JPS6234180U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6234180U JPS6234180U JP12572985U JP12572985U JPS6234180U JP S6234180 U JPS6234180 U JP S6234180U JP 12572985 U JP12572985 U JP 12572985U JP 12572985 U JP12572985 U JP 12572985U JP S6234180 U JPS6234180 U JP S6234180U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- pump
- diaphragm
- diaphragms
- evacuation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
図面は本考案の実施例の截断側面図である。
１……ポンプケース、２，２……ダイヤフラム
、３……コネクテイングロツド、１１……ロツド
ケース、１３……通路。
、３……コネクテイングロツド、１１……ロツド
ケース、１３……通路。
Claims (1)
- ポンプケース内に複数個のダイヤフラムを設け
、各ダイヤフラムを夫々別個のロツドケースに収
容したコネクテイングロツドにより真空排気の往
復動を行なわせるようにしたものに於いて、各ロ
ツドケースを気密の室に形成すると共に各室を通
路により互に連通して成るダイヤフラム形真空ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12572985U JPS6234180U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12572985U JPS6234180U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234180U true JPS6234180U (ja) | 1987-02-28 |
Family
ID=31018884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12572985U Pending JPS6234180U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234180U (ja) |
-
1985
- 1985-08-19 JP JP12572985U patent/JPS6234180U/ja active Pending