JPS63108212A - Device for simultaneously connecting plurality of switching type scanning head to measuring arm for coordinate measuring device - Google Patents

Device for simultaneously connecting plurality of switching type scanning head to measuring arm for coordinate measuring device

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JPS63108212A
JPS63108212A JP62254819A JP25481987A JPS63108212A JP S63108212 A JPS63108212 A JP S63108212A JP 62254819 A JP62254819 A JP 62254819A JP 25481987 A JP25481987 A JP 25481987A JP S63108212 A JPS63108212 A JP S63108212A
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Japan
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scanning
contact
heads
switching
head
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JP62254819A
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Japanese (ja)
Inventor
カール−オイゲン・アウベレ
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Publication date
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    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は特許請求の範囲の第1項の上位概念に記載のス
イッチング形の複数個の走査ヘッドを同時に接続する装
置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The invention relates to a device for simultaneously connecting a plurality of switching scanning heads according to the preamble of the first claim.

従来技術 座標測定装置に用いられる、スイッチング形の走査ヘッ
ドは3点軸受けを有し、この3点軸受けに走査ピンがば
ね力によシ押圧されており、この3点軸受けが走査ピン
およびこの走査ぎンに取シ付けられている走査球の空間
位置を高い精度で固定している。同時にこの6点軸受け
は“遮断”スイッチの形式のスイッチング接点として構
成されている。この遮断スイッチは、接触走査過程にお
いて走査ピンがその3点軸受けから持ち上げられると作
動される。スイッチング形の走査ヘッドは、例えばドイ
ツ連邦共和国特許第2347633号、第271218
1号。
The scanning heads of the switching type used in prior art coordinate measuring devices have a three-point bearing on which a scanning pin is pressed by spring force; The spatial position of the scanning sphere attached to the pin is fixed with high precision. At the same time, this six-point bearing is configured as a switching contact in the form of a "break" switch. This cut-off switch is activated when the scanning pin is lifted from its three-point bearing during the contact scanning process. Switching scanning heads are known, for example, from German Patent Nos. 2347633 and 271218.
No. 1.

第2743665号またはドイツ連邦共和国特許出願公
開公報第2947394号に示されている。
2743665 or German Patent Application No. 2947394.

スイッチング形の複数個の走査ヘッドを座標測定装置の
測定アームに同時に取り付けることも公知である。例え
ば壮語” 3 DimensionalTouch T
rigger Probes MM for Meas
uringMachines″Renishaw El
ectrical Ltd0社a−は4…I−+4 E
ngland Ref 、MM 981 、  には、
15つの走査ヘソr′!!−星形の形状に同時に取り付
けることができる保持部材PH5が示されている。この
保持部材において第1図の略図に示されているように、
走査ピン2a〜2cのスイッチング接点の端子がすべて
直列に接続されて共通の電子ユニット1に接続されてい
る。しかしこの構成は次の欠点を有する。即ち著しく多
数の走査ヘッドを同時に使用する場合に、スイッチング
接点のケーブル抵抗および接触抵抗が加算されてしまい
、そのため走査ヘッドの正確なスイッチング時点を走査
ヘッドの個数に依存することなく正確に検出することが
困難となる。さらに装置の機能を保証するために、走査
ヘッドの挿入されないブラインドレセプタクル4a。
It is also known to simultaneously mount several switching scanning heads on the measuring arm of a coordinate measuring device. For example, “Sougo” 3 Dimensional Touch T
rigger probes MM for Meas
uringMachines”Renishaw El
electrical Ltd0 company a- is 4...I-+4 E
In ngland Ref, MM 981,
15 scan navel r'! ! - A holding element PH5 is shown which can be attached simultaneously in the form of a star. In this holding member, as shown in the schematic diagram of FIG.
The terminals of the switching contacts of the scanning pins 2a to 2c are all connected in series to a common electronic unit 1. However, this configuration has the following drawbacks. This means that when a particularly large number of scanning heads are used simultaneously, the cable and contact resistances of the switching contacts add up, making it impossible to accurately detect the exact switching point of the scanning head independently of the number of scanning heads. becomes difficult. In order to further guarantee the functionality of the device, a blind receptacle 4a in which the scanning head is not inserted.

4bが、端子として設けられている。4b is provided as a terminal.

同じ前述の壮語に、並列に接続されている走査ヘッド用
の2つの端子を有する保持部材PH7も示されている。
In the same above-mentioned statement, a holding element PH7 with two terminals for the scanning head connected in parallel is also shown.

しかしこの保持部材に唯1つの走査ヘッドが、常に一方
の端子または他方の端子に取り付けられ、それ以外の場
合は走査ヘッドのスイッチング接点が相互に短絡される
ように閉成される。
However, only one scanning head is always attached to this holding element at one terminal or the other, and the switching contacts of the scanning head are otherwise closed in such a way that they are short-circuited to each other.

互いに相加わる接触−およびケーブル抵抗の上述の問題
点は、次のようにして回避できる。
The above-mentioned problems of additive contact and cable resistance can be avoided in the following way.

即ち第2図に示されている様に走査ヘッド12a〜12
Cのスイッチング接点13a〜13c’に個別に電子ユ
ニット11に配属し、さらに全部のスイッチング接点を
”オア”デート14を介して、共通の接触走査パルスを
形成するために、まとめるようにすれば、回避できる。
That is, as shown in FIG.
If the switching contacts 13a to 13c' of C are individually assigned to the electronic unit 11, and all the switching contacts are brought together via an "or" date 14 to form a common contact scanning pulse, It can be avoided.

しかしこの解決手段は、著しく多数の接続ケーブルを必
要とし、さらに個々の線路を接続挿入部材および分配器
を用いてさらに複数回分岐させることができない。
However, this solution requires a significantly larger number of connecting cables and, moreover, it is not possible to branch out the individual lines several times using connecting inserts and distributors.

ドイツ連邦共和国特許第2725996号公報には、ス
イッチング形の5つの個別の走査部材を同じく星形に支
持する走査ヘッドが示されている。これらの5つの個別
の走査部材は、前記の特許公報に示されているように、
部分的には並列にかつ部分的には直列に、ダイオード9
0/91を用いて互いに次のように接続されている、即
ちその都度の接触走査を行なった何個の走査部材を自動
的に識別できるように、接続されている。しかしここに
示されている装置においては、常に全部の5つの個々の
走査部材を同時に接続する必要があり、これに対しても
う1つの走査部材の増設は行なえない。
DE 27 25 996 A1 shows a scanning head which supports five individual scanning elements of switching type, also in the form of a star. These five individual scanning members are as shown in the above-mentioned patent publication.
Partly in parallel and partly in series, the diode 9
0/91 are connected to one another in such a way that it is possible to automatically identify how many scanning elements have carried out the respective contact scanning. However, in the device shown here, it is always necessary to connect all five individual scanning elements at the same time, whereas the addition of a further scanning element is not possible.

発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、座標測定装置の測定アームにスイッチ
ング形の複数個の走査ヘッドを同時に接続するための、
任意に選択可能な個数の走査ヘッドを用いた場合に再生
される接触走査信号を確実に供給する装置を提供するこ
とである。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the invention is to provide a method for simultaneously connecting a plurality of switching scanning heads to a measuring arm of a coordinate measuring device.
It is an object of the present invention to provide a device that reliably provides a contact scanning signal that is reproduced when using an arbitrarily selectable number of scanning heads.

問題点を解決するだめの手段 この課題は特許請求の範囲の特徴部分に示されているよ
うに、各走査ヘッドがそのケーシング中で、スイッチン
グ接点部材と直列に接続された抵抗を有するようにし、
さらに全部の走査ヘッドの出力側を並列に接続した構成
により、解決されている。
The problem is solved by providing that each scanning head has in its casing a resistor connected in series with a switching contact element, as indicated in the characterizing part of the patent claims.
A further solution is that the outputs of all scanning heads are connected in parallel.

この構成により第3図に示されているように著しく多く
の走査ヘッド22.i1〜22ge座標測定装置の測定
アームに同時に接続できるようになシ、この場合、前置
抵抗26a〜26gにより、スイッチング接点が互いに
短絡接続されなくなる。走査ヘッドに対する各々の端子
にさらに、付加的な走査ヘッド22e〜22fに対する
別の分配器を有する延長挿入部材が増設され、これによ
り任意に選択可能な幾何学的形状の樹形構成が形成され
る。そのためケーブル接続の個数または長さは適切な範
囲内に置かれる、何故ならば全部の走査ヘッド22a〜
22gは1つの共通の端子線路A′ft介して所属の電
子ユニット21へ接触接続されているからである。
This configuration allows for significantly more scanning heads 22. as shown in FIG. i1-22ge can be connected simultaneously to the measuring arms of the coordinate measuring device, in which case the preresistors 26a-26g prevent the switching contacts from being short-circuited to each other. Each terminal for a scanning head is further supplemented with an extension insert with another distributor for additional scanning heads 22e-22f, thereby forming a tree configuration of arbitrarily selectable geometry. . The number or length of the cable connections is therefore placed within a suitable range, since all scanning heads 22a-
22g are connected to the associated electronic unit 21 via a common terminal line A'ft.

走査部材の挿入されていない端子のためのブラインド接
続部材も必要とされなくなる。
Blind connection elements for the uninserted terminals of the scanning element are also no longer required.

実施例の説明 第1図から第3図に示されている図面は、既に導入部で
、公知の従来技術(第1図ないし第2図)と本発明(第
3図)との相異を説明するために示されたものである。
DESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS The drawings shown in FIGS. 1 to 3 have already explained in the introduction the differences between the known prior art (FIGS. 1 and 2) and the present invention (FIG. 3). It is shown for illustrative purposes.

第4図には、第6図に示された並列接続されるべき走査
ヘッドの1つが詳細に示されている。
FIG. 4 shows in detail one of the scanning heads shown in FIG. 6 to be connected in parallel.

この走査ヘッドは円筒状のケーシング102を有する。This scanning head has a cylindrical casing 102.

このケーシングはその下側に、走査球105の設けられ
ている走査ピン104のだめの、球103aおよび10
3bとして示されている軸受は個所を有している。これ
らの軸受は球103は電気スイッチング接点として形成
されており、休止位置においては走査ビン104の接触
板110と閉成接続されている。抵抗106がスイッチ
ング接点103/110と直列に接続されており、走査
ヘッドの上側に取り付けられているセプタクル107の
出力側Aに接続されている。
This casing has on its underside the balls 103a and 10 of the scanning pin 104, in which the scanning ball 105 is provided.
The bearing designated as 3b has a location. These bearings, the balls 103 of which are designed as electrical switching contacts, are in closed connection with the contact plate 110 of the scanning bin 104 in the rest position. A resistor 106 is connected in series with the switching contacts 103/110 and to the output A of a receptacle 107 mounted on the upper side of the scanning head.

走査ヘッド102はさらに測定抵抗108を有する。こ
の測定抵抗はレセプタクル107の出力側Bと接続され
ておシ、その作用は第5図と関連づけて後述する。別の
出願の明細書においては、抵抗106と108は同じ値
を有することが前提とされているが、しかしこのことは
必ずしも必要ではない。
Scanning head 102 further includes a measuring resistor 108 . This measuring resistor is connected to the output side B of the receptacle 107, the operation of which will be explained later in connection with FIG. In the specification of other applications it is assumed that resistors 106 and 108 have the same value, but this is not necessary.

走査ぎン104は、球103に当接している接触板11
0と、圧電センサ109の介在の下に結合されている。
The scanning pin 104 is connected to the contact plate 11 that is in contact with the ball 103.
0 with the intervening piezoelectric sensor 109.

この圧電センサ109の端子はレセプタクル107の第
6出力側Cと接続されている。圧電センサ109の機能
に関してはドイツ連邦共和国特許公報第2712181
号に示されている。圧電センサは接触走査過程の際の加
工物と走・査球104との間の接触を、で検出するため
に 次の目的(薄くられる、即ちスイッチング接点。
A terminal of this piezoelectric sensor 109 is connected to the sixth output side C of the receptacle 107. Regarding the function of the piezoelectric sensor 109, see Patent Publication No. 2712181 of the Federal Republic of Germany.
No. The piezoelectric sensor is used for the next purpose (thinning, i.e., switching contact) to detect contact between the workpiece and the scanning ball 104 during the contact scanning process.

103a、b/110がまだ閉じている時に、最初の瞬
間に即ち著しく小さい接触走査力が作用した場合に検出
する目的に用いられる。
It is used for the purpose of detecting when 103a, b/110 is still closed at the first instant, ie when a significantly smaller contact scanning force is applied.

保持ニレメントラ介して、−その機械的構造は図示され
ていない一第4図に示されている走査ヘッドを複数個同
時に取り付けることができる。この保持エレメントにお
いて、全部の走査ヘッドの出力側A、B、Cがそれぞれ
並列に接続されている。出力側A、  B、  Cの3
つの並列接続体は、さらに電子ユニット101へ導びか
れている。この電子ユニットのブロック図は第5図に示
されている。
A plurality of scanning heads, the mechanical structure of which is not shown, as shown in FIG. 4, can be mounted simultaneously via the holding element. In this holding element, the outputs A, B, C of all scanning heads are respectively connected in parallel. Output side A, B, C
The two parallel connections are further led to the electronic unit 101. A block diagram of this electronic unit is shown in FIG.

電子ユニット101は定電圧源112を有する。この定
電圧源は一方では、接続される走査ヘッドにおける測定
抵抗108の並列接続された端子Bと接続されている。
Electronic unit 101 has a constant voltage source 112. This constant voltage source is connected on the one hand to the parallel-connected terminal B of the measuring resistor 108 in the connected scanning head.

この並列接続体Bの他方の極は、電流/電圧変換器11
4と接続されている。この電流/電圧変換器の出力側に
現われる電圧U1o8は、接続される走査ヘッドの個数
に比例し、走査ヘッドにおける接点102/110のス
イッチング状態には依存しない。
The other pole of this parallel connection body B is the current/voltage converter 11
4 is connected. The voltage U1o8 appearing at the output of this current/voltage converter is proportional to the number of scan heads connected and is independent of the switching state of the contacts 102/110 in the scan heads.

定電圧源112は他方では、複数個の走査ヘッド102
の並列接続された端子Aへ接続されている。接点103
/110およびこれに前置接続されている抵抗106を
介して流れる電流は第2の電流/電圧変換器113にお
いて、閉成されるスイッチング接点を有する走査ヘッド
102の個数に比例する電圧U1o6に変換される。両
方の電圧U106およびU2O5は比較器11了の入力
側へ導ひかれる。通常の場合は即ち全部のスイッチング
接点103/110が閉じている時は、両方の電圧は等
しくて比較器117は出力信号を供給しない。次に接触
走査過程の経過においてスイッチング接点103/11
0が、接続されている走査ヘッドの1つにおいて開かれ
たために、比較器117の第1入力端における電圧U1
06が多少低下すると、比較器117が導通接続されて
第5図において119で示されているスイッチング信号
を供給する。
Constant voltage source 112, on the other hand,
is connected to terminal A, which is connected in parallel. Contact 103
/110 and the resistor 106 connected upstream thereof is converted in a second current/voltage converter 113 into a voltage U1o6 proportional to the number of scanning heads 102 with closed switching contacts. be done. Both voltages U106 and U2O5 are led to the input of the comparator 11. In the normal case, ie when all switching contacts 103/110 are closed, both voltages are equal and comparator 117 does not provide an output signal. Then, in the course of the contact scanning process, the switching contact 103/11
0 was opened in one of the connected scanning heads, so that the voltage U1 at the first input of the comparator 117
When 06 drops somewhat, comparator 117 becomes conductive and provides the switching signal shown at 119 in FIG.

ここで強調すべきことは、この座標測定装置が接触走査
過程を実施する前に、別個の測定抵抗108を省略して
目盛較正の過程においてトリガ閾値を、抵抗106を流
れる電流から決定することが、原理的にも可能であるこ
とである。
It should be emphasized here that before this coordinate measuring device carries out the contact scanning process, it is possible to omit the separate measuring resistor 108 and determine the trigger threshold value from the current flowing through the resistor 106 in the course of the scale calibration. , which is possible in principle.

しかし付加的な測定抵抗108を設けた方が好適である
、何故ならばこれにより次のことが達成されるからであ
る。即ち接触接続される走査ヘッドの個数が著しく高い
精度で検出されかつ感度の設定が走査ヘッドにおける故
障して開かれたスイッチング接点によシ障害を受げない
からである。
However, it is preferred to provide an additional measuring resistor 108, since this achieves the following: This is because the number of contact-connected scanning heads is detected with a very high precision and the setting of the sensitivity is not disturbed by faulty open switching contacts in the scanning heads.

走査ヘッド102の出力側Cが即ち第4図の圧電センサ
109の端子も同様に、座標測定装置の作動されている
ほかの走査ヘッドの相応の出力側と並列接続されており
、この並列接続体が第5図に示されている第2比較器1
18の入力側に接続されている。比較器118の第2入
力端は反転増幅器116の出力側と接続されておシ、そ
の入力側へ、接続された走査ヘッドの個数に比例する電
流/電圧変換器114の出力電圧U1o8が同様に導び
かれる。この構成により、圧電センサ109から供給さ
れる圧電信号の検出に対する走査ヘッドの個数に依存す
る感度の設定を行なうことができる。そのだめ比較器1
18の出力側におけるパルス120により定められる接
触走査時点の次のようなずれが打ち消される。即ち圧電
センサ109から供給される信号の曲線形状が、付加的
に並列接続される走査ヘッドによる相互間の負荷にもと
づいて変化するために生ずるずれが打ち消される。
The output C of the scanning head 102, i.e. the terminal of the piezoelectric sensor 109 in FIG. The second comparator 1 is shown in FIG.
It is connected to the input side of 18. A second input of the comparator 118 is connected to the output of the inverting amplifier 116, to which input the output voltage U1o8 of the current/voltage converter 114 is likewise proportional to the number of connected scanning heads. be guided. This configuration allows setting the sensitivity depending on the number of scanning heads for the detection of the piezoelectric signals supplied by the piezoelectric sensor 109. Sonodame comparator 1
The following deviations in the contact scanning instants determined by the pulses 120 at the output of 18 are canceled out: This means that deviations caused by the curve shape of the signal supplied by the piezoelectric sensor 109 changing due to the mutual loading of the additionally connected scanning heads in parallel are canceled out.

発明の効果 本発明によシ、座標測定装置の測定アームに多数の走査
ヘッドが同時に接続され、かつ接触接続信号が確実に供
給される、かつ任意の個数の走査ヘッドを簡単に増設で
きる接続装置が構成される。
Effects of the Invention According to the present invention, there is provided a connection device which allows a plurality of scanning heads to be simultaneously connected to the measuring arm of a coordinate measuring device, a contact connection signal is reliably supplied, and which allows an arbitrary number of scanning heads to be easily added. is configured.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は公知技術による直列に接続された複数個の走査
ヘッドの基本構成図、第2図は公知技術による走査ヘッ
ドの構成図、第6図は本発明による複数個の走査ヘッド
の同時接続を示す基本構成図、第4図は第6図に示され
た複数個の同時に接続される走査ヘッドの詳細図、第5
図は第4図に示された形式の走食ヘッドに接続される電
子装置のブロック図を示す。 1・・・電子装(ft、2a〜2C・・・スイッチング
接点の端子、4a、4b・・・ブラインド形ないし閉鎖
形接続部材、11・・・電子装置、12a〜12c・・
・走査ヘッド、13a〜13c・・・スイッチング接点
、22a〜22g・・・走査ヘッド、23a〜23g・
・・スイッチング接点、26a〜26g・・・前置抵抗
、102・・・円筒状ケーシング、103a。 103b・・・球、104・・・走査fン、105・・
・走査球、106・・・抵抗、107・・・レセプタク
ル、108・・・測定抵抗、109・・・圧電センサ、
112・・・定電圧源、113,114・・・電流/電
圧変換器、117・・・比較器、118・・・比較器、
119・・・スイッチング信号、 Fig、I Fig、2
FIG. 1 is a basic configuration diagram of a plurality of scanning heads connected in series according to a known technique, FIG. 2 is a configuration diagram of a scanning head according to a known technique, and FIG. 6 is a diagram of simultaneous connection of a plurality of scanning heads according to the present invention. FIG. 4 is a detailed diagram of a plurality of simultaneously connected scanning heads shown in FIG. 6, and FIG.
The figure shows a block diagram of the electronics connected to an erosion head of the type shown in FIG. 1... Electronic equipment (ft, 2a-2C... Switching contact terminals, 4a, 4b... Blind type or closed type connection members, 11... Electronic devices, 12a-12c...
・Scanning head, 13a to 13c...Switching contact, 22a to 22g...Scanning head, 23a to 23g・
...Switching contacts, 26a-26g...Pre-resistance, 102...Cylindrical casing, 103a. 103b...Sphere, 104...Scan f, 105...
・Scanning sphere, 106...Resistor, 107...Receptacle, 108...Measuring resistor, 109...Piezoelectric sensor,
112... constant voltage source, 113, 114... current/voltage converter, 117... comparator, 118... comparator,
119...Switching signal, Fig, I Fig, 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、座標測定装置の測定アームにスイツチング形の複数
個の走査ヘツドを同時に接続する装置において、各走査
ヘツド(22a〜22g:102)がそのケーシング内
で、スイツチング接点部材(23a〜23g;103a
、103b/110)と直列に接続された抵抗(26a
〜26g;106)を有するようにし、さらに全部の走
査ヘツドの出力側(A)を並列に接続したことを特徴と
する、座標測定装置の測定アームにスイツチング形の複
数個の走査ヘツドを同時に接続する装置。 2、並列接続路(A)を定電圧源(112)へならびに
、該並列接続路(A)に加えられた電流が変化すると接
触走査信号(119)を発生する回路(113、117
)へ接続した特許請求の範囲第1項に記載の装置。 3、接触走査装置が、設定可能な閾値を有する比較器(
117)を有するようにした特許請求の範囲第2項に記
載の装置。 4、各々の走査ヘツドが付加的に測定抵抗 (108)を有するようにし、さらに全部の走査ヘツド
(102)の測定抵抗が並列に接続されて、走査ヘツド
の個数に比例する信号(U_1_0_8)を形成するた
めに、定電圧源(112)にも接続されている特許請求
の範囲第2項に記載の装置。 5、走査ヘツドの個数に比例する信号(U_1_0_8
)を供給する回路(114)の出力側が、比較器の閾値
を設定するようにした特許請求の範囲第3項または第4
項に記載の装置。 6、各々の走査ヘツドが付加的にセンサ(ピエゾ結晶1
09)を有し、全部の走査ヘツド (102)のセンサが並列に接続されている特許請求の
範囲第1項に記載の装置。 7、走査ヘツド(102)中に付加的に設けられている
センサ(109)の出力信号を処理する回路(118)
の感度を制御するために、走査ヘツド(102)の個数
に比例する信号(U_1_0_8)が導びかれるように
した特許請求の範囲第4項または第5項に記載の装置。 8、接触接続された全部の走査ヘツド(102)の、ス
イツチング接触部材(103a〜b/110)に直列に
接続されている抵抗を流れる電流を測定して、この測定
結果から接触接続された走査ヘツドを特徴づける信号を
形成して記憶する回路を設けた特許請求の範囲第1項に
記載の装置。 9、前記の回路が、接触走査過程中にスイツチング接点
部材(103/110)が開かれている場合に現われる
、抵抗(106)を流れる電流の変化を前記の記憶され
た信号と比較するようにした特許請求の範囲第8項に記
載の装置。
[Claims] 1. In a device for simultaneously connecting a plurality of switching type scanning heads to a measuring arm of a coordinate measuring device, each scanning head (22a to 22g: 102) has a switching contact member ( 23a-23g; 103a
, 103b/110) and a resistor (26a
~26g; 106), and furthermore, the output sides (A) of all the scanning heads are connected in parallel, and a plurality of switching-type scanning heads are simultaneously connected to the measuring arm of a coordinate measuring device. device to do. 2. A circuit (113, 117) that connects the parallel connection path (A) to a constant voltage source (112) and generates a contact scanning signal (119) when the current applied to the parallel connection path (A) changes.
). 3. The contact scanning device includes a comparator (
117). 4. Each scanning head additionally has a measuring resistor (108), and the measuring resistors of all scanning heads (102) are connected in parallel to generate a signal (U_1_0_8) proportional to the number of scanning heads. 3. The device according to claim 2, wherein the device is also connected to a constant voltage source (112) for forming the device. 5. Signal proportional to the number of scanning heads (U_1_0_8
) The output side of the circuit (114) for supplying
Equipment described in Section. 6. Each scanning head is additionally equipped with a sensor (piezo crystal 1
2. Device according to claim 1, characterized in that the sensors of all scanning heads (102) are connected in parallel. 7. A circuit (118) for processing the output signal of the sensor (109) additionally provided in the scanning head (102)
6. Device according to claim 4, characterized in that a signal (U_1_0_8) proportional to the number of scanning heads (102) is guided in order to control the sensitivity of the scanning head. 8. Measure the current flowing through the resistors connected in series to the switching contact members (103a-b/110) of all contact-connected scanning heads (102), and use the measurement results to determine the contact-connected scanning head. 2. Apparatus according to claim 1, further comprising circuitry for forming and storing signals characterizing the head. 9. Said circuit compares the change in the current flowing through the resistor (106), which appears when the switching contact member (103/110) is opened during the contact scanning process, with said stored signal; The apparatus according to claim 8.
JP62254819A 1986-10-11 1987-10-12 Device for simultaneously connecting plurality of switching type scanning head to measuring arm for coordinate measuring device Pending JPS63108212A (en)

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