JPS6244433U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6244433U JPS6244433U JP13564985U JP13564985U JPS6244433U JP S6244433 U JPS6244433 U JP S6244433U JP 13564985 U JP13564985 U JP 13564985U JP 13564985 U JP13564985 U JP 13564985U JP S6244433 U JPS6244433 U JP S6244433U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- block body
- shaped
- substrate
- holding
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の基板保持装置を、第２図乃至
第４図は従来の基板保持装置を示す。 １……ブロツク本体、２……フランジ部、３…
…リング係合部、３ｂ……凹部、４……基板保持
部、１１……基板支持用リング、１２……開口、
１３……係合爪、１４……凹部、１５……孔。
第４図は従来の基板保持装置を示す。 １……ブロツク本体、２……フランジ部、３…
…リング係合部、３ｂ……凹部、４……基板保持
部、１１……基板支持用リング、１２……開口、
１３……係合爪、１４……凹部、１５……孔。
Claims (1)
- リング状のブロツク本体と、閉合自在の弾性を
有する基板保持用のリングとを具備し、前記のブ
ロツク本体のリング状体の上部に外周がブロツク
本体の周縁より凸出し、内周はブロツク本体の内
周と同一のフランジ部を設け、前記のフランジ部
の上面に、先端が内側に向う逆Ｌ字状の複数のリ
ング係合部を形成し、かつブロツク本体の内壁に
基板を支持する基板保持部を設け、前記の基板保
持用のリングは、両端に開口部を有し、かつ前記
のブロツク本体のリング保持部に対応する箇所に
内周に向つて突出するＵ字状の係合爪を形成する
ことを特徴とする分子線エピタキシヤル成長装置
における基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985135649U JPH0325402Y2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985135649U JPH0325402Y2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244433U true JPS6244433U (ja) | 1987-03-17 |
| JPH0325402Y2 JPH0325402Y2 (ja) | 1991-06-03 |
Family
ID=31038036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985135649U Expired JPH0325402Y2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325402Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60112691A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-19 | Anelva Corp | 分子線エピタキシャル成長装置用の基板保持装置 |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP1985135649U patent/JPH0325402Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60112691A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-19 | Anelva Corp | 分子線エピタキシャル成長装置用の基板保持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0325402Y2 (ja) | 1991-06-03 |