JPS6249651A

JPS6249651A - アンチヒユ−ズ、その製法、電気的にプログラム可能なメモリ・セル、メモリ・セルをプログラムする方法

Info

Publication number: JPS6249651A
Application number: JP61146320A
Authority: JP
Inventors: ブライアン　イー．クツク; ダグラス　ピー・バーレツト
Original assignee: Texas Instruments Inc
Current assignee: Texas Instruments Inc
Priority date: 1985-06-25
Filing date: 1986-06-24
Publication date: 1987-03-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ａＳよ立置ユ次１本発明は全般的にプログラム可能な固定メモリ（ＰＲＯ
Ｍ）　、更に具体的に云えば非晶質シリコンのアンチヒ
ユーズに関する。

従来の技術及び問題点ヒユーズと接合ダイオードの様な導通阻止素子とを含む
メモリ・セルを設けることは公知である。

メモリ・セルが何れもワード線とビット線の間に接続さ
れている。こういうメモリ・セルは、各々の導通阻止素
子に関連したヒユーズ素子を破壊することにより、電子
的にプログラム可能である。

従来、プログラミング段階で、電流サージによって成る
ヒユーズ・リンクを破壊して開路している。

その後、開路したリンクを持つメモリ・セルは、対応す
るワード線によって選択された時、ビット線に論理Ｏを
発生し、破壊しなかったリンクはビット線に論理１を発
生する。

最近、メモリ・セルの分野にアンチヒユーズの考えが導
入された。例えば、米国特許第４，４９９．５５７号に
は、プログラム可能な電子アレーに使う為の非晶質シリ
コンの垂直メモリ・セルが記載されている。

バイポーラ・メモリ装置に使う時、従来のアンチヒユー
ズは、漏れ電流及びプログラミング電圧が許容し雌し程
高かった。特に、プログラム可能なアレー論理回路（Ｐ
ＡＬ）の用途では、ＰＡＬアレーでは、一度に２０個ま
でのヒユーズをアドレスすることが出来るので、１００
マイクロアンベア程度の普通に生ずる漏れＮ流は大・き
すぎる。

漏れ電流が戻りのビット線で組合され、１つ又は更に多
くのアドレスされたメモリ・セルで、オン状態を表わす
ものとして誤って読取られる惧れがある。従って、任意
の１つのセルを通る許容可能な最大漏れ電流は、一度に
１つだけメモリ・セルがアドレスされる場合のＰＲＯＭ
で許容し得る最大漏れ電流の１／２０までである。

コレクタ共通モードでトランジスタ導通阻止素子を使う
場合の様な少なくとも成るバイポーラの用途では、８乃
至１０ボルトと云う従来のアンチヒユーズのヒユーズ作
用電圧も高すぎる。理由は後で詳しく説明するが、コレ
クタ共通のトランジスタ導通阻止素子を用いたメモリ・
セルのプログラミング電圧は約７．７ボルトより高くす
ることが出来ない。従って、短絡させる為に更に大きな
電圧を必要とするアンチヒユーズは、こういう種類のバ
イポーラ導通阻止素子と共に使うことが出来ない。

上に述べた問題がある為、バイポーラ導通阻止素子と共
に使う非晶質シリコン・アンチヒユーズとして、漏れ電
流が小さく、プログラミング電圧が小さい改良された非
晶質シリコンのアンチヒユーズに対する要望が生じた。

問題、を　決する為の手　　び作用本発明はバイポーラ、タイオード又はＭＯ８導通阻止素
子にｌＩｌ連して使うことが出来るアニールした非晶質
シリコンのアンチヒユーズを提供する。

本発明の１面では、非晶質シリコンのアンチヒユーズを
２つの電気接点の間に設け、オフ状態に於けるアンチヒ
ユーズの漏れ電流を減少する為に、それをアニールする
。

本発明の別の１面では、アンチヒユーズのプログラミン
グが２段階に分けて行なわれる。好ましくは６ボルトを
越えない第１の電圧が、アンチヒユーズの両端に印加さ
れ、比較的小さい電流、好ましくは約１００マイクロア
ン、ベア乃至１ミリアンペアの電流をアンチヒユーズに
通す。これによってアンチヒユーズは最初の非導電状態
からかなり導電する中間状態に変化する。オン抵抗値を
２００オ一ム未満に下げる為、最初の電圧よりは小さい
第２の電圧をアンチヒユーズの両端に印加し、１０ミリ
アンペア程度の第２の電流をアンチヒユーズに通す。こ
れによってアンチヒユーズは更によく導電する状態に「
治癒」され、オン抵抗値が下がる。好ましい状態では、
本発明のアンチヒユーズは厚さ約５００人の層であり、
非導電状態又はオフ状態に於ける抵抗値は少なくとも１
００キロオームである。

本発明並びにその利点がざらに完全に理解される様に、
次に図面について説明する。

実施例第１図には接点アンチヒユーズ・メモリ・セルの断面図
が示されている。半導体基板１２を設けるが、これはシ
リコンで作ることが出来る。基板１２の中に、打込み又
は拡散の様な普通の方法により、Ｎ十埋込みコレクタ層
１４が形成される。

基板１２の上にＮ形エピタキシャルＷ１１６を成長させ
る。

次にエピタキシャル層１６の上に誘電体層１８を熱成長
させる。誘導体層１８は二酸化シリコンで作ることが出
来る。次に、誘電体層１８を介してＰ形ドーパントを打
込むことにより、ベース領域２０を作る。この後、誘電
体ｌｌ！１８のパターンを定め、エツチングにより、エ
ミッタ接点窓２２をあける。エミッタ接点窓２２は、エ
ピタキシャルｍ１６の表面との接合部で幅が約２ミクロ
ンである。

次にこの構造をマスクし、エミッタ領Ｉ４２４を設ける
為に、窓２２にＮ形ドーパントを打込む。

エミッタ領域２４の打込みの後、窓２２内に白金をデポ
ジットし、エミッタ領域２４とオーミック接触する様に
約４５０℃でシンターすることにより、珪化白金（Ｐｔ
Ｓ　ｉ　）層２６を形成する。

ＰｔＳｉ層２６のデボジツションより少し前の時点で、
ベース接点及び別個のコレクタ接点のパターンを定め、
誘電体ＷＪ１８を介して打込み、ベース領域２０及び埋
込みコレクタ領域１４を夫々外部に電気接続する。本実
施例では、ベース接点領域及びコレクタ接点領域は図面
に示した断面の平面内にはない。上に述べた全ての工程
が普通の方法によって行なわれ、この結果バイポーラ・
トランジスタ導通阻止素子２７が得られる。別の実施例
では、本発明のアンチヒユーズに関連してショットキー
・ダイオード又はＭＯＳトランジスタの様な別の種類の
導通阻止素子を使うことが出来る。

次に、普通の低圧化学反応気相成長（ＬＰＣＶＤ）又は
スパッタリング方法により、この構造の上に非晶質シリ
コン層２８をデボツジントする。

オンの時の又はプログラムされた時の抵抗値を小さくす
る為、非晶質シリコン層２８は約５００人の厚さにデポ
ジットすることが好ましい。スパッタリング方法では、
アルゴンによってシリコンを照射して、ポリシリコンの
球塊を叩出し、こういう球塊が基板の上にデポジットさ
れる。スパッタリングは無線周波数で行なう。オフ時又
はプログラムされていない時の抵抗値を高くしておく為
、非晶質シリコン層２８は、■族又は隣の様なＶ族のド
ーパントで全くドープしないことが好ましい。

次に層２８の上にフォトレジスト層（図面に示してない
）のパターンを定め、層２８をエッチして、好ましくは
エミッタ領域２４の全体の上に拡がる領域を残す。

非晶質シリコン層２８をデポジットした後の成る時点で
、好ましくは、その直後に、Ｆ１４２８を約３０分間、
高温アニール工程にかける。このアニール工程は、非晶
質シリコン層２８をデポジットした後の任意の時に行な
うことが出来る。アニール工程は３００℃より高い４度
で行ない、３５０℃乃至５２５℃の範囲内で行なうこと
が好ましい。

アニールは不活性雰囲気又は水素又はＩｌ！素中で行な
うと、アニール工程によって、水素、窒素又は酸素が非
晶質シリコン内に入り込むことがないので、よい結果が
得られる。このアニール工程により、アンチヒユーズが
オフ状態にある時、漏れ電流が約１００マイクロアンペ
アから１０マイクロアンペア又はそれ以下にまで減少す
る。このアニール工程の物理的な作用ははっきりと判っ
ていないが、アニール工程が非晶質シリコンを［稠密化
（デンシファイ）」することにより、漏れ電流を減少す
ると考えられる。

次に、普通の方法を用いて、非晶質シリコン層２８の上
に第ルベルの高融点導電１ｉ１３０をデポジットする。

高融点層３０はチタン・タングステン合金、純粋なタン
グステン又はモリブデンで作ることが出来、約１，５０
０人より大きな厚さにすべきである。同じ工程で、アル
ミニウムで作ることが出来るが、第ルベルの導電度の高
い層３２を高融点層３０の上にデポジットする。これに
よって、セルの第ルベルのメタライズが完成する。

次に、誘電体Ｂ１８、非晶質シリコン１２８及び導電層
３０．３２の上にレベル問誘電体層３４をデポジットす
ることが出来る。この誘電体層は二酸化シリコンで形成
することが出来、少なくとも５，０００人の厚さである
ことが好ましい。次に、誘電体層３４の中に中間レベル
のバイア３６のパターンを定めてエツチングし、第ルベ
ルの金属層３２と接触させる。次に、普通の方法を使っ
て、第２の層のメタライズを行なうことが出来、これに
よって誘電体層３４の上にそしてバイア３６の中に、第
２レベルの高融点導電層３８及び第２レベルの導電度が
高い層又はピットｌｌＡ４０がデポジットされる。

高融点Ｓ電１３８はチタン・タングステン合金又はタン
グステンで作ることが出来、導電度の高い層４０はアル
ミニウムで作ることが出来る。加熱中にアルミニウムが
層３２から非晶質シリコンのアンチヒユーズ２８へ、又
はその下にある半導体導通阻止素子２７へ移動するのを
防止する為に、高融点層３０を設ける。高融点層３８は
少なくとも１，５００人の厚さにすべきであり、第２の
導電度の高い層４０は１ミクロン程度の厚さにすること
が好ましい。エミッタ・バイア２２との約２ミクロンの
重なりを持たせる為に、第ルベルのメタライズ層３０及
び３２は約６ミクロンの幅にすることが好ましい。この
田なりが、非晶質シリコン・アンチヒユーズ１２８又は
第２レベルのメタライズ層３８．４０の何れかとの整合
誤差を少なくする。

第２図は本発明の非晶質シリコン・アンチヒユーズを用
いた別の実施例のメモリ・セルを示す。

この場合、アンチヒユーズは、半導体の表面に隣接する
代りに、メモリ・セルのレベル間バイアの中に配置され
ている。１２図のバイア・ヒユーズ構造の内、第１図に
示したものと同様な要素は、最後の２つの数字−が同じ
である参照数字で示しである。

バイア・ヒユーズ・メモリ・セル１１０がコレクタ共通
のバイポーラ・トランジスタ導通阻止素子１２７を含み
、これは第１図に示した半導体導通阻止素子２７と同じ
様にして作る。半導体に対する良好なオーミック接点を
段ける為に、エミッタ類ＶＪ、１２４の上に珪化白金層
１２６を形成する。

普通の方法により、直接的に珪化白金層１２６の上に第
ルベルの高融点導電層１３０をデポジットする。同じ工
程で、第１の導電度の＾いｗＪ１３２が第１の高融点導
電層１３０の上にデポジットされる。導′ｉｊｉ層１３
０，１３２は、第１図に示した層３０．３２と同じ材料
で同じ寸法に作ることが出来る。

次に高融点導電障壁１３３を導電層１３２の上にデポジ
ットする。高融点層１３３はチタン・タングステン合金
、タングステン又はモリブデンで作ることが出来、少な
くとも約１．５００人の厚さにすべきである。Ｓ重度の
高い層１３２をアルミニウムで作る場合、高融点４１１
！１３３がアルミニウムの上方拡散を防止する。

次にレベル間誘電体層１３４を障壁１３３及び第１の誘
電体層１１８の上にデポジットする。誘電体層１３４は
接点アンチヒユーズの誘電体層３４と同じ厚さにして同
じ材料を用いることが出来る。同様に、高融点導電障壁
１３３を露出する為に、誘電体層１３４にバイア１３６
をあける。

次に、標準的なスパッタリング方法を用いて、非晶質シ
リコン層１２８をスパッタリングによって付着する。マ
スクのパターンを定め、層１２８をエッチする。非晶質
アンチヒユーズ１２８は約５００人の厚さであって、ド
ープしないことが好ましい。漏れ電流を減少する為に非
晶質層１２８のデボジツションより後の任意の時点で、
高温アニール工程を実施する。

非晶質アンチヒユーズ層１２８のデボジツションの後、
１対の第２レベルのメタライズ層１３８゜１４０をデポ
ジットする。層１３８．１４０は、接点アンチヒユーズ
構造の第２のメタライズ層３８．４０と同様な材料で構
成し、同じ様な寸法にすることが出来る。高融点導電層
１３８は、アルミニウムが非晶質ヒユーズ１２８へ移動
することに対する障壁となる。

第３図には、別の実施例のバイア・ヒユーズ構造が示さ
れている。第３図に示した実施例の素子は、最後の２つ
の数字が第１図及び第２図の同様な要素につけた数字と
同じである様な参照数字を用いている。変位ヒユーズ・
メモリ・セル２１０が、接点アンチヒユーズ導通阻止素
子２７及びバイア・アンチヒユーズ導通阻止素子１２７
と同様に形成されたコレクタ共通の導通阻止素子２２７
を持っている。普通の方法により、ＰｔＳ　１１１２２
６の上に第１の高融点導電層２３０がデポジットされて
、エミッタ接点バイア２２２の外に横方向に伸びている
。同様に、第１の導電度の高い層２３２がデポジットさ
れて、エミッタ接点バイア２２２から横方向に離れた場
所まで伸びている。

第１のメタライズ１１２３０．２３２が第１のメタライ
ズ層３０．３２と同様な材料で、同様な厚さに作られる
。

次に、第ルベルのメタライズ１１２３０．２３２の上に
高融点導電層ｇ１２３３をデポジットする。

高融点導電層壁２３３はチタン・タングステン合金又は
その他の高融点金属で作ることが出来る。

次に、構造全体の上にレベル間ｙｈ電体層２３４をデポ
ジットする。誘電体１ｉ２３４は誘電体層３４と同様な
材料で、同様な厚さに形成される。

エミッタ接点バイア２２２から横方向に隔たった場所に
第２のバイア２３６をあける。この横方向の変位は、金
属ＷＩ線又はその他の構造を配置する付加的な融通性を
回路の設計技術者に提供する為に望ましいことがある。

バイア２３６が高融点導電層２３３の一部分を露出する
。

次にこのバイアの中に非晶質シリコン・アンチヒユーズ
層２２８をスパッタリングによって付着させる。アンチ
ヒユーズ１ｉ２２８は、非晶質アンチヒユーズ層２８．
１２８と同じ材料で、同じ厚さに構成される。デボジツ
ションの後、前に述べた方法により、非晶質層２２８を
約３０分間アニールする。次にＨ２２８のパターンを定
めてエツチングする。第２レベルの高融点導電層２３８
が非晶質シリコン層２２８及びレベル間誘電体層２３４
の上にデポジットされる。Ｉ！！２３３．２３８の協働
により、周囲の導電度の高い層がアルミニウムで構成さ
れている場合、非晶質シリコンｌ１２２８が、アルミニ
ウムによる汚染から絶縁される。

第２レベルのメタライズ部分を完成する為に、高融点導
電層２３８の上に第２レベルの高い導電度の１１２４０
をデポジットする。

第４図は回路状態、中間状態及び完全な短絡状態に於け
る本発明の非晶質ヒユーズのＩ−Ｖ特性を示すグラフで
ある。即ち、このグラフは、非導電の非晶質アンチヒユ
ーズ１１２８を抵抗値の小さい導電状態に変える為の好
ましいプログラミング手順を例示している。横軸はベー
ス２０（第１図）と導電度の高い層又はビット線４０の
間の電圧を示す。電圧がエミッタ２４と非晶質ヒユーズ
１２８の間に現われる。

縦軸はベース２０からエミッタ２４及び非晶質ヒユーズ
２８を介してビット線４０に流れる電流である。曲線２
４２はヒユーズになっていない開路状態の非晶質ヒユー
ズ２８のＩ−Ｖ特性を表わす。この発明の図面に示した
メモリ・セルは、約２ボルトで動作する様に設計されて
おり、この状態では、２５℃で漏れ′Ｉｊｉ流が約１０
マイクロアンペアである。この大きさの電流は図示のメ
モリ上でゼロと区別出来ない。曲線２４２は、非晶質ア
ンチヒユーズ２８とエミッタ２４の間に最初のヒユーズ
電圧が印加された時に何が起るかをも例示している。こ
こで説明したメモリ・セルでは、アンチヒユーズ２８の
絶縁降伏は、２．５乃至６ボルトで起り得る。図示の場
合、ヒユーズの動的な抵抗値は０．５ミリアンペアの電
流で、約４ボルトを印加した時に減少し始める。曲線２
４２上の点２４４に達した後、アンチヒユーズ２８は部
分的に短絡しているが、まだ５００オ一ム程度の抵抗値
を持っている。

短絡したヒユーズの抵抗値を２００オームより低くする
為、かなり多くした電流をヒユーズに供給する様な「治
癒」プログラミング段階が必要である。この場合は、ヒ
ユーズ２８の短絡を完了する為に１０ミリアンペアを使
うが、この結果得られるヒユーズの抵抗値は１００オー
ム未満である。

一旦ヒユーズが完全に短絡すると、曲線２４６によって
示される様なＩ−Ｖ特性になる。プログラミング段階で
は、点２４４と曲線２４６上の点２４８の間の変化は非
常に急速に起る。この変化は１マイクａ秒以内に起り、
１ナノ秒以内に起ることさえある。この為、プログラミ
ングの間の点２４４と点２４８の間のＩ−Ｖ曲線は、普
通は起るのが早すぎて正確に測定することが出来ないが
、理論としては、破線２５０で示す様に、電圧が非常に
急速に低下すると思われる。ヒユーズ２８が２．５乃至
６ボルトで短絡し始めるので、これより高いヒユーズ電
圧が避けられる。このヒユーズ動作範囲は、電圧過渡状
態による誤ったヒユーズ作用を避番ノる為に、２．５ボ
ルトより高い。

第５図はメモリ・セル・アレーの２×２セグメントの回
路図である。種々の回路部品を用いた参照数字の最後の
２つの数字は、該当する場合は、第１図の同様な素子に
対応している。メモリ・セル３１０が導通閉止素子３２
７及びアンチヒユーズ３２８を持っている。導通阻止素
子３２７は、ベース３２０、エミッタ３２０及びコレク
タ３１４を持つバイポーラ・トランジスタを含むことが
好ましい。プログラミングの間、コレクタ３１４は約１
２ボルトであり、動作段階では約５ボルトである。ベー
ス３２０がワード１３４２に接続される。エミッタ３２
４がアンチヒユーズ素子３２８に接続され、この素子が
ビット線３４０に接続される。トランジスタ３２７はコ
レクタ共通モードに接続され、このモードがアドレス・
アクセス時間をよくし、ビット線に余分の利得を持たせ
て、プログラミング能力を改善する。

メモリ・セル４１０，５１０，６１０はメモリ・セル３
１０と同様である。セル４１０のベース４２０がワード
線３４４に接続される。エミッタ４２４がアンチヒユー
ズ４２８に接続され、このアンチヒユーズがビット線３
４０に接続される。

セル５１０のベース５２０がワード＄１３４２に接続さ
れる。エミッタ５２４がアンチヒユーズ５２８に接続さ
れ、このアンチヒユーズがビットｌ１１３４６に接続さ
れる。セル６１０のベース８２０がワード線３４４に接
続される。エミッタ６２４がアンチヒユーズ６２８に接
続され、このアンチヒユーズがビット線３４６に接続さ
れる。例えばセル４１０の内容を読取るには、ワード線
３４４を選択して、トランジスタ４２７をターンオンし
、ビット線３４０を読取る。アンチヒユーズ４２８を短
絡した場合には、１”が読取られ、短絡していない場合
は“０”が読取られる。

アンチヒユーズ３２８をプログラムする為、ワード１！
３４２の電圧■３４２は好ましくは約７．２ボルトまで
徐々に高める。ビット線３４０の電圧ｖ３４０は約１．
０ボルトまで積極的に低くする。

ベース３２０及びエミッタ３２４の間の電圧ＶＢＥ３は
約０．７ボルトである。アンチヒユーズ３２８の両端の
ヒユーズ電圧■Ｆ３は次の様になる。

Ｖ　　−（Ｖ　　　−Ｖ　　　−Ｖ　　　”）−５，５
；ＩＣｌｌ１トＦ３　　　　　３４２　　　　３４０　
　　　　ＢＦ２この電圧はアンチヒユーズ３２８を短絡
するのに適切である。

第５図は、コレクタ共通のメモリ・セルで何故約６ボル
トより高いヒユーズ電圧を使うことが出来ないかをも示
している。アンチヒユーズ５２８及び６２８が図示の様
に既に短絡されていて、アンチヒユーズ３２８を短絡し
たい場合を考える。

短絡したアンチヒユーズ５２８．６２８の抵抗値は問題
にならないと仮定する。ビットｌ１３４０が選択され、
約１．０ボルトに積極的に低くされる。

ビット［１３４０は浮いたままにする。ワード１ｉ１３
４４を積極的に低くして、その電圧Ｖ３４４が約１．０
ボルトになる様にする。ベース５２０及びエミッタ５２
４の間の電圧■８Ｅ５は約０．７ボルトであり、エミッ
タ６２４及びベース６２０の間の逆方向降伏電圧Ｂ■Ｅ
ＢＯ６は約６．０ボルトである。この状態では、ｖ３４
２は次の値より高くなることが出来ない。

ｖ　　　≦Ｖ　　　＋ＢＶ８［６＋Ｖ８Ｅ５−　７．７
ホ）Ｌｔトｖ３４２＝＝７−７ボルトの時Ｖ　　”＝　　７．７Ｖ−ＶＢＥ３　　Ｖ３４０　＝　
６．０ボルト従って、コレクタ共通のメモリ・セルに関
連するアンチヒユーズに対する最大電圧ＶＦは約６．０
ボルトである。この最大電圧はＢＶＥ８ｏの影響を受け
、Ｂ　Ｖ　ＥＢＯは、性能の良いｎｐｎトランジスタで
は、やはり約６．０ボルトである。

ＢｖＥＢＯを増加することが出来れば、■、を増加する
ことが出来るが、ＢｖＥ、。を一層高くする為には、ベ
ースのドーパント濃度を下げなければならない。ベース
のドーパント濃度を下げることは、トランジスタの性能
を著しく劣化させる。

１更立蓋ｊ要約すれば、ダイオード、ＭＯＳ又はバイポーラ導通阻
止素子のセルと両立し得る非晶質シリコン・アンチヒユ
ーズを捉供した。これは特にコレクタ共通の導通阻止素
子と両立し得る。アンチヒユーズを製造する時のアニー
ル工程が、プログラムされていない状態での漏れ電流を
約１０マイクロアンペアにまで下げる。２段階のプログ
ラミング過程が、プログラムされた状態のアンチヒユー
ズの抵抗値を２００オ一ム未満に下げる。厚さ約５００
オングストロームのドープされていない非晶質シリコン
層では、プログラミング電圧は２．５乃至６ボルトの範
囲内である。

好ましい実施例を詳しく説明したが、当業者には、特許
請求の範囲によって定められたこの発明の範囲内で種々
の変更を加えることが出来よう。

以上の説明に関連して、更に下記の項を開示する。

（１）　　非導電状態を持つと共に導電状態に設定する
ことが可能なアンチヒユーズを作る方法に於て、２つの
電気接点の闇に非晶質シリコン本体を形成し、該本体を
アニールして非導電状態で前記２つの接点の間に流れる
漏れ電流を減少する工程を含む方法。

（２）　　第（１）項に記載した方法に於て、非晶質シ
リコン本体をアニールする工程が、約３００℃より高い
温度約３０分の期間にわたって行なわれる方法。

（３）　　第（２）項に記載した方法に於て、温度が約
３５０℃乃至約５２５℃の範囲内である方法。

（４）　　第（１）項に記載した方法に於て、更に、高
融点金属から第１の導電接点を形成し、該第１の接点の
上に非晶質シリコン本体をデポジットし、高融点金属か
ら形成された第２の導電接点を前記本体の上にデポジッ
トする工程を含む方法。

（５）　　第（４）項に記載した方法に於て、更に前記
非晶質シリコン本体とは反対の第２の導電接点上に導電
度の高い金属層をデポジットする工程を含む方法。

（６）　　第（５）項に記載した方法に於て、第１の導
電接点が半導体の上に形成される方法。

（７）　　第（５）項に記載した方法に於て、第２の導
電接点の上にデポジットされた高融点でない金属層から
隔てて、第１の導電接点が第２の導電度の高い金属層の
上に形成される方法。

（８）　　非導電状態から導電状態に設定し得る非晶質
シリコンのアンチヒユーズを有するメモリ・セルをプロ
グラムする方法に於て、前記アンチヒユーズの両端に第
１の電圧を印加し、該アンチヒユーズに第１の電流を通
し、該第１の電流に応答して前記アンチヒユーズが非導
電状態から中間状態に変化し、前記アンチヒユーズの両
端に前記第１の電圧より小さい第２の電圧を印加し、前
記アンチヒユーズに前記第１の電流より大きい第２の電
流を通し、該第２の電流に応答して前記アンチヒユーズ
が中間状態から導電状態に変化する工程を含む方法。

（９）　　第（８）項に記載した方法に於て、ドープし
ていない非晶質シリコン層からアンチヒユーズを形成す
ることを含む方法。

（１０）　　第（８）項に記載した方法に於て、バイポ
ーラ・トランジスタからメモリ・セルを形成することを
含む方法。

（１１）第（１０）項に記載した方法に於て、第１の電
圧が約６ボルト以下であり、第１の電流が１００マイク
ロアンペア乃至１ミリアンペアの範囲内である方法。

（１２）第（１１）項に記載した方法に於て、第１の電
圧が２．５乃至５．５ボルトの範囲内である方法。

（１３）　　第（１０）項に記載した方法に於て、第２
の電圧が約２ボルトであり、第２の電流が１０ミリアン
ペア程度である方法。

（１４）　　第（１０）項に記載した方法に於て、厚さ
約５００人のドープしていないアニールした非晶質シリ
コン層からアンチヒユーズを形成することを含む方法。

（１５）　　非導電状態から導電状態に設定し得るアン
チヒユーズに於て、アニールした非晶質シリコンの本体
と、該本体の両側に形成された２つの電気接点とを有す
るアンチヒユーズ。

（１６）第（１５）項に記載したアンチヒユーズに於て
、前記本体が非導電状態で少なくとも１００キロオーム
の抵抗値を持つ厚さ約５００人の層で構成され、該層が
導電状態で２００オ一ム未満の抵抗値を持つアンチヒユ
ーズ。

（１１）第（１５）項に記載したアンチヒユーズに於て
、１つの電気接点に電気接続されたバイポーラ・トラン
ジスタ導通阻止素子を有するアンチヒユーズ。

（１８）　　第（１７）項に記載したアンチヒユーズに
於て、前記バイポーラ・トランジスタが前記接点に電気
接続されたエミッタを持ち、アンチヒユーズは、約１０
０マイクロアンペア乃至約１０ミリアンペアの範囲の電
流及び約２ボルト乃至約６ボルトの範囲内の電圧を印加
することによって、前記非導電状態から前記導電状態に
設定し得るアンチヒユーズ。

（１９）第（１８）項に記載したアンチヒユーズに於て
、前記非晶質シリコン本体が厚さ約５００人のドープし
ていない非晶質シリコン層であるアンチヒユーズ。

（２０）第（１７）項に記載したアンチヒユーズに於て
、前記バイポーラ・トランジスタ導通阻止素子がバイア
内にある第１の導ＴＩＨに接続され、該第１の導＊ｍが
前記バイアの外側まで横方向に伸びて１つの電気接点に
接続され、アンチヒユーズ及び他方の電気接点が前記バ
イアの外側に配置されているアンチヒユーズ。

（２１）　　第（１５）項に記載したアンチヒユーズに
於て、前記電気接点が高融点導電層であるアンチヒユー
ズ。

（２２）、第（２１）項に記載したアンチヒユーズに於
て、少なくとも１つの電気接点がチタン・タングステン
合金で形成されているアンチヒユーズ。

（２３）第（２１）項に記載したアンチヒユーズに於　
４、て、少なくとも１つの電気接点がタングステンで構
成されているアンチヒユーズ。

（２４）第（２１）項に記載したアンチヒユーズに於て
、１つの電気接点が珪化白金で構成されているアンチヒ
ユーズ。

（２５）半導体層内に形成されたバイポーラ・トランジ
スタ導通阻止素子と、前記半導体層の上に形成されてい
て該半導体層まで通抜けるバイアを持つ誘電体層とを有
し、前記トランジスタのベースがワード線に接続され、
前記トランジスタのエミッタが前記バイアに隣接して形
成されており、更に前記バイア内に形成された第１の高
融点金属層と、該第１の高融点金属層の上に形成されて
いて、非導電状態から導電状態に設定し得るアニールし
た無ドープ非晶質シリコン・アンチヒユーズ層と、該ア
ンチヒユーズ層の上に形成された第２の高融産金ＩＩＩ
と、該第２の高融点金属層の上に形成されていてビット
線に接続された導電層とを有する電気的にプログラム可
能なメモリ・セル。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のアンチヒユーズを用いたメモリ・セル
の側面断面図で、アンチヒユーズはトランジスタ導通阻
止素子のエミッタ接点の隣りに配置されている。第２図
は本発明のアンチヒユーズを用いた別のメモリ・セルの
側面断面図で、アンチヒユーズはバイポーラ導通阻止素
子の上方のバイア内に配置されている。第３図は本発明
のアンチヒユーズを用いた更に別のメモリ・セルの側面
断面図で、アンチヒユーズはバイポーラ導通阻止素子か
ら横方向に変位している。第４図は導通阻止素子と共に
使った時の、本発明のアンチヒユーズのプログラムされ
た状態及びプログラムされていない状態に於けるｍ流−
電圧特性を示すグラフ、第５図は、本発明のアンチヒユ
ーズを用いたバイポーラ形ＰＲＯＭの２Ｘ２セグメント
の回路図である。主な符号の説明１２：半導体基板２７１Ｓ通阻止素子２８：非晶質シリコン層３０：第ルベルの高融点導電層３２：第ルベルの導電度が高い層３４ニレベル閤誘電体層３６二レベル間バイア３８：第２レベルの高融点導電層４０：ビット線

Claims

【特許請求の範囲】

（１）非導電状態を持つと共に導電状態に設定すること
が可能なアンチヒユーズを作る方法に於て、２つの電気
接点の間に非晶質シリコン本体を形成し、該本体をアニ
ールして非導電状態で前記２つの接点の間に流れる漏れ
電流を減少する工程を含む方法。
（２）非導電状態から導電状態に設定し得る非晶質シリ
コンのアンチヒユーズを有するメモリ・セルをプログラ
ムする方法に於て、前記アンチヒユーズの両端に第１の
電圧を印加し、該アンチヒユーズに第１の電流を通し、
該第１の電流に応答して前記アンチヒユーズが非導電状
態から中間状態に変化し、前記アンチヒユーズの両端に
前記第１の電圧より小さい第２の電圧を印加し、前記ア
ンチヒユーズに前記第１の電流より大きい第２の電流を
通し、該第２の電流に応答して前記アンチヒユーズが中
間状態から導電状態に変化する工程を含む方法。
（３）非導電状態から導電状態に設定し得るアンチヒユ
ーズに於て、アニールした非晶質シリコンの本体と、該
本体の両側に形成された２つの電気接点とを有するアン
チヒユーズ。
（４）半導体層内に形成されたバイポーラ・トランジス
タ導通阻止素子と、前記半導体層の上に形成されていて
該半導体層まで通抜けるバイアを持つ誘電体層とを有し
、前記トランジスタのベースがワード線に接続され、前
記トランジスタのエミッタが前記バイアに隣接して形成
されており、更に前記バイア内に形成された第１の高融
点金属層と、該第１の高融点金属層の上に形成されてい
て、非導電状態から導電状態に設定し得るアニールした
無ドープ非晶質シリコン・アンチヒユーズ層と、該アン
チヒユーズ層の上に形成された第２の高融点金属層と、
該第２の高融点金属層の上に形成されていてビット線に
接続された導電層とを有する電気的にプログラム可能な
メモリ・セル。