JPS6273814A - Delay circuit - Google Patents

Delay circuit

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JPS6273814A
JPS6273814A JP60213178A JP21317885A JPS6273814A JP S6273814 A JPS6273814 A JP S6273814A JP 60213178 A JP60213178 A JP 60213178A JP 21317885 A JP21317885 A JP 21317885A JP S6273814 A JPS6273814 A JP S6273814A
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JP
Japan
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nmos
gate electrode
resistance
resistance value
delay circuit
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JP60213178A
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Japanese (ja)
Inventor
Tsuneo Nakamura
恒夫 中村
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To reduce remarkably a forming region of a transfer mold by using master slice so as to select a gate length of the transfer mold so as to very an ON-resistance optionally. CONSTITUTION:In selecting the width of a gate electrode 41 by the master slice so as to form the channel length as, e.g., L1, the on-resistance of an NMOS 35 is R1. Thus, the input signal is delayed for a prescribed time by a time constant R1.C1 comprising a capacitance C1 of a parasitic capacitor 39 and the on-resistance R1 and the result is given to an inverter 38. Thus, plural channel lengths L1-4L1 are prepared in advance and the channel lengths L1-4L1 and the gate electrode 41 are selected by the master slice, then the on-resistances R1-4R1 of the NMOS 35 are set optionally and a desired delay time is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、信号転送時間を8延させる遅延回路に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a delay circuit that extends signal transfer time by eight times.

(従来の技術) 従来、このような分野の技術としては、実公昭8O−9
33E1号公報に記載されるものがあった。以下、その
構成を図を用いて説明する。
(Prior art) Conventionally, as a technology in this field,
There was one described in Publication No. 33E1. The configuration will be explained below using figures.

第2図は、従来の遅延回路の一構成例を示す回路図であ
る。
FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the configuration of a conventional delay circuit.

この遅延回路は、マスタスライス方式の配首配線によっ
て作られた回路で、入力端子l、出力端子2.電源VD
D端子3.及び接地端子4を有している。入力端子lに
は、複数個のトランスファゲート、例えばNチャネルM
OS トランジスタ(以下、NHO2という)5〜7が
、接続点(以下、コンタクトという)8〜10を介して
直列に接続されている。各NMO85〜7は、その制御
入力が恨えられるゲート電極が金属配線11により電源
VDfl端子3に接続され、さらに最後段NMOS7が
コンタクト10を介してインバータ12のゲート電極に
接続されている。インバータ12は電源VDD端子3及
び接地端子4に接続され、さらに出力側が出力端子2に
接続されている。
This delay circuit is a circuit made by master slice type neck wiring, with an input terminal 1, an output terminal 2. Power supply VD
D terminal 3. and a ground terminal 4. The input terminal l has a plurality of transfer gates, for example, an N-channel M
OS transistors (hereinafter referred to as NHO2) 5-7 are connected in series via connection points (hereinafter referred to as contacts) 8-10. The gate electrodes of each of the NMOSs 85 to 7, to which control inputs are received, are connected to the power supply VDfl terminal 3 via a metal wiring 11, and the final stage NMOS 7 is further connected to the gate electrode of the inverter 12 via a contact 10. The inverter 12 is connected to a power supply VDD terminal 3 and a ground terminal 4, and further has an output side connected to an output terminal 2.

第3図は、第2図の回路をパターン化したバターン図で
ある。各NMO55〜7は、P型基板上に形成されたN
fi拡散層20、多結晶シリコンからなるゲート電極2
1.及び各コンタクト8〜10を接続する金属配線22
等で構成されている。
FIG. 3 is a pattern diagram of the circuit shown in FIG. 2. Each NMO 55 to 7 is an NMO formed on a P-type substrate.
fi diffusion layer 20, gate electrode 2 made of polycrystalline silicon
1. and metal wiring 22 connecting each contact 8 to 10
It is made up of etc.

以上の構成において、第2図の各NにO95〜7はその
ゲート電極21に与えられる電源電圧VIll!Dによ
りオン状態となる。そのため、入力端子lに入力された
信号は各NMO55〜7を通ってインバータ12に転送
され、そのインバータ12で反転されて出力端子2から
出力される。
In the above configuration, the power supply voltage VIll! applied to each gate electrode 21 of each N in FIG. D turns it on. Therefore, the signal input to the input terminal 1 is transferred to the inverter 12 through each of the NMOs 55 to 7, inverted by the inverter 12, and output from the output terminal 2.

ここで、各NMO55〜7のオン状態時の抵抗値(以下
、オン抵抗値という)をRとすると、その直列抵抗値は
3Rとなる。また、回路の内部には寄生容量Cがあるた
め、この寄生容量Cと直列抵抗値3Rとで決まる時定数
3RX Cにより、入出力端子1.2間を通る信号に所
定の遅延時間が生じる。
Here, if the resistance value of each NMO 55 to 7 in the on state (hereinafter referred to as on-state resistance value) is R, then the series resistance value thereof is 3R. Further, since there is a parasitic capacitance C inside the circuit, a predetermined delay time occurs in the signal passing between the input and output terminals 1.2 due to the time constant 3RXC determined by the parasitic capacitance C and the series resistance value 3R.

そこで、各NMO85〜7の接続箇所であるコンタクト
8〜10を任意にmAf)することにより、遅延時間を
変えることができる。すなわち、第3図において、コン
タクト8〜10の有無と金属配線22の組合せにより、
ゲート電極21により作られるNMOS 5〜7の選択
をマスタスライスで行なう。これにより、オン抵抗R、
2R,3Rのいずれかが選択され、そのオン抵抗値と寄
生容量Cとで決まる時定数により、所定の遅延時間が得
られる。
Therefore, the delay time can be changed by arbitrarily setting the contacts 8 to 10, which are the connection points of the NMOs 85 to 7, to mAf. That is, in FIG. 3, depending on the combination of the presence or absence of contacts 8 to 10 and the metal wiring 22,
The selection of NMOSs 5 to 7 formed by the gate electrode 21 is performed by master slicing. As a result, the on-resistance R,
Either 2R or 3R is selected, and a predetermined delay time is obtained by a time constant determined by its on-resistance value and parasitic capacitance C.

この種の遅延回路では、所定の遅延時間を得るために、
NMOS 5〜7のオン抵抗値を用いている。
In this type of delay circuit, in order to obtain a predetermined delay time,
On-resistance values of NMOS 5 to 7 are used.

そのため、小面桔で大きな抵抗値が得られ、多結晶シリ
コンからなるゲート電極やN型拡散層の低い抵抗値を利
用したものに比べて回路の小形化が計れる。
Therefore, a large resistance value can be obtained using a small-sided square, and the circuit can be made smaller compared to one that utilizes the low resistance value of a gate electrode made of polycrystalline silicon or an N-type diffusion layer.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、上記構成の遅延回路では、複数個のNM
OS 5〜7をパターン化しておき、マスタスライスに
よりコンタクト8〜IO及び金属配線22の組合せを選
択し、所定のオン抵抗値を得るようにしているため、各
NMO95〜7のパターン領域が必要になるばかりか、
コンタクト8〜10面積の占める領域が犬きくなるとい
う問題点があった。
(Problem to be Solved by the Invention) However, in the delay circuit with the above configuration, a plurality of NM
Since OS 5 to 7 are patterned and a combination of contacts 8 to IO and metal wiring 22 is selected by master slicing to obtain a predetermined on-resistance value, a pattern area for each NMO 95 to 7 is required. Not only that, but
There was a problem in that the area occupied by contacts 8 to 10 became harsh.

本発明は、前記従来技術が持っていた問題点として、複
1a個のMOS )ランジスタのパターン領域が必要に
なることと、コンタクト領域が大きくなる点について解
決した遅延回路を提供するものである。
The present invention provides a delay circuit which solves the problems of the prior art in that a pattern area for a plurality of 1a MOS transistors is required and the contact area becomes large.

(問題点を解決するための手段) 本発明は、前記問題点を解決するために、制御入力によ
りオン状態となり、入力される信号を転送してインバー
タに与えるトランスファゲートを備え、前記トランスフ
ァゲートのオン状態時の抵抗値に基づき重犯信号の転送
時間を所定時間延らせる遅延回路において、前記トラン
スファゲートは、そのチャネル長をマスタスライスによ
り可変してオン状態時の抵抗値を所定値に設定する構成
にしたものである。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention includes a transfer gate that is turned on by a control input and transfers an input signal to provide it to an inverter. In a delay circuit that extends the transfer time of a serious crime signal by a predetermined time based on a resistance value in an on state, the transfer gate has a channel length varied by a master slice to set a resistance value in an on state to a predetermined value. It is structured as follows.

(作 用) 本発明によれば1以上のように遅延回路を構成したので
、一つのトランスファゲートを用意し、そのトランスフ
ァゲートのチャネル長をマスタスライスにより適宜選択
して所定のオン抵抗値を設定する。これによって遅延時
間の決定が行えるのである。したがって、前記問題点を
除去できるのである。
(Function) According to the present invention, since one or more delay circuits are configured, one transfer gate is prepared, and the channel length of the transfer gate is appropriately selected by the master slice to set a predetermined on-resistance value. do. This allows the delay time to be determined. Therefore, the above problem can be eliminated.

(実施例) 第1図は本発明の実施例を示す遅延回路のパターン図、
第4図はその回路図である。
(Embodiment) FIG. 1 is a pattern diagram of a delay circuit showing an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is its circuit diagram.

この遅延回路は、第4図に示すように、入力端子31、
出力端子32、電源VDD端子33、及び接地端子34
を有している。入力端子31には一つのトランスファゲ
ート、例えばN11O935が接続されている。
As shown in FIG. 4, this delay circuit includes input terminals 31,
Output terminal 32, power supply VDD terminal 33, and ground terminal 34
have. One transfer gate, for example N11O935, is connected to the input terminal 31.

NMOS35は、その制御入力が午えられるゲート電極
が金属配線36により電源VDD端子33に接続され、
さらにその出力側が金属配線37を介してインバータ3
8のゲート電極に接続されている。インバータ38は゛
市原VDD端子33及び接地端T−34に接続され。
The gate electrode of the NMOS 35 to which the control input is applied is connected to the power supply VDD terminal 33 by a metal wiring 36.
Furthermore, the output side is connected to the inverter 3 via the metal wiring 37.
It is connected to the gate electrode of No.8. The inverter 38 is connected to the Ichihara VDD terminal 33 and the ground terminal T-34.

さらに出力側が出力端子32に接続されている。また、
金属配線37とグランドとの間には、寄生容量やゲート
容量(以下、単に寄生容量という)39が形成されてい
る。
Further, the output side is connected to an output terminal 32. Also,
A parasitic capacitance or gate capacitance (hereinafter simply referred to as parasitic capacitance) 39 is formed between the metal wiring 37 and the ground.

ここで、NMOS35は、そのチャネル長がマスタスラ
イスにより可変できる構造になっている・すなわち、 
MOS )ランジスタの相q:コンタクタ〉′スGmは
、−股に次式で示される。
Here, the NMOS 35 has a structure in which the channel length can be varied by the master slice.
The phase q of the MOS transistor: the contactor Gm is expressed by the following equation.

ここで、VD=一定 但し、YD;  ドレイン′、ピ流。Here, VD=constant However, YD; Drain', Pi style.

■D; ドレイン電圧。■D; Drain voltage.

VG、ゲート電圧。VG, gate voltage.

VT;閾値電圧。VT: threshold voltage.

k;キャリアの移動か。k; Is it a career change?

εOx:ゲート酸化膜の誘′心 率。εOx: Attraction of gate oxide film rate.

TOX ;ゲート酸化膜の厚 さ。TOX: Thickness of gate oxide film difference.

W、MOSトランジスタの チャネル幅。W, MOS transistor Channel width.

L;MOSトランジスタの チャネル長。L; MOS transistor Channel length.

前記(:)式を、!;き換えると、次のようになる。The above (:) expression,! ;If you change it, it becomes as follows.

(2)式から明らかなように、相−1IIコンダクタン
スCmはチャネル幅Wに比例し、チャネル長しに逆比例
する。チャネル長しがN倍になると、相Wコンダクタン
ヌGyaがl/Nになるため、チャネル長りを可変構造
にすることにより、 MOS )ランジスタのオン抵抗
Rを任、・ユに設定できる。
As is clear from equation (2), the phase-1II conductance Cm is proportional to the channel width W and inversely proportional to the channel length. When the channel length increases by N times, the phase W conductance Gya becomes l/N, so by making the channel length variable, the on-resistance R of the MOS transistor can be set to any value.

従って、第4図のNMOS35は、そのチャネル長りが
+i(変構造になっているため、そのオン抵抗値Rを可
変できる。
Therefore, since the NMOS 35 shown in FIG. 4 has a channel length of +i (variable structure), its on-resistance value R can be varied.

このNMOS35の構造が第1図のパターン図に示され
ている。第1図において、 NMOS35は、P型)、
(板1−に形成されたN型拡散層40、及び多結晶シリ
コンからなるゲート電極41′S−を右し、そのゲート
電極41の幅を変えることにより、I′ti位長さのチ
ャネル長L1の複数倍、例えば4倍分のチャネル長4L
1まで可変しうる構造になっている。ずた、・インバー
タ38は二つのゲート電極42.43を有し、その一方
のゲート電極43が金属配線37を介してNMOS35
のN型拡散層40に接続されている。
The structure of this NMOS 35 is shown in the pattern diagram of FIG. In Fig. 1, NMOS35 is P type),
(By adjusting the N-type diffusion layer 40 formed on the plate 1- and the gate electrode 41'S- made of polycrystalline silicon, and changing the width of the gate electrode 41, a channel length of I'ti length can be obtained. Channel length 4L multiple times L1, for example 4 times
It has a structure that can be varied up to 1.・The inverter 38 has two gate electrodes 42 and 43, one of which is connected to the NMOS 35 via the metal wiring 37.
It is connected to the N type diffusion layer 40 of.

以上のように構成される遅延回路の動作子について説明
する。
The operating element of the delay circuit configured as described above will be explained.

先ず、第4図の回路動作は、従来と同様に、11M09
35のゲート電極に電源電圧vDDが印haされるため
にそのNMOS35がオン状態になる。そのため。
First, the circuit operation in FIG. 4 is similar to the conventional one.
Since the power supply voltage vDD is applied to the gate electrode of the NMOS 35, the NMOS 35 is turned on. Therefore.

入力端子31に入力された信号はNMOS35を値って
インバータ3日に転送され、そのインバータ38で反転
されて出力端f−38から出力される。
The signal input to the input terminal 31 is passed through the NMOS 35, transferred to the inverter 3, inverted by the inverter 38, and output from the output terminal f-38.

ここで、第1図において、マスタスラ・イスによりゲー
ト電極41の幅を、例えばチャネル長がLlとなるよう
に選択しておけば、NMOS35のオン抵抗値がR1と
なる。そのため、第4図における’r%生容;r39の
容量値C1とオン抵抗値R1とで決まる時定数R1・C
1により、所定の時間、入力信号が遅延し、それがイン
バータ38に享えられることになる。
Here, in FIG. 1, if the width of the gate electrode 41 is selected by master slicing so that the channel length is Ll, for example, the on-resistance value of the NMOS 35 becomes R1. Therefore, the time constant R1・C determined by the capacitance value C1 of r39 and the on-resistance value R1 in FIG.
1, the input signal is delayed for a predetermined period of time, which is then provided to the inverter 38.

このように、木−(流側では、複数個のチャネル長Ll
、2L1,3L1,4LlをYめ用意しておき、心霊に
応じてチャネル長L1〜4Llとゲート電極41をマス
タスライスにより選定する構造であるため、NMOS3
5のオン抵抗値R1〜4R1をf1′−意に設定でき。
In this way, the tree-(on the downstream side, a plurality of channel lengths Ll
, 2L1, 3L1, and 4Ll are prepared in Y sizes, and the channel lengths L1 to 4Ll and the gate electrode 41 are selected by master slicing according to the spirit.
The on-resistance values R1 to 4R1 of 5 can be set arbitrarily.

それによって所望の遅延時間が得られる。しかも、これ
は1個のNN0535だけで可能なため、NMOS35
のパターン領域およびコンタクト領域を減少させること
ができる。本実施例では、従来のものに比べて172以
丁に減少できる。
The desired delay time is thereby obtained. Moreover, since this is possible with only one NN0535, NMOS35
pattern area and contact area can be reduced. In this embodiment, the number can be reduced to 172 pieces compared to the conventional one.

なお、上記実施例では、チャネル長をL1〜4L1の範
囲で変えられるようにしたが、その範囲をさらに5L1
以上に広くすれば、口r変抵抗として機能するNMOS
35の形成領域を従来のものに比へて箸しく減少できる
In addition, in the above embodiment, the channel length can be changed within the range of L1 to 4L1, but this range can be further extended to 5L1.
If it is made wider than this, NMOS will function as a resistance.
The formation area of 35 can be significantly reduced compared to the conventional one.

また、1−記実流側では、トランスファゲートをNMO
S35で構成したが、これをPチャネルMO9)ランジ
スタ(以下、PMOSという)や、相補型MOS )ラ
ンジスタ(以ド、CMOSという:)AV’で構成して
もよい。CMOSで構成した場合、それを構成するNM
OS及びPMOSのいずれか、あるいは両方のチャネル
長をof変できる構造にすればよい。さらに、トランス
ファゲート以外の回路パーク〉′等を種々変形しうるこ
とはいうまでもない。
In addition, on the actual flow side described in 1-1, the transfer gate is NMO
Although it is configured with S35, it may be configured with a P-channel MO9) transistor (hereinafter referred to as PMOS) or a complementary MOS transistor (hereinafter referred to as CMOS) AV'. When configured with CMOS, the NM that configures it
The structure may be such that the channel length of either or both of the OS and PMOS can be changed. Furthermore, it goes without saying that circuit parks other than the transfer gate can be modified in various ways.

(発明の効果) 以上詳細に説明したように、本発明によれば、トランス
ファモールドのゲート長をマスタスライスにより選定し
、オン抵抗値を任意に可変できる構造にしたため、トラ
ンスファモールドの形成領域を大幅に減少できる。
(Effects of the Invention) As explained in detail above, according to the present invention, the gate length of the transfer mold is selected by master slicing, and the structure is such that the on-resistance value can be arbitrarily varied, so that the formation area of the transfer mold can be greatly expanded. can be reduced to

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例を示す遅延回路のパターン図、
第2図は従来の遅延回路の回路図、第3図は第2図のパ
ターン図、第4図は第1図の回路図である。 31・・・・・・入力端子、32・・・・・・出力端子
、33・・・・・・電源VDD端子、34・・・・・・
接地端子、35・・・・・・8MO8,37・−・・・
・全屈配線、38・・・・・・インバータ、39・・・
・・・寄生容量。 40・・・・・・P型拡散層、41・・・・・・ゲート
電極。 杢発明の遅延回路のパターン図 第1図 ¥2図
FIG. 1 is a pattern diagram of a delay circuit showing an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a circuit diagram of a conventional delay circuit, FIG. 3 is a pattern diagram of FIG. 2, and FIG. 4 is a circuit diagram of FIG. 1. 31...Input terminal, 32...Output terminal, 33...Power supply VDD terminal, 34...
Ground terminal, 35...8MO8, 37...
・Fully bent wiring, 38... Inverter, 39...
...parasitic capacitance. 40...P-type diffusion layer, 41...gate electrode. Pattern diagram of the delay circuit invented by Heather Figure 1¥2 Figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】 制御入力によりオン状態となり、入力される信号を転送
してインバータに与えるトランスファゲートを備え、前
記トランスファゲートのオン状態時の抵抗値に基づき前
記信号の転送時間を所定時間延らせる遅延回路において
、 前記トランスファゲートは、そのチャネル長をマスタス
ライスにより可変してオン状態時の抵抗値を所定の値に
設定する構成にしたことを特徴とする遅延回路。
[Scope of Claims] A transfer gate that is turned on by a control input and transfers an input signal and supplies it to an inverter is provided, and the transfer time of the signal is extended by a predetermined time based on the resistance value of the transfer gate when the transfer gate is in the on state. 2. A delay circuit characterized in that the transfer gate has a configuration in which the channel length of the transfer gate is varied by a master slice and a resistance value in an on state is set to a predetermined value.
JP60213178A 1985-09-26 1985-09-26 Delay circuit Pending JPS6273814A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63296239A (en) * 1987-05-27 1988-12-02 Nec Ic Microcomput Syst Ltd Gate array
WO2009072268A1 (en) * 2007-12-04 2009-06-11 Advantest Corporation Delay circuit, multi-stage delay circuit, time digital converter using them, semiconductor test device, ring oscillator, and delay lock loop circuit
JP2010093637A (en) * 2008-10-09 2010-04-22 Nec Electronics Corp Delay circuit

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63296239A (en) * 1987-05-27 1988-12-02 Nec Ic Microcomput Syst Ltd Gate array
WO2009072268A1 (en) * 2007-12-04 2009-06-11 Advantest Corporation Delay circuit, multi-stage delay circuit, time digital converter using them, semiconductor test device, ring oscillator, and delay lock loop circuit
US8269553B2 (en) 2007-12-04 2012-09-18 Advantest Corporation Delay circuit
JP5190467B2 (en) * 2007-12-04 2013-04-24 株式会社アドバンテスト DELAY CIRCUIT, MULTI-STAGE DELAY CIRCUIT, TIME DIGITAL CONVERTER, SEMICONDUCTOR TEST DEVICE, RING OSCILLATOR, AND DELAY LOCK LOOP
JP2010093637A (en) * 2008-10-09 2010-04-22 Nec Electronics Corp Delay circuit

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