JPS6293966A - 集積回路冷却装置 - Google Patents
集積回路冷却装置Info
- Publication number
- JPS6293966A JPS6293966A JP23325185A JP23325185A JPS6293966A JP S6293966 A JPS6293966 A JP S6293966A JP 23325185 A JP23325185 A JP 23325185A JP 23325185 A JP23325185 A JP 23325185A JP S6293966 A JPS6293966 A JP S6293966A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- valves
- refrigerant
- coolant
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
- H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、集積回路の液冷装置に係り、特に、集積回路
及び液冷装置の補守・点検、あるいは修理のため、液冷
装置の配管を切り離す時に、液漏れの心配のない液冷装
置に関する。
及び液冷装置の補守・点検、あるいは修理のため、液冷
装置の配管を切り離す時に、液漏れの心配のない液冷装
置に関する。
従来、プリント配線基板やセラミック基板等の回路基板
−１−に搭載された集積回路または集積回路パッケージ
等を冷却する手段としては、強制対流による空冷方式が
多く採用されていた。しかし。
−１−に搭載された集積回路または集積回路パッケージ
等を冷却する手段としては、強制対流による空冷方式が
多く採用されていた。しかし。
近年、索子自身の集積度の向」二と素子の実装密度の向
上とにより、発熱密度が大巾に高くなり、空冷方式では
対応しきれなくなってきている。
上とにより、発熱密度が大巾に高くなり、空冷方式では
対応しきれなくなってきている。
そこで、日経エレクトロニクスＮｎ １３６ （１９８
３゜３．１４）に見られるような液冷方式が採用されろ
ようになってきた。この冷却方式の配管図を第５図に示
す、この上うな液冷方式においては、集積回路または集
積回路パッケージ２の保守・点検あるいは修理の際に冷
却ジャケットを取りはずすため配管１０を切り離すとき
の液漏れか最大の欠点であった。これを防止するため、
切り離す部分の前後にバルブ１１．１２を設ける、ある
いは、切り離す部分のコネクター２１〜２４に工夫をこ
らし、切り離すと同時にバルブ１１．１２が自動的に閉
じるようなコネクターを採用するなどの方法が考えられ
る。しかし、いずれもバルブ内に存在する隙間に残った
液体が回路基板上あるいは集積回路または集積回路パッ
ケージ２上にたれる心配がある。たれた液体の量がわず
かでも、回路かショートしたりあるいは配線間の誘電率
が変化し雑音を発生するあるいは誤動作することも考え
られる。
３゜３．１４）に見られるような液冷方式が採用されろ
ようになってきた。この冷却方式の配管図を第５図に示
す、この上うな液冷方式においては、集積回路または集
積回路パッケージ２の保守・点検あるいは修理の際に冷
却ジャケットを取りはずすため配管１０を切り離すとき
の液漏れか最大の欠点であった。これを防止するため、
切り離す部分の前後にバルブ１１．１２を設ける、ある
いは、切り離す部分のコネクター２１〜２４に工夫をこ
らし、切り離すと同時にバルブ１１．１２が自動的に閉
じるようなコネクターを採用するなどの方法が考えられ
る。しかし、いずれもバルブ内に存在する隙間に残った
液体が回路基板上あるいは集積回路または集積回路パッ
ケージ２上にたれる心配がある。たれた液体の量がわず
かでも、回路かショートしたりあるいは配線間の誘電率
が変化し雑音を発生するあるいは誤動作することも考え
られる。
また腐蝕、化学反応、あるいは膨潤等によって断線を招
く心配もある。
く心配もある。
また、配管系にドレンを設けて、配管を切り離す前に液
を抜くということも考えられなくはないが、タンク内の
液を抜くのとは違って、集積回路または集積回路パッケ
ージの液冷装置は配管系が複雑であり、完全に液体を抜
くことはできず、あちらこちらに液留りかできてしまい
、液漏れの心配は解決されない。
を抜くということも考えられなくはないが、タンク内の
液を抜くのとは違って、集積回路または集積回路パッケ
ージの液冷装置は配管系が複雑であり、完全に液体を抜
くことはできず、あちらこちらに液留りかできてしまい
、液漏れの心配は解決されない。
本発明の目的は、集積回路または集積回路パッケージの
補守・点検あるいは修理の際、液漏れの心配なしに切断
できるような配管を有する集積回路絡または集積回路パ
ッケージの液冷装置を提供することにある。
補守・点検あるいは修理の際、液漏れの心配なしに切断
できるような配管を有する集積回路絡または集積回路パ
ッケージの液冷装置を提供することにある。
本発明の特徴は、配管を切り離す前に、空気またはその
他のガスを液体の代わりに流し、配管内の液体を強制的
に排除し、また、微小間隙等に残った液体も蒸発させて
しまうもので、これにより液漏れの心配は完全に解決さ
れる。
他のガスを液体の代わりに流し、配管内の液体を強制的
に排除し、また、微小間隙等に残った液体も蒸発させて
しまうもので、これにより液漏れの心配は完全に解決さ
れる。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。１は基板、２は屡積回路または集積回路パッケー
ジ、３は冷却ジャケラ１−１４は冷却ジャケットをつな
ぐフレキシブルチューブである。５はコネクタ、１０は
配管で、途中に、バルブ１１〜１４が設けられている。
する。１は基板、２は屡積回路または集積回路パッケー
ジ、３は冷却ジャケラ１−１４は冷却ジャケットをつな
ぐフレキシブルチューブである。５はコネクタ、１０は
配管で、途中に、バルブ１１〜１４が設けられている。
通常の動作時には、バルブ１３，１．４を閉じ、バルブ
１１．．１２を開いて、冷媒（冷却用液体）を各集積回
路もしくは各集積回路パッケージ２に流し、冷却する。
１１．．１２を開いて、冷媒（冷却用液体）を各集積回
路もしくは各集積回路パッケージ２に流し、冷却する。
集積回路または集積回路パッケージ２の保守・点検また
は修理のため、冷媒用配管１０のコネクタ５をはずす時
には、まず、バルブ１１．１２を閉じて冷媒の流れを断
ち、次にバルブ１４を開き。
は修理のため、冷媒用配管１０のコネクタ５をはずす時
には、まず、バルブ１１．１２を閉じて冷媒の流れを断
ち、次にバルブ１４を開き。
続いてバルブ１３を開いて、パージガスにより冷媒をド
レンＩＯＤから排出する。この方法は、パージガスによ
り冷媒を強制的に排出すること、また、その際に、配管
内壁に液滴として冷媒が残存しても、パージガス中の冷
媒の蒸気分圧はほとんど０に等しいため、蒸発してしま
うことから配管内から冷媒を完全に排出することができ
る。なお、パージガスを予め加熱しておくと、冷媒の蒸
発を促進するのでパージに要する時間が短縮できる。
レンＩＯＤから排出する。この方法は、パージガスによ
り冷媒を強制的に排出すること、また、その際に、配管
内壁に液滴として冷媒が残存しても、パージガス中の冷
媒の蒸気分圧はほとんど０に等しいため、蒸発してしま
うことから配管内から冷媒を完全に排出することができ
る。なお、パージガスを予め加熱しておくと、冷媒の蒸
発を促進するのでパージに要する時間が短縮できる。
集積回路または集積回路パッケージ２は、基板上にでき
るだけ隙間なく並べて実装される。このため、それらの
冷却ジャケットの配管は、例えば第２図のように、フレ
キシブルチューブ４が逆Ｕ字型に立上った状態になり、
冷媒排出の際、液溜りができやすい構造となる。本発明
によれば、このような、場合でも完全ガスでパージでき
るのである。
るだけ隙間なく並べて実装される。このため、それらの
冷却ジャケットの配管は、例えば第２図のように、フレ
キシブルチューブ４が逆Ｕ字型に立上った状態になり、
冷媒排出の際、液溜りができやすい構造となる。本発明
によれば、このような、場合でも完全ガスでパージでき
るのである。
ところで１本実施例によれば、バルブ１１．１２を通る
冷却系統のすべての集積回路または集積回路パッケージ
の冷媒をガスでパージすることになる。しかし、修理の
場合には必ずしもすべてをパージする必要はなく、修理
を必要とする部分のみパージすればよい。
冷却系統のすべての集積回路または集積回路パッケージ
の冷媒をガスでパージすることになる。しかし、修理の
場合には必ずしもすべてをパージする必要はなく、修理
を必要とする部分のみパージすればよい。
そこで、必要な部分のみをパージするような実施例を第
３図により説明する。本実施例においては、通常の動作
時にはバルブ１３．１４を閉め、バルブ１１，１．２及
びバルブ１５〜１８を開いて、各集積回路または各集積
回路パンケージ２に冷媒を流す。集積回路パッケージの
保守・点検あるいは修理のため、配管］、Ｏをはずす必
要が生じた場合は以下の手順に従い、必要な部分の冷媒
のみガスでパージする。まず、バルブ１１．バルブ１２
を閉め、冷媒の流れを断つ。次に、バルブ１５〜１８の
うち、ガスでパージしたい系統のバルブを除き、すべて
を閉める。例えば、集積回路パッケージもしくはそのグ
ループＩ２Ａのみをパージするのであれば、バルブ１５
．バルブ１６は開いたままとし、その他のすべてのバル
ブすなわちバルブ１７，１．８を閉じる。つづいてバル
ブ１３．１４を開いてガすを流すと、必要な部分のみパ
ージすることができる。パージした後、バルブ１３゜］
４を閉じ、さらにバルブ１５．１６を閉じ、コネクタ５
により集積回路の保守点検あるいはイ１（理を行う。保
守・点検あるいは修理の間、他の集積回路２Ｂは動作さ
せておきたい場合は、バルブ１１、．１２及び、バルブ
１７．１８のみを開ければ、集積回路パッケージもしく
はそのグループ■（２Ｂ）は通常の動作を行わせること
ができる。
３図により説明する。本実施例においては、通常の動作
時にはバルブ１３．１４を閉め、バルブ１１，１．２及
びバルブ１５〜１８を開いて、各集積回路または各集積
回路パンケージ２に冷媒を流す。集積回路パッケージの
保守・点検あるいは修理のため、配管］、Ｏをはずす必
要が生じた場合は以下の手順に従い、必要な部分の冷媒
のみガスでパージする。まず、バルブ１１．バルブ１２
を閉め、冷媒の流れを断つ。次に、バルブ１５〜１８の
うち、ガスでパージしたい系統のバルブを除き、すべて
を閉める。例えば、集積回路パッケージもしくはそのグ
ループＩ２Ａのみをパージするのであれば、バルブ１５
．バルブ１６は開いたままとし、その他のすべてのバル
ブすなわちバルブ１７，１．８を閉じる。つづいてバル
ブ１３．１４を開いてガすを流すと、必要な部分のみパ
ージすることができる。パージした後、バルブ１３゜］
４を閉じ、さらにバルブ１５．１６を閉じ、コネクタ５
により集積回路の保守点検あるいはイ１（理を行う。保
守・点検あるいは修理の間、他の集積回路２Ｂは動作さ
せておきたい場合は、バルブ１１、．１２及び、バルブ
１７．１８のみを開ければ、集積回路パッケージもしく
はそのグループ■（２Ｂ）は通常の動作を行わせること
ができる。
さて、図には、集積回路もしくは集積回路パッケージも
しくはそのグループが二つしか図示されていないが、五
つ以−Ｌの場合でも全く同様の操作で、パージあるいは
冷却が実施できる。
しくはそのグループが二つしか図示されていないが、五
つ以−Ｌの場合でも全く同様の操作で、パージあるいは
冷却が実施できる。
第４図により他の実施例について説明する。第３図に示
した実施例では、一部の集積回路または集積回路パッケ
ージまたはそのグループのみを保守・点検あるいは修理
している間もて他の集積ト】１路または集積回路パッケ
ージには冷媒を流し冷却することができる。しかし、保
守・点検あるいは修理すべき集積回路または集積回路パ
ッケージの配管をはずすため、ガスでパージする際は、
すべての集積回路はまたは集積回路パッケージの冷却を
一時中断としろ・け扛ばならず、集積［１１１路を速続
的に動作させるこはできなかったが１例えは、第４図の
欠う右”、 ｌ′ｌｄ Ｑ’ｆとすれば二方コック３１
〜；３．１の切換により、必要なときに必“スな詮所の
集積回路または集積回路パッケージまたはそのグループ
の冷媒流路をガスでパージすジーとができろ、以４二、
第１図〜第４１プによ１．１１本脩明’７１実ｉｂ４
／４１１を１悦明してきた。いｆ九も、配管の一部を）
！ノキシプルな管としても、士た、必・つに応１．てバ
ルブあるいはコネクタの′Ｉ！ｌが増１１．ても、本発
明（ハ効用は変わらない。また、パージ用のガスとして
は配りτを腐蝕せしめるよう−１・もの、あるいけ冷媒
ど反応して腐蝕性のガスをイΣ生する上うなもの、土た
は冷媒との反応によ１１憬争、ちｌ）いはイ４熱するよ
うなものでない限り、その１−Ｒ１にｊｌ：ｊｊ 、ｉ
！勺（土な１ハ。また、当然のことながら、本発明は、
腹積回路または実積回路パッケージの大きさや個数等の
制、灼もない、さらに、パージ用ガスの配管に−）いて
は、ガスの粘性係数がきわめて小さいことからかなり力
（１いものでもかまわず、さらにガスの電気絶縁性から
ゴム、テフロン、ビニール等の配管を用いても問題ない
ので、冷媒の配管系とは独立に、電気配線と束ねて配管
し省スペース化を図るなどの工夫も可能であろう。
した実施例では、一部の集積回路または集積回路パッケ
ージまたはそのグループのみを保守・点検あるいは修理
している間もて他の集積ト】１路または集積回路パッケ
ージには冷媒を流し冷却することができる。しかし、保
守・点検あるいは修理すべき集積回路または集積回路パ
ッケージの配管をはずすため、ガスでパージする際は、
すべての集積回路はまたは集積回路パッケージの冷却を
一時中断としろ・け扛ばならず、集積［１１１路を速続
的に動作させるこはできなかったが１例えは、第４図の
欠う右”、 ｌ′ｌｄ Ｑ’ｆとすれば二方コック３１
〜；３．１の切換により、必要なときに必“スな詮所の
集積回路または集積回路パッケージまたはそのグループ
の冷媒流路をガスでパージすジーとができろ、以４二、
第１図〜第４１プによ１．１１本脩明’７１実ｉｂ４
／４１１を１悦明してきた。いｆ九も、配管の一部を）
！ノキシプルな管としても、士た、必・つに応１．てバ
ルブあるいはコネクタの′Ｉ！ｌが増１１．ても、本発
明（ハ効用は変わらない。また、パージ用のガスとして
は配りτを腐蝕せしめるよう−１・もの、あるいけ冷媒
ど反応して腐蝕性のガスをイΣ生する上うなもの、土た
は冷媒との反応によ１１憬争、ちｌ）いはイ４熱するよ
うなものでない限り、その１−Ｒ１にｊｌ：ｊｊ 、ｉ
！勺（土な１ハ。また、当然のことながら、本発明は、
腹積回路または実積回路パッケージの大きさや個数等の
制、灼もない、さらに、パージ用ガスの配管に−）いて
は、ガスの粘性係数がきわめて小さいことからかなり力
（１いものでもかまわず、さらにガスの電気絶縁性から
ゴム、テフロン、ビニール等の配管を用いても問題ない
ので、冷媒の配管系とは独立に、電気配線と束ねて配管
し省スペース化を図るなどの工夫も可能であろう。
「発明の効果〕
本発明によれば、集積回路または集積ＦＯ１路パッケー
ジの補守・点検あるいは修理の際、液漏れの心配なしに
切断できるような配管を有する集積回路または集積回路
パッケージの液冷装置を実現できる。
ジの補守・点検あるいは修理の際、液漏れの心配なしに
切断できるような配管を有する集積回路または集積回路
パッケージの液冷装置を実現できる。
また、配管系祷造によっては、保守・点検あるいは修理
を必要とする集結回路または集積回路パッケージ以外の
ものは通常の４！１ノ作を連続して行わしておくことも
可能である。
を必要とする集結回路または集積回路パッケージ以外の
ものは通常の４！１ノ作を連続して行わしておくことも
可能である。
第１図〜第２図は、本発明の一実施例を説明する図、第
７３図〜第４図はそれぞれ本発明の伸の実施例を説明す
る図である。第５図は、従来の集積回路または集積回路
パッケージの液冷方式のＰｉｅ！管図である。 １・・・基鈑、２・・集積回路または集積回路パッケー
ジ、３・・冷却ジャケット、４・・フｉノキシブルチュ
ーブ。
７３図〜第４図はそれぞれ本発明の伸の実施例を説明す
る図である。第５図は、従来の集積回路または集積回路
パッケージの液冷方式のＰｉｅ！管図である。 １・・・基鈑、２・・集積回路または集積回路パッケー
ジ、３・・冷却ジャケット、４・・フｉノキシブルチュ
ーブ。
Claims (1)
- １．基板上に実装された集積回路または集積回路パツケ
ージに、液体の冷媒が流れる冷却ジヤケツトを接触させ
冷却する集積回路冷却装置において、 冷却ジヤケツトに冷媒を流すための配管系とガスを流す
ための配管系が、冷却ジヤケツトに冷媒かガスのいずれ
か一方のみを選択的に流し得る切換手段を介して並列に
設けられたことを特徴とする集積回路冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23325185A JPS6293966A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 集積回路冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23325185A JPS6293966A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 集積回路冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293966A true JPS6293966A (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=16952141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23325185A Pending JPS6293966A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 集積回路冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293966A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS568861A (en) * | 1979-07-03 | 1981-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | Cooling device |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP23325185A patent/JPS6293966A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS568861A (en) * | 1979-07-03 | 1981-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | Cooling device |
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