JPS6252932U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6252932U JPS6252932U JP14407785U JP14407785U JPS6252932U JP S6252932 U JPS6252932 U JP S6252932U JP 14407785 U JP14407785 U JP 14407785U JP 14407785 U JP14407785 U JP 14407785U JP S6252932 U JPS6252932 U JP S6252932U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cleaning
- support rods
- jig
- flat support
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 7
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
第１図から第３図は本考案の実施例を示すもの
で、第１図はウエーハを隔置する状態に組み立て
られた本考案のウエーハ洗浄用キヤリヤ治具の斜
視図、第２図は側板の正面図、第３図ａは支持棒
の正面図、第３図ｂは支持棒のＡ―Ａ線の断面図
、第４図は従来の代表的なウエーハ洗浄用治具で
ある。 図中、１……馬蹄形側板、２……支持棒、３…
…受溝、４，４′……端部、５……アールづけさ
れた稜線部、６……シヤープな稜線部、７，７′
，８，８′……貫通孔、９，９′……取付孔、１
０，１０′……側板の上端面。
で、第１図はウエーハを隔置する状態に組み立て
られた本考案のウエーハ洗浄用キヤリヤ治具の斜
視図、第２図は側板の正面図、第３図ａは支持棒
の正面図、第３図ｂは支持棒のＡ―Ａ線の断面図
、第４図は従来の代表的なウエーハ洗浄用治具で
ある。 図中、１……馬蹄形側板、２……支持棒、３…
…受溝、４，４′……端部、５……アールづけさ
れた稜線部、６……シヤープな稜線部、７，７′
，８，８′……貫通孔、９，９′……取付孔、１
０，１０′……側板の上端面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 一対の側板間に、左右対称にわたされる４本
の扁平な支持棒とで構成され、該４本の扁平な支
持棒は、それぞれ多数のウエーハ受け用切り込み
溝を内側にもち、外側の上縁がアールづけされ、
また下縁が０．５mm以下のアールのシヤープな陵
線に形成されると共に、それぞれの支持棒の扁平
面は、外側が下方に傾斜状に取り付けられている
ことを特徴とするウエーハ洗浄用キヤリヤ治具。 ２ 扁平な支持棒が、その両端部を上記側板に形
成された貫通孔に嵌入固定されている実用新案登
録請求の範囲第１項記載のウエーハ洗浄用キヤリ
ヤ治具。 ３ 側板が馬蹄形である実用新案登録請求の範囲
第１項記載のウエーハ洗浄用キヤリヤ治具。 ４ 下側の２本の扁平な支持棒が上側の２本の支
持棒よりも外側により傾斜させてなる実用新案登
録請求の範囲第１項記載のウエーハ洗浄用キヤリ
ヤ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14407785U JPS6252932U (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14407785U JPS6252932U (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6252932U true JPS6252932U (ja) | 1987-04-02 |
Family
ID=31054353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14407785U Pending JPS6252932U (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6252932U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102172584A (zh) * | 2011-02-14 | 2011-09-07 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅料方段酸洗专用装载装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6016543B2 (ja) * | 1978-12-20 | 1985-04-26 | 三井建設株式会社 | 天井仕上げ型枠と該型枠を利用したコンクリ−ト床スラブの施工方法 |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP14407785U patent/JPS6252932U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6016543B2 (ja) * | 1978-12-20 | 1985-04-26 | 三井建設株式会社 | 天井仕上げ型枠と該型枠を利用したコンクリ−ト床スラブの施工方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102172584A (zh) * | 2011-02-14 | 2011-09-07 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅料方段酸洗专用装载装置 |