JPS6271865A - エンコ−ダ - Google Patents
エンコ−ダInfo
- Publication number
- JPS6271865A JPS6271865A JP60212957A JP21295785A JPS6271865A JP S6271865 A JPS6271865 A JP S6271865A JP 60212957 A JP60212957 A JP 60212957A JP 21295785 A JP21295785 A JP 21295785A JP S6271865 A JPS6271865 A JP S6271865A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pits
- encoder
- disk
- rotating disk
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回転型の光学式エンコーダに関する。
本発叫は回転型の光学式エンコーダＫＭて、回転ディス
クの略同一半径位置の周方向に複数のピットを設け、こ
のピットを光学的に検出するととＫより、回転ディスク
の回転方向位置情報を得るものである。
クの略同一半径位置の周方向に複数のピットを設け、こ
のピットを光学的に検出するととＫより、回転ディスク
の回転方向位置情報を得るものである。
従来の光学式エンコーダでは、回転ディスクの周方向に
複数のスリットを設け、前記スリットの透過光の光量を
検出して回転方向位置情報を得ていて、回転ディスクは
金属製の回転ディスクにエツチングを処してスリットを
設けたものやガラスディスクに選択デポジットを処して
スリットを設けていた。
複数のスリットを設け、前記スリットの透過光の光量を
検出して回転方向位置情報を得ていて、回転ディスクは
金属製の回転ディスクにエツチングを処してスリットを
設けたものやガラスディスクに選択デポジットを処して
スリットを設けていた。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし−、
前述の従来技術では回転ディスクのスリット数は、エツ
チング精度やデポジット精度により決定され、高分解能
なエンコーダが得られ碌いという問題点を有する。
前述の従来技術では回転ディスクのスリット数は、エツ
チング精度やデポジット精度により決定され、高分解能
なエンコーダが得られ碌いという問題点を有する。
そこで本発ＢＡはこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは高分解能なエンコーダを提供す
るところにめる〇 〔問題を解決するための手段〕 本発明のエンコー・ダは、回転ディスクの回転方向位置
を光学的に検出するエンコーダに於て、前記回転ディス
クの略同一半径位置の周方向に複数のピットを設け、前
記回転ディスクの反射光の光量を検知し回転方向位置情
報を得る事を特徴とす〔作用〕 本発明の上記の構成によれば、ピットを光学的に検出す
る構成となり、ピットの形成精度や光学系の検出感度や
光学系の追従性によってエンコーダの分解能が決定され
、高分解能なエンコーダが得られる。３ 〔実施例〕 第１図は本発明の実施例におけるエンコーダの要部構成
図を示し、１は回転ディスク、２は回転ディスク１の略
同一半径位置の周方向に複数設けられたピット、３は半
導体レーザ等の光源、４は光源３から発生した発散光を
平行光シて変えるレンズ、５は半透佛を含むビームスプ
リッタ、６は位相差板、７は対物レンズ、８は回折格子
やレンズやブ１．！ズＬｆ：含む検出部、９はフォトダ
イオードであり、矢印ａは回転ディスク１への入射光方
向、矢印すはｂｉディスク１からフォトダイオード９に
至る検出光の方向、矢印Ｃは回転ディスク１の半径方向
を示す。光源３から発生した光は、回転ディスク１の所
定の半径位ｆＫ集光され、回転ディスク１上に略同一半
径位置に１方向に略等ピッチで設けられたピット２近傍
の回転位置情報？フォトディテクタ９に出力する。回転
デ１′スク１には、第２図に示されるように、略同一半
径位置に周方向に略等ピッチで複数のピット２が、目示
ディスク１の成形特直接刻印されるか、もしくはレーザ
カッティング等によって設けられ、ピット２の唱は１〜
２ミクロン程度にすることが可能である。第３図に回転
ディスクの円周方内断Ｘ図を示すが、ピット２の深さは
、貞用される光源５０波長の数分の一程度で等ピッチ（
（なるよう円周方向に並べて設けられる。第４図は、エ
ンコーダの回転角と反射光層比との関係を示し、ピット
２の周期と同一周期の回転位置情報がフォトディテクタ
９から得られ、ピット２のピッチ精度を向上することＫ
より、エンコーダの分解能も略比例して向上させること
ができる。なお、第４図でビット番号はピットの中心位
置に略等しい。また、ｙ４ｃ１図で、回転ディスク１の
面振れが大きい場合には、回転ディスク１上の集光位置
を一定に保つために自動焦点調整機構によって補正され
る。
その目的とするところは高分解能なエンコーダを提供す
るところにめる〇 〔問題を解決するための手段〕 本発明のエンコー・ダは、回転ディスクの回転方向位置
を光学的に検出するエンコーダに於て、前記回転ディス
クの略同一半径位置の周方向に複数のピットを設け、前
記回転ディスクの反射光の光量を検知し回転方向位置情
報を得る事を特徴とす〔作用〕 本発明の上記の構成によれば、ピットを光学的に検出す
る構成となり、ピットの形成精度や光学系の検出感度や
光学系の追従性によってエンコーダの分解能が決定され
、高分解能なエンコーダが得られる。３ 〔実施例〕 第１図は本発明の実施例におけるエンコーダの要部構成
図を示し、１は回転ディスク、２は回転ディスク１の略
同一半径位置の周方向に複数設けられたピット、３は半
導体レーザ等の光源、４は光源３から発生した発散光を
平行光シて変えるレンズ、５は半透佛を含むビームスプ
リッタ、６は位相差板、７は対物レンズ、８は回折格子
やレンズやブ１．！ズＬｆ：含む検出部、９はフォトダ
イオードであり、矢印ａは回転ディスク１への入射光方
向、矢印すはｂｉディスク１からフォトダイオード９に
至る検出光の方向、矢印Ｃは回転ディスク１の半径方向
を示す。光源３から発生した光は、回転ディスク１の所
定の半径位ｆＫ集光され、回転ディスク１上に略同一半
径位置に１方向に略等ピッチで設けられたピット２近傍
の回転位置情報？フォトディテクタ９に出力する。回転
デ１′スク１には、第２図に示されるように、略同一半
径位置に周方向に略等ピッチで複数のピット２が、目示
ディスク１の成形特直接刻印されるか、もしくはレーザ
カッティング等によって設けられ、ピット２の唱は１〜
２ミクロン程度にすることが可能である。第３図に回転
ディスクの円周方内断Ｘ図を示すが、ピット２の深さは
、貞用される光源５０波長の数分の一程度で等ピッチ（
（なるよう円周方向に並べて設けられる。第４図は、エ
ンコーダの回転角と反射光層比との関係を示し、ピット
２の周期と同一周期の回転位置情報がフォトディテクタ
９から得られ、ピット２のピッチ精度を向上することＫ
より、エンコーダの分解能も略比例して向上させること
ができる。なお、第４図でビット番号はピットの中心位
置に略等しい。また、ｙ４ｃ１図で、回転ディスク１の
面振れが大きい場合には、回転ディスク１上の集光位置
を一定に保つために自動焦点調整機構によって補正され
る。
従って、第１図のようなエンコーダ構成とするととＫよ
り、従来のエンコーダの数十〜数百倍の分瑯能を有する
エンコーダが提供可能でちる０なお、第１図は本発明を
限定するものではなく、ピットによる光重変化を検知す
るエンコーダに広く適用可能であり、さらにはリニアス
ケールとして五線型のエンコーダに適用することも可能
でちる。
り、従来のエンコーダの数十〜数百倍の分瑯能を有する
エンコーダが提供可能でちる０なお、第１図は本発明を
限定するものではなく、ピットによる光重変化を検知す
るエンコーダに広く適用可能であり、さらにはリニアス
ケールとして五線型のエンコーダに適用することも可能
でちる。
以上述べたよって本発明によれば、回転ディスク上のピ
ットをレンズ等を組み合わせた光検出系で検知すること
に・より、エンコーダの角度分Ｍ詣を飛躍的に増大さぜ
ることができる０
ットをレンズ等を組み合わせた光検出系で検知すること
に・より、エンコーダの角度分Ｍ詣を飛躍的に増大さぜ
ることができる０
第１因は本発明のエンコーダの要部構成図。
第２図はｇＩ図の回転ディスクの平面図。
第３図は第１図の回転ディスクの円周方向Ｉ析面図ａ
第４ 図ａｇ１図のエンコーダの回転角と反対光量比と
の関係図。 １・・・・・・回転ディスク ２・・・・・・ピット 以 、上 ュ′ ｌ ： 回に巧’ｔ％ク コ： θヴト ニ７つ−ｑ”偽！９ＪＩＰ−槙戒（２）第１μ ｍ玉Ｄ ｋ −ｆ’イ り；ワ ＾ ｌ 口り第２図 −にイイ＜／７Ａ旧褐力問宥Φ咽 第３図
の関係図。 １・・・・・・回転ディスク ２・・・・・・ピット 以 、上 ュ′ ｌ ： 回に巧’ｔ％ク コ： θヴト ニ７つ−ｑ”偽！９ＪＩＰ−槙戒（２）第１μ ｍ玉Ｄ ｋ −ｆ’イ り；ワ ＾ ｌ 口り第２図 −にイイ＜／７Ａ旧褐力問宥Φ咽 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 回転ディスクの回転方向位置を光学的に検出するエン
コーダに於て、 前記ディスクの略同一半径位置の周方向に複数のピット
を設け、前記回転ディスクの反射光の光量を検知し回転
方向位置情報を得る事を特徴とするエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60212957A JPS6271865A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60212957A JPS6271865A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | エンコ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6271865A true JPS6271865A (ja) | 1987-04-02 |
Family
ID=16631088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60212957A Pending JPS6271865A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6271865A (ja) |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP60212957A patent/JPS6271865A/ja active Pending
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