JPS6270676A - ピエゾポンプ - Google Patents

ピエゾポンプ

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Publication number
JPS6270676A
JPS6270676A JP20929785A JP20929785A JPS6270676A JP S6270676 A JPS6270676 A JP S6270676A JP 20929785 A JP20929785 A JP 20929785A JP 20929785 A JP20929785 A JP 20929785A JP S6270676 A JPS6270676 A JP S6270676A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tank chamber
fluid
discharge port
suction port
piezoelectric plates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20929785A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuyuki Miyata
宮田 信幸
Masashi Yanagawa
正史 柳川
Tetsuya Iwashita
哲也 岩下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CKD Controls Ltd
Original Assignee
CKD Controls Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CKD Controls Ltd filed Critical CKD Controls Ltd
Priority to JP20929785A priority Critical patent/JPS6270676A/ja
Publication of JPS6270676A publication Critical patent/JPS6270676A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電圧の印加により撓みを生ずる圧電板の振動
を利用して流体を吸入して吐出するピエゾポンプに関す
る。
従来の技術及び発明が解決しようとする問題点ピエゾポ
ンプは、ポンプ本体に透設した孔の両開放端部に、Wi
圧の印加により撓みを生ずる一対の圧電板を張設して、
両圧電板の間にタンク室を形成するとともに、このタン
ク室の中心を挟む両側に流体の吸入口と吐出口を設け、
両圧電板を対応面が互いに!1間する方向と接近する方
向に交互に撓ませてタンク室の容積を交互に増減させる
ことによって、吸入口からタンク室内に吸入した流体を
吐出口から吐出するようになっているが、従来のものは
、両圧電板と孔の内面で囲まれた広い空間の全部をタン
ク室に使用していたため、ポンプを起動した後、タンク
室内に流体が吸入されて充填されるまでに時間が掛って
立上りが悪い不具合があるばかりでなく、流体がタンク
室内で渦流を生じてエアー溜りができ易く、そのために
流体の吐出量が大きくばらつく不具合があった。
問題点を解決するための手段 上記の不具合を除去するために、本発明のピエゾポンプ
は、ポンプ本体に透設した孔の両開放端部に、電圧の印
加により撓みを生ずる一対の圧電板を張設して、該面圧
電板の間にタンク室を形成するとともに、該タンク室の
中心を挟む両側に流体の吸入口と吐出口を設け、前記面
圧電板を対応面が互いに離間する方向と接近する方向に
交互に撓ませて前記タンク室の容積を交互に増減させる
ことによって、前記吸入口から前記夕〉′り室内に吸入
した流体を前記吐出口から吐出するようにしたピエゾポ
ンプにおいて、前記タンク室の前記吸入口と前記吐出口
を結ぶ方向の両側の側壁を内側に突出させて仕切壁を形
成し、該仕切壁の対応面の間に前記吸入口から前記吐出
口に達する流通路を形成した構成としたものである。
作用及び効果 本発明は上記の構成になり、電圧の印加により一対の圧
電板が対応間隔を拡げたり狭めたりするのを交互に繰り
返して、タンク室内の流体容積の増減が交互に繰り返さ
れることによって、流体が吸入口から吸入されてタンク
室の流通路を通って吐出口から吐出されるのであって、
タンク室の側壁を突出させてタンク室の容積を小さくし
たことによって、ポンプの起動後タンク室内に流体が充
填される時間が少なくて済んで、定常の吐出を行なうま
での立上り時間を短縮することができ、また、流体が流
通路に沿って真直に流れることから、タンク室内で流体
の渦流が生じてエアー溜りができるのが防止されて、流
体をばらつきの小さいほぼ一定の流量で吐出することが
できる効果を奏する。
実施例 以下、本発明の一実施例を第1図及び第2図に基づいて
説明する。
図において、1は、平面略正方形を成す合成樹脂製のポ
ンプ本体であって、このポンプ本体1の上面及び下面に
、夫々一定深さの円形孔2,2が穿設され、この円形孔
2.2の間の仕切壁3に、一本の真直な流通路4が、正
方形の対応する二辺を結ぶようにして透設されており、
ポンプ本体1の流通路4の両端部の外側に対応する側面
に、夫々逆止弁7を備えた流体の吸入口5と吐出口6と
が形成され、この吸入口5と吐出口6が、夫々流通路4
の一端部と他端部に通孔8.8を介して連通されている
前記した仕切壁3の上下両側には、一対の圧電板11.
11が張設され、面圧電板11.11の間にタンク室I
Oが形成されており、この圧電板11は、第3図に示す
ように、電圧を印加することにより体積が変化するセラ
ミック板12の上下両面に電極被膜13.13を溶着し
、これを振動板14の一面に接着して固着したものであ
って。
この圧電板11の振動板14の外周にゴム製のシールリ
ング15が嵌着され、面圧電板11の振動板14.14
同士が互いに向い合う姿勢を取って、両シールリング1
5.15が円形孔2.2内に緊密に嵌入され、ポンプ本
体lの取付部17に植設した一対の電極棒18.18の
一方の電極棒18に、各圧電板11の振動板14.14
が、また、他方の電極棒18に、各圧電板11の外側の
電極被膜13.13が夫々リード線で接続されており。
さらに、各シールリング15の外側にリング形の抑圧体
20.20が当てられ、電極棒18を植設した取付部1
7の上下両面に、リード線との接続部分を保護するカバ
ー21.21を被着したのち、ポンプ本体lの上下両面
に蓋板22.22が当てられて、その四隅をボルト23
及びナツト24で締め付けることによって固定されてい
る。
次に、本実施例の作動を説明する。
電極棒18.18を交流電源に接続し、各圧電板11の
セラミック板12に正の電圧が印加されると、セラミッ
ク板12は歪みが生じ径方向に伸びようとし、ここにセ
ラミック板12の外側の面が自由に伸長し得るのに対し
て、内側の面が電極被膜13を介して振動板14に固着
されて拘束されていることから、セラミック板12が外
側に膨らんで、これに伴って圧電板11全体が外側に膨
らんで撓み、逆に、セラミック板12に負の電圧が印加
されると、セラミック板12は逆の歪みが生じて径方向
に縮もうとし、上記と同様にセラミック板12の内側の
面が拘束されていることから、セラミック板12が内側
に凹んで圧電板11全体が内側に撓み、セラミック板1
2.12に正負の電圧が交互に印加されることによって
、面圧電板】1.11が対応面が互いに離間する方向と
接近する方向に交互に撓み、面圧電板11.11が互い
に離間する方向に撓んでタンク室10の容積が増加した
ときに、吸入口5の逆止弁7が開くとともに吐出口6の
逆止弁7が閉じて、吸入口5からタンク室lOの流通路
4に流体が吸入され、面圧電板11.11が互いに接近
する方向に撓んでタンク室IOの容積が減少したときに
、吐出口6の逆止弁7が開くとともに吸入口5の逆止弁
7が閉じて、流通路4内の流体が吐出口6から吐出され
るのであって、タンク室10内に仕切壁3が形成されて
いて、タンク室10の容積が小さくなっていることから
、ポンプの起動後タンク室10内に流体が充填される時
間が少なくて済んで、定常の吐出が行なわれるまでの時
間が短縮され、また。
流体が流通路4に沿って真直に流れ、タンク室10内で
渦流を生じてエアー溜りができることがないから、エア
ー溜りの発生に起因する吐出流量のばらつきを小さく抑
えることができる。
なお、本実施例のピエゾポンプと、従来の面圧電板の間
の空間のすべてをタンク室としたピエゾポンプについて
、同じ吐出能力で使用した場合における吐出流量のばら
つきを測定すると、本実施例における流量のばらつきが
、従来のものに比べて、ばらつきの程度を示す数値にお
いておよそ1/10になることが実験により確認されて
いる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の分解斜視図、第2図は第1
図のA−A線断面図、第3図は圧電板の拡大側面図であ
る。 l:ポンプ本体 2:円形孔 3:仕切壁 4:流通路
 5:吸入口 6:吐出口 10:タンク室 11:圧
電板 12:セラミック板富3回

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ポンプ本体に透設した孔の両開放端部に、電圧の印加に
    より撓みを生ずる一対の圧電板を張設して、該両圧電板
    の間にタンク室を形成するとともに、該タンク室の中心
    を挟む両側に流体の吸入口と吐出口を設け、前記両圧電
    板を対応面が互いに離間する方向と接近する方向に交互
    に撓ませて前記タンク室の容積を交互に増減させること
    によつて、前記吸入口から前記タンク室内に吸入した流
    体を前記吐出口から吐出するようにしたピエゾポンプに
    おいて、前記タンク室の前記吸入口と前記吐出口を結ぶ
    方向の両側の側壁を内側に突出させて仕切壁を形成し、
    該仕切壁の対応面の間に前記吸入口から前記吐出口に達
    する流通路を形成したことを特徴とするピエゾポンプ
JP20929785A 1985-09-20 1985-09-20 ピエゾポンプ Pending JPS6270676A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20929785A JPS6270676A (ja) 1985-09-20 1985-09-20 ピエゾポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20929785A JPS6270676A (ja) 1985-09-20 1985-09-20 ピエゾポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6270676A true JPS6270676A (ja) 1987-04-01

Family

ID=16570613

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20929785A Pending JPS6270676A (ja) 1985-09-20 1985-09-20 ピエゾポンプ

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JP (1) JPS6270676A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109424521A (zh) * 2017-08-31 2019-03-05 研能科技股份有限公司 气体输送装置
CN110985359A (zh) * 2019-12-23 2020-04-10 中国电子科技集团公司第二十六研究所 表贴式压电微泵及其制作方法
US10801485B2 (en) 2017-08-31 2020-10-13 Microjet Technology Co., Ltd. Gas transportation device
CN116658400A (zh) * 2023-08-01 2023-08-29 常州威图流体科技有限公司 一种流体输送装置、液冷散热模组及微流控芯片

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CN116658400B (zh) * 2023-08-01 2023-09-29 常州威图流体科技有限公司 一种流体输送装置、液冷散热模组及微流控芯片

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