JPS6275479U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6275479U JPS6275479U JP16861785U JP16861785U JPS6275479U JP S6275479 U JPS6275479 U JP S6275479U JP 16861785 U JP16861785 U JP 16861785U JP 16861785 U JP16861785 U JP 16861785U JP S6275479 U JPS6275479 U JP S6275479U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- preheating section
- testing
- temperature control
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例であるIC検査装
置における予備加熱部の温度制御回路を示す回路
構成図、第2図は従来のIC検査装置における予
備加熱部の温度制御回路を示す回路構成図である
。 図において、1…ヒータ、2…商用電源、2a
…可変電源、3…電子スイツチ、4…温度制御信
号発生器、5…温度センサ、6…制御信号発生器
である。なお、各図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
置における予備加熱部の温度制御回路を示す回路
構成図、第2図は従来のIC検査装置における予
備加熱部の温度制御回路を示す回路構成図である
。 図において、1…ヒータ、2…商用電源、2a
…可変電源、3…電子スイツチ、4…温度制御信
号発生器、5…温度センサ、6…制御信号発生器
である。なお、各図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- ICを検査する装置の予備加熱部において、ヒ
ータに供給する電源電圧を、このヒータの周囲温
度の状態に応じて制御可能としたことを特徴とす
るIC検査装置における予備加熱部の温度制御回
路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16861785U JPS6275479U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16861785U JPS6275479U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6275479U true JPS6275479U (ja) | 1987-05-14 |
Family
ID=31101659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16861785U Pending JPS6275479U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6275479U (ja) |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP16861785U patent/JPS6275479U/ja active Pending