JPS624102A - フオトマスクの保管装置 - Google Patents
フオトマスクの保管装置Info
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- JPS624102A JPS624102A JP60143258A JP14325885A JPS624102A JP S624102 A JPS624102 A JP S624102A JP 60143258 A JP60143258 A JP 60143258A JP 14325885 A JP14325885 A JP 14325885A JP S624102 A JPS624102 A JP S624102A
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- photomask
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- mask storage
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＬＳＩ等の製造に用いる各種フォトマスクを
保管するのに用いて最適なフォトマスクの保管装置に関
する。
保管するのに用いて最適なフォトマスクの保管装置に関
する。
〔発明の１既要〕
本発明は、フォトマスクの保管装置において、フォトマ
スクを整列保管するための保管治具を設け、搬送手段に
よりこの保管治具に保管されているフォトマスクを所定
位置に搬送しまたはフォトマスクを上記所定位置から保
管治具に搬送するように構成することにより、フォトマ
スクの保管及びフォトマスクの取り出しを自動化するこ
とを可能にしたものである。
スクを整列保管するための保管治具を設け、搬送手段に
よりこの保管治具に保管されているフォトマスクを所定
位置に搬送しまたはフォトマスクを上記所定位置から保
管治具に搬送するように構成することにより、フォトマ
スクの保管及びフォトマスクの取り出しを自動化するこ
とを可能にしたものである。
従来、フォトマスクの保管は、市販のマスクキャリアま
たはマスク保管箱（１０〜２０枚収容可）を用いて行っ
ている。
たはマスク保管箱（１０〜２０枚収容可）を用いて行っ
ている。
しかしながら、上述のような従来の保管方法では、フォ
トマスクの保管に時間がかかる、必要なフォトマスクを
捜すのに時間がかかる、大きな保管スペースが必要であ
る等の欠点がある。
トマスクの保管に時間がかかる、必要なフォトマスクを
捜すのに時間がかかる、大きな保管スペースが必要であ
る等の欠点がある。
本発明は、上述のような欠点を是正したフォトマスクの
保管装置を提供することを目的とする。
保管装置を提供することを目的とする。
本発明に係るフォトマスクの保管装置は、フォトマスク
（例えばフォトマスク１０）を整列保管するための保管
治具（例えばマスク保管棚１１）と、上記フォトマスク
を搬送するための搬送手段（例えばマスク搬送ロボット
４）とをそれぞれ具備し、上記搬送手段によって、上記
保管治具に保管されている上記フォトマスクを所定位置
（例えばマスクキャリア９）に搬送しまたは上記フォト
マスクを上記所定位置から上記保管治具に搬送するよう
にしている。
（例えばフォトマスク１０）を整列保管するための保管
治具（例えばマスク保管棚１１）と、上記フォトマスク
を搬送するための搬送手段（例えばマスク搬送ロボット
４）とをそれぞれ具備し、上記搬送手段によって、上記
保管治具に保管されている上記フォトマスクを所定位置
（例えばマスクキャリア９）に搬送しまたは上記フォト
マスクを上記所定位置から上記保管治具に搬送するよう
にしている。
以下本発明に係るフォトマスクの保管装置の一実施例に
つき図面を参照しながら説明する。
つき図面を参照しながら説明する。
第１図に示すように、本実施例によるフォトマスクの保
管装置においては、内部に電装等を含む架台部ｌの前面
に装置全体の動作を制御するためのコントロールパネル
２が設けられている。この架台部ｌの上板１ａの上には
マスク保管部３が設けられている。またこの上板１ａに
はＬ字形の開口ｌｂが設けられ、この間口１ｂに沿って
、矢印入方向及び矢印Ｂ方向に全体として移動可能にマ
スク搬送ロボット４が設けられている。一方、マスク保
管部３の上方には、架台部ｌと一体的に天井部５が設け
られ、この天井部５にクリーンユニット６が設けられて
いる。そしてこのクリーンユニット６により、架台部ｌ
と天井部５との側面を連結するように設けられた透明な
側板７ａ、７ｂにより仕切られた空間内に、垂直下方に
流れるダられ、このキャリア載置台８の上に後述のマス
ク保管棚 １１と類似の構造のマスクキャリア９が載置
されるようになっている。そしてマスク保管部３に保管
されているフォトマスク１０をマスク搬送ロボット４に
より取り出してこのマスクキャリア９に収納するか、ま
たはマスクキャリア９に収容されているフォトマスク１
０をマスク搬送ロボット４により取り出してマスク保管
部３に収納するようになっている。
管装置においては、内部に電装等を含む架台部ｌの前面
に装置全体の動作を制御するためのコントロールパネル
２が設けられている。この架台部ｌの上板１ａの上には
マスク保管部３が設けられている。またこの上板１ａに
はＬ字形の開口ｌｂが設けられ、この間口１ｂに沿って
、矢印入方向及び矢印Ｂ方向に全体として移動可能にマ
スク搬送ロボット４が設けられている。一方、マスク保
管部３の上方には、架台部ｌと一体的に天井部５が設け
られ、この天井部５にクリーンユニット６が設けられて
いる。そしてこのクリーンユニット６により、架台部ｌ
と天井部５との側面を連結するように設けられた透明な
側板７ａ、７ｂにより仕切られた空間内に、垂直下方に
流れるダられ、このキャリア載置台８の上に後述のマス
ク保管棚 １１と類似の構造のマスクキャリア９が載置
されるようになっている。そしてマスク保管部３に保管
されているフォトマスク１０をマスク搬送ロボット４に
より取り出してこのマスクキャリア９に収納するか、ま
たはマスクキャリア９に収容されているフォトマスク１
０をマスク搬送ロボット４により取り出してマスク保管
部３に収納するようになっている。
次に各部の詳細につき説明する。
まずマスク保管部３の詳細につき説明する。
第１図に示すように、上記マスク保管部３には、マスク
保管棚１１が６段、８列に設けられている。
保管棚１１が６段、８列に設けられている。
これらのマスク保管棚１１は、第２Ａ図（第１図のＹ−
Ｙ線の断面図）に示すように、支持板１１ａ （第１図
）と、この支持板１１ａによって支持されているマスク
支持棒１１ｂ−１１，ｄとから成り、図示省略した所定
のガイドに沿って矢印Ｃ方向（長手方向）に移動し得る
ようになっている。
Ｙ線の断面図）に示すように、支持板１１ａ （第１図
）と、この支持板１１ａによって支持されているマスク
支持棒１１ｂ−１１，ｄとから成り、図示省略した所定
のガイドに沿って矢印Ｃ方向（長手方向）に移動し得る
ようになっている。
またこれらのマスク支持棒ｌｌｂ〜ｌｉｄのそれぞれに
は多数の横溝（図示せず）が設けられ、これらの横溝を
用いてフォトマスク１０（例えば−辺の長さが５インチ
で厚さが１．６〜３．２ｎ）を等間隔で例えば１７枚整
列保管し得るようになっている。従って、マスク保管部
３には合計６×８×１７＝８１６枚のフォトマスク ｌ
Ｏを保管し得るようになっている。
は多数の横溝（図示せず）が設けられ、これらの横溝を
用いてフォトマスク１０（例えば−辺の長さが５インチ
で厚さが１．６〜３．２ｎ）を等間隔で例えば１７枚整
列保管し得るようになっている。従って、マスク保管部
３には合計６×８×１７＝８１６枚のフォトマスク ｌ
Ｏを保管し得るようになっている。
次にマスク搬送ロボット４の詳細につき説明する。
第１図、第３図及び第４図に示すように、マスク搬送ロ
ボット４においては、架台部１内に設けられている駆動
装置（図示せず）によって矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向に
移動可能に枠体１２が設けられ、この枠体１２の横枠部
１２ａ、１２ｂに沿って公知のスライドシステムにより
移動可能に昇降台１３が設けられている。このスライド
システムにおいては、上記横枠部１２ａ、１２ｂにそれ
ぞれ取り付けられているガイド板１４の側面に沿って、
昇降台１３の側板１３ａに設けられているローラ１５ａ
〜１５ｄが転勤するようになっている。またこの側板１
３ａには逆子字形のブロック１６が固定され、このブロ
ック１６を上下駆動伝達ワイヤー１７が貫通している。
ボット４においては、架台部１内に設けられている駆動
装置（図示せず）によって矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向に
移動可能に枠体１２が設けられ、この枠体１２の横枠部
１２ａ、１２ｂに沿って公知のスライドシステムにより
移動可能に昇降台１３が設けられている。このスライド
システムにおいては、上記横枠部１２ａ、１２ｂにそれ
ぞれ取り付けられているガイド板１４の側面に沿って、
昇降台１３の側板１３ａに設けられているローラ１５ａ
〜１５ｄが転勤するようになっている。またこの側板１
３ａには逆子字形のブロック１６が固定され、このブロ
ック１６を上下駆動伝達ワイヤー１７が貫通している。
この上下駆動伝達ワイヤー１７はブロック１６に対して
固定されていて、架台部１内に設けられている上下駆動
モータ（図示せず）によりこの上下駆動伝達ワイヤー１
７を駆動することにより、昇降台１３を上記ガイド板１
４に沿って矢印り方向（上下方向）に移動し得るように
なっている。
固定されていて、架台部１内に設けられている上下駆動
モータ（図示せず）によりこの上下駆動伝達ワイヤー１
７を駆動することにより、昇降台１３を上記ガイド板１
４に沿って矢印り方向（上下方向）に移動し得るように
なっている。
一方、第３図に示すように、昇降台１３上には、３本の
足１８ａ＝Ｌ８ｃで支持された支持板１９に搬送駆動モ
ータ２０が取り付けられている。また昇降台１３にはこ
の搬送駆動モータ２０に隣接して２段プーリ２１が設け
られていて、この２段プーリ２１の下側のプーリ２１ａ
と上記搬送駆動モータ２０の回転軸に固定されたプーリ
（図示せず）との間に動力伝達ベルト２２が張設され
ている。さらに昇降台１３の中心線に関して２段プーリ
２１と反対側の位置にプーリ２３が設けられていて、こ
のプーリ２３と２段プーリ２１の上側のブーＩ７２ ｌ
ｂとの間に搬送ベルト２４力５張設されている。なお
この搬送ベルト２４はタイミングベルトになっている。
足１８ａ＝Ｌ８ｃで支持された支持板１９に搬送駆動モ
ータ２０が取り付けられている。また昇降台１３にはこ
の搬送駆動モータ２０に隣接して２段プーリ２１が設け
られていて、この２段プーリ２１の下側のプーリ２１ａ
と上記搬送駆動モータ２０の回転軸に固定されたプーリ
（図示せず）との間に動力伝達ベルト２２が張設され
ている。さらに昇降台１３の中心線に関して２段プーリ
２１と反対側の位置にプーリ２３が設けられていて、こ
のプーリ２３と２段プーリ２１の上側のブーＩ７２ ｌ
ｂとの間に搬送ベルト２４力５張設されている。なお
この搬送ベルト２４はタイミングベルトになっている。
また昇降台１３の一端にはガイド板２５が取り付けられ
、このガイド板２５上にはほぼＬ字形のチャック支持板
２６が設けられている。このチャック支持板２６の底面
部２６ａの下面には、ガイド板２５の左右に一対ずつロ
ーラ２７ａ、２７ｂ （片側のみ示す）が設けられてい
る。さらにこの底面部２６ａの上には搬送ベルト２４側
に延びる係合片２８が設けられ、この係合片２８の先端
に設けられた係合孔２８ａ内において搬送ベルト２４の
係合部と係合している。従って、搬送ベルト２４の移動
によってチャック支持板２６がガイド板２５に沿って矢
印Ｅ方向に移動し得るようになっている。
、このガイド板２５上にはほぼＬ字形のチャック支持板
２６が設けられている。このチャック支持板２６の底面
部２６ａの下面には、ガイド板２５の左右に一対ずつロ
ーラ２７ａ、２７ｂ （片側のみ示す）が設けられてい
る。さらにこの底面部２６ａの上には搬送ベルト２４側
に延びる係合片２８が設けられ、この係合片２８の先端
に設けられた係合孔２８ａ内において搬送ベルト２４の
係合部と係合している。従って、搬送ベルト２４の移動
によってチャック支持板２６がガイド板２５に沿って矢
印Ｅ方向に移動し得るようになっている。
第３図及び第４図に示すように、上記チャック支持板２
６の上部にはチャック板駆動モータ２９が取り付けられ
ていて、このチャック板駆動モータ２９の回転軸（図示
せず）の先端にビニオンギア３０が取り付けられている
。このピニオンギア３０は、それぞれほぼ丁字形及びＬ
字形の形状を有する一対のマスクチャック板３１．３２
にそれぞれ固定されているラック３３ ａ、 ３３
ｂと歯合している。またこれらのマスクチャック板３１
゜３２にはそれぞれガイド部材３４ａ、３４ｂがそれぞ
れ取り付けられている。さらにこれらのガイド部材３４
ａ、３４ｂは、チャック支持板２６にその下端が固定さ
れている支持板３５の両端間に固定されているガイド棒
３６ａ、３６ｂに沿って移動可能になっている。従って
、マスクチャック板３１．３２は、チャック板駆動モー
タ２９の回転により矢印Ｆ方向（上下方向）に移動可能
になっている。
６の上部にはチャック板駆動モータ２９が取り付けられ
ていて、このチャック板駆動モータ２９の回転軸（図示
せず）の先端にビニオンギア３０が取り付けられている
。このピニオンギア３０は、それぞれほぼ丁字形及びＬ
字形の形状を有する一対のマスクチャック板３１．３２
にそれぞれ固定されているラック３３ ａ、 ３３
ｂと歯合している。またこれらのマスクチャック板３１
゜３２にはそれぞれガイド部材３４ａ、３４ｂがそれぞ
れ取り付けられている。さらにこれらのガイド部材３４
ａ、３４ｂは、チャック支持板２６にその下端が固定さ
れている支持板３５の両端間に固定されているガイド棒
３６ａ、３６ｂに沿って移動可能になっている。従って
、マスクチャック板３１．３２は、チャック板駆動モー
タ２９の回転により矢印Ｆ方向（上下方向）に移動可能
になっている。
第４図、第２Ａ図及び第２Ｂ図に示すように、上記マス
クチャック板３１．３２のチャック部３１ａ、３２ａに
は■溝３１ｂ、３２ｂがそれぞれ設けられ、これらのＶ
溝３１ｂ、３２ｂ間にフォトマスクＩＯを挟持し得るよ
うになっている。
クチャック板３１．３２のチャック部３１ａ、３２ａに
は■溝３１ｂ、３２ｂがそれぞれ設けられ、これらのＶ
溝３１ｂ、３２ｂ間にフォトマスクＩＯを挟持し得るよ
うになっている。
なおこれらのＶ溝３１ｂ、３２ｂには感圧センサー（図
示せず）が設けられ、従ってフォトマスクＩＯをチャッ
ク部３１ａ、３２ａにより所定圧力で挟持し得るように
なっている。
示せず）が設けられ、従ってフォトマスクＩＯをチャッ
ク部３１ａ、３２ａにより所定圧力で挟持し得るように
なっている。
一方、第５図に示すように、昇降台１３の下面の両端に
は一対の支持板３７ （一方のみ示す）が取り付けられ
、これらの支持板３７の間に一対のガイド棒３８ａ、３
８ｂ及び駆動軸３９が取り付けられている。そしてこれ
らのガイド棒３８ａ。
は一対の支持板３７ （一方のみ示す）が取り付けられ
、これらの支持板３７の間に一対のガイド棒３８ａ、３
８ｂ及び駆動軸３９が取り付けられている。そしてこれ
らのガイド棒３８ａ。
３８ｂに沿って移動可能に移動部材４０が設けられてい
る。この移動部材４０の一端は従来公知のリニアアクチ
ュエータ構造となっていて、この移動部材４０と一体的
に固定されている搬送駆動モータ４１の回転軸に取り付
けられているプーリ４２の回転を上述のリニアアクチュ
エータ部４０ａに設けられているプーリ４３にベルト４
４を介して伝え、このリニアアクチュエータ部４０ａの
作用によって、移動部材４０をガイド棒３８ａ。
る。この移動部材４０の一端は従来公知のリニアアクチ
ュエータ構造となっていて、この移動部材４０と一体的
に固定されている搬送駆動モータ４１の回転軸に取り付
けられているプーリ４２の回転を上述のリニアアクチュ
エータ部４０ａに設けられているプーリ４３にベルト４
４を介して伝え、このリニアアクチュエータ部４０ａの
作用によって、移動部材４０をガイド棒３８ａ。
３８ｂに沿って矢印Ｇ方向に移動させ得るようになって
いる。またこの移動部材４０の他端には、マスク保管棚
１１をチャックするためのＬ字形のチャック片４５が取
り付けられている。
いる。またこの移動部材４０の他端には、マスク保管棚
１１をチャックするためのＬ字形のチャック片４５が取
り付けられている。
次に上述のように構成された本実施例によるフォトマス
クの保管装置の動作につき説明する。
クの保管装置の動作につき説明する。
まずマスク保管部３へのフォトマスク１０の収納方法に
つき説明する。なお全てのマスク保管棚１１はマスク保
管部３に収納されているとする。
つき説明する。なお全てのマスク保管棚１１はマスク保
管部３に収納されているとする。
第１図に示すように、まず洗浄済みまたは使用済みのフ
ォトマスク１０をマスクキャリア９に収容し、このマス
クキャリア９をキャリア載置台８上に載置する。次にコ
ントロールパネル２でフォトマスクｌＯの型名または連
番号等をキーインする。この操作により、まず枠体１２
が開口Ｉｂ内で矢印Ａ方向を手前側に移動し、次いで矢
印Ｂ方向を図面の左側に移動し、最も左側の位置に到達
した時点で停止する。次に第３図に示すように、例えば
昇降台１３を上下駆動伝達ワイヤー１７により矢印り方
向に移動させて、マスクチャック板３１．３２のチャッ
ク部３１ａ、３２ａ間の中心位置がマスクキャリア９内
に収納されているフォトマスク１０の水平な中心線の高
さと一致した時点で移動を停止する。次にチャック支持
板２６をガイド板２５に沿って矢印Ｅ方向をフォトマス
ク１０側に移動させて、マスクチャック板３１゜３２を
第２Ａ図の一点鎖線で示すと同様に位置させる。次にチ
ャック板駆動モータ２９を作動させてピニオンギア３０
を回転させることにより、マスクチャック板３１．３２
をこれらの間の間隔を狭める方向に移動させ、第２Ａ図
に示すと同様にフォトマスク１０を上下から挟んでチャ
ックする。
ォトマスク１０をマスクキャリア９に収容し、このマス
クキャリア９をキャリア載置台８上に載置する。次にコ
ントロールパネル２でフォトマスクｌＯの型名または連
番号等をキーインする。この操作により、まず枠体１２
が開口Ｉｂ内で矢印Ａ方向を手前側に移動し、次いで矢
印Ｂ方向を図面の左側に移動し、最も左側の位置に到達
した時点で停止する。次に第３図に示すように、例えば
昇降台１３を上下駆動伝達ワイヤー１７により矢印り方
向に移動させて、マスクチャック板３１．３２のチャッ
ク部３１ａ、３２ａ間の中心位置がマスクキャリア９内
に収納されているフォトマスク１０の水平な中心線の高
さと一致した時点で移動を停止する。次にチャック支持
板２６をガイド板２５に沿って矢印Ｅ方向をフォトマス
ク１０側に移動させて、マスクチャック板３１゜３２を
第２Ａ図の一点鎖線で示すと同様に位置させる。次にチ
ャック板駆動モータ２９を作動させてピニオンギア３０
を回転させることにより、マスクチャック板３１．３２
をこれらの間の間隔を狭める方向に移動させ、第２Ａ図
に示すと同様にフォトマスク１０を上下から挟んでチャ
ックする。
次に上述のようにしてフォトマスク１０をマスクチャッ
ク板３１．３２でチャックした状態でマスク搬送ロボッ
ト４を矢印Ｂ方向に移動させ、フォトマスク１０を保管
すべきマスク保管棚１１に対応する水平方向の位置を所
定距離越えた位置で移動を停止する。次に昇降台１３を
矢印り方向に移動させ、マスクチャック板３１．３２で
チャックされたフォトマスク１０を上述のマスク保管棚
１１とほぼ同一の高さに位置させる。次に昇降台１３の
下側に設けられている搬送駆動モータ４１を作動させて
移動部材４０をガイド棒３８ａ。
ク板３１．３２でチャックした状態でマスク搬送ロボッ
ト４を矢印Ｂ方向に移動させ、フォトマスク１０を保管
すべきマスク保管棚１１に対応する水平方向の位置を所
定距離越えた位置で移動を停止する。次に昇降台１３を
矢印り方向に移動させ、マスクチャック板３１．３２で
チャックされたフォトマスク１０を上述のマスク保管棚
１１とほぼ同一の高さに位置させる。次に昇降台１３の
下側に設けられている搬送駆動モータ４１を作動させて
移動部材４０をガイド棒３８ａ。
３８ｂに沿ってマスク保管部３側に移動させて（第５図
参照）、この移動部材４０の一端に設けられたチャック
片４５をマスク保管棚１１の支持板１１ａに設けられた
矩形状の開口ｌｉｅ内に挿入する。次に昇降台１３を少
し上昇させた後、移動部材４０を手前側に移動させる。
参照）、この移動部材４０の一端に設けられたチャック
片４５をマスク保管棚１１の支持板１１ａに設けられた
矩形状の開口ｌｉｅ内に挿入する。次に昇降台１３を少
し上昇させた後、移動部材４０を手前側に移動させる。
この結果、マスク保管棚１１の上記支持板１１ａがチャ
ック片４５で引っ掛けられてこのマスク保管棚１１が第
１図に示すように手前側に所定距離だけ引き出される。
ック片４５で引っ掛けられてこのマスク保管棚１１が第
１図に示すように手前側に所定距離だけ引き出される。
次に必要に応じて昇降台１３の高さ位置を調節した後、
昇降台１３上でチャック支持板２６をガイド板 ２５に
沿ってマスク保管棚ｌｌ側に移動させることにより、マ
スクチャック板３１゜３２でチャックされたフォトマス
ク１０をマスク保管棚１１の所定位置に挿入する。次に
マスクチャック板３１．３２を開いてフォトマスク１０
のチャックを解除した後、これらのマスクチャック板３
１．３２をマスク保管棚１１から離れる方向に移動させ
る。次にマスク保管棚１１の支持板１１ａを引っ掛けて
いるチャック片４５をこの支持板１１ａの開口１１ｅか
ら抜き出した後、昇降台１３を少し上昇させる。次に移
動部材４０を奥側に移動させることにより、チャック片
４５の先端で支持板１１ａを押しながらマスク保管棚１
１をマスク保管部３内に収納する。
昇降台１３上でチャック支持板２６をガイド板 ２５に
沿ってマスク保管棚ｌｌ側に移動させることにより、マ
スクチャック板３１゜３２でチャックされたフォトマス
ク１０をマスク保管棚１１の所定位置に挿入する。次に
マスクチャック板３１．３２を開いてフォトマスク１０
のチャックを解除した後、これらのマスクチャック板３
１．３２をマスク保管棚１１から離れる方向に移動させ
る。次にマスク保管棚１１の支持板１１ａを引っ掛けて
いるチャック片４５をこの支持板１１ａの開口１１ｅか
ら抜き出した後、昇降台１３を少し上昇させる。次に移
動部材４０を奥側に移動させることにより、チャック片
４５の先端で支持板１１ａを押しながらマスク保管棚１
１をマスク保管部３内に収納する。
この後、マスク搬送ロボット４を矢印Ｂ方向及び矢印Ａ
方向に移動させて原点位置に位置させる。
方向に移動させて原点位置に位置させる。
次にマスク保管部３から必要なフォトマスクｌＯを取り
出す方法につき説明する。
出す方法につき説明する。
まず予めキャリア載置台８の上に空のマスクキャリア９
を載置した状態においてコントロールパネル２で必要な
フォトマスク１０の型名または連番号等をキーインする
。この操作によりマスク搬送ロボット４が上述と同様に
して矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向の動作で、指定されたマ
スク保管棚１１に対応する位置に移動する。次に上述と
同様にして、昇降台１３、マスクチャック板３１゜３２
、移動部材４０等の移動により、必要なフォトマスクｌ
Ｏが収納されているマスク保管棚１１を引き出した後、
マスクチャック板３１．３２により必要なフォトマスク
ｌＯをチャックして取り出す。次にマスク保管棚１１を
上述と同様にしてチャック片４５により押し込んだ後、
フォトマスク１０をマスクチャック板３１．３２でチャ
ックしたままの状態でマスク搬送ロボット４をマスクキ
ャリア９側に移動させる。次にマスクキャリア９からの
フォトマスク１０の取り出しと逆の順序でフォトマスク
１０をマスクキャリア９内に収納する。この後、マスク
搬送ロボット４を原点位置に移動させる。
を載置した状態においてコントロールパネル２で必要な
フォトマスク１０の型名または連番号等をキーインする
。この操作によりマスク搬送ロボット４が上述と同様に
して矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向の動作で、指定されたマ
スク保管棚１１に対応する位置に移動する。次に上述と
同様にして、昇降台１３、マスクチャック板３１゜３２
、移動部材４０等の移動により、必要なフォトマスクｌ
Ｏが収納されているマスク保管棚１１を引き出した後、
マスクチャック板３１．３２により必要なフォトマスク
ｌＯをチャックして取り出す。次にマスク保管棚１１を
上述と同様にしてチャック片４５により押し込んだ後、
フォトマスク１０をマスクチャック板３１．３２でチャ
ックしたままの状態でマスク搬送ロボット４をマスクキ
ャリア９側に移動させる。次にマスクキャリア９からの
フォトマスク１０の取り出しと逆の順序でフォトマスク
１０をマスクキャリア９内に収納する。この後、マスク
搬送ロボット４を原点位置に移動させる。
なおマスクキャリア９内に複数のフォトマスク１０が収
容され、これらを全てマスク保管棚１１に収納する場合
及びマスク保管部３から複数のフォトマスクＩＯを取り
出す場合は、上述と同様の動作を繰り返せばよい。
容され、これらを全てマスク保管棚１１に収納する場合
及びマスク保管部３から複数のフォトマスクＩＯを取り
出す場合は、上述と同様の動作を繰り返せばよい。
上述の実施例によれば次のような種々の利点がある。す
なわち、マスク保管棚１１を６段、８列に設け、これら
のマスク保管棚１１のそれぞれにフォトマスクＩＯを保
管するようにしているので、マスク保管部３に多数のフ
ォトマスク１０を保管することができる。しかも同数の
フォトマスク１０保管する場合、従来に比べて保管スペ
ースを小さくすることができる―またコントロールパネ
ル２でフォトマスク１０の型名等の情報を入力するだけ
で、マスク搬送ロボット４によってマスク保管棚１１か
ら必要なフォトマスクＩＯを取り出したり、マスク保管
棚１１にフォトマスクｌＯを収納したりすることができ
るので、フォトマスク１０の取り出し及び保管を迅速か
つ確実にしかも自動的に行うことができる。またフォト
マスク１０の管理ミスが生ずることもない。のみならず
、マスク保管棚１１におけるフォトマスク１０の保管や
フォトマスク１０の移動等は全てクリーンユニット６に
より形成されるダウンフロー内で行われるので、フォト
マスクｌＯへのダストの付着を効果的に防止することが
できる。さらにマスクチャック板３１．３２（７）Ｖ溝
３１ｂ、３２ｂに感圧センサーを設けているので、チャ
ック時にフォトマスク１０に損傷等が生ずることがない
。
なわち、マスク保管棚１１を６段、８列に設け、これら
のマスク保管棚１１のそれぞれにフォトマスクＩＯを保
管するようにしているので、マスク保管部３に多数のフ
ォトマスク１０を保管することができる。しかも同数の
フォトマスク１０保管する場合、従来に比べて保管スペ
ースを小さくすることができる―またコントロールパネ
ル２でフォトマスク１０の型名等の情報を入力するだけ
で、マスク搬送ロボット４によってマスク保管棚１１か
ら必要なフォトマスクＩＯを取り出したり、マスク保管
棚１１にフォトマスクｌＯを収納したりすることができ
るので、フォトマスク１０の取り出し及び保管を迅速か
つ確実にしかも自動的に行うことができる。またフォト
マスク１０の管理ミスが生ずることもない。のみならず
、マスク保管棚１１におけるフォトマスク１０の保管や
フォトマスク１０の移動等は全てクリーンユニット６に
より形成されるダウンフロー内で行われるので、フォト
マスクｌＯへのダストの付着を効果的に防止することが
できる。さらにマスクチャック板３１．３２（７）Ｖ溝
３１ｂ、３２ｂに感圧センサーを設けているので、チャ
ック時にフォトマスク１０に損傷等が生ずることがない
。
さらにまた、フォトマスクｌＯの取り出し及び保管を上
述のように自動的に行うことができるので、上述の実施
例によるフォトマスクの保管装置は、半導体製造ライン
の自動化に対応できるものである。
述のように自動的に行うことができるので、上述の実施
例によるフォトマスクの保管装置は、半導体製造ライン
の自動化に対応できるものである。
以上本発明の実施例につき説明したが、本発明は上述の
実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想
に基づく種々の変形が可能である。
実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想
に基づく種々の変形が可能である。
例えば、マスク保管棚１１の段数及び列数は必要に応じ
て選択し得るものである。また上述の実施例においては
、昇降台１３の移動部材４０に設けたチャック片４５に
よりマスク保管棚１１を引き出したり押し込んだりして
いるが、例えばマスク保管部３の後部にこれらのマスク
保管棚１１の駆動機構を設け、この駆動機構によりこれ
らのマスク保管棚１１の引き出し及び押し込みを行うよ
うにしてもよい。さらにまた、コントロールパネル２で
フォトマスク１０の情報を入力するために磁気カード等
を用いることも可能である。
て選択し得るものである。また上述の実施例においては
、昇降台１３の移動部材４０に設けたチャック片４５に
よりマスク保管棚１１を引き出したり押し込んだりして
いるが、例えばマスク保管部３の後部にこれらのマスク
保管棚１１の駆動機構を設け、この駆動機構によりこれ
らのマスク保管棚１１の引き出し及び押し込みを行うよ
うにしてもよい。さらにまた、コントロールパネル２で
フォトマスク１０の情報を入力するために磁気カード等
を用いることも可能である。
本発明に係るフォトマスクの保管装置によれば、フォト
マスクの保管及び取り出しを自動的に行うことが可能で
ある。
マスクの保管及び取り出しを自動的に行うことが可能で
ある。
第１図は本発明の一実施例によるフォトマスクの保管装
置を示す斜視図、第２Ａ図はマスクチャック板によるフ
ォトマスクのチャック動作を説明するための正面図、第
２Ｂ図は第２Ａ図のＸ−Ｘ線の断面図、第３図はマスク
搬送ロボットの詳細を示す拡大斜視図、第４図はマスク
チャック機構を示す拡大斜視図、第５図はマスク搬送ロ
ボ・レトの詳細を示す拡大斜視図である。 なお、図面に用いた符号において、 １−−−−−−−−−−一・−−−−−−・架台部２−
・−〜−−−−−−・−−−−−−コントロールパネル
３−−−−−−−−−−−−−−−−−−−マスク保管
部４−・−−−−−−−−−−−・−・−マスク搬送ロ
ボット６−−−−−−−−−−−−・−−−−−−クリ
ーンユニット９−・−−−一−−−・−・−・−マスク
キャリア１０−・・−−−−−−−−−−フォトマスク
１１−−−−−−−−・−・−マスク保管棚１３・・・
−・−・−・昇降台 １７−−−−−−−−−−・−上下駆動伝達ワイヤー３
１．３２・・−・−−−−一−−マスクチャック板であ
る。
置を示す斜視図、第２Ａ図はマスクチャック板によるフ
ォトマスクのチャック動作を説明するための正面図、第
２Ｂ図は第２Ａ図のＸ−Ｘ線の断面図、第３図はマスク
搬送ロボットの詳細を示す拡大斜視図、第４図はマスク
チャック機構を示す拡大斜視図、第５図はマスク搬送ロ
ボ・レトの詳細を示す拡大斜視図である。 なお、図面に用いた符号において、 １−−−−−−−−−−一・−−−−−−・架台部２−
・−〜−−−−−−・−−−−−−コントロールパネル
３−−−−−−−−−−−−−−−−−−−マスク保管
部４−・−−−−−−−−−−−・−・−マスク搬送ロ
ボット６−−−−−−−−−−−−・−−−−−−クリ
ーンユニット９−・−−−一−−−・−・−・−マスク
キャリア１０−・・−−−−−−−−−−フォトマスク
１１−−−−−−−−・−・−マスク保管棚１３・・・
−・−・−・昇降台 １７−−−−−−−−−−・−上下駆動伝達ワイヤー３
１．３２・・−・−−−−一−−マスクチャック板であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 フォトマスクを整列保管するための保管治具と、上記フ
ォトマスクを搬送するための搬送手段とをそれぞれ具備
し、 上記搬送手段によって、上記保管治具に保管されている
上記フォトマスクを所定位置に搬送しまたは上記フォト
マスクを上記所定位置から上記保管治具に搬送するよう
にしたことを特徴とするフォトマスクの保管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14325885A JPH0674082B2 (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | フオトマスクの保管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14325885A JPH0674082B2 (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | フオトマスクの保管装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624102A true JPS624102A (ja) | 1987-01-10 |
| JPH0674082B2 JPH0674082B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=15334561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14325885A Expired - Lifetime JPH0674082B2 (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | フオトマスクの保管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674082B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63267601A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | マスク管理設備 |
| JPH04268667A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-24 | Hitachi Ltd | 生産管理システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58153935A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Toshiba Corp | フオトマスクの出納方式 |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP14325885A patent/JPH0674082B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58153935A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Toshiba Corp | フオトマスクの出納方式 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63267601A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | マスク管理設備 |
| JPH04268667A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-24 | Hitachi Ltd | 生産管理システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0674082B2 (ja) | 1994-09-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |