JPS62503186A - ハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサー孜玉立！ この発明は、ハロゲンガス漏れ検知器に関する。詳しく述べるならば、この発明 は、そのようなハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサー（ｓｕｒｆａｃｅ　 １ｏｎｉｚａｔｉｏｎ　５ｅｎｓｏｒ）であって、その作用がハロゲン化化合物 の存在下における加熱された白金表面からの陽イオン放出の電流の変化に基礎を おく表面電離センサーに関する。

宵景肢歪 同軸的に配置された白金陽極と陰極とを支える、ハウジング内に固定された保持 具を含んでなるハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサーは、当業者に知られ ている（例えば、モスクワノゴセネルゴイツダト出版（Ｇｏｓｅｎｅｒｇｏｉｚ ｄａｔ　Ｐｕｂｌ、）レビン（Ｄ、Ｅ、Ｌｅｖｉｎ）の「真空試験技術」の第１ ７１〜１７８頁を参照）。

この表面電離センサーの保持具は、高温（９００〜１２００℃）において白金を 侵蝕する原因となるケイ素その他の物質を含有するセラミック材料から作られる 。これは、表面電離センサーの寿命を短縮する。更に、セラミック材料は一般的 にかなりの熱慣性をその特色とし、それゆえに、センサーの陽極の温度を速やか に変化させて遅れのない制御を達成することはできない。

ハウジングとその中に固定された保持具、その保持具に同、軸的に配置して取付 けられた陽極及び陰極を含んでなる、ハロゲン化ガスの漏れ検知器の表面電離セ ンサーも、当業者に知られている（例えば、１９７６年９月７日発行の米国特許 第３９７９６２５号明細書、ＵＳ　Ｃｌ−３１３−２３０参照）。

このセンサーは、保持具がＡ１□ｏ３を９９％含有し、５ｉｎ２を１％より多く は含有しない多孔質の熱的に安定な誘電体材料−から作られる点で不十分である 。この表面電離センサーの熱的遅れはより少なく、その保持具が含有する、白金 の侵食を引き起こしか゛ねない物質の量は一層少ないが、白金陽極表面の利用率 は５０％はどの低さである。保持具の細孔にはアルカリの塩類が保有されており 、これは、表面電離センサーの背景放出電流（ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ　ｅｍｉｓ ｓｉｏｎ　ｃｕｒｒｅｎｔ）が高水準となることに帰着し、そして有用な信号の 背景電流に対する比率である表面電離センサーの感度に影響を及ぼす。

発所■皿丞 本発明は、ハロゲンガス漏れ検知器用の表面電離センサーにおいて、保持具が該 センサーの寿命を延ばし、その熱的遅れを少なくし、そしてその応答性を向上さ せるような様式で作られている表面電離センサーを提供するものである。

これは、ハウジング内に固定されており、そして、同軸的に配置された白金陽極 及び陰極を支えている保持具を含んでなる表面電離センサーにおいて、本発明に 従って該保持具をロイコサファイア（ｌｅｕｃｏｓａｐｐｈｉｒｅ）単結晶から 作ることでもって達成される。

本発明に従って作られたこの表面電離センサーは、ハロゲンガス漏れ検知器で使 用した場合寿命がより長（、熱慣性がより小さく、応答性がより高い。

添・　ズ　の　パな云゛■ 次に、本発明の特定の態様及び添付図面を参照して本発明を更に詳しく説明する 。

第１図は、本発明によるハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサーの縦断面図 を示す。

第２図は、本発明による表面電離センサーのもう一つの態様の縦断面図を示す。

■を　方するための最　の、工゛ 本発明によるハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサーは、ハウジング１　（ 第１図）と、その中に固定されており、そして、同軸的に配置された白金陽極３ 及び陰極４を支えている保持具２とを含んでなる。

保持具２は、表面電離センサーのこの態様では円筒管５としてロイコサファイア の単結晶から作られる。

表面電離センサーのハウジング１は、外殻６、入口開口部９を通して矢印Ａの方 向にガスを吸入するための管８を備えたカバー７、及び、ガスを排出するための 出口開口部１１のあるカバー１０を含んでなる。

白金陽極は、管５の内面にらせん状に配置される。またこの陽極は、巻き径の小 さいコイルとして予めコイル状に巻かれたワイヤから作られる。陰極４は、陽極 ３と同軸にしてその内側に取付けられる。陰極４は白金線の長さであり、固定部 材１２　、１３により保持具２に固定して取付けられる。固定部材１３には、陰 極４の導線１６にはんだ付けされたブラケット１５に取付けたばね１４によって ばね荷重がかけられる。

保持具２は、衝撃を吸収する手段１７　、１８、例えば石綿、ガスケットによっ てそれぞれカバー７．１０に固定される。

陽極には導線１９　、２０を用意する。

ここに提案した表面電離センサーの態様は、望ましくはセンサーの熱的遅れを最 小にしようとする場合に使用すべきである。なぜならば、上述の陽極３は、陽極 ３のコイルと保持具２の加熱された表面とが接触するのを最小にするからである 。

第２図の表面電離センサーの態様は、第１図のものと同様であるが、違いは、保 持具２が２つの部材、すなわち、ロイコサファイア単結晶から作られた円筒管５ と、同様にロイコサファイア単結晶から作られたロフト２１とから構成されてい るということである。

保持具２は、同軸的に配置された陽極２２と陰極２３とを支える。陽極２２がロ ッド２１の外表面に配置される一方、陰極２３は管５の内面に配置された白金の 筒である。ロッド２１は、それぞれ固定部材２４　、２５及びワイヤ２６　、２ ７によって部材１２　、１３に固定される。

表面電離センサーのこの態様は、望ましくは、陽極２２が高温で作用し、且つそ の陽極をかなり頻繁に取替えなくてはならない場合に作用すべきである。

ハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサーは、次のとおりに作用する。

ハロゲン有機化合物、例えばフレオン（商品名）を含有する分析されるべきガス が、管８の入口開口部９を通して矢印Ａの方向に表面電離センサーのハウジング １　（第１図もしくは第２図）内に供給される。

ガスは陽極３もしくは２２と陰極４もしくは２３との間の空間を通り抜け、ハロ ゲン有機化合物が陽極３もしくは２２の表面から陰極４もしくは２３への陽イオ ンの放出電流を変化させる。放出電流の変化を記録する。

ここに開示したハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサーは、保持具の材料が 高純度のため白金陽極が実用上侵食されないので、寿命が従来技術のセンサーの それよりも４乃至５倍長い。このセンサーの背景放出電流は０．００１〜０．０ １μＡであり、それゆえセンサーの応答性が改善される。更に、提案した表面電 離センサーは、熱的な遅れが少ないことを特徴とする。フレオンを陽極と陰極と の間の空間から取り除いた後、放出電流は、従来技術のセンサーの放出電流が低 下する期間よりも１０〜２０倍だけ短い期間内に低下する。

上の゛　可２ 本発明によるハロゲンガス漏れ検知器の表面電離センサーは、真空及び冷凍工学 において真空系及び気体封入系の漏れを検出するのに利用することができる。

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Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ハウジング（１）内に固定されており、そして、同軸的に配置された白金陽極（ ３，２２）と陰極（４，２３）とを支えている保持具（２）を含んでなるハロゲ ンガス漏れ検知器の表面電離センサーであって、保持具（２）がロイコサファイ ア単結晶から作られていることを特徴とする表面電離センサー。