JPS6282739U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6282739U JPS6282739U JP17376585U JP17376585U JPS6282739U JP S6282739 U JPS6282739 U JP S6282739U JP 17376585 U JP17376585 U JP 17376585U JP 17376585 U JP17376585 U JP 17376585U JP S6282739 U JPS6282739 U JP S6282739U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- probe
- view
- base
- tip
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すプローブの斜
視図、第２図はそのプローブガードへの取付状態
の説明図、第３図はそのウエハとの接触状況の説
明図、第４図は他の実施例を示すプローブの斜視
図、第５図はその材料であるバネ鋼の平板の展開
図、第６図はプローブの従来例の説明図、第７図
はその従来例のプローブガードへの取付状態の説
明図、第８図及び第９図はそのウエハとの接触状
況の説明図である。 １，１１……プローブ、２，１２……基部、３
，１３……先端部、４，１４……中間部、５，１
５……プローブガード、８……ウエハ。
視図、第２図はそのプローブガードへの取付状態
の説明図、第３図はそのウエハとの接触状況の説
明図、第４図は他の実施例を示すプローブの斜視
図、第５図はその材料であるバネ鋼の平板の展開
図、第６図はプローブの従来例の説明図、第７図
はその従来例のプローブガードへの取付状態の説
明図、第８図及び第９図はそのウエハとの接触状
況の説明図である。 １，１１……プローブ、２，１２……基部、３
，１３……先端部、４，１４……中間部、５，１
５……プローブガード、８……ウエハ。
Claims (1)
- ウエハの特性をチコツクするテスタのプローブ
であつて、弾性材料で一体に形成され、ウエハに
圧接される先端部と、プローブカードに固定され
る基部との間の中間部がＳ字状の側面視形状とさ
れていることを特徴とするウエハ特性チエツクプ
ローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17376585U JPS6282739U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17376585U JPS6282739U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282739U true JPS6282739U (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=31111531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17376585U Pending JPS6282739U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282739U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4430779Y1 (ja) * | 1967-07-18 | 1969-12-18 | ||
| JPS48101884A (ja) * | 1972-04-03 | 1973-12-21 | ||
| JPS5630512A (en) * | 1979-08-20 | 1981-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Combusting apparatus |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP17376585U patent/JPS6282739U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4430779Y1 (ja) * | 1967-07-18 | 1969-12-18 | ||
| JPS48101884A (ja) * | 1972-04-03 | 1973-12-21 | ||
| JPS5630512A (en) * | 1979-08-20 | 1981-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Combusting apparatus |