JPS6284573A - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
- Publication number
- JPS6284573A JPS6284573A JP60225283A JP22528385A JPS6284573A JP S6284573 A JPS6284573 A JP S6284573A JP 60225283 A JP60225283 A JP 60225283A JP 22528385 A JP22528385 A JP 22528385A JP S6284573 A JPS6284573 A JP S6284573A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- receiving section
- light
- carriers
- detector
- Prior art date
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- Pending
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明に低いインピーダンスの元伝２４型赤外線検出器
にバイアス電流を流す際憂こ発生するＩＡノイズを減少
させるための方法に関するものである。
にバイアス電流を流す際憂こ発生するＩＡノイズを減少
させるための方法に関するものである。
（従来の技術）
従来の光伝導型赤外線検出器に第２図（こ示すようにバ
イアス電流を流すための１！極ｌ及び２を有し、赤外線
輻射によって受光部５に発生する過剰少数キャリアの密
度に比例した電位差を同電極から取り出し増幅していた
（エム・エーキンチ（Ｍ・Ａ ＩＩＫｉｎｃｈ） １等
インフラレッド フィツクス（Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ｐｈ
ｙｓｉｃｓ菖１５巻、（１９７５）、１１１頁）。
イアス電流を流すための１！極ｌ及び２を有し、赤外線
輻射によって受光部５に発生する過剰少数キャリアの密
度に比例した電位差を同電極から取り出し増幅していた
（エム・エーキンチ（Ｍ・Ａ ＩＩＫｉｎｃｈ） １等
インフラレッド フィツクス（Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ｐｈ
ｙｓｉｃｓ菖１５巻、（１９７５）、１１１頁）。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の技術において電極でも発生すると言われている電
流性のｌ／ｆノイズのため、バイアス電流を大きくすれ
ばするほど低周波領域において検出器の感度が劣化して
くるという問題点がある。本発明の目的ｆｌ １／ｆノ
イズを減らすことによって低周波領域において、検出器
の感度つまり信号・雑音比を改良することを提供するこ
とにある。
流性のｌ／ｆノイズのため、バイアス電流を大きくすれ
ばするほど低周波領域において検出器の感度が劣化して
くるという問題点がある。本発明の目的ｆｌ １／ｆノ
イズを減らすことによって低周波領域において、検出器
の感度つまり信号・雑音比を改良することを提供するこ
とにある。
（問題を解決するための手段）
本発明は、光伝導型赤外線検出器において、バイアス電
流を流すために受光部の両端に位置する電極２個の他ｆ
こ両電極から離れしかもその近傍の受光部の端に位置し
かつキャリアの再結合が無視できるほど幅の狭い電圧測
定用電極を２個有することを特徴とする。
流を流すために受光部の両端に位置する電極２個の他ｆ
こ両電極から離れしかもその近傍の受光部の端に位置し
かつキャリアの再結合が無視できるほど幅の狭い電圧測
定用電極を２個有することを特徴とする。
（作 用）
第１図（ａｌ、（ｂｌ、（Ｃ１に本発明の光伝導型赤外
線検出器を示す。第１図（ｂｌ、 （Ｃ）に各々第１図
（ａｌにおけるＡ−Ａ’とＢ−Ｂ’の断面図である。本
発明の赤外線検出器にバイアス電流を流すための電極ｌ
。
線検出器を示す。第１図（ｂｌ、 （Ｃ）に各々第１図
（ａｌにおけるＡ−Ａ’とＢ−Ｂ’の断面図である。本
発明の赤外線検出器にバイアス電流を流すための電極ｌ
。
２の地番こ第１図（ａｌに示すようζこ両電極から離れ
しかもその近傍の受光部５の端に位置しかつキャリアの
再結合が無視できるほど幅の狭い電圧測定用電極３，４
を有する。この際できるだけ大きな出力電圧を得るため
にも電極１．２のなるべく近傍に電極３．４を設ける。
しかもその近傍の受光部５の端に位置しかつキャリアの
再結合が無視できるほど幅の狭い電圧測定用電極３，４
を有する。この際できるだけ大きな出力電圧を得るため
にも電極１．２のなるべく近傍に電極３．４を設ける。
赤外線輻射によって受光ｇｓに発生した過剰少数キャリ
アに、電極１，２に臼加された電場によっ１電極間をド
リフトするうちに結晶内、界面及び電極で再結合する。
アに、電極１，２に臼加された電場によっ１電極間をド
リフトするうちに結晶内、界面及び電極で再結合する。
電極１，２で再結合するキャリアに同電極を同時に電圧
測定用電極として用いる場合、ｉ！！流性のｌ／ｆノイ
ズを発生する原因４こなる。そこで他に設けた幅の狭い
電圧測定用電極３．４の間の電位差を増幅器６を通して
取り出すことによって電極１．２でキャリアが再結合す
ることに起因するｍｒ、流性の１／ｆノイズを回避する
ことができる。Ｉｌｌ極３．４の幅を狭くする理由はこ
こにおいてもキャリアが再結合してノイズの原因になる
からである。例えばＨａｌｌ係数を測定する時に使われ
る４端子法では４つの電極の幅は普通同じである。しか
しそれでに光電変換における１／ｆノイズを減少させる
ことはできない。
測定用電極として用いる場合、ｉ！！流性のｌ／ｆノイ
ズを発生する原因４こなる。そこで他に設けた幅の狭い
電圧測定用電極３．４の間の電位差を増幅器６を通して
取り出すことによって電極１．２でキャリアが再結合す
ることに起因するｍｒ、流性の１／ｆノイズを回避する
ことができる。Ｉｌｌ極３．４の幅を狭くする理由はこ
こにおいてもキャリアが再結合してノイズの原因になる
からである。例えばＨａｌｌ係数を測定する時に使われ
る４端子法では４つの電極の幅は普通同じである。しか
しそれでに光電変換における１／ｆノイズを減少させる
ことはできない。
（実施例）
第１図（ｄ）； （ｅｌ、げ）に本発明の実施例を示す
。第１図（ｅ）は（ｄＪ図におけるＡ−Ａ’の断面図、
第１図げ）はＨ−Ｂ’の断面図である。ｔｄｉ図に示す
赤外線検出器５こおいて電極１−２間の長さに７６５μ
が電圧測定用電極３−４間の長さは６４５μｍ、＠は６
５μＩｎ、厚さは１０μｍ である。電極３．４の幅は
１５μｒｎである。検出器の材料は単結晶のＩ（ｇｏ、
５ｃｃｌｏ、ｓＴｅ で電極は蒸着等により形成した。
。第１図（ｅ）は（ｄＪ図におけるＡ−Ａ’の断面図、
第１図げ）はＨ−Ｂ’の断面図である。ｔｄｉ図に示す
赤外線検出器５こおいて電極１−２間の長さに７６５μ
が電圧測定用電極３−４間の長さは６４５μｍ、＠は６
５μＩｎ、厚さは１０μｍ である。電極３．４の幅は
１５μｒｎである。検出器の材料は単結晶のＩ（ｇｏ、
５ｃｃｌｏ、ｓＴｅ で電極は蒸着等により形成した。
この検出器は厚さｏ、ｓ ａｍのサファイア基板１０の
上に接着されている。この検出器を開口部の立体角が２
．８ＸｌＯ’ｓｒ のアパーチャーと狭帯域干渉フィル
ター（中心波長１０．９μ曵波長幅０．７５μｍ、透過
率７５チ）とともに液体窒素温度に冷却し、７オトンパ
ツクグラウンド〜１Ｘｌｏ１４ｐｂｃｎｌ−２８”の条
注下ニオイて［１−１００Ｈｚ の周波数領域で検出器
の感度をヤ１１定した。バイアス電流として４−１４ｍ
Ａの範囲で１ｍＡ 刻みでノイズ測定を行った。その結
果１／ｆノイズは約半分になり一方しスボンシヴイティ
（Ｖ／Ｗ ）は約２０％減少したに頑ぎない。これに信
号・雑音比が約１．６倍改善されたことを意味する。
上に接着されている。この検出器を開口部の立体角が２
．８ＸｌＯ’ｓｒ のアパーチャーと狭帯域干渉フィル
ター（中心波長１０．９μ曵波長幅０．７５μｍ、透過
率７５チ）とともに液体窒素温度に冷却し、７オトンパ
ツクグラウンド〜１Ｘｌｏ１４ｐｂｃｎｌ−２８”の条
注下ニオイて［１−１００Ｈｚ の周波数領域で検出器
の感度をヤ１１定した。バイアス電流として４−１４ｍ
Ａの範囲で１ｍＡ 刻みでノイズ測定を行った。その結
果１／ｆノイズは約半分になり一方しスボンシヴイティ
（Ｖ／Ｗ ）は約２０％減少したに頑ぎない。これに信
号・雑音比が約１．６倍改善されたことを意味する。
このことにより所定の信号・雑音比を得る際に測定時間
を約２．５倍短縮することができる。Ｓ＝すると所定時
間内でよりｎｆｌの高い測定を行うことができる。なお
本発明に上記の実施例に見られる結晶材料や波長帯に限
らず要するに低いインピーダンスの、又は大きいバイア
ス電流を要する几伝導型検出器において鉾遍的に成立つ
ことを付記しておく。例えば単結晶ｐｂｓｎ’ｌ’ｅを
Ｕ’Ｍとした検出器にも本発明を適用することができる
。
を約２．５倍短縮することができる。Ｓ＝すると所定時
間内でよりｎｆｌの高い測定を行うことができる。なお
本発明に上記の実施例に見られる結晶材料や波長帯に限
らず要するに低いインピーダンスの、又は大きいバイア
ス電流を要する几伝導型検出器において鉾遍的に成立つ
ことを付記しておく。例えば単結晶ｐｂｓｎ’ｌ’ｅを
Ｕ’Ｍとした検出器にも本発明を適用することができる
。
（発明の効果）
以上で説明したように本発明によれば元伝導型赤外線橋
出器ｔこおいてバイアス電流を流すための電極２＠の他
に両電極から離れしかもその近傍の受光部の媒に位亡す
る幅の狭い電圧測定用ｇｌ電極個を設けることζこよっ
て前者の両電極で発生する１／ｆノイズを回避して検出
器の感度を改菩することができる。
出器ｔこおいてバイアス電流を流すための電極２＠の他
に両電極から離れしかもその近傍の受光部の媒に位亡す
る幅の狭い電圧測定用ｇｌ電極個を設けることζこよっ
て前者の両電極で発生する１／ｆノイズを回避して検出
器の感度を改菩することができる。
面図、（Ｃ）図はＢ−Ｂ’の断面図である。ｌと２にバ
イアス“社＃ｉ、を流すための電極、３．４に幅の狭い
電圧測定用電極、５は受光部、６＆ユ瑣幅器、７＆１電
極と増幅器を結ぶワイアー配線、８は例えばＨｇＣｄＴ
ｅ ｊＩＬＭ晶、９―接着剤、１０は熱伝導車の鍋い基
板υ１ｊえばサフ）・イアである。第１区］（ｄ）、
（ｅｌ。 （ｆ）は本発明のり４ Ｍ例を説明する図である。（ｅ
）λｔユｆｄ１図に呵けるＡ−Ａ’の断面図、Ｉｆ）図
にＢ−Ｂ′の断面図である。番号−の意味するところは
上記と同じである。 第２図は従来の光伝導型赤外線検出器を示す図。 番号の意味するところは上記と同じである。 、２−さ、
イアス“社＃ｉ、を流すための電極、３．４に幅の狭い
電圧測定用電極、５は受光部、６＆ユ瑣幅器、７＆１電
極と増幅器を結ぶワイアー配線、８は例えばＨｇＣｄＴ
ｅ ｊＩＬＭ晶、９―接着剤、１０は熱伝導車の鍋い基
板υ１ｊえばサフ）・イアである。第１区］（ｄ）、
（ｅｌ。 （ｆ）は本発明のり４ Ｍ例を説明する図である。（ｅ
）λｔユｆｄ１図に呵けるＡ−Ａ’の断面図、Ｉｆ）図
にＢ−Ｂ′の断面図である。番号−の意味するところは
上記と同じである。 第２図は従来の光伝導型赤外線検出器を示す図。 番号の意味するところは上記と同じである。 、２−さ、
Claims (1)
- バイアス電流を流すために受光部の両端に位置する電極
２個の他に両電極から離れしかもその近傍の受光部の端
に位置しかつキャリアの再結合が無視できるほど幅の狭
い電圧測定用電極を２個有することを特徴とする光伝導
型赤外線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60225283A JPS6284573A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60225283A JPS6284573A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 赤外線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284573A true JPS6284573A (ja) | 1987-04-18 |
Family
ID=16826905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60225283A Pending JPS6284573A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284573A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6426862U (ja) * | 1987-08-07 | 1989-02-15 | ||
| US11699902B2 (en) | 2014-09-18 | 2023-07-11 | Ergotron, Inc. | Electrical load management system and method |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP60225283A patent/JPS6284573A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6426862U (ja) * | 1987-08-07 | 1989-02-15 | ||
| US11699902B2 (en) | 2014-09-18 | 2023-07-11 | Ergotron, Inc. | Electrical load management system and method |
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