JPS6264185U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6264185U JPS6264185U JP15516785U JP15516785U JPS6264185U JP S6264185 U JPS6264185 U JP S6264185U JP 15516785 U JP15516785 U JP 15516785U JP 15516785 U JP15516785 U JP 15516785U JP S6264185 U JPS6264185 U JP S6264185U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permanent magnet
- linear motor
- bobbin
- moving element
- yoke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Description
第1図は本考案に係るリニアモータを適用した
XYステージの斜面図、第2図は第1図―線
断面図、第3図は第2図―線に沿う拡大断面
図、第4図および第5図は静圧空気軸受の特性を
表す図である。 2……リニアモータ、21……固定子、22…
…ヨーク、23……永久磁石、24……移動子、
25……ボビン、26……コイル、3……永久磁
石。
XYステージの斜面図、第2図は第1図―線
断面図、第3図は第2図―線に沿う拡大断面
図、第4図および第5図は静圧空気軸受の特性を
表す図である。 2……リニアモータ、21……固定子、22…
…ヨーク、23……永久磁石、24……移動子、
25……ボビン、26……コイル、3……永久磁
石。
Claims (1)
- ヨーク、永久磁石を有す固定子と、ボビンに駆
動コイルを巻付けた移動子とからなるリニアモー
タにおいて、前記ボビンには、移動子に鉛直方向
のプリロードを作用する永久磁石を配備したこと
を特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15516785U JPS6264185U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15516785U JPS6264185U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6264185U true JPS6264185U (ja) | 1987-04-21 |
Family
ID=31075627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15516785U Pending JPS6264185U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6264185U (ja) |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP15516785U patent/JPS6264185U/ja active Pending