JPS627179A - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPS627179A JPS627179A JP14445585A JP14445585A JPS627179A JP S627179 A JPS627179 A JP S627179A JP 14445585 A JP14445585 A JP 14445585A JP 14445585 A JP14445585 A JP 14445585A JP S627179 A JPS627179 A JP S627179A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器に関し、詳しくはレーザ光送出ミ
ラーである部分反射鏡の安定化を図つ九 ：レーザ発
振器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser oscillator, and more particularly to a laser oscillator that stabilizes a partially reflecting mirror that is a laser beam sending mirror.
第２図は従来のレーザ発振器の概念図である。 “
第２図において、（１）ハレーザ発振器本体、（２）は
部分反射鏡、（３）は全反射鏡、（４）は電極、（５）
は熱交換 □器、（６）はレーザ媒質ガス、（７）は
励起領域、 、 （８）は ゛ブロアである。FIG. 2 is a conceptual diagram of a conventional laser oscillator. “
In Figure 2, (1) the main body of the Halle laser oscillator, (2) a partial reflection mirror, (3) a total reflection mirror, (4) an electrode, (5)
is a heat exchanger, (6) is a laser medium gas, (7) is an excitation region, and (8) is a blower.
例えば、 ＣＯ，、Ｃｏ、 Ｎ、及びＨｅから構成され
るレーザ媒質ガス（６） ｉｊ励起領域（７） Ｋ充満
しているとともに、ブロア（８）によって所定の圧力及
び所定の速度で励起領域（７）内を流動している。図示
しない放電電源は電極（４）にグロー放電ｔ−発生させ
、レーザ媒質ガス（６）を励起する。放電電源の励起に
より、 ゛レーザ媒質ガス（６）中のＣＯ２が反転分
布を生じて放出され次赤外光は、全反射１！ （３）及
び部分反射鏡（２）で反射を繰り返して共振増幅され、
さらに部分反 □射１！ （２）を介してレーザ光と
して出力される。For example, a laser medium gas (6) composed of CO, Co, N, and He is filled with K, and the excitation region (7) is heated at a predetermined pressure and speed by a blower (8). 7) Flowing within. A discharge power source (not shown) generates a glow discharge in the electrode (4) and excites the laser medium gas (6). Due to the excitation of the discharge power supply, CO2 in the laser medium gas (6) is emitted with population inversion, and the infrared light is then totally reflected 1! (3) and is repeatedly reflected by the partial reflecting mirror (2), and the resonance is amplified.
Further partial reaction □Ejaculation 1! (2) is output as a laser beam.
放電電源からレーザ媒質ガス（６）に加えられた励起エ
ネルギーは一部がレーザ光の出力に使用され、他の部分
がレーザ媒質ガス（６）の温度を上昇させる。Part of the excitation energy applied to the laser medium gas (6) from the discharge power source is used to output laser light, and the other part increases the temperature of the laser medium gas (6).
レーザ媒質ガスの温度上昇はレーザ出力の低下を招くの
で、熱交換器（５）によってレーザ媒質ガス（６）を冷
却するようにしている。Since an increase in the temperature of the laser medium gas causes a decrease in laser output, the laser medium gas (6) is cooled by a heat exchanger (5).
第６図は第２図に示した部分反射鏡（２）近傍の詳細図
である。第３図中、（１）はレーザ発振器本体。FIG. 6 is a detailed view of the vicinity of the partial reflecting mirror (2) shown in FIG. 2. In Figure 3, (1) is the main body of the laser oscillator.
（２）Ｖ１部分反射鏡、（９）はミラーホルダ、αｑは
ミラー押え、αρ、（２）、ｃ１１ｉｊＯＩＪング、α
４． Ｑ５はボルト。(2) V1 partial reflection mirror, (9) is mirror holder, αq is mirror holder, αρ, (2), c11ijOIJing, α
4. Q5 is a bolt.
α→は冷却水のホース、αηはニップル、（ト）は冷却
水循環路である。α→ is a cooling water hose, αη is a nipple, and (g) is a cooling water circulation path.
ところで、部分反射！！（２）はレーザ光の送出側が外
気に接しているので、外気中に浮遊しているホコリが付
着し易い。部分反射＊ （２）は冷却水循環路ｃｌＱに
循環している冷却水によって冷却されるようになってい
るか、埃が付着するとレーザ光の吸収率が高くなり１発
熱して、変形してしまう問題があった。By the way, partial reflection! ! In (2), since the laser beam sending side is in contact with the outside air, dust floating in the outside air is likely to adhere thereto. Partial reflection* (2) is a problem in which the laser beam is cooled by the cooling water circulating in the cooling water circulation path clQ, or if dust adheres to it, the absorption rate of the laser beam increases, generating heat and causing deformation. was there.
又、部分反射ｆｉ （２）が発熱すると部分反射ａ（２
）に付着した埃が焼き付けられ１部分反射鏡（２）を介
して送出されるレーザ光のビームが絞られてしまう。Also, when the partial reflection fi (2) generates heat, the partial reflection a (2
), the dust attached to the mirror (2) is burned, and the laser beam transmitted through the one-part reflecting mirror (2) is narrowed down.
いわゆる熱レンズ効果が生じるという問題があった。There is a problem in that a so-called thermal lens effect occurs.
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
部分反射鏡に埃が付着しないレーザ発振器を提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide a laser oscillator in which dust does not adhere to a partial reflecting mirror.
そこで本発明では、対向配置された全反射鏡と部分反射
鏡とに挾まれた励起領域にレーザ媒質ガスを導入し、励
起領域のレーザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさ
せ、部分反射鏡からレーザ光を送出させるレーザ発振器
に、クリーンガスを送出するコンプレッサと、このクリ
ーンガスを部分反射鏡のレーザ光の送出側に吹き付ける
ノズルとを備える。Therefore, in the present invention, a laser medium gas is introduced into an excitation region sandwiched between a total reflection mirror and a partial reflection mirror arranged oppositely, and the laser medium gas in the excitation region is excited to cause laser oscillation. A laser oscillator that sends out laser light from a laser oscillator is equipped with a compressor that sends out clean gas, and a nozzle that sprays the clean gas onto the laser beam sending side of the partially reflecting mirror.
上記構成のレーザ発振器は、励起領域に導入嘔れたレー
ザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさせ、部分反射
鏡からレーザ光を送出する。このとき、ノズルがコンプ
レッサから送出されるクリ−７ガスを部分反射鏡に吹き
付け、部分反射鏡に埃が付着するのを防ぐ。The laser oscillator configured as described above excites the laser medium gas introduced into the excitation region to generate laser oscillation, and sends out laser light from the partially reflecting mirror. At this time, the nozzle sprays the CLE-7 gas sent from the compressor onto the partially reflecting mirror to prevent dust from adhering to the partially reflecting mirror.
以下５本発明の一実施例を添付図面を参照して詳細に説
明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図は本発明に係るレーザ発振器の主要部分の詳細図
である。なお、第１図において第３図と同様の機能を果
たす部分については同一の符号を付し、その説明は省略
する。−は水分及び油分を除去したり１ノーンガスを送
出するコンプレッサ。FIG. 1 is a detailed diagram of the main parts of a laser oscillator according to the present invention. Note that in FIG. 1, parts that perform the same functions as those in FIG. 3 are designated by the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted. - is a compressor that removes moisture and oil and sends out 1-noon gas.
（２）はガスホース、勾はミラー押え、（ハ）はニップ
ル。(2) is the gas hose, the angle is the mirror holder, and (c) is the nipple.
（６）はクリーンガスチャンバ、翰はクリーンガスを部
分反射鏡に吹き付けるノズルである。なお、クリーンガ
スとしては例えばドライエア又は窒素ガスなどを用いる
。又、ノズル（イ）は部分反射鏡（２）のまわりに複数
設けられている。(6) is a clean gas chamber, and the handle is a nozzle that sprays clean gas onto the partially reflecting mirror. Note that as the clean gas, for example, dry air or nitrogen gas is used. Further, a plurality of nozzles (A) are provided around the partial reflecting mirror (2).
次に、本発明に係るレーザ発振器の全体の動作について
説明する。本発明に係るレーザ発振器は全体の構成とし
ては第２図に示した従来のレーザ発振器の概念図に示し
文ものと同じである。励起領域（））内のレーザ媒質ガ
ス（６）が放電電源によって励起され、反転分布を生じ
、部分反射鏡（２）を介してレーザ光として送出される
。このとき、レーザ媒質ガス（６）及び部分反射鏡（２
）などは冷却水循環路（転）を循環する冷却水によって
冷却される。又１部分反射鏡（２）に付着した埃はコン
プレッサ翰からガスホース（２）、クリーンガスチャン
バα場及びノズル員を介して送出されるクリーンガスに
よって吹き飛ばされることになる。さらに１部分反射鏡
（２）はクリーンガスの吹き付けにより冷却される。Next, the overall operation of the laser oscillator according to the present invention will be explained. The overall structure of the laser oscillator according to the present invention is the same as that shown in the conceptual diagram of the conventional laser oscillator shown in FIG. The laser medium gas (6) in the excitation region (2) is excited by the discharge power source, produces population inversion, and is sent out as laser light via the partially reflecting mirror (2). At this time, the laser medium gas (6) and the partial reflecting mirror (2
) etc. are cooled by the cooling water circulating in the cooling water circulation path. Further, the dust adhering to the first partial reflecting mirror (2) is blown away by the clean gas sent out from the compressor head through the gas hose (2), the clean gas chamber α field, and the nozzle member. Furthermore, the partial reflecting mirror (2) is cooled by blowing clean gas.
以上説明したように本発明によれば、コンプレッサから
送出され几クリーンガスなノズルによって部分反射鏡に
吹き付けるようにしたので、部分反射鏡に埃が付着する
のを防ぐことができる。As explained above, according to the present invention, since the nozzle of the clean gas sent out from the compressor is used to spray the partially reflecting mirror, it is possible to prevent dust from adhering to the partially reflecting mirror.
又、部分反射鏡にクリーンガスな吹き付けることにより
、部分反射鏡を冷却することができる。Furthermore, the partial reflecting mirror can be cooled by blowing clean gas onto the partially reflecting mirror.
第１図は本発明になるレーザ発振器の主要部分の詳細図
、第２図は従来のレーザ発振器の概念図、第３図は第２
図に示した部分反射鏡近傍の詳細図である。
図中、１はレーザ発振器本体、２け部分反射鏡、９はミ
ラーホルダ、１０．２３はミラー押え、１１．１２．１
３は０リング、１４．１５Ｖｉボルト、１６は冷却水循
環路、１７．２１はニップル、１８は水ホース、１９は
クリーンガスチャンバ、２０はノズル、２２はガスホー
ス、２３けコンプレッサである。
なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
代理人 弁理士 佐 藤 正 年
第１図Figure 1 is a detailed diagram of the main parts of the laser oscillator according to the present invention, Figure 2 is a conceptual diagram of a conventional laser oscillator, and Figure 3 is a detailed diagram of the main parts of the laser oscillator according to the present invention.
FIG. 3 is a detailed view of the vicinity of the partially reflecting mirror shown in the figure. In the figure, 1 is the laser oscillator body, 2 partial reflectors, 9 is a mirror holder, 10.23 is a mirror holder, 11.12.1
3 is an O ring, 14.15 Vi bolts, 16 is a cooling water circulation path, 17.21 is a nipple, 18 is a water hose, 19 is a clean gas chamber, 20 is a nozzle, 22 is a gas hose, and 23 is a compressor. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Agent Patent Attorney Tadashi Sato Figure 1
Claims (3)
た励起領域にレーザ媒質ガスを導入し、該励起領域のレ
ーザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさせ、前記部
分反射鏡からレーザ光を送出させるレーザ発振器におい
て、クリーンガスを送出するコンプレッサと、前記部分
反射鏡の送出側に設けられ、前記クリーンガスを該部分
反射鏡に吹き付けるノズルとを備えたことを特徴とする
レーザ発振器。(1) A laser medium gas is introduced into an excitation region sandwiched between a total reflection mirror and a partial reflection mirror arranged oppositely, the laser medium gas in the excitation region is excited to cause laser oscillation, and the partial reflection mirror A laser oscillator that emits laser light from a laser source, comprising: a compressor that delivers clean gas; and a nozzle that is provided on the sending side of the partially reflecting mirror and sprays the clean gas onto the partially reflecting mirror. oscillator.
エアである特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。(2) The laser oscillator according to claim 1, wherein the clean gas is dry air from which moisture and oil have been removed.
第１項記載のレーザ発振器。(3) The laser oscillator according to claim 1, wherein the clean gas is nitrogen gas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14445585A JPS627179A (en) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14445585A JPS627179A (en) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS627179A true JPS627179A (en) | 1987-01-14 |
Family
ID=15362646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14445585A Pending JPS627179A (en) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS627179A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115179A (en) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas laser apparatus |
| JPH06291390A (en) * | 1993-04-02 | 1994-10-18 | Hitachi Ltd | Gas laser equipment |
| CN108226042A (en) * | 2018-02-13 | 2018-06-29 | 天津同阳科技发展有限公司 | Speculum purifier and its method |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP14445585A patent/JPS627179A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115179A (en) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas laser apparatus |
| JPH06291390A (en) * | 1993-04-02 | 1994-10-18 | Hitachi Ltd | Gas laser equipment |
| CN108226042A (en) * | 2018-02-13 | 2018-06-29 | 天津同阳科技发展有限公司 | Speculum purifier and its method |
| CN108226042B (en) * | 2018-02-13 | 2023-11-10 | 天津同阳科技发展有限公司 | Mirror cleaning device and method thereof |
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