JPS63105833U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63105833U JPS63105833U JP19971186U JP19971186U JPS63105833U JP S63105833 U JPS63105833 U JP S63105833U JP 19971186 U JP19971186 U JP 19971186U JP 19971186 U JP19971186 U JP 19971186U JP S63105833 U JPS63105833 U JP S63105833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- temperature
- temperature drift
- voltage
- drift voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図は本考案
に係る圧力センサの一例での回路構成図、第２図
は本考案の他例を示す回路構成図、第３図は従来
例を示す回路構成図である。 ＲＳ１〜ＲＳ４……半導体圧力センサ素子、Ｓ
１０……半導体圧力センサ、Ｒ１〜Ｒ１３……抵
抗、ＶＲ１〜ＶＲ３……可変抵抗、Ｒｔ１……測
温抵抗体、Ａ１〜Ａ３……演算器、１０……定電
流回路。
に係る圧力センサの一例での回路構成図、第２図
は本考案の他例を示す回路構成図、第３図は従来
例を示す回路構成図である。 ＲＳ１〜ＲＳ４……半導体圧力センサ素子、Ｓ
１０……半導体圧力センサ、Ｒ１〜Ｒ１３……抵
抗、ＶＲ１〜ＶＲ３……可変抵抗、Ｒｔ１……測
温抵抗体、Ａ１〜Ａ３……演算器、１０……定電
流回路。
Claims (1)
- ブリツジ構成された半導体圧力センサの温度ド
リフト電圧と、測温抵抗体を含む可動基準電圧発
生回路を介して得られた前記温度ドリフト電圧に
相当する極性反転の電圧が演算器に供給されるこ
とによつて、前記半導体圧力センサの温度ドリフ
ト電圧が相殺されると共に、その出力が検出圧力
として使用される構成を特徴とする温度補償機能
を備えた圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19971186U JPS63105833U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19971186U JPS63105833U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63105833U true JPS63105833U (ja) | 1988-07-08 |
Family
ID=31161590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19971186U Pending JPS63105833U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63105833U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5289363A (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-26 | Jidoushiya Kougai Anzen Kiki G | Diffusion type semiconductor pressure sensor |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP19971186U patent/JPS63105833U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5289363A (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-26 | Jidoushiya Kougai Anzen Kiki G | Diffusion type semiconductor pressure sensor |