、添付図面にもとづいて本発明の詳細な説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.

第1図は本発明の放電装置の第一実施例の断面図である
FIG. 1 is a sectional view of a first embodiment of the discharge device of the present invention.

本実施例の放電装置lは、誘電体10内に埋設された少
なくとも2個の埋設電極11.12と、上記誘電体10
の表面に設けられた裸出電極13とを有している。上記
2個の埋設電極11.12は、放電を発生させるための
交流電圧印加用電極であり、裸出電極1コは放電により
生成されたイオンを被帯電部材2に向は抽出するための
バイアス電圧が印加される電極である。
The discharge device l of this embodiment includes at least two buried electrodes 11 and 12 buried in the dielectric 10, and
It has a bare electrode 13 provided on the surface of the electrode. The two buried electrodes 11 and 12 are electrodes for applying an alternating current voltage to generate a discharge, and the one exposed electrode is a bias voltage for extracting ions generated by the discharge toward the charged member 2. This is an electrode to which a voltage is applied.

また、上記誘電体lOとは別個に、誘電体10表面の表
面抵抗の低下を防止する手段として、昇温あるいは乾燥
した空気流20を誘電体IOの放電部分にもたらす導風
装置が設けられている。本実施例では、この導風装置は
、加熱ヒータ21と導風路23て構成されている。上記
加熱ヒータ21は加熱電源22に接続されていると共に
、導風路23で包囲され、その導風路23の流出口は誘
電体10表面まで延出され放電部分に指向している。
Further, separate from the dielectric IO, an air guide device is provided to bring a stream of heated or dry air 20 to the discharge portion of the dielectric IO, as a means for preventing a decrease in the surface resistance of the surface of the dielectric 10. There is. In this embodiment, the air guide device includes a heater 21 and an air guide path 23. The heater 21 is connected to a heating power source 22 and is surrounded by an air guide path 23, the outlet of which extends to the surface of the dielectric 10 and is directed toward the discharge portion.

以下、上記の誘電体10、埋設電極11.12及び裸出
電極13について、それらの材質を含めて詳述する。
The dielectric 10, buried electrodes 11, 12, and bare electrodes 13 will be described in detail below, including their materials.

誘電体10は耐放電性の高い無411誘電材料、例えば
ガラス、セラミック、 5i02.MgO,AI□03
などの酸化物、または窒化シリコン(SiJJ 、窒化
アルミニウム(AIN)などの窒化物でできており、本
実施例ては矩形の断面を有する長尺の部材である。
The dielectric 10 is made of a non-411 dielectric material with high discharge resistance, such as glass, ceramic, etc. 5i02. MgO,AI□03
It is made of an oxide such as silicon nitride (SiJJ) or a nitride such as aluminum nitride (AIN), and in this embodiment, it is a long member with a rectangular cross section.

誘電体IOに埋設されている電極11.12は、図て誘
電体の底面(液腺・帯電部材2に対向する而)に平行に
、かつそれから等距離で配置されている。これは必須で
はないが、製造上好ましい。埋設電極11.12の埋設
位置は、それらの間に交流電圧を印加したときに所定の
放電開始電圧で誘電体lOの表面の一部の近傍に放電が
発生する位置に設定されている。これらの電極の材料と
しては、AI、Cr、Au、Niなどを用い得る。ここ
て注目すべきは、本発明ではこれらの電極は埋設され露
出しておらず、その腐食は発生しないので上記のような
材料を使用しても高耐久性を維持できることである。
The electrodes 11, 12 embedded in the dielectric IO are arranged parallel to the bottom surface of the dielectric (facing the fluid gland/charging member 2) and equidistant therefrom. Although this is not essential, it is preferred for manufacturing purposes. The buried positions of the buried electrodes 11 and 12 are set at positions where, when an alternating current voltage is applied between them, a discharge occurs near a part of the surface of the dielectric IO at a predetermined discharge starting voltage. As materials for these electrodes, AI, Cr, Au, Ni, etc. can be used. What should be noted here is that in the present invention, these electrodes are buried and not exposed, and corrosion does not occur, so that high durability can be maintained even when the above materials are used.

埋設電極間の距離は絶縁耐圧を考慮して、1μm以上、
特に3〜200μlとすることが好ましい。
The distance between buried electrodes should be 1 μm or more, taking into account dielectric strength.
In particular, it is preferably 3 to 200 μl.

誘電体10は上述の説明では一体のものとしたか、誘電
体10および/または埋設電極11の上方の面または下
方の面で接合された2層の誘電体としてもよい。この場
合それぞれの層の材料は同一でも異なってもよい。特に
、誘電体層を図のように第1の誘電体10aと第2の誘
電体tabの2層とした場合、裏面で放電の生じる誘電
体層を耐放電性の高い無機材料等を用いて誘電体材料の
寿命を保証し、反対側の誘電体材料としては有m誘電体
を使用してもよい。一体構成、2層構成いずれの場合て
も、埋設電極の下部の誘電体の厚さは、1ILI11以
上、500 fiLrn以下、特に3JL11以上20
0 gm以下か好ましい。裸出電極13は本実施例では
前記交流電圧による放電が発生する放電装置1の底面に
固定される。該裸出電極13には昇温用電源20が接続
せられている。この電極13の材料としては、耐腐食性
、耐酸化性の高い導電性金属、例えばTi 、W、Cr
、Te。
The dielectric 10 may be a single piece in the above description, or it may be a two-layer dielectric joined at the upper surface or lower surface of the dielectric 10 and/or the buried electrode 11. In this case, the materials of each layer may be the same or different. In particular, when the dielectric layer is made of two layers, the first dielectric 10a and the second dielectric tab, as shown in the figure, the dielectric layer where discharge occurs on the back side is made of an inorganic material with high discharge resistance. To ensure the life of the dielectric material, a molar dielectric may be used as the dielectric material on the opposite side. In either case of integral structure or two-layer structure, the thickness of the dielectric material under the buried electrode is 1ILI11 or more and 500 fiLrn or less, especially 3JL11 or more20
0 gm or less is preferable. In this embodiment, the bare electrode 13 is fixed to the bottom surface of the discharge device 1 where discharge by the alternating current voltage occurs. A temperature increasing power source 20 is connected to the bare electrode 13. The material of this electrode 13 may be a conductive metal with high corrosion resistance and oxidation resistance, such as Ti, W, or Cr.
, Te.

Mo、Fe、Co、Ni 、Au、Ptなどの高融点金
属またはこれらの金属を含む合金、もしくは酸化物など
が使用される。その厚さは0.1〜1004ff+、好
ましく0.2〜20鉢Iで、幅はl終m以上、好ましく
は10〜500 gtnである。裸出電極の位置は前記
放電発生領域15の端部近傍であって、いずれの埋設電
極(11及び12)との間に放電開始を生ずる交流印加
電圧か前記所定の放電開始電圧よりも高くなる位置であ
る。ここで放電領域の近傍とはその外部および内部を含
む近傍であり、外部の場合が好ましいが、内部であって
も放電領域端部近傍であれば、機能的に満足できる。
High-melting point metals such as Mo, Fe, Co, Ni, Au, and Pt, alloys containing these metals, or oxides are used. Its thickness is from 0.1 to 1004 ff+, preferably from 0.2 to 20 I, and its width is at least 1 m, preferably from 10 to 500 gtn. The position of the bare electrode is near the end of the discharge generation region 15, and the AC applied voltage that causes discharge initiation between it and any of the buried electrodes (11 and 12) is higher than the predetermined discharge initiation voltage. It's the location. Here, the vicinity of the discharge area refers to the vicinity including the outside and the inside thereof, and the outside is preferable, but even if it is inside, it is functionally satisfactory as long as it is near the end of the discharge area.

以上のととくの本実施例では、次のように放電が行なわ
れる。なお1本実施例の放電装置lは、誘電体層または
感光体層17そして導電性基体18から成る液腺・帯電
部材2を除電または帯電するために使用可能であるが、
除・帯電原理は同様であるので、帯電を行う場合につい
てのみ説明する。
In this particular embodiment described above, discharge is performed as follows. Note that the discharge device 1 of this embodiment can be used to neutralize or charge the liquid gland/charging member 2 consisting of the dielectric layer or photoreceptor layer 17 and the conductive substrate 18;
Since the principles of electrification removal and charging are the same, only the case where electrification is performed will be explained.

埋設電極11と埋設電極12どの間に交流電源14によ
って所定の放電開始電圧以上の交流電圧が印加されると
、これによって図示の放電装置lの底面(交流電圧が印
加される電極11と同12とを結ぶ線にほぼ平行な面)
の電極間近傍に対向する部分を中心して、参照符号15
て示す単一領域において放電が行われ、正・負のイオン
か交互に生成される。しかるに、裸出電極13にはバイ
アス電源19によってバイアス電圧が印加されているた
めに上記イオンのうちの所望の極性のイオンは被帯電部
材2に向けて抽出され、該被帯電部材2は帯電される。
When an AC voltage higher than a predetermined discharge starting voltage is applied between the buried electrode 11 and the buried electrode 12 by the AC power supply 14, this causes )
Reference numeral 15 is centered on the portion facing the vicinity of the electrodes.
A discharge occurs in a single region shown as , and positive and negative ions are generated alternately. However, since a bias voltage is applied to the exposed electrode 13 by the bias power supply 19, ions of a desired polarity among the ions are extracted toward the member to be charged 2, and the member to be charged 2 is not charged. Ru.

尚、抽出されるイオンの極性は印加されるバイアス電圧
の極性によって決定される。
Note that the polarity of the extracted ions is determined by the polarity of the applied bias voltage.

これと共に、上記導風路23には加熱ヒータ21により
加熱あるいは乾燥した空気が送り込まれ、これか裸出電
極13側の誘電体表面の向けて送り出されているので、
これによって誘導体表面の低抵抗下が防止され、常に均
一て安定した放電が行なうことができる。
At the same time, air heated or dried by the heater 21 is sent into the air guide path 23, and is sent out toward the dielectric surface on the exposed electrode 13 side.
This prevents the surface resistance of the dielectric from becoming low, and allows uniform and stable discharge to occur at all times.

ここで、誘電体表面の表面抵抗と放電状態の関係を述べ
ると、これは、例えば以下のごとくである。
Here, the relationship between the surface resistance of the dielectric surface and the discharge state is as follows, for example.

次の表1は、誘電体としてスパータ法によりS i O
21A I 20コをそれぞれ40終mT&膜し、第1
図に示す構成て作成した放電装置において、表面抵抗を
変化させた時の放電状態及び帯電ムラを観測した結果を
示す。
The following Table 1 shows SiO as a dielectric material by sputter method.
20 pieces of 21A
The results of observing the discharge state and charging unevenness when changing the surface resistance in the discharge device manufactured with the configuration shown in the figure are shown.

上記表1中[○]印は均一な放電状態でかつ帯電ムラか
±lO%以内の時、[△]印か放電状態は均一に見える
か帯電ムラか±1o%〜20%の範囲で画像上に帯電ム
ラとして確認されはじめる状態、[×]印は明らかに放
電状態も不均一で、帯電ムラも著しい状態を表わしてい
る表わしている。
In Table 1 above, the mark [○] indicates a uniform discharge state and the charging unevenness is within ±10%, and the mark [△] indicates whether the discharge state looks uniform or the charging unevenness is within the range of ±10% to 20%. The [x] mark above, which is beginning to be observed as charging unevenness, indicates that the discharge state is clearly non-uniform and the charging unevenness is also significant.

表1より、誘電体の表面抵抗率を109[01以上、好
ましくはIQIO[01以上に保つことにより、この方
法の放電装置では常に安定で均一な除帯電か初めて可能
となることがわかる。
From Table 1, it can be seen that by maintaining the surface resistivity of the dielectric at 109[01 or more, preferably IQIO[01 or more], stable and uniform charge removal is always possible in the discharge device of this method.

従って、表面抵抗が低下しやすい、たとえば高湿中で使
用するような状態ては、誘電体表面を高抵抗に保てばよ
い。
Therefore, in conditions where the surface resistance is likely to decrease, such as when used in high humidity, it is sufficient to maintain the dielectric surface at a high resistance.

次の表2は、たとえば、温度300C1相対湿度90%
の環境下において、放電装置(第1図)かその環境下に
おいても、特有の放電ムラを解消し、誘電体表面上に均
一な放電を可能とすることを示した例て、この例では、
少なくとも誘電体10bの表面温度を38°C以上好ま
しくは40’C以上に上昇させればよいことを示してい
る。
The following Table 2 shows, for example, temperature 300C1 relative humidity 90%
This example shows that it is possible to eliminate the discharge unevenness peculiar to the discharge device (Fig. 1) and to enable uniform discharge on the dielectric surface even under the environment of the discharge device (Fig. 1).
This indicates that it is sufficient to raise at least the surface temperature of the dielectric 10b to 38°C or more, preferably 40'C or more.

(環境 30℃、 90% (相対湿度))また、第1
図の実施例によると、高湿中における水分の付着く吸着
)にかぎらずたとえば、低抵抗性の放電生成物(アンモ
ニア、硝酸等)の付着等も、上記表2に示すように誘電
体表面の昇温による付着(吸着)水分量の現象により、
表面抵抗の著しい低下を抑制することか可能となり、以
上の状態においても均一な放電を維持することか可能と
なる。
(Environment: 30℃, 90% (relative humidity))
According to the example shown in the figure, not only the adhesion of moisture in high humidity conditions, but also the adhesion of low-resistance discharge products (ammonia, nitric acid, etc.) on the dielectric surface as shown in Table 2 above. Due to the phenomenon of adhesion (adsorption) moisture content due to temperature rise,
It becomes possible to suppress a significant decrease in surface resistance, and it becomes possible to maintain uniform discharge even under the above conditions.

このようにして、本実施例では、上述のように送り出さ
れる空気流20て低抵抗化を防いで均一、安定な放電を
可能としており、しかも誘電体表面を直接昇温させて低
抵抗化を防止するのてはなく、昇温あるいは乾燥した空
気流20により、誘電体10bの表面抵抗の低下を防止
しているので、誘電体10に発熱体を埋設するなど特別
の加工を施さなくてもよく、誘電体lOの構造、製法の
変更も伴なわずに済む。
In this way, in this embodiment, the air flow 20 sent out as described above prevents low resistance and enables uniform and stable discharge, and also directly raises the temperature of the dielectric surface to lower the resistance. Instead, the surface resistance of the dielectric 10b is prevented from decreasing by increasing the temperature or by using the dry air flow 20, so there is no need for special processing such as embedding a heating element in the dielectric 10. In most cases, there is no need to change the structure or manufacturing method of the dielectric IO.

なお、図ては、加熱ヒーター22により空気の加熱ある
いは乾燥を行なった場合を示しているか、昇温あるいは
乾燥した空気流を発生する手段であれば何でも良い。
Note that the figure shows the case where the air is heated or dried by the heating heater 22, but any means that generates a heated or dry air flow may be used.

第2図に示される第二実施例は、誘電体10bの表面に
、高湿等の環境の影響を受けにくい表面抵抗防止手段と
しての絶縁性物質24を付着させ、表面を被覆した例で
、たとえば、シリコンオイル等表面にわずかに薄く(た
とえば、厚さIgm以下程度)塗布することで、高湿中
ての表面抵抗の低下を著しく防止し、常に均一で安定し
た放電か可能となる。
The second embodiment shown in FIG. 2 is an example in which an insulating material 24 is attached to the surface of the dielectric 10b as a surface resistance prevention means that is less susceptible to the effects of environments such as high humidity, and the surface is coated. For example, by applying a slightly thin layer (for example, a thickness of Igm or less) to the surface of silicone oil, it is possible to significantly prevent a decrease in surface resistance in high humidity, and to always achieve uniform and stable discharge.

この方法の利点は、シリコンオイル等を含んだフェルト
等でこすることにより表面に均一な被膜が形成でき、放
電を安定化することができる点である。
The advantage of this method is that by rubbing with felt or the like containing silicone oil, a uniform coating can be formed on the surface and the discharge can be stabilized.

(発明の効果) 以上のように、本発明装置によれば、少なくとも2個の
電極を埋設すると共に裸出した電極を設けた構造の誘電
体表面の表面抵抗の低下を防止できるので、いかなる環
境下、条件下においても均一かつ安定な放電を行なうこ
とか可能となり、また、これを誘電体表面への昇温ある
いは乾燥した空気流、もしくは絶縁性物質の付与によっ
て行なうため、上述の構造の誘電体をそのまま用いて容
易に実現てきる、という効果か得られる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the device of the present invention, it is possible to prevent a decrease in the surface resistance of the dielectric surface of a structure in which at least two electrodes are buried and exposed electrodes are provided, so that it is possible to It is possible to perform a uniform and stable discharge even under the following conditions, and this can be done by heating the dielectric surface, drying air flow, or applying an insulating material. The effect can be achieved easily by using the body as it is.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面はいずれも本発明の実施例装置を示す概要構成断面
図てあり、第1図は第一実施例、第2図は第二実施例を
示す。 I・・・・・・・・・・・・放電装置 IO・・・・・・・・・・・・誘電体 11.12・・・・・・埋設電極 13・・・・・・・・・・・・裸出電極21.23・・
・・・・表面抵抗低下防止手段(導風装置)21・・・
・・・・・・・・・加熱ヒーター23・・・・・・・・
・・・・導風路 24・・・・・・・・・・・・表面抵抗低下防止手段(
絶縁性物質) @1図
The drawings are all schematic sectional views showing apparatuses according to embodiments of the present invention, and FIG. 1 shows a first embodiment, and FIG. 2 shows a second embodiment. I...Discharge device IO...Dielectric 11.12...Embedded electrode 13... ...Bare electrode 21.23...
...Surface resistance reduction prevention means (air guide device) 21...
......Heating heater 23...
... Air guide path 24 ...... Surface resistance reduction prevention means (
Insulating material) @Figure 1

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)交流電圧印加用の電極が少なくとも2個埋設せら
れる誘電体にバイアス電圧印加用の裸出電極を設け、こ
の裸出電極側の誘電体表面の表面抵抗の低下を防止する
手段を上記誘電体表面の少なくとも放電部分に設けるこ
ととした放電装置。
(1) A bare electrode for applying a bias voltage is provided on a dielectric body in which at least two electrodes for applying an AC voltage are embedded, and the means for preventing a decrease in the surface resistance of the surface of the dielectric body on the side of the exposed electrode is provided as described above. A discharge device provided at least in a discharge portion of a dielectric surface.
(2)表面抵抗低下防止手段は、昇温あるいは乾燥した
空気流を導風路を介して上記誘電体表面の少なくとも放
電部分まで導く導風装置である、 ことを特徴とする特許請求の範囲第(1) 項に記載の放電装置。
(2) The means for preventing a decrease in surface resistance is an air guide device that guides a heated or dry air flow through an air guide path to at least the discharge portion of the dielectric surface. (1) The discharge device described in paragraph (1).
(3)表面抵抗低下防止手段は、誘電体表面の少なくと
も放電部分に薄く塗布されている絶縁性物質である。 ことを特徴とする特許請求の範囲第(1) 項に記載の放電装置。
(3) The surface resistance reduction prevention means is an insulating material thinly applied to at least the discharge portion of the dielectric surface. The discharge device according to claim (1), characterized in that:
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