JPS6252387B2 - - Google Patents

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JPS6252387B2
JPS6252387B2 JP9358681A JP9358681A JPS6252387B2 JP S6252387 B2 JPS6252387 B2 JP S6252387B2 JP 9358681 A JP9358681 A JP 9358681A JP 9358681 A JP9358681 A JP 9358681A JP S6252387 B2 JPS6252387 B2 JP S6252387B2
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JP
Japan
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bearing
master
support structure
glass master
disk
Prior art date
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Application number
JP9358681A
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Japanese (ja)
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JPS57208667A (en
Inventor
Takashi Ichanagi
Kyokazu Imanishi
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6252387B2 publication Critical patent/JPS6252387B2/ja
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B19/00Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
    • G11B19/20Driving; Starting; Stopping; Control thereof
    • G11B19/2009Turntables, hubs and motors for disk drives; Mounting of motors in the drive
    • G11B19/2027Turntables or rotors incorporating balancing means; Means for detecting imbalance
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B19/00Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
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    • G11B19/2009Turntables, hubs and motors for disk drives; Mounting of motors in the drive

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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Rotational Drive Of Disk (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ビデオデイスクの記録原盤を製作す
る装置(以下、カツテイングマシンと呼ぶ。)に
関し、特に、原盤上に記録される情報信号の隣接
トラツクピツチの精度向上に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for manufacturing a recording master disc for a video disc (hereinafter referred to as a cutting machine), and in particular to an apparatus for improving the accuracy of adjacent track pitches of information signals recorded on a master disc. It is.

ビデオデイスクの映像信号及び音声信号は、オ
ーデイオ用レコードと同様、樹脂製のデイスク上
に螺旋状に記録されているが、その記録密度は、
オーデイオ用レコードとは比較にならない程高
い。例えばV.H.D.方式のビデオデイスクでは、
隣接する螺線のトラツクピツチは1.35μである。
The video and audio signals of a video disc are recorded in a spiral on a resin disc, similar to audio records, but the recording density is
It's so expensive that it can't be compared to audio records. For example, on a VHD format video disc,
The track pitch of adjacent spirals is 1.35μ.

このビデオデイスクのレコード盤はスタンパと
呼ばれる成形型を用いて、樹脂を成形することに
よつて製作されるが、そのスタンパを作成するも
ととなる記録原盤は、ガラス円盤の表面にフオト
レジストを塗布した原盤と呼ばれるものに、映像
信号及び音声信号を担つたレーザ光線を、螺旋上
に走査させながら照射する(以下、カツテイング
と呼ぶ。)ことによつて作成される。
This video disc record is produced by molding resin using a mold called a stamper, but the recording master from which the stamper is made is a glass disc with photoresist applied to the surface. It is created by irradiating a coated master disc with a laser beam carrying video and audio signals while scanning it spirally (hereinafter referred to as cutting).

したがつて、ビデオデイスクのレコード盤の信
号記録精度は、このカツテイングの精度によつて
決まる。
Therefore, the accuracy of signal recording on a video disc record is determined by the accuracy of this cutting.

第1図にカツテイングを行なう装置、つまりカ
ツテイングマシンの概略構成を示す。
FIG. 1 shows a schematic configuration of a device for cutting, that is, a cutting machine.

原盤1は、軸受3によつて回転可能に支持され
た回転軸2に固定されており、D.D.モータ等の
回転駆動手段(図示せず)により回転運動を与え
られる。軸受3を塔載した送り台4は、送り台4
に固定されたナツト5を介し、該ナツト5と組合
された送りネジ6の回転により直線運動を与えら
れる。送りネジ6は、駆動モータ10により、減
速機9、軸継手8を経て駆動される。7は送りネ
ジを回転可能に支持する支持台である。11は、
送り台4の直線運動を案内するスライド軸受であ
る。信号の記録に用いるレーザ光線17は、レー
ザー発振器14によつて発生され、記録すべき映
像信号及び音声信号を変調器15によつて該レー
ザー光線に搬送せしめる。17は光学台19上に
固定されたミラーであり、レーザー光線18を原
盤上に垂直に入射させるものである。又、上述の
装置を塔載した定盤12は、空気ダンパ13によ
つて支持されており、床面の振動はカツテイング
装置に伝わらない構成となつている。
The master disc 1 is fixed to a rotating shaft 2 that is rotatably supported by a bearing 3, and is given rotational motion by a rotational drive means (not shown) such as a DD motor. The feed stand 4 on which the bearing 3 is mounted is the feed stand 4.
A linear motion is applied through a nut 5 fixed to the shaft 5 by rotation of a feed screw 6 combined with the nut 5. The feed screw 6 is driven by a drive motor 10 via a reduction gear 9 and a shaft coupling 8. 7 is a support base that rotatably supports the feed screw. 11 is
This is a slide bearing that guides the linear movement of the feed table 4. A laser beam 17 used for recording the signal is generated by a laser oscillator 14, and the video and audio signals to be recorded are conveyed into the laser beam by a modulator 15. Reference numeral 17 denotes a mirror fixed on the optical bench 19, which allows the laser beam 18 to be incident perpendicularly onto the master disc. Furthermore, the surface plate 12 on which the above-mentioned apparatus is mounted is supported by an air damper 13, so that vibrations from the floor are not transmitted to the cutting apparatus.

以上の構成により、固定されたレーザ光線21
に対して、原盤1が相対的に直線及び回転の運動
を同時に行ない、原盤上に螺旋状の記録がなされ
る。一例としてV.H.D.方式のビデオデイスクの
カツテイングでは、原盤1の回転速度は
900rpm,送り台4の移動速度は1.215mm/minで
ある。
With the above configuration, the fixed laser beam 21
On the other hand, the master disc 1 simultaneously performs linear and rotational movements relative to the original disc, and a spiral recording is made on the master disc. For example, when cutting a VHD video disc, the rotational speed of master disc 1 is
900 rpm, and the moving speed of the feed table 4 is 1.215 mm/min.

さて、カツテイングマシンで原盤に記録された
信号は、そのままビデオデイスクに転写されるこ
とになるが、この記録信号のトラツクピツチ精度
は、再生画像及び音声の品質に重大な影響を及ぼ
す。つまり、カツテイングマシンにおいて、原盤
と、記録レーザ光線とが、所定の相対運動を正し
く行なわない場合には、記録される螺旋状のトラ
ツクが、ゆらぎ、トラツクピツチが変動する。こ
のトラツクピツチの変動は、ビデイスクの信号再
生時、再生用ピツクアツプが正しく記録トラツク
上を走行することを困難にするものであり、又、
極端な場合には、隣接するトラツクがオーバーラ
ツプし、信号の記録再生自体が不可能になる。
Now, the signals recorded on the master disk by the cutting machine are transferred as they are to the video disk, but the track pitch accuracy of this recorded signal has a significant effect on the quality of reproduced images and sounds. That is, in a cutting machine, if the master disc and the recording laser beam do not correctly perform a predetermined relative movement, the recorded spiral track will fluctuate and the track pitch will vary. This variation in track pitch makes it difficult for the reproducing pick-up to run correctly on the recording track when reproducing signals from the video disk.
In extreme cases, adjacent tracks overlap, making it impossible to record or reproduce signals.

したがつて、カツテイングマシンに要求される
機械精度は、記録レーザ光線と、原盤が、正し
く、所定の相対運動を行なうよう、 1 送り台が、低速(数mm/分)でなめらかに等
速直線運動を行なうこと。
Therefore, the mechanical precision required of a cutting machine is to ensure that the recording laser beam and the master disk perform the correct relative movement.1. To perform linear motion.

2 原盤の回転速度が一定で、かつ回転精度が高
いこと。
2. The rotational speed of the master disc is constant and the rotational accuracy is high.

である。It is.

さて、一般に、カツテイングマシンにおいて
は、原盤1を回転軸2にセツトする際の、原盤の
中心と、回転軸の中心が、取付時の寸法誤差によ
りずれを生じ、回転軸と原盤を組み合せた回転体
は不釣合を有する回転体となり、原盤の回転駆動
に伴なつて、回転に同期した不釣合遠心力を発生
し、原盤が振れまわりを発生し、回転精度が低下
するとともに、送り台に、前記の不釣合遠心力が
加振力として働き、送り台の等速運動を阻害し、
更には、カツテイングマシン全体の構造に振動を
発生させ、記録トラツクピツチの精度を低下させ
ることになる。
Now, in general, in cutting machines, when the master 1 is set on the rotating shaft 2, the center of the master and the center of the rotating shaft may be misaligned due to dimensional errors during installation, and when the rotating shaft and the master are combined. The rotating body becomes an unbalanced rotating body, and as the master disk rotates, it generates an unbalanced centrifugal force that is synchronized with the rotation, causing the master disk to whirl around, reducing rotation accuracy, and causing The unbalanced centrifugal force of
Furthermore, vibrations are generated in the entire structure of the cutting machine, reducing the recording track pitch accuracy.

この問題点を解決するため、原盤セツト時に、
原盤と回転軸よりなる回転体のバランスを取るこ
とが従来行なわれている。
To solve this problem, when setting the master,
Conventionally, a rotating body consisting of a master disk and a rotating shaft is balanced.

第2図は、従来行なわれているバランシングの
方法を示すものである。
FIG. 2 shows a conventional balancing method.

原盤1の回転に伴なつて発生する送り台4の振
動を適当な変位検出手段23を用いて検出し、該
検出信号を用いて、不釣合量、及び不釣合位置を
計算し、カウンターバランスを回転テーブル22
の外周部に設けた溝27に取り付けることによつ
て釣合いをとるものである。
The vibration of the feed base 4 that occurs as the master disk 1 rotates is detected using an appropriate displacement detection means 23, and the detection signal is used to calculate the amount of unbalance and the unbalance position, and the counterbalance is set on the rotary table. 22
Balance is achieved by attaching it to a groove 27 provided on the outer periphery of the cylinder.

しかし、上記従来のバランシング方法では、変
位検出器23の変位検出精度の範囲でしかバラン
スをとることはできない。したがつて、例えばト
ラツクピツチのアンバランス振動による誤差を、
0.05μ以下になる様、バランスを取るためには、
当然、0.05μ以上の分解能を有する変位検出器が
必要になる。
However, with the conventional balancing method described above, balance can only be achieved within the range of displacement detection accuracy of the displacement detector 23. Therefore, for example, the error caused by unbalanced vibration of the track pitch can be
In order to maintain a balance so that it is less than 0.05μ,
Naturally, a displacement detector with a resolution of 0.05μ or more is required.

ビデオデイスクの記録信号のトラツクピツチは
例えばV.H.D.方式では1.35μであり、したがつ
て、トラツクピツチの許容誤差を±5%と設定す
れば、±0.0675μのトラツクピツチ誤差が許され
るのみである。当然バランシング時の変位検出器
の分解能は0.0675μないしはそれ以上の極めて高
い分解能が要求される。
The track pitch of a video disc recording signal is, for example, 1.35 μ in the VHD system. Therefore, if the track pitch tolerance is set to ±5%, only a track pitch error of ±0.0675 μ is allowed. Naturally, the resolution of the displacement detector during balancing requires an extremely high resolution of 0.0675μ or more.

従来のカツテイングマシンにおけるバランシン
グ方法ではレーザ光線を用いたマイケルソン干渉
法を利用してこの変位検出を行なつているが、差
動トランス等の通常の変位検出手段と異なり、外
乱振動に敏感で、かつ信号処理が複雑になり、
又、装置自体の構成が複雑で、コストアツプの要
因となるという問題点があつた。
Conventional balancing methods for cutting machines use Michelson interferometry using a laser beam to detect this displacement, but unlike ordinary displacement detection means such as differential transformers, it is sensitive to external vibrations. , and signal processing becomes complicated.
Further, the structure of the device itself is complicated, which causes a problem of increased costs.

本発明は上記従来のカツテイングマシンにおけ
るバランシング方法の有する問題点を解決するも
のである。
The present invention solves the problems of the above-mentioned conventional balancing method in cutting machines.

第3図に本発明の一実施例を示す。 FIG. 3 shows an embodiment of the present invention.

第3図において、原盤1を塔載した回転軸2を
支承する軸受3は、板バネ等よりなるバネ部材2
9,30を介して、送り台4に固定されたブロツ
ク31,34に支持されている。又、32は、空
気シリンダであり、そのピストンロツドの先端に
は、軸受3の外周面に当接させるブロツク33が
取り付けられており、圧縮空気源37より、加圧
された空気を空気シリンダ32に供給することに
より、軸受3は、ブロツク31に設けた軸受当接
面36と、前記ブロツク33の間に強固にクラン
プされる構成となつている。
In FIG. 3, a bearing 3 supporting a rotating shaft 2 on which a master 1 is mounted is a spring member 2 made of a plate spring or the like.
It is supported via blocks 9 and 30 by blocks 31 and 34 fixed to the feed base 4. Reference numeral 32 denotes an air cylinder, and a block 33 is attached to the tip of the piston rod to abut against the outer peripheral surface of the bearing 3. Pressurized air is supplied to the air cylinder 32 from a compressed air source 37. By supplying the bearing 3, the bearing 3 is firmly clamped between the bearing abutting surface 36 provided on the block 31 and the block 33.

さて、上記の構成を有するカツテイングマシン
で、原盤セツト時のバランシングは以下の要領で
行なわれる。
Now, in the cutting machine having the above configuration, balancing when setting the master is performed in the following manner.

まず原盤1をターンテーブル22上に固定し、
D.D.モータ等の駆動手段(図示せず)を用い
て、回転軸2を回転駆動する。回転に伴なつて発
生する軸受3の振動を、変位検出手段28を用い
て、その振動振巾及び、回転軸の回転に対する位
相のずれを検出し、回転体中の不釣合量の大きさ
及び位置を計算する。この結果にもとずいて、不
釣合を修正すべく、回転テーブル22の外周部に
設けた溝の所定の位置に所定の量の補正おもりを
取りつける。以上の手順を、不釣合回転により発
生する軸受3の振動振巾が所定の値以下になるま
で繰り返し、回転体の不釣合量を修正する。
First, fix the master disc 1 on the turntable 22,
The rotating shaft 2 is driven to rotate using a driving means (not shown) such as a DD motor. The displacement detection means 28 is used to detect the vibration amplitude of the bearing 3 that occurs as the bearing 3 rotates, and the phase shift with respect to the rotation of the rotating shaft, thereby determining the magnitude and position of the unbalance in the rotating body. Calculate. Based on this result, a predetermined amount of correction weight is attached to a predetermined position in a groove provided on the outer periphery of the rotary table 22 in order to correct the unbalance. The above procedure is repeated until the vibration amplitude of the bearing 3 caused by the unbalanced rotation becomes equal to or less than a predetermined value, thereby correcting the amount of unbalance of the rotating body.

以上によつてバランシングを行なつた後、空気
シリンダ32を用いて、軸受3を送り台にクラン
プし、実際のカツテイング工程に入る。
After performing the balancing as described above, the bearing 3 is clamped to the feed base using the air cylinder 32, and the actual cutting process begins.

上記の構成及び、手順でバランスを取ることに
より、バランシングの精度が向上し、したがつて
カツテイングの際の記録トラツクピツチの精度が
向上する理由を以下に述べる。
The reason why the accuracy of balancing is improved by achieving balance with the above configuration and procedure, and therefore the accuracy of recording track pitch during cutting is improved will be described below.

第4図は、後述のバランシングにおける、機械
構造をモデル化したものである。つまり、質量
m0の物体50は送り台、及び送り台に塔載され
た軸受等の質量を表わし、バネ定数k0のバネ51
は、送り台を支持する、送りネジ或は、スライド
軸受等の支持剛性を表わすものである。不釣合を
有する回転体の回転に起因する遠心力はここで強
制振動外力F0sinωtとして表現される。ここで
F0は回転体の不釣合量をmr、回転速度をωとす
ると以下の関係がある。
FIG. 4 is a model of the mechanical structure used in balancing, which will be described later. That is, the mass
The object 50 with m 0 represents the mass of the feed table and the bearings mounted on the feed table, and the spring 51 with a spring constant k 0
represents the support rigidity of the feed screw, slide bearing, etc. that supports the feed base. The centrifugal force caused by the unbalanced rotation of the rotating body is expressed here as a forced vibration external force F 0 sinωt. here
F 0 has the following relationship, where mr is the unbalance amount of the rotating body and ω is the rotational speed.

F0=mrω (1) この機械系の運動方程式は、xを質量m0の物
体50の重心の位置座標として(2)式で表わされ
る。
F 0 =mrω 2 (1) The equation of motion of this mechanical system is expressed by equation (2), where x is the position coordinate of the center of gravity of the object 50 with mass m 0 .

m0x+k0x=mrω2sinωt (2) (2)式を解くことによつて、質量m0の物体50
の振動振巾x0は(3)式で与えられる。
m 0 x+k 0 x=mrω 2 sinωt (2) By solving equation (2), the object 50 of mass m 0
The vibration amplitude x 0 is given by equation (3).

(3)式をグラブで表わすと第5図の曲線Aの如く
になる。
If equation (3) is expressed using a graph, it will look like curve A in Figure 5.

今、具体例として、送り台及び送り台に塔載さ
れた物体の全体の重量、つまり、m0に相当する
物体50の重量を70Kgf、支持系の等価バネ定性
を2Kg/μとすると、系の共振速度は約5060r.p.
m.となり、回転体の回転速度は900r.p.m.である
ので、共振点より低く、図中の点Pに相当する。
Now, as a specific example, if the total weight of the feed table and the object mounted on the feed table, that is, the weight of the object 50 corresponding to m 0 , is 70 Kgf, and the equivalent spring constant of the support system is 2 Kg/μ, then the system The resonance speed of is approximately 5060r.p.
m. Since the rotational speed of the rotating body is 900 rpm, it is lower than the resonance point and corresponds to point P in the figure.

さて、送り台は、不釣合を有する回転体の回転
に伴なつて振動を発生するが、この振動の許容振
巾が0.05μであるとすると、(3)式より回転体に許
される不釣合量は約10g・cm以下でなければなら
ないことになる。無論、バランシングにおいて
は、振動変位検出器の検出分解能は0.05μ以上上
でなければならない。
Now, the feed table generates vibrations as the unbalanced rotating body rotates, but if the allowable amplitude of this vibration is 0.05μ, then from equation (3), the amount of unbalance allowed for the rotating body is It must be approximately 10 g cm or less. Of course, in balancing, the detection resolution of the vibration displacement detector must be 0.05μ or more.

次に、第6図は、第3図に示した本発明による
バランシングの機械構造をモデル化したものであ
る。バネ51は、第4図と同様、送り台を支持す
る、送りネジ、或は、スライド軸受の剛性を代表
するものである。質量m1の物体53は、送り台
及び送り台に固定された物体、つまり第3図の
4,31,32,33,34等の質量を表わし、
質量m2の物体54は同様に、軸受3、回転軸
2、原盤1等の質量を表現している。バネ定数k2
のバネ55は、軸受3を支持するバネ部材29及
び30を表わしている。
Next, FIG. 6 is a model of the mechanical structure of the balancing according to the present invention shown in FIG. 3. Similarly to FIG. 4, the spring 51 represents the rigidity of the feed screw or slide bearing that supports the feed base. The object 53 with mass m 1 represents the mass of the feed table and objects fixed to the feed table, that is, the masses of 4, 31, 32, 33, 34, etc. in FIG. 3,
Similarly, an object 54 having a mass m 2 represents the masses of the bearing 3, the rotating shaft 2, the master disc 1, etc. Spring constant k 2
The spring 55 represents the spring members 29 and 30 that support the bearing 3.

この系は、2質点を有する2自由度の振動系で
あるが、k2≪k0なる様、バネ部材29,30のバ
ネ剛性は設定され、近似的には、m2,k2よりな
る1自由度の振動系と見なされる。従つて、この
場合の振動振巾x20は近似的に次式で表わされ
る。
This system is a two-degree-of-freedom vibration system with two mass points, but the spring stiffness of the spring members 29 and 30 is set so that k 2 ≪ k 0 , and approximately consists of m 2 and k 2 It is considered a vibrating system with one degree of freedom. Therefore, the vibration amplitude x20 in this case is approximately expressed by the following equation.

ここでm2に相当する物体の重量を30Kgf、バ
ネ部材29,30のバネ剛性k2を50Kgf/cmとす
ると、系の共振速度は386r.p.m.であり、前記の
10g・cmの不釣合量がある場合、振動振巾x20
(3)式を用いて計算すれば第4μとなる。
Here, if the weight of the object corresponding to m 2 is 30 Kgf and the spring stiffness k 2 of the spring members 29 and 30 is 50 Kgf/cm, the resonance speed of the system is 386 r.pm, and the above
If there is an unbalance of 10 g cm, the vibration amplitude x 20 is
If calculated using equation (3), it will be the 4th μ.

つまり、4μの検出分解能を有する変位計を使
用することで10g・cmの精度のバランシングが可
能になることになる。つまり、バランシングの精
度が約80倍に向上したことになる。
In other words, by using a displacement meter with a detection resolution of 4μ, it is possible to achieve balancing with an accuracy of 10g·cm. In other words, the accuracy of balancing has been improved by approximately 80 times.

これは、支持系のバネ剛性を小さく、又、支持
される物体の質量を小さくすることにより振動振
巾の周波数特性が、第5図の曲線Bで示すごとく
変化し、同一の試験速度(図中のωs)のもとで
振動振巾はP点からQ点に変化し、振動振巾が拡
大されたことによるものである。
This is because by reducing the spring stiffness of the support system and the mass of the supported object, the frequency characteristics of the vibration amplitude change as shown by curve B in Figure 5, and at the same test speed (Fig. This is because the vibration amplitude changes from point P to point Q under ω s ), and the vibration amplitude is expanded.

さて、このままの系の状態で、カツテイングを
行えば、当然、系は10g・cmの残留不釣合量によ
つて4μの振巾で振動を発生することになるが、
本発明は、バランシングの後は、物体54を物体
53に強固にクランプし、バネ剛性k2をほぼ無限
大とすることによつて、従来と同様の支持構造に
戻し、従つて振動振巾を0.05μに抑えるものであ
る。つまり、第3図に示す如く、カツテイング時
には、空気シリンダを用いて、軸受3を送り台に
クランプするのはこのためである。
Now, if cutting is performed with the system as it is, the system will naturally generate vibrations with an amplitude of 4 μ due to the residual unbalance of 10 g cm.
After balancing, the present invention firmly clamps the object 54 to the object 53 and makes the spring stiffness k 2 almost infinite, thereby returning to the same support structure as before, thereby reducing the vibration amplitude. This is to suppress it to 0.05μ. That is why, as shown in FIG. 3, the bearing 3 is clamped to the feed base using an air cylinder during cutting.

要は、原盤セツト時のバランシング工程におい
てのみ、支持系のバネ剛性を小さくし、不釣合回
転によつて発生する振動振巾を拡大することによ
つて、従来、レーザー測長器を用いなければ不可
能であつたバランシング精度を、通常の変位検出
器(例えば差動トランス等)を用いて容易に達成
することを可能にするものである。
The key point is that only in the balancing process when setting the master, the spring stiffness of the support system is reduced and the vibration amplitude generated by unbalanced rotation is expanded, which would otherwise be necessary without using a laser length measuring device. This makes it possible to easily achieve the previously possible balancing accuracy using an ordinary displacement detector (for example, a differential transformer, etc.).

尚、上記の説明では、柔に支持した時の系の共
振速度ωは、試験速度ωsより小さくなる場合
を示したが、ωs<ω<ωの場合でも、振動
振巾が拡大され、相応の効果が得られることは明
らかである。
In the above explanation, the resonance speed ω 2 of the system when supported flexibly is smaller than the test speed ω s , but even if ω s < ω 2 < ω 0 , the vibration amplitude is It is clear that this can be expanded to a corresponding degree.

但し、ωがωsに近い場合には、系は共振状
態に入るため、位相が不安定になることがあるの
で注意を要する。
However, if ω 2 is close to ω s , the system enters a resonance state and the phase may become unstable, so care must be taken.

又、上記の説明では、同一の許容不釣合量に対
して、本発明のバランシングを用いることによ
り、変位検出器に要求される検出分解能が、緩和
されることを述べたが、同一の変位検出器を用い
る場合には、回転体のバランシングの精度が向上
し、したがつて不釣合回転に伴なう振動が小さく
なり、カツテイングの際のトラツクピツチ精度を
向上させることが可能であることは明らかであ
る。
Furthermore, in the above explanation, it was stated that by using the balancing of the present invention for the same allowable unbalance amount, the detection resolution required of the displacement detector is relaxed. It is clear that when using this method, the accuracy of the balancing of the rotating body is improved, the vibrations accompanying the unbalanced rotation are reduced, and the track pitch accuracy during cutting can be improved.

第7図は本発明の他の実施例を示すもので、軸
受3は、送り台4に固定された空気軸受ホルダー
35によつて支持されている。44は、圧縮空気
源であり、給気路40を経て、前記空気軸受ホル
ダーの気体供給口へ、圧縮空気を供給する。供給
された圧縮空気は、空気軸受ホルダー内壁面と、
軸受3の外周面との間のせまいすきま42,43
内に空気の圧力膜を形成し、非接触で軸受3を支
持する。つまり、第3図の実施例のバネ部材2
9,30に相当するものとして本実施例では、空
気軸受を用いている。又、45は、真空吸引源で
あり、軸受3の底面に形成されるすきま43の部
分の気体を排気路41を通じて排除し、軸受3
を、空気ホルダー35の底面に吸着固定するもの
である。つまり、バランシング時にはバルブ46
を開、バルブ47を閉の状態にし、軸受3を空気
軸受によつて柔に支持し、カツテイング時には、
46を閉、47を開状態にし、軸受3を強固に送
り台に固定するものである。
FIG. 7 shows another embodiment of the invention, in which the bearing 3 is supported by an air bearing holder 35 fixed to the carriage 4. In FIG. 44 is a compressed air source, which supplies compressed air to the gas supply port of the air bearing holder through the air supply path 40. The supplied compressed air is connected to the inner wall surface of the air bearing holder,
Narrow clearance 42, 43 between the outer peripheral surface of the bearing 3
A pressure film of air is formed inside the bearing 3 to support the bearing 3 without contact. In other words, the spring member 2 of the embodiment shown in FIG.
In this embodiment, air bearings are used as equivalents to the bearings 9 and 30. Further, 45 is a vacuum suction source, which removes the gas in the gap 43 formed on the bottom surface of the bearing 3 through the exhaust path 41, and
is suctioned and fixed to the bottom surface of the air holder 35. In other words, during balancing, the valve 46
is opened, the valve 47 is closed, the bearing 3 is supported flexibly by the air bearing, and during cutting,
46 is closed and 47 is opened to firmly fix the bearing 3 to the feed base.

無論第6図において軸受3の外形は、4角柱状
であり、空気軸受ホルダ内で軸受3が回転しない
構造となつている。
Of course, in FIG. 6, the outer shape of the bearing 3 is a quadrangular prism, and the bearing 3 is structured so that it does not rotate within the air bearing holder.

以上詳述した如く、本発明によれば、高精度の
バランシングを容易に行なうことができ、原盤カ
ツテイング時の不釣合回転によつて発生する振動
を抑圧することが可能になり、又、従来、レーザ
測長器でしか検出不可能であつた振動検出が、通
常の変位検出器(例えば、容量変位計、差動トラ
ンス型変位計)によつても行なうことが可能にな
り装置の簡略化、コストダウンが図れる。
As detailed above, according to the present invention, it is possible to easily perform highly accurate balancing, and it is possible to suppress vibrations caused by unbalanced rotation during master cutting. Vibration detection, which could only be detected with a length measuring device, can now be performed with a normal displacement detector (e.g., capacitive displacement meter, differential transformer type displacement meter), simplifying the equipment and reducing costs. You can aim for down.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はビデオデイスクカツテイングマシンの
概略構成の側面図、第2図は従来のカツテイング
マシンの側面図、第3図は本発明の一実施例のカ
ツテイングマシンの側面図、第4図は従来の不釣
合修正方法の説明図、第5図は本発明による不釣
合修正方法の説明図、第6図はバランシング時
の、試験速度と、振動振巾の関係説明図、第7図
は本発明の他の実施例のカツテイングマシンの側
面図である。 1……ガラス原盤、2……回転軸、3……軸
受、4……送り台、28……変位検出手段、2
9,30……バネ部材。
Fig. 1 is a side view of a schematic configuration of a video disk cutting machine, Fig. 2 is a side view of a conventional cutting machine, Fig. 3 is a side view of a cutting machine according to an embodiment of the present invention, and Fig. 4 5 is an explanatory diagram of the conventional unbalance correction method, FIG. 5 is an explanatory diagram of the unbalance correction method according to the present invention, FIG. 6 is an explanatory diagram of the relationship between test speed and vibration amplitude during balancing, and FIG. 7 is an explanatory diagram of the present invention. It is a side view of the cutting machine of another Example. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Glass master disc, 2...Rotating shaft, 3...Bearing, 4...Feeding stand, 28...Displacement detection means, 2
9, 30... Spring member.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 回転駆動手段を有する回転軸を支承する軸受
を、直線運動を行なう送り台上に搭載し、前記回
転軸に取り付けた円盤状のガラス原盤に回転と直
進の運動を与え、前記ガラス原盤に、記録信号を
有するレーザー光線を照射し、前記ガラス原盤上
に、螺旋状に情報信号を加工記録するデイスク記
録原盤作成装置において、前記軸受は前記送り台
に対して、板バネ等のバネ要素を介して柔に支持
する柔支持構造と、機械的にクランプ、或は、真
空吸引等の方法を用いて、強固に支持する剛支持
構造とによつて支持されており、前記ガラス原盤
を、前記回転軸に取り付け、前記支持構造を柔支
持構造とし回転させ、更に回転不釣合量によつて
発生する前記軸受の振動を、振動検出手段により
検出した後、前記支持構造を剛支持構造とし、所
定の情報記録を行なうことを特徴とする、デイス
ク記録原盤作成装置。
1. A bearing that supports a rotating shaft having a rotational drive means is mounted on a feed table that performs linear motion, and a disk-shaped glass master disk attached to the rotating shaft is given rotational and linear movement, and the glass master disk is subjected to rotational and linear movement. In a disk recording master production device that processes and records information signals in a spiral shape on the glass master disc by irradiating a laser beam having a recording signal, the bearing is connected to the feed base through a spring element such as a plate spring. The glass master is supported by a flexible support structure that supports the glass master softly, and a rigid support structure that firmly supports the glass master using a method such as mechanical clamping or vacuum suction. The support structure is set as a flexible support structure and rotated, the vibration of the bearing generated by the amount of rotational unbalance is detected by the vibration detection means, the support structure is set as a rigid support structure, and predetermined information is recorded. A disk recording master production device characterized by performing the following.
JP9358681A 1981-06-16 1981-06-16 Producing device of disk recording original board Granted JPS57208667A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0628466U (en) * 1992-09-18 1994-04-15 大日本スクリーン製造株式会社 Pipe fitting

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0628466U (en) * 1992-09-18 1994-04-15 大日本スクリーン製造株式会社 Pipe fitting

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