JPS63104435A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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Publication number
JPS63104435A
JPS63104435A JP61249720A JP24972086A JPS63104435A JP S63104435 A JPS63104435 A JP S63104435A JP 61249720 A JP61249720 A JP 61249720A JP 24972086 A JP24972086 A JP 24972086A JP S63104435 A JPS63104435 A JP S63104435A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tape carrier
wiring
semiconductor device
film
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP61249720A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Obuchi
篤 大渕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Device Engineering Co Ltd, Hitachi Ltd, Hitachi Consumer Electronics Co Ltd filed Critical Hitachi Device Engineering Co Ltd
Priority to JP61249720A priority Critical patent/JPS63104435A/en
Publication of JPS63104435A publication Critical patent/JPS63104435A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PURPOSE:To increase the number of wiring parts to be used for electrical connection to a semiconductor pellet by using a tape carrier whose extraction electrodes are formed at the peripheral part of a film and its inside region. CONSTITUTION:At this semiconductor device the inside end of a wire 7 at a tape carrier 3 is connected to a bump electrode 2a at a semiconductor pellet 2; the wire is connected electrically to a wiring part 4 on a wiring substrate 1 through a bump electrode 8 at its external end. The bump electrode 8 acting an extraction electrode at the tape carrier 3 is formed not only at the peripheral part of a film 6 but also at its inside region; all the bump electrodes 8 are connected electrically to the wires 7. It a semiconductor device is manufactured by using this tape carrier 3, it is possible to increase the number of bump electrodes which can be formed as a unit of the tape carrier 3. As a result, it is possible to increase the number of wiring parts to be used for electrical connection to the semiconductor pellet.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の性能向上に適用して有効な技術
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a technique that is effective when applied to improving the performance of semiconductor devices.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

半導体装置には、その製造の自動化や、その装置の小形
化等を目的として、いわゆるテープキャリアを用いて製
造するものがある。この半導体装置については、たとえ
ば1980年1月15日、株式会社工業調査会発行rl
c化実装技術JPI43に説明がある。
2. Description of the Related Art Some semiconductor devices are manufactured using so-called tape carriers for the purpose of automating their manufacturing and downsizing the devices. Regarding this semiconductor device, for example, on January 15, 1980, published by Industrial Research Institute Co., Ltd.
C implementation technology JPI43 has an explanation.

上記テープキャリアは、半導体ペレットを取付けること
ができる所定の配線からなる一単位が、たとえばポリイ
ミド樹脂からなる長尺状のフィルムの上に、多数連設さ
れているものである。
The tape carrier has a plurality of units of predetermined wiring to which semiconductor pellets can be attached, arranged in series on a long film made of, for example, polyimide resin.

上記テープキャリアの一単位は、一般に上記フィルムの
長さ方向に所定長さで区切られた略四角形からなり、そ
の中央部には半導体ペレットの電極と接合するための配
線の内端部が配設されており、その周縁部には、該半導
体ペレットから外部へ導通を引き出すための上記配線の
引出電極が配設されている。
One unit of the tape carrier generally consists of a substantially rectangular shape divided by a predetermined length in the length direction of the film, and the inner end of the wiring for bonding to the electrode of the semiconductor pellet is arranged in the center of the rectangle. A lead electrode for the above-mentioned wiring for drawing out conduction from the semiconductor pellet to the outside is provided on the peripheral edge thereof.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記のように、テープキャリアの一単位では、引出電極
が該単位の周縁部にのみ配設されているため、十分な数
の引出電極が確保できず、それが故にテープキャリアの
技術を高集積度の半導体装置の製造に適用しにくいとい
う問題のあることが本発明者により見出された。
As mentioned above, in one unit of tape carrier, the extraction electrodes are arranged only at the periphery of the unit, so it is not possible to secure a sufficient number of extraction electrodes, which is why the tape carrier technology is highly integrated. The inventors have discovered that there is a problem in that it is difficult to apply this method to the manufacture of semiconductor devices.

本発明の目的は、高集積度の半導体装置の製造にもテー
プキャリアの適用を容易に達成することができる技術を
提供することにある。
An object of the present invention is to provide a technique that allows tape carriers to be easily applied to the manufacture of highly integrated semiconductor devices.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、その一単位を構成するフィルムに被着形成さ
れている配線から導通を引き出すための引出電極が、該
フィルムの周縁部とその内側領域に形成されているテー
プキャリアを用いて半導体装置の製造を行うものである
That is, a semiconductor device is manufactured using a tape carrier in which lead-out electrodes for drawing out conduction from wiring formed on a film constituting one unit are formed on the periphery of the film and its inner region. This is what we do.

〔作用〕[Effect]

上記した手段によれば、上記テープキャリアの一単位に
多数の引出電極を形成できるため、半導体ペレットの電
気的接続に使用できる配線の数を増大させることができ
、上記目的が達成されるものである。
According to the above-mentioned means, since a large number of extraction electrodes can be formed in one unit of the tape carrier, the number of wirings that can be used for electrical connection of semiconductor pellets can be increased, and the above object can be achieved. be.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明による一実施例である半導体装置に適用
するテープキャリアの一単位の概略を示す拡大平面図で
あり、第2図は本実施例の半導体装置の概略を示す、第
1図の■−■線に相当する位置における部分断面図であ
る。
FIG. 1 is an enlarged plan view schematically showing one unit of a tape carrier applied to a semiconductor device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged plan view schematically showing the semiconductor device of this embodiment. FIG.

本実施例の半導体装置は、いわゆるプリント基板からな
る配線基板1に半導体ペレット2が搭載されてなるもの
である。そして、上記半導体ペレット2は、いわゆるテ
ープキャリア3を介して配線基板1の配線4と電気的に
接続されているものである。
The semiconductor device of this embodiment has semiconductor pellets 2 mounted on a wiring board 1 which is a so-called printed circuit board. The semiconductor pellet 2 is electrically connected to the wiring 4 of the wiring board 1 via a so-called tape carrier 3.

次に、上記テープキャリア3について詳細に説明する。Next, the tape carrier 3 will be explained in detail.

テープキャリア3は、その一単位が第1図に示すもので
あり、該単位が図中左右方向に多数連設されてなるもの
である。上記一単位は、第1図に示すように、その中央
部に開口部5が形成されたポリイミド樹脂からなるフィ
ルム6に所定形状の銅箔からなる配線7が被着形成され
ているものである。上記配線7の内端部は上記開口部の
フィルム端部を越えて延在されており、一方その外端部
にはバンブ電極(引出電極)8が接続されている。
One unit of the tape carrier 3 is shown in FIG. 1, and a large number of the units are arranged in a row in the left-right direction in the figure. As shown in FIG. 1, the unit has a wiring 7 made of copper foil in a predetermined shape adhered to a film 6 made of polyimide resin with an opening 5 formed in the center thereof. . The inner end of the wiring 7 extends beyond the film end of the opening, and the outer end thereof is connected to a bump electrode (lead electrode) 8.

本実施例の半導体装置は、前記の如く上記テープキャリ
ア3を用いて電気的接続を行ってなるものであり、具体
的には第2図に示すように上記テープキャリア3の配線
7の内端部と半導体ペレット2のバンブ電極2aとが接
続され、かつその外端部のバンブ電極8を介して配線基
板1の配線4と電気的に接続されているものである。
The semiconductor device of this embodiment is made by using the tape carrier 3 for electrical connection as described above. Specifically, as shown in FIG. The bump electrode 2a of the semiconductor pellet 2 is connected to the bump electrode 2a of the semiconductor pellet 2, and is electrically connected to the wiring 4 of the wiring board 1 via the bump electrode 8 at the outer end.

本実施例においては、上記テープキャリア3の引出電極
であるバンブ電極8が、フィルム60周縁部のみでなく
、その内側領域にも形成されており、略周囲2列に配列
されている。上記バンブ電極8はその全てが配線7と電
気的に接続されているもので゛ある(第1図では、一部
のバンブ電極についてのみ配線7との接続状態を示し、
他は省略しである)。
In this embodiment, the bump electrodes 8, which are the lead-out electrodes of the tape carrier 3, are formed not only on the peripheral edge of the film 60 but also on its inner region, and are arranged in two rows around the periphery. All of the bump electrodes 8 are electrically connected to the wiring 7 (in FIG. 1, only some of the bump electrodes are shown connected to the wiring 7,
Others are omitted).

このように、本実施例によれば以下の効果を得ることか
できる。
As described above, according to this embodiment, the following effects can be obtained.

〔1)、その一単位を構成するフィルム6に被着形成さ
れている配線4から導通を引き出すためのバンブ電極8
が、該フィルム6の周縁部とその内側領域とに形成され
ているテープキャリア3を用いて半導体装置を製造する
ことにより、上記テープキャリア3の一単位に形成でき
るバンブ電極の数を増やすことができるので、半導体ペ
レットの電気的接続に使用できる配線の数を増大させる
ことができる。
[1) Bump electrode 8 for drawing out conduction from the wiring 4 formed on the film 6 constituting one unit.
However, by manufacturing a semiconductor device using the tape carrier 3 formed on the peripheral edge of the film 6 and its inner region, it is possible to increase the number of bump electrodes that can be formed in one unit of the tape carrier 3. Therefore, the number of wiring lines that can be used for electrical connection of semiconductor pellets can be increased.

(2)、上記(1)により、高集積度の半導体装置をテ
ープキャリア3を用いて製造することができる。
(2) According to (1) above, a highly integrated semiconductor device can be manufactured using the tape carrier 3.

(3)、バンブ電極8を内側領域にも形成することによ
り、その領域を拡大することができるので、上記バンブ
電極8を大きくすることができる。
(3) By forming the bump electrode 8 also in the inner region, the area can be enlarged, so that the bump electrode 8 can be made larger.

〔4)、上記(3)により、配線4との電気的接続を確
実にすることができるので、信頼性を向上させることが
できる。
[4) According to (3) above, the electrical connection with the wiring 4 can be ensured, so reliability can be improved.

(5)、引出電極をバンブ電極8にすることにより、配
線4との位置の整合および接続を容易、正確に達成する
ことができる。
(5) By using the bump electrode 8 as the extraction electrode, alignment and connection with the wiring 4 can be easily and accurately achieved.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.

たとえば、前記実施例では、バンプ電極8がテープキャ
リア3の一単位を構成するフィルム6の周囲2列に配設
されているものについて示したが、これに限るものでな
く、3列以上であってもよいことはいうまでもなく、ま
た任意の配置で形成することも当然に可能である。
For example, in the above embodiment, the bump electrodes 8 are arranged in two rows around the film 6 constituting one unit of the tape carrier 3, but the bump electrodes 8 are not limited to this, and the bump electrodes 8 may be arranged in three or more rows. Needless to say, they may be formed in any arbitrary arrangement.

また、引出電極がバンプ電極8からなるものについて説
明したが、バンプ電極8が必ずしもなくとも配線4との
接続が可能なものであれば、いかなる形状であってもよ
い。
Furthermore, although the extraction electrode is made up of the bump electrode 8, it may have any shape as long as it can be connected to the wiring 4 without necessarily having the bump electrode 8.

なお、実施例に示した半導体装置およびそれに適用した
上記テープキャリア3の形成材料およびその形状等は、
前記実施例に示したものにかぎるものでなく、所期の目
的が達成できる範囲で種々変更可能であることはいうま
でもない。
The material and shape of the semiconductor device shown in the example and the tape carrier 3 applied thereto are as follows:
It goes without saying that the embodiments are not limited to those shown in the embodiments described above, and that various modifications can be made within the range that the intended purpose can be achieved.

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である、樹脂からなる配線
基板に半導体ペレットを搭載してなる半導体装置に適用
した場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、たとえば、テープキャリアを使用して製造でき
る半導体装置であれば、そのパッケージ型式に関係なく
全ての半導体装置に適用して有効な技術である。
In the above explanation, the invention made by the present inventor is mainly applied to a semiconductor device in which semiconductor pellets are mounted on a wiring board made of resin, which is the background field of application of the invention, but the invention is not limited to this. For example, if a semiconductor device can be manufactured using a tape carrier, it is an effective technique that can be applied to all semiconductor devices regardless of their package type.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
A brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、その一単位を構成するフィルムに被着形成さ
れている配線から導通を引き出すための引出電極が、該
フィルムの周縁部とその内側領域に形成されているテー
プキャリアを用いて半導体装置を製造することにより、
上記テープキャリアの一単位に形成する引出電極の数を
増やすことができるので、半導体ペレットの電気的接続
に使用できる配線の数を増大させることができ、その結
果として、上記テープキャリアを用いることにより高集
積度の半導体装置の製造を達成することができるもので
ある。
That is, a semiconductor device is manufactured using a tape carrier in which extraction electrodes for drawing out conduction from wiring formed on a film constituting one unit are formed on the peripheral edge of the film and its inner region. By doing so,
Since the number of extraction electrodes formed in one unit of the tape carrier can be increased, the number of wirings that can be used for electrical connection of semiconductor pellets can be increased, and as a result, by using the tape carrier, This makes it possible to manufacture highly integrated semiconductor devices.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明による一実施例である半導体装置に適用
するテープキャリアの一単位の概略を示す拡大平面図、 第2図は本実施例の半導体装置の概略を示す第1図の■
−■線に相当する位置における部分断面図である。 1・・・配線基板、2・・・半導体ペレット、2a・・
・バンプ電極、3・・・テープキャリア、4・・・配線
、5・・・開口部、6・・・フィルム、7・・・配線、
8・・・バンプ電極(引出電極)。 第  1  図 グー(社)リーリし房
FIG. 1 is an enlarged plan view schematically showing one unit of a tape carrier applied to a semiconductor device according to an embodiment of the present invention, and FIG.
It is a partial cross-sectional view at a position corresponding to the -■ line. 1... Wiring board, 2... Semiconductor pellet, 2a...
- Bump electrode, 3... Tape carrier, 4... Wiring, 5... Opening, 6... Film, 7... Wiring,
8... Bump electrode (lead electrode). Figure 1: Guu Co., Ltd. Lili-Shibo

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、テープキャリアで半導体ペレットの電気的接続を行
う半導体装置であって、テープキャリアの一単位を構成
するフィルムに被着形成されている配線からの引出電極
が、該フィルムの周縁部とその内側領域とに形成されて
なる半導体装置。 2、上記電極がバンプ電極であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の半導体装置。
[Claims] 1. A semiconductor device in which semiconductor pellets are electrically connected using a tape carrier, in which an extraction electrode from a wiring formed on a film constituting one unit of the tape carrier is connected to the film. A semiconductor device formed in a peripheral portion and an inner region thereof. 2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the electrode is a bump electrode.
JP61249720A 1986-10-22 1986-10-22 Semiconductor device Pending JPS63104435A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0281446A (en) * 1988-09-16 1990-03-22 Nec Corp Chip carrier board
US5394009A (en) * 1993-07-30 1995-02-28 Sun Microsystems, Inc. Tab semiconductor package with cushioned land grid array outer lead bumps
JPH07226418A (en) * 1993-12-16 1995-08-22 Nec Corp Chip carrier semiconductor device and its manufacture
US7393718B2 (en) 2001-02-01 2008-07-01 Fairchild Semiconductor Corporation Unmolded package for a semiconductor device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0281446A (en) * 1988-09-16 1990-03-22 Nec Corp Chip carrier board
US5394009A (en) * 1993-07-30 1995-02-28 Sun Microsystems, Inc. Tab semiconductor package with cushioned land grid array outer lead bumps
JPH07226418A (en) * 1993-12-16 1995-08-22 Nec Corp Chip carrier semiconductor device and its manufacture
US7393718B2 (en) 2001-02-01 2008-07-01 Fairchild Semiconductor Corporation Unmolded package for a semiconductor device
JP2009124176A (en) * 2001-02-01 2009-06-04 Fairchild Semiconductor Corp Unmolded package for semiconductor device

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