JPS6264185U - - Google Patents

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JPS6264185U
JPS6264185U JP15516785U JP15516785U JPS6264185U JP S6264185 U JPS6264185 U JP S6264185U JP 15516785 U JP15516785 U JP 15516785U JP 15516785 U JP15516785 U JP 15516785U JP S6264185 U JPS6264185 U JP S6264185U
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JP
Japan
Prior art keywords
permanent magnet
linear motor
bobbin
moving element
yoke
Prior art date
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Pending
Application number
JP15516785U
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係るリニアモータを適用した
XYステージの斜面図、第2図は第1図―線
断面図、第3図は第2図―線に沿う拡大断面
図、第4図および第5図は静圧空気軸受の特性を
表す図である。 2……リニアモータ、21……固定子、22…
…ヨーク、23……永久磁石、24……移動子、
25……ボビン、26……コイル、3……永久磁
石。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ヨーク、永久磁石を有す固定子と、ボビンに駆
    動コイルを巻付けた移動子とからなるリニアモー
    タにおいて、前記ボビンには、移動子に鉛直方向
    のプリロードを作用する永久磁石を配備したこと
    を特徴とするリニアモータ。
JP15516785U 1985-10-09 1985-10-09 Pending JPS6264185U (ja)

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JP15516785U JPS6264185U (ja) 1985-10-09 1985-10-09

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JP15516785U JPS6264185U (ja) 1985-10-09 1985-10-09

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JPS6264185U true JPS6264185U (ja) 1987-04-21

Family

ID=31075627

Family Applications (1)

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JP15516785U Pending JPS6264185U (ja) 1985-10-09 1985-10-09

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JP (1) JPS6264185U (ja)

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