JPS5996565A - Forming device of original disc for recording - Google Patents

Forming device of original disc for recording

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Publication number
JPS5996565A
JPS5996565A JP20712082A JP20712082A JPS5996565A JP S5996565 A JPS5996565 A JP S5996565A JP 20712082 A JP20712082 A JP 20712082A JP 20712082 A JP20712082 A JP 20712082A JP S5996565 A JPS5996565 A JP S5996565A
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JP
Japan
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feed
sliding
recessed parts
bearing
slide
Prior art date
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Pending
Application number
JP20712082A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyokazu Imanishi
清和 今西
Yasuo Sakurai
康雄 桜井
Takashi Ichiyanagi
一柳 高「し」
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS5996565A publication Critical patent/JPS5996565A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/0057Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B17/00Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor

Landscapes

  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To suppress sharply stick slip vibration and vibration due to the unbalanced rotation of an original disc or the like by forming a guiding part supporting a vertical load out of a sliding bearing of a feeding board as a sliding surface consisting of resin and forming recessed parts on the sliding surface to supply pressed air into the recessed parts. CONSTITUTION:Two recessed parts 37 are formed on a resin coating layer formed on the lower surface of a sliding block 32. Air feeding holes 38 for discharging gas are formed on the bottoms of the recessed parts 37 respectively and pressed air supplied from a pressed air source 39 such as a compressor is supplied to the recessed parts 37. The connection surface pressure between the surfaces of the resin coating layers 35, 36 on the lower surface of the sliding block and the upper surfaces of the sliding guides 30, 31 can be optionally set up by adjusting the pressure of the pressed air to be supplied to the recessed parts 37. Since a resin material reducing the difference between a statical friction factor and a dynamic friction factor is adopted as the sliding surface and contact force between the contact surfaces is reduced by air pressure, the generation of stick slip is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はビデオディスクあるいは、ディジタルオーディ
オディスク等のレコード盤を作成するだめの原盤を作成
するディスク記録原盤作成装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a disc recording master production apparatus for producing a master disc for producing a video disc or a record disc such as a digital audio disc.

従来例の構成とその問題点 従来のディスク記録原盤作成装防の概略の構成の例を第
1図に示す。1は表面に)、lトレジストを塗布したガ
ラスよシなる記録原盤であり、軸受2によって回転支持
された回転1IIII13に固定されており、DDモー
タ等の回転駆動手段(図示ぜず)により回転運動を力え
られる。軸受2を塔載した送り台4は2、送り台4に固
定されたナソl−5を介し、該ナツト5と組合された送
りネジ6の回転により直線運動を与えられる。送りネジ
9は、駆動モータ7により、減速機8.軸継手9を経て
駆動される。10は送りネジを回転可能に支持する支持
台である。11は送り台4の直線運動を案内するスライ
ド軸受であシ、工作機械の刃物台等に使用されるすべり
軸受が用いられている。
Conventional configuration and its problems An example of a schematic configuration of a conventional disk recording master production device is shown in FIG. Reference numeral 1 denotes a recording master disk made of glass coated with a resist on the surface thereof, and is fixed to a rotating shaft 1III13 that is rotatably supported by a bearing 2, and is rotated by a rotation drive means (not shown) such as a DD motor. can be strengthened. The feed table 4 on which the bearing 2 is mounted is given linear motion by rotation of a feed screw 6 combined with the nut 5 via a naso l-5 fixed to the feed table 4. The feed screw 9 is driven by the drive motor 7 into the reducer 8. It is driven via the shaft coupling 9. Reference numeral 10 denotes a support base that rotatably supports the feed screw. Reference numeral 11 denotes a slide bearing that guides the linear motion of the feed base 4, and a slide bearing used in a tool rest of a machine tool, etc. is used.

原盤への画像や音声情報の記録(以下カッティングとも
呼ぶ)は、レーザー光線12により行なわれる。レーザ
ー光線12は、レーザー発振器13によって発生され、
記録すべき映像信号及び音声信号は変調器14によって
、該レーザー光線に搬送せしめる。16は光学台16に
固定されたミラーであり、レーザー光線12を原盤上に
垂直に入射させるものである。又、上述の装置を塔載し
た定盤18は、空気ダンパ19によって支持されており
、床面の振動がディスク原盤記録装置に伝わらない構成
となっている。
Recording of images and audio information on the master disc (hereinafter also referred to as cutting) is performed using a laser beam 12. The laser beam 12 is generated by a laser oscillator 13,
The video and audio signals to be recorded are conveyed to the laser beam by a modulator 14. Reference numeral 16 denotes a mirror fixed to the optical bench 16, which allows the laser beam 12 to enter the master disc perpendicularly. Further, the surface plate 18 on which the above-mentioned device is mounted is supported by an air damper 19, so that vibrations from the floor are not transmitted to the disk master recording device.

以上の構成により、固定されたレーザー光線17に対し
て、原盤1が相対的に、直線及び回転の運動を同時に行
ない、原盤上に螺旋状に信号がカッティングされていく
。カッティングされた原盤をもとに、エツチング、電鋳
等の工程を経て、最終のレコード盤を樹脂成形するだめ
のスタンバ−と呼ばれる成形金型が作成される。しだが
って、ディスク記録原盤作成装置でカッティングされた
信号は、そのままレコード盤に転写されることになるが
、この記録信号のトラックピッチ精度は、再生画像及び
音声の品質に重大な影響を及IHす。つまり、ディスク
記録原盤作成装置において、原盤と、レーザー光線とが
所定の相対運動を行なわない場合には、記録される螺旋
状のトラックが、ゆらぎ、トランクピッチが変動する。
With the above configuration, the master disc 1 simultaneously performs linear and rotational movements relative to the fixed laser beam 17, and a signal is cut spirally onto the master disc. Based on the cut master disc, a mold called a stambar is created through processes such as etching and electroforming to mold the final record disc. Therefore, the signal cut by the disc recording master production device will be transferred to the record as is, but the track pitch accuracy of this recorded signal has a significant impact on the quality of the reproduced image and sound. IH. That is, in the disk recording master production apparatus, if the master and the laser beam do not perform a predetermined relative movement, the recorded spiral track will fluctuate and the trunk pitch will fluctuate.

このトランクピッチの変動は1.レコード盤の伯号阿生
時、11」牛用ピックアップが正しく記録トラック上を
走行することを困難にするものであり、又、枠端な」場
合には、隣接する記録トランクがオーバーランプし、信
号の記録再生自体が不可能になる。したがって、ディス
ク記録原盤作成装置の機構部、特に送り台の直線運動は
極めて高い精度が要求される。ちなみに、VHDビデオ
ディスクのディスク記録原盤作成装置においては、隣接
するl・ラックピッチは1.3571±0.1μの精度
を確保する必要があり、原盤の回転数が90Orpmで
あるので送9台の送り速度は1 、215ran/mM
という極低速である。
This trunk pitch variation is 1. When recording a record, it makes it difficult for the cattle pickup to drive correctly on the recording track, and in the case of a frame edge, the adjacent recording trunk will over-ramp, Recording and reproducing of the signal itself becomes impossible. Therefore, extremely high precision is required for the linear movement of the mechanical parts of the disk recording master production apparatus, especially the feed base. By the way, in a disc recording master production device for VHD video discs, it is necessary to ensure an accuracy of 1.3571±0.1μ for the adjacent l/rack pitch, and since the master disc's rotational speed is 90 Orpm, the number of Feed rate is 1,215ran/mM
This is an extremely slow speed.

この様な極低速下で、かつ、回転体を塔載した相当重量
の送り台を、1.36μ尚り0.1μ以下の送りムラと
いう極めてスムーズに送る上で、前記従来のディスク記
録原盤作成装置は以下の問題点を有している。つ寸り、
重量物を極低速で摺動させる場合、送り台のスライド軸
受がすべり軸受で構成されていると、不安定な振動であ
るスティックスリップが起こり、送り台の送り速度にム
ラが生じ、所定のトラックピッチ精度が4′1C保され
ないという点である。このスティックスリップ現象は、
例えば、静圧気体軸受、或はころがり軸受をスライド軸
受部に採用することにより、jQIj消、もしくは、犬
IJに低減されることが知られているが、反面、送り台
に塔載された原盤及び回転11+からなる回転体の不釣
合回転による遠心力により、送り台に、原盤の回転に同
期した振動力が加えられるため、送り台が振動するとい
う課題があり、実用上、使用不可能である。一方、すべ
り軸受を用いたスライド軸受の場合には、この不釣合回
転による振動力は、摺動部分での摩擦による振動エネル
ギの吸収により、送り台の振動は起こらないが、前述の
如く、ステインクスリップ振動発生の問題がある。いず
れにせよ、従来知られている軸受の形式では、スティッ
クスリップ、或は、原盤の回転不釣合による振動を、0
.1μ以下の振11Jに抑えるのは極めて困難であった
Under such extremely low speeds, and in order to feed a considerably heavy feed table carrying a rotating body extremely smoothly with a feed unevenness of 1.36μ or less than 0.1μ, the above-mentioned conventional disk recording master production method was used. The device has the following problems. One size,
When sliding a heavy object at extremely low speeds, if the slide bearing of the feeder is composed of a plain bearing, stick-slip, which is unstable vibration, will occur, causing uneven feed speed of the feeder and preventing it from reaching the specified track. The problem is that pitch accuracy of 4'1C cannot be maintained. This stick-slip phenomenon is
For example, it is known that by adopting a static pressure gas bearing or a rolling bearing in the slide bearing part, jQIj can be eliminated or reduced to dog IJ. The centrifugal force caused by the unbalanced rotation of the rotating body consisting of the rotation 11+ and rotation 11+ applies a vibrating force to the feed table in synchronization with the rotation of the master, which causes the problem that the feed table vibrates, making it practically unusable. . On the other hand, in the case of a sliding bearing that uses a sliding bearing, the vibration force due to this unbalanced rotation does not cause vibration of the feed table because the vibration energy is absorbed by friction in the sliding part, but as mentioned above There is a problem of slip vibration generation. In any case, with conventionally known bearing types, vibrations caused by stick-slip or rotational unbalance of the master disk can be reduced to zero.
.. It was extremely difficult to suppress the vibration to 11J, which is less than 1μ.

発明の目的 本発明は上記従来の欠点を解消するものであり、高精度
ρカッティングを実現した、ディスク記録原盤作成装置
を提供するものである。
OBJECTS OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional drawbacks, and provides a disk recording master production device that achieves high-precision ρ cutting.

発明の構成 本祁明は、回転駆動手段を有する回転軸と、この回転軸
を支承する軸受と、この軸受を塔載した送り台と、この
送り台に直線運動を−りえる直線駆動手段と、送り台の
荷重を支持し、かつ直線運動の案内を行なうスライド軸
受とよりなり、原盤に情報信号を搬送したレーザー光線
を照射し、前記情報信号を加工記録する手段とからなり
、前記スライド軸受の鉛直方向の荷重を支持する案内部
が、装置基台上に固定されたスライドガイドの上面と、
送り台に固定されたスライドプロ・ツクの下面とで構成
され、このスライドブロック下面は、表面に1個以」二
の四部を有する樹脂訪米1によりJ[を成さil。
Components of the Invention The present invention comprises a rotating shaft having a rotational drive means, a bearing for supporting the rotating shaft, a feed stand on which the bearing is mounted, and a linear drive means for providing linear motion to the feed stand. , consisting of a slide bearing that supports the load of the feed table and guides the linear motion, and means for irradiating the master with a laser beam carrying an information signal to process and record the information signal, A guide part that supports vertical loads is connected to the top surface of the slide guide fixed on the device base;
The lower surface of the slide block is fixed to the feed base, and the lower surface of the slide block is made of resin having one or more four parts on the surface.

ており、前記凹部の底面には、気体J二l]、用の開1
1部が設けられており、この開口部より力11圧気体を
前記凹部に導入し、前記スライドブロックと、AfJ記
スラスライドガイド触面圧を軽減してなるもので、摺動
摩擦に起因するスティックスリップJR動の発生を抑圧
するとともに、原盤の不釣合量1転に伴なう振動を抑圧
し、送り台の直線運動精度を大[1]に向」ニし、高精
度の情報信号記録を可能にするものである。
The bottom of the recess has an opening 1 for gas
11 pressure gas is introduced into the recess through this opening to reduce the contact pressure between the slide block and the AfJ slide guide, which is caused by sliding friction. In addition to suppressing the occurrence of slip JR motion, it also suppresses the vibrations associated with one unbalanced rotation of the master, increasing the linear motion accuracy of the feed platform to large [1], making it possible to record high-precision information signals. It is something to do.

実施例の説明 以下に、本発明の一実施例について第2〜6[ツ1を参
照し々から説明する。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to Nos. 2 to 6.

第2図は、本発明のディスク記録原麹汗作成装置の送り
台部の送り方向から見た構成を示1−ものである。図に
おいて21は原盤、22はとの原−を塔載する回転テー
ブルであり、DDモータ23により回転駆動され、静圧
気体型の軸受24によって回転支持された回転軸26に
固定されている。
FIG. 2 shows the structure of the disk recording raw malt sweat producing apparatus of the present invention as viewed from the feeding direction of the feeding base section. In the figure, reference numeral 21 denotes a rotary table, and 22 denotes a rotary table on which the master is mounted. The rotary table is rotatably driven by a DD motor 23 and fixed to a rotary shaft 26 that is rotatably supported by a hydrostatic gas type bearing 24.

前記軸受24は送り台26に固定されている。送りネジ
27の回転により、ナラi・28を介して、送り台26
は直線駆動される。送り台26の直線運動の案内は、基
台29に固定されたv、i鉄よりなるスライドガイド3
0.31と、送り台26に固定されたスライドブロック
32,33.34によって構成されるスライド軸受によ
ってなされる。
The bearing 24 is fixed to a feed base 26. By the rotation of the feed screw 27, the feed base 26 is
is driven in a straight line. The linear movement of the feed table 26 is guided by a slide guide 3 made of v and i iron fixed to the base 29.
0.31 and a slide bearing constituted by slide blocks 32, 33, and 34 fixed to the feed base 26.

ここで1.スライドブロック32.33は送り台26の
鉛直荷重を支持する軸受であり、スライドブロック34
は、送り台26の水平方向の位置をガイドするものであ
り、静圧空気軸受により構成されている。鉛直方向の荷
重を支持するスライドブロック32.33の下面にはテ
フロンよりなる樹脂コート層36.36が形成されてお
り、スライドガイド30.31の上面と接触摺動する。
Here 1. The slide blocks 32 and 33 are bearings that support the vertical load of the feed table 26, and the slide blocks 34 and
, which guides the horizontal position of the feed table 26, and is constituted by a static air bearing. A resin coating layer 36.36 made of Teflon is formed on the lower surface of the slide block 32.33 that supports vertical loads, and slides in contact with the upper surface of the slide guide 30.31.

第3図はスライドガイド3o及びスライドブロック32
の部分を示す斜視図である。
Figure 3 shows the slide guide 3o and slide block 32.
FIG.

第4図は、スライドブロック32の構造を示すもので、
スライドブロック32の下面(第4図では図の上側)に
設けた樹脂コート層には、2ケ所の凹部が設けられてい
る。凹部37の底miには、それぞれ気体吐出用の給気
孔38が設けられており、コンプレツサ等の加圧空気源
39より供給された、加圧空気が、凹部37に供給され
る。
FIG. 4 shows the structure of the slide block 32.
The resin coating layer provided on the lower surface (upper side in FIG. 4) of the slide block 32 is provided with two recesses. Air supply holes 38 for gas discharge are provided at the bottoms mi of the recesses 37, and pressurized air supplied from a pressurized air source 39 such as a compressor is supplied to the recesses 37.

他方のスライドブロック33の構成も同様である。尚、
40は、四部37へ加圧空気を供給するパイプである。
The structure of the other slide block 33 is also similar. still,
40 is a pipe that supplies pressurized air to the four parts 37.

」ニラの構成において、スライドブロック下面の樹脂コ
ート層35,36の表面と、スライドガイド30.31
の上面との接続面圧は、前記凹部37に供給する加圧空
気の圧力を加減することにより、任意に設定することが
できる。つ寸り、加圧空気の供給圧力が大気圧の場合(
加圧空気を供給し、ない場合)には、送り合金体の重囲
(数十〜数甲(7ω)が、樹脂コート層表面とスライド
ガイド−に面の接触面に加わるため、比較的、機械強度
、而・1摩耗性の低い樹脂面が、破損したり或は、摩耗
が大きくなり、装置の信頼性を確保することが困難であ
る。
” In the structure of the leek, the surfaces of the resin coat layers 35 and 36 on the lower surface of the slide block and the slide guides 30 and 31
The connection surface pressure with the upper surface of the recess 37 can be arbitrarily set by adjusting the pressure of the pressurized air supplied to the recess 37. When the supply pressure of pressurized air is atmospheric pressure (
When pressurized air is supplied (in the case of no pressurized air), the heavy surroundings (several tens to several ohms (7ω) of the feed alloy body are applied to the contact surface between the surface of the resin coat layer and the slide guide, so it is relatively difficult to The resin surface, which has low mechanical strength and low abrasion resistance, may be damaged or suffer significant wear, making it difficult to ensure the reliability of the device.

加圧空気の圧力を、増加させてゆくと、凹部の空気圧力
により送り台の重量の一部が支持されることになり、前
記接触面圧は減少してゆき、ついには、送り台の重量全
体が、空気圧力によって支持される つまり、接触面圧
が0に寸で達する。
As the pressure of the pressurized air increases, part of the weight of the feed base is supported by the air pressure in the recess, the contact surface pressure decreases, and eventually the weight of the feed base decreases. The entire structure is supported by air pressure, which means that the contact surface pressure almost reaches zero.

したがってこの供給空気の圧力は、樹脂コート層の接触
面圧がO以」二で、かつ、樹脂コート層の機械強度、制
摩耗性の而で充分信頼できる接触面圧以下に設定される
Therefore, the pressure of the supplied air is set so that the contact surface pressure of the resin coat layer is less than 0, and is lower than the contact pressure that is sufficiently reliable in view of the mechanical strength and anti-wear properties of the resin coat layer.

次に上記の構成とすることにより、原盤への信号記録精
度が大11」に向上される原理を説明する。
Next, we will explain the principle by which the accuracy of signal recording on the master disc is improved to 11" by using the above configuration.

送り台の振動の挙動は、基本的には、第6図に示す機械
振動モデルとして表わされる。つまり、第5図において
、質量Mは、送り合金体の質量を表わし、バネには、送
りネジのバネ岡11性、mrは回転体の回転不釣合量で
ある。送り台の直線運動は、バネにの取付部が一定速度
 で移動することに対応する。
The vibration behavior of the feed table is basically expressed as a mechanical vibration model shown in FIG. That is, in FIG. 5, the mass M represents the mass of the feed alloy body, the spring is the spring diameter of the feed screw, and mr is the amount of rotational unbalance of the rotating body. The linear motion of the feed carriage corresponds to the movement of the attachment to the spring at a constant speed.

さて、前述の如く、原盤への信号記録精度を左右する要
因は、 ■ 送り台スライド軸受部のスティックスリップ、 ■ 不釣合回転に伴なう送り台の振動、である。
Now, as mentioned above, the factors that affect the accuracy of signal recording on the master disc are: (1) stick-slip of the slide bearing of the feeder; and (2) vibration of the feeder due to unbalanced rotation.

まず、第1の要因に対しては、質量Mの下面と摺動面S
との間の静止摩擦力の差が主要な支配要因であり、この
差が小さい程スティックスリップd:発生しにくい。−
に配本発明の構成においては、静止摩擦係数と動摩擦係
数の差が小さい樹脂月別をすべり而に採用し、かつ、接
触面間の接触力を空気圧力により低減したため、スティ
ックスリップd:発生しない。
First, regarding the first factor, the lower surface of mass M and the sliding surface S
The main controlling factor is the difference in static friction between the two, and the smaller this difference is, the less stick-slip d: occurs. −
In the configuration of the present invention, a resin material with a small difference between the static friction coefficient and the dynamic friction coefficient is used for the sliding part, and the contact force between the contact surfaces is reduced by air pressure, so stick-slip d does not occur.

次に、第2の要因に関して、回転不釣合’A’ rll
 rに起因する遠心力はmrω2sinωtで表わされ
(ωは回転体の回転角速度)、質量M、バネによりなる
1自由度振動体に、この遠心力が加えられる強制振動の
問題であると考えることができる。
Next, regarding the second factor, rotational imbalance 'A' rll
The centrifugal force caused by r is expressed as mrω2sinωt (ω is the rotational angular velocity of the rotating body), and this centrifugal force is considered to be a forced vibration problem in which this centrifugal force is applied to a 1-degree-of-freedom vibrating body made of a mass M and a spring. I can do it.

このとき、質量Mの下面と摺動面Sとの摺動摩擦は、こ
の振動を減衰するダンパとして作用し、摩擦力が大きい
程、質量M、すなわち送り台の振動は抑圧される。流体
圧力によってスライドブロックが完全に浮揚される状態
、或はころがり軸受等でスライド軸受を構成すると、こ
の効果は期待できない。本発明の構成にあっては、樹脂
すべり面を、スライドガイド上面と接触摺動させ、摩擦
ダンパー効果により、振動エネルギを吸収し、振動の抑
圧を行なっている。
At this time, the sliding friction between the lower surface of the mass M and the sliding surface S acts as a damper that dampens this vibration, and the larger the frictional force, the more the vibration of the mass M, that is, the feed base, is suppressed. This effect cannot be expected if the slide block is completely levitated by fluid pressure or if the slide bearing is configured with a rolling bearing or the like. In the configuration of the present invention, the resin sliding surface is brought into sliding contact with the upper surface of the slide guide, and the friction damper effect absorbs vibration energy and suppresses vibration.

さて、前記の2つの要因について、すべり而の接触面圧
は、相反する傾向を有している。すなわち、接触面圧を
太きぐすると要因■は改善されるが要因■の問題が生じ
やすくなる。したがって、接触面圧の設定には最適な条
件が存在する。これは、樹脂すべり面の面積、樹脂コー
ト層表面に設けた凹部の面積、或は、第6図に示したM
、にの値に相当する機械構造上の要因更に、回転不釣合
量の大きさ等に大きく左右されるものである。
Now, regarding the above two factors, the contact surface pressure of sliding has contradictory tendencies. In other words, increasing the contact surface pressure improves factor (2), but the problem of factor (2) becomes more likely to occur. Therefore, optimal conditions exist for setting the contact surface pressure. This is the area of the resin sliding surface, the area of the recess provided on the surface of the resin coating layer, or the M shown in Fig. 6.
The mechanical structure factors corresponding to the values of , and , are greatly influenced by the magnitude of rotational unbalance, etc.

本発明においては、樹脂コート層四部に供給する空気圧
力により、この接触面圧を自在に、最適て、原盤への信
号記録精度の大11」な向上を実現するものである。
In the present invention, the air pressure supplied to the four parts of the resin coat layer allows this contact surface pressure to be adjusted freely and optimally, thereby achieving a significant improvement in signal recording accuracy on the master disc.

前記実施例のディスク記録原盤作成装置において、送り
台に3ogfの加振力が作用した場合の送り台の振動振
[IJ(余振rl] )を測定した結果を第6図に示す
。振riJの測定はレーザーを用いたマイケルソン干渉
を利用して行なった。図中Aが本発明の実施例の場合の
結果である。このとき樹脂コート層の四部に供給した空
気圧力はo 、 36 Kg/cdであり、樹脂すべり
面の接触面圧は約2qf/crlに設定している。一方
、図中B幻こ、送り台のスライド軸受として、鉛直方向
、水平方向とも静圧空気軸受を用いた場合を示している
。A、B両者を比較すれば、原盤回転数90Or、p、
m、において、振動据11〕が、約8分の1に抑圧され
ていることがわかり、本発明が原盤の不釣合回転に起因
する振動の抑圧に顕著な効果を示すことがわかる。父、
この効果は、特に原盤回転数が小さいときに、より顕著
である。
FIG. 6 shows the results of measuring the vibration vibration [IJ (aftershock rl)) of the feed table when an excitation force of 3 ogf is applied to the feed table in the disk recording master production apparatus of the above embodiment. The vibration riJ was measured using Michelson interference using a laser. A in the figure is the result in the case of the example of the present invention. At this time, the air pressure supplied to the four parts of the resin coat layer was 36 kg/cd, and the contact pressure of the resin sliding surface was set to about 2 qf/crl. On the other hand, Phantom B in the figure shows a case where hydrostatic air bearings are used both in the vertical and horizontal directions as slide bearings for the feed base. Comparing both A and B, the master rotation speed is 90Or, p,
It can be seen that the vibration mount 11] is suppressed to about one-eighth in m, and it can be seen that the present invention exhibits a remarkable effect in suppressing the vibration caused by the unbalanced rotation of the master. father,
This effect is particularly noticeable when the master rotation speed is low.

但し、この測定は、送り台を直線駆動しない状態で、行
なった。
However, this measurement was performed without linearly driving the feed table.

又、スティックスリップ振動については、その発生は、
全く認められず、極めて高い送り精度を得ることが出来
だ。
Also, regarding stick-slip vibration, its occurrence is as follows.
This was not acceptable at all, and it was possible to obtain extremely high feed accuracy.

なお、前記実施例においては、樹脂コード層のt1利と
してテフロンを用いだが、その他の樹脂月別を用いても
良い。父、樹脂コート層に設けた四部については1、基
本的には、外部より供給する加圧気体例、その四部の中
に蓄えられる様、四部の周囲全体にわたって、樹脂コー
ト層が存在する形状であれば良く、実施例に示した矩形
に限定するものではない。又、凹部の個数も1個以−」
二あれば良い。
In the above embodiment, Teflon was used as the t1 ratio of the resin cord layer, but other resins may be used. Father, regarding the four parts provided in the resin coat layer, 1. Basically, pressurized gas supplied from the outside is stored in the four parts, so that the resin coat layer exists all around the four parts. However, the shape is not limited to the rectangle shown in the embodiment. Also, the number of recesses is one or more.
Two is fine.

発明の効果 以上のように本発明は、送り台のスライド軸受のうち鉛
直荷重を支持する案内部を、樹脂よりなるすべり而とし
、かつ、前記すべり面に凹部を設け、そこに加圧空気を
供給することにより、すべり面の接触面圧を低減したた
め、スティックスリップ振動及び、原盤等の不釣合回転
に起因する振動を大巾に抑圧することができ、送り台の
直進運動鞘度を向上し、原盤への信号配録精度を改善す
るものである。又、通常のすべりill+受、あるいは
ころがり1q11受を使用する場合、我滑油、グリース
を使用するが、レーザーによるカンディングにおいては
、これら潤滑油より蒸散するオイルミストが、正常なカ
ッティングを妨げ、大きな問題となるが、本発明のスラ
イド+IQI+受の構成においてi17+:、乾燥状態
で動作さぜることが可能で、清rpな雰囲気を汚染する
という問題もなく、保守管33j!も容易であるという
特徴も有している。
Effects of the Invention As described above, the present invention has the guide portion of the slide bearing of the feed base that supports the vertical load made of resin, and a recessed portion provided in the sliding surface, in which pressurized air is introduced. By supplying this material, the contact pressure on the sliding surface is reduced, so it is possible to greatly suppress stick-slip vibrations and vibrations caused by unbalanced rotation of the master, etc., and improve the linear movement flexibility of the feed table. This improves the accuracy of signal recording on the master disc. Also, when using a normal sliding ill+ holder or a rolling 1q11 holder, lubricating oil and grease are used, but when cutting with a laser, the oil mist that evaporates from these lubricating oils prevents normal cutting. Although this is a major problem, the slide + IQI + receiver configuration of the present invention allows operation in a dry state, without the problem of contaminating a clean atmosphere, and without the maintenance tube 33j! It also has the feature of being easy to use.

更に、樹脂すべり面は、鉄等の一般機械構造月料に比べ
、機械的強度がはるかに小さいが、本発明では、接触面
圧を大きく低減することにより、その信頼性、特に、耐
摩耗性は、犬[IJに改善さ)土るという効果も有して
いる。
Furthermore, the mechanical strength of resin sliding surfaces is much lower than that of general mechanical structural materials such as steel, but in the present invention, by significantly reducing the contact surface pressure, its reliability, especially its wear resistance, is improved. also has the effect of soiling the dog [improved by IJ].

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来のディスク記録原盤作成装置の櫃1略構成
図、第2図は本発明の一実施例におけるディスク記録原
盤作成装置の送り機構部の断面図、第3図は同スライド
軸受部の斜視図、第4図は同スライドブロックの余1視
図、第5図幀:送り台の振動!時性の説明図、第6図は
本発明の実施による送り台振動振[IJの抑圧の効果を
示す送り台振動振11]測定結果のグラフである。 21・・・・・・原盤、26・・・・回転軸、26・・
・・送り台、27・・・・・プーット、28・・・・・
送りネジ、30゜31・・・・・スライドガイド、32
.33・・・・・・スライドプリツク、35.36・−
・・・樹脂コート層、37・・・・凹部、38・・・・
・気体吐出用1ノi扛1部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第2
FIG. 1 is a schematic diagram of the structure of a tray 1 of a conventional disc recording master production apparatus, FIG. 2 is a cross-sectional view of a feeding mechanism section of a disc recording master production apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a slide bearing section of the same. Figure 4 is a perspective view of the same slide block, Figure 5 is a perspective view of the slide block, Figure 5: Vibration of the feed base! FIG. 6, which is an explanatory diagram of timing, is a graph of the measurement results of the carriage vibration vibration [Feed carriage vibration vibration 11 showing the effect of suppressing IJ] according to the implementation of the present invention. 21... Master disc, 26... Rotating shaft, 26...
...Feeding stand, 27...Put, 28...
Feed screw, 30° 31...Slide guide, 32
.. 33...Slide prick, 35.36.-
...resin coat layer, 37... recess, 38...
・1 part of 1-piece gas discharger. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person 2nd
figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 回転駆動手段を有し、かつ円盤状の原盤を回転可能に支
持し/こ回転IQl+と、この回転11Ql+を支承す
る軸受と、この軸受を塔載した送り台と、この送り台に
直線運動を−りえる直線駆動手段ど、送り台の荷車を支
持し、かつ曲線運動の案内を1jなうスライド軸受と、
前記原盤に情報信号を搬送したレーザー光線を照射し、
前記情報信号を加工記録する手段kからなり、前記スラ
イド軸受の鉛直方向の荷重を支持する案内部が、装置基
台」−(C固定されたスライドガイドの上面と、送り台
に固定され/ヒスライドブロックの下面とで構成され、
このスライドブロック下面は、表面に1個以上の四部を
有する樹脂材料により形成されており、かつ前記四部の
底面には、気体吐出用の開口部が設けられており、この
開口部より加圧気体を前記四部に導入するよう構成した
ディスク記録原盤作成装置。
It has a rotation drive means and rotatably supports a disc-shaped master disk, a rotation IQl+, a bearing that supports this rotation 11Ql+, a feed stand on which this bearing is mounted, and a feed stand that allows linear motion to be applied to the feed stand. - a slide bearing that supports the cart on the feed platform and guides the curved movement, such as a linear drive means;
Irradiating the master with a laser beam carrying an information signal,
A guide section comprising a means for processing and recording the information signal and supporting the load in the vertical direction of the slide bearing is connected to the top surface of the slide guide fixed to the device base and to the top surface of the slide guide fixed to the feed base. Consists of the bottom surface of the slide block,
The lower surface of the slide block is made of a resin material having one or more four parts on the surface, and the bottom of each of the four parts is provided with an opening for discharging gas. A disc recording master production device configured to introduce into the four parts.
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