JPS6233777A - Carrousel for surface treatment device - Google Patents

Carrousel for surface treatment device

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JPS6233777A
JPS6233777A JP17391885A JP17391885A JPS6233777A JP S6233777 A JPS6233777 A JP S6233777A JP 17391885 A JP17391885 A JP 17391885A JP 17391885 A JP17391885 A JP 17391885A JP S6233777 A JPS6233777 A JP S6233777A
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frame
supports
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JP17391885A
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Japanese (ja)
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JPH0627352B2 (en
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Sadao Hatano
籏野 貞夫
Toshiaki Araki
荒木 敏秋
Tetsushi Ishida
哲史 石田
Yuzo Kida
木田 裕蔵
Tetsuro Uemura
哲朗 植村
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NEC Corp
Uemera Kogyo Co Ltd
C Uyemura and Co Ltd
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NEC Corp
Uemera Kogyo Co Ltd
C Uyemura and Co Ltd
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    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/06Suspending or supporting devices for articles to be coated
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    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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Abstract

PURPOSE:To simplify the attaching and detaching operation of many disk-shaped works and to improve the contact efficiency between the works and treating liquid by supporting the above-mentioned works by bar-shaped supports inserted into the central holes thereof, horizontally fixing the ends of the supports to a frame and rotating the works. CONSTITUTION:The bar-shaped support 2, 3 for mounting the works of a carrousel 1 for a surface treatment device for treating the works W by immersing the same into the treating liquid in a treatment tank T are freely rotatably mounted at one end thereof to the frame 7 and are horizontally supported into a cantilever state. These supports are inserted into the central holes (a) of the many disk-shaped works W to hold the works at spaced intervals. The above-mentioned frame 7 is made hollow to form a liquid-tight chamber 12 therein. A shaft 6 screwed via a boss 5 to the ends of the supports 2, 3 is projected into the chamber 12. The shaft 6 is rotated by a sprocket 16 of a motor 17 and a chain 15 via a sprocket 13 attached to said shaft, by which the works W are rotated in the treating liquid and the good contact is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はめっき処理等の表面処理用のワー・りを装着す
るためのカーロセル(治具)に関し、より詳細には、磁
気記憶ディスクのめつき処理に適したカーロセルに関覆
る。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a Carlo cell (jig) for mounting a workpiece for surface treatment such as plating, and more specifically to a carousel (jig) for mounting a workpiece for surface treatment such as plating. This article will discuss Carlocell, which is suitable for drying treatment.

(従来の技術) ・一般に磁気記憶ディスクは、アルミニウム又はアルミ
ニウム合金の環状板がディスク素材として使用されてお
り、その表向にコバルト・ニラクル・りんめつきを施し
又磁気媒体が形成され又いる。
(Prior Art) Generally, magnetic storage disks use an annular plate made of aluminum or aluminum alloy as the disk material, and the surface of the plate is coated with cobalt niracles and a magnetic medium is formed thereon.

(発明が解決しようとする問題点) ところがそのようなディスクでは、めっ゛きの品質を極
めて高く維持する必要がある。このため、ディスクを重
ね合せず、めっき処理中、各ディスクを回転させなけれ
ばならないという問題がある。
(Problem to be Solved by the Invention) However, in such discs, it is necessary to maintain extremely high plating quality. Therefore, there is a problem in that each disk must be rotated during the plating process without overlapping the disks.

(問題点を解決り゛るための手段) 上記問題を解決するために、本発明は、ワーク装着用棒
状サポートの一端をフレ、−ムに回転自在に取付けて棒
状リポートをフレー・ムにより片持ち梁状態ぐ水平に支
持し、上記サポート端部を固定したフレーム部分を中空
Wi造にして内部に液密状態の室を形成し、咳室にサポ
ートを回転させるザボート駆!11g1M#を設け、サ
ポー トを円板状の多数のワークの中心孔に挿入するこ
とにより、多数のワークを間隔を隔ててサポー トによ
り保持するようにし、それと同時にワークに回転を伝達
することを特徴としている。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention provides a method in which one end of a rod-shaped support for mounting a workpiece is rotatably attached to a frame, and a rod-shaped support is separated by the frame. It is supported horizontally as a beam, and the frame part with the support end fixed is made of hollow wire to form a liquid-tight chamber inside, and the support is rotated in the cough room! By installing a 11g1M# and inserting the support into the center hole of a large number of disc-shaped workpieces, it is possible to hold a large number of workpieces at intervals by the supports, and at the same time transmit rotation to the workpieces. It is a feature.

(作用) 上記構成によると、カーロセルに対してワークをサポー
トの長手方向に移動させ、リポートをその非支持端部を
先頭にして多数のワークの中心孔に入込ませることによ
り、ワークの装着が完Yし、ワークの中心孔からリポー
トを抜くことによりワークの取外しが完了する。
(Function) According to the above configuration, the workpieces are moved in the longitudinal direction of the support with respect to the carousel, and the reports are inserted into the center holes of the many workpieces with their unsupported ends leading, thereby allowing the workpieces to be mounted. When the report is removed from the center hole of the workpiece, removal of the workpiece is completed.

又処理作業時は、ワークを装着した状態″Cナボートを
回転さけることにより、ワークを回転させて処理液との
接触効率を高め、めっき品質の同上及び処理時間の短縮
を図ることができる。
In addition, during treatment work, by avoiding rotation of the "C nabot" with the workpiece attached, the workpiece can be rotated to increase contact efficiency with the treatment solution, improving plating quality and shortening treatment time.

史にサポート駆動装置はフレーム内部の室に設番プであ
るので、駆動装置が処理液に触れることはない。
Historically, the support drive device is installed in a chamber inside the frame, so the drive device does not come into contact with the processing liquid.

(実施例) 第1図はワークWを、カーロセル1(冶具)に装着して
処1!I!槽T内の無電解めっき液(図示往f)に漬け
た状態を垂直断面で示している。ワークWは磁気記憶f
イスクの累月で、アルミニウム又はその合金からなる環
状かつ板状の部材で形成されており、中心部に孔aを備
えている。
(Example) Figure 1 shows the workpiece W being mounted on the carro cell 1 (jig) and processing 1! I! The vertical cross section shows the state immersed in the electroless plating solution (FIG. 5) in tank T. Workpiece W is magnetic memory f
It is made of an annular plate-shaped member made of aluminum or its alloy, and has a hole a in the center.

カー[lセル1は棒状リポート2.3を備え(いる。リ
ポート2はワークWの中心孔a内に入込んでその内周を
支持してJ3す、ワークWはリポート2の周囲に垂直な
姿勢で位置している。ワークWは、サポート2の長手方
向に一定間隔を隔てて多数装着されており、す″ボーI
〜2はほぼその全長にわたってワークWを支持している
The cell 1 is equipped with a rod-shaped report 2.3.The report 2 enters into the center hole a of the work W and supports its inner periphery.The work W is perpendicular to the periphery of the report 2. A large number of workpieces W are mounted at regular intervals in the longitudinal direction of the support 2, and
2 supports the workpiece W over almost its entire length.

サポート2は一端部にボス5を備えており、ボス5の先
端のねじ孔に1袖6のねじ部が固定されでいる。軸6は
リポート2と同芯であり、゛リポート2μ軸6の部分に
a3いてル−ム7のボス8により片持ら梁状態で水・胚
に支持されている。ボス8は厚肉の筒状部材で、フレー
ム7に固定されており、その内周面により軸受10を介
して軸6を回転自在に支持している。又ボス8の内周面
とボス5の間には液密シール11が介装されている。
The support 2 is provided with a boss 5 at one end, and a threaded portion of one sleeve 6 is fixed to a threaded hole at the tip of the boss 5. The shaft 6 is coaxial with the report 2, and is supported by the water/embryo in a cantilevered manner by the boss 8 of the room 7 at the part a3 of the report 2μ shaft 6. The boss 8 is a thick-walled cylindrical member that is fixed to the frame 7, and rotatably supports the shaft 6 via a bearing 10 by its inner peripheral surface. Further, a liquid-tight seal 11 is interposed between the inner peripheral surface of the boss 8 and the boss 5.

ボス8を固定したフレーム7は中空構造で、内部に密閉
構造の室12を備えており、又上下に長く延びている。
The frame 7 to which the boss 8 is fixed has a hollow structure, has a sealed chamber 12 inside, and extends vertically.

軸6の端部は室12へ突出しており、その突出端部にス
プロケット13が成句けである。ズブ1コケツト13は
室12内に設けたチェーン15(駆動機構)を介して上
方の駆動スプ[Jケラト16に連結している。スプロケ
ット16はモータ17の出力軸に固定されており、この
モータ17もフレーム7の密閉構造の室に設けである。
The end of the shaft 6 projects into the chamber 12, and a sprocket 13 is attached to the projecting end. The socket 1 socket 13 is connected to the upper drive sprocket 16 via a chain 15 (drive mechanism) provided in the chamber 12. The sprocket 16 is fixed to the output shaft of a motor 17, and this motor 17 is also provided in a sealed chamber of the frame 7.

上記構造によると、処理作業中にモー917によりチェ
ーン15等を介してリポート2を回転させることににす
、ワークWも処理液中で回転する。
According to the above structure, the report 2 is rotated by the motor 917 via the chain 15 etc. during the processing operation, and the workpiece W is also rotated in the processing liquid.

従ってワークWと!l11理液どの接触効率は高くなり
、処理時間の短縮及び品質の向上が図られる。なおモー
タ17に変えて外部に駆動軸を設番)、該軸により室1
2内部の駆動機構を介してサポート2を駆動するように
構成することもできる。
Therefore, work W! The contact efficiency of the 111 physical liquid is increased, and processing time is shortened and quality is improved. In addition, an external drive shaft is installed in place of the motor 17), and the shaft rotates the chamber 1.
The support 2 can also be configured to be driven via a drive mechanism inside the support 2.

フレーム7の上端は水平に延びるフレーム18に連結し
ている。図示のめつき処理状態において、フレーム18
の両端は処理槽下の上縁のシート等(図示せず)に@座
している。又フレーム18の両端部近傍からは上方へア
ーム20が突出している。各アーム20は上端にフック
21を備えている。図示されていない搬送ロボット等に
より力−ロレル1及びワークWを冒険及び搬送りる場合
、搬送ロボットがノック21を保持しC力−ロセル1を
吊上げるようになっている。
The upper end of the frame 7 is connected to a horizontally extending frame 18. In the illustrated plating process state, the frame 18
Both ends are seated on a sheet or the like (not shown) at the upper edge of the bottom of the processing tank. Further, arms 20 protrude upward from near both ends of the frame 18. Each arm 20 is provided with a hook 21 at its upper end. When transporting the loader 1 and the workpiece W by a transport robot (not shown) or the like, the transport robot holds the knock 21 and lifts the loader 1.

前記サポート2及びボス5、軸6、スプロケット13は
スデンレス等の電導材て゛作られ又おり、豆いに導通状
態で連結されている。スプロケット13のボス8側の端
面にはカーボンブラシ22が接触している。、カー・・
ボンブラシ22は図示されていない電位検知器に接続し
ている。又後述する如く、ワークWはサポート2に導通
状態で支持されている。一方処理槽T内には、処理液の
電位を検知づるための標準電極23が設けである。従っ
てサポート2に装着されたワークWの電位をサポート2
やスプロケット13を介し一〇電位検知器で検知器ると
ともに、処理槽1゛の処理液の電位を標準電極23を介
して電位検知器で検知し、両者の電位差の変化に基づい
で、実際にめっきが開始されたことを検知することがで
きる。
The support 2, boss 5, shaft 6, and sprocket 13 are made of an electrically conductive material such as stainless steel, and are electrically connected to the base. A carbon brush 22 is in contact with the end surface of the sprocket 13 on the boss 8 side. ,car··
The bomb brush 22 is connected to a potential detector (not shown). Further, as will be described later, the workpiece W is supported by the support 2 in a conductive state. On the other hand, inside the processing tank T, a standard electrode 23 is provided for detecting the potential of the processing liquid. Therefore, the potential of the workpiece W attached to support 2 is
In addition, the potential of the processing solution in the processing tank 1 is detected by a potential detector via the standard electrode 23, and based on the change in the potential difference between the two, the actual It is possible to detect that plating has started.

他方のサポート3も、直径が大きい点を除いて、Uボー
ト2と同様に構成されて、1タリ、スプロケット13に
より駆動されるとともに、サポート3上のワークW(第
1図では図ボせず)の電位をサポート3に固定したスプ
ロケット133やブラシ22を介して検知できる。
The other support 3 has the same structure as the U-boat 2 except that it has a larger diameter, and is driven by a single sprocket 13. ) can be detected via the sprocket 133 fixed to the support 3 and the brush 22.

なa34ナポート2は内径及び外径の小さい1ノークW
を装着する場合に使用され、サボー1−3は内径及び外
径の大きいワークW/!!−装着する場合に使用される
A34 Naport 2 is a 1-nork W with small inner and outer diameters.
Sabo 1-3 is used when attaching workpieces W/! with large inner and outer diameters. ! - Used when mounting.

第1図の一部切欠き拡大部分略図である第2図の如く、
サポート2の外周面には多数の環状山部216及び環状
溝部26が長手方向に交Hに設けである。各山部25の
Kl iB+ 27はサポート2の中心線Sと間怠の円
筒面となってJ3す、両側面28はテーパ血となってい
る。各溝部26の底面29(よリボ〜ト中心線Sと間怠
の円筒面であり、両側面30はサポート中心線Sと概ね
直角な環状面となっている。ワークWは溝部26に嵌合
しており、中心孔aの内周面は底面29の−L部に着座
している。又溝部26の幅gはワークW(r)IIノさ
よりも僅かに大きい程度に設定されている。従ってワー
クWは溝部26にJ、リザボート2の長手方向にほぼ移
動不能に位置決めされている。
As shown in Fig. 2, which is an enlarged partially cutaway schematic diagram of Fig. 1,
On the outer peripheral surface of the support 2, a large number of annular peaks 216 and annular grooves 26 are provided at intersections H in the longitudinal direction. Kl iB+ 27 of each peak 25 forms a cylindrical surface J3 that is parallel to the center line S of the support 2, and both side surfaces 28 are tapered. The bottom surface 29 of each groove 26 is a cylindrical surface that is parallel to the center line S of the rib, and both side surfaces 30 are annular surfaces that are approximately perpendicular to the center line S of the support. The inner circumferential surface of the center hole a is seated on the -L portion of the bottom surface 29. Furthermore, the width g of the groove portion 26 is set to be slightly larger than the width of the workpiece W(r)II. Therefore, the work W is positioned in the groove 26 so as to be substantially immovable in the longitudinal direction of the reservoir 2.

上記IC1面27及び側面28(又は頂面27、側面2
8、側面30)は樹脂等の絶縁材で覆われCいる。−・
方、底面29は1ナボート2の素材表面゛C形成されて
J3す、ワークWとサポート2は中心孔aの内周1n1
と底i/I229との接触部分を介して電気的に接続し
ている。明(市には図示されていないが、第1図のリー
ボート3に6同様の山部及び溝部が辺りである。なJ3
図示のワークWには、あらかじめ内周面以外の表面に非
磁気媒体にッケル・りん)のめっきが施されており、図
示の装置では、その非磁気媒体の表向に磁気媒体のめっ
きが施される。
The above IC1 surface 27 and side surface 28 (or top surface 27, side surface 2
8. The side surface 30) is covered with an insulating material such as resin. −・
On the other hand, the bottom surface 29 is formed on the material surface ゛C of the 1-nabot 2, and the workpiece W and the support 2 are formed on the inner periphery 1n1 of the center hole a.
and the bottom i/I 229 are electrically connected through a contact portion. Akira (Although not shown in the city, there are mountains and grooves similar to those in Leebot 3 and 6 in Figure 1.J3
In the illustrated workpiece W, a non-magnetic medium has been plated with nickel/phosphorus on the surface other than the inner peripheral surface, and in the illustrated apparatus, the magnetic medium is plated on the surface of the non-magnetic medium. be done.

第1図の一部切欠き■−■矢視略図である第3図の如く
、サポート2はnいに上下左右に間隔を隔てC合計4本
設けてあり、サポート3は下側の2本のサポート20間
かつ斜め上方に設【プである。
As shown in Fig. 3, which is a partially cutaway view of Fig. 1 in the direction of the ■-■ arrows, the supports 2 are provided with a total of four Cs spaced vertically and horizontally, and the supports 3 are the two on the lower side. It is placed between 20 supports and diagonally above.

ト記ワークWは、カーロ廿ル1の装着される前の状態で
は、第4図のマガジンMに装填されており、マガジンM
に装填された状態で後述する装着装置により搬送されて
カーロセル1に装着される。
The workpiece W described above is loaded in the magazine M shown in FIG.
The loaded state is transported by a mounting device to be described later and mounted on the carousel 1.

第4図及びそのv−■断面略図である第5図にd3いて
、マガジンMは1対の側板35と、それらの下部両端を
つなぐ連結部材36と、両端が側板35に支持される3
本のDラド3フとを備えている。ロッド37は側板35
の上部両側部と下部中間部に取付けてあり、連結部材3
6と平行に延びている。各ロッド37の外周面には、そ
の全長にわたって、多数の環状溝38が所定間隔毎に設
け′(あり、溝38にワークWの外周がロッド37の長
手方向に移動不能の状態で入込んでいる。第5図にJ3
いて左右両側のロッド37はワークWを両側から支持し
てJ3す、下部のロッド37はワークWをF方から支持
している。従ってマガジンMに装填された状態では、多
数のワークWが所定間隔を隔でて間怠に並んでJ3す、
ワークW全体の中心線Aは【]ツラド7と平行に延びて
いる。又第4図の如く、各側板35の上部にはワークW
と反対の側に張出したフック39が設警プである。
In FIG. 4 and FIG. 5, which is a schematic cross-sectional view taken along the line V--■, the magazine M includes a pair of side plates 35, a connecting member 36 connecting both lower ends of the side plates 35, and a connecting member 36 whose both ends are supported by the side plates 35.
It is equipped with the book D Rad 3F. The rod 37 is the side plate 35
The connecting member 3 is attached to both upper sides and the lower middle part of the
It extends parallel to 6. The outer peripheral surface of each rod 37 is provided with a large number of annular grooves 38 at predetermined intervals over its entire length. J3 is shown in Figure 5.
The rods 37 on both the left and right sides support the workpiece W from both sides, and the lower rod 37 supports the workpiece W from the direction F. Therefore, when the magazine M is loaded, a large number of workpieces W are lined up at predetermined intervals and lined up at J3.
The center line A of the entire workpiece W extends parallel to the [] turret 7. In addition, as shown in FIG.
The hook 39 protruding on the opposite side is the set guard hook.

平面略図である第6図の如く、前記装着装置は、ワーク
供給用の]ンベψ40とハンド[1ボット41、移送装
″a42、ターンテーブル装置43、マガジン引出用の
ハンド[■ボット44とコンベ1745を備えている。
As shown in FIG. 6, which is a schematic plan view, the mounting device includes a workpiece feeding container φ40, a hand bot 41, a transfer device ``a42, a turntable device 43, a magazine drawer hand φ44, and a conveyor. It is equipped with 1745.

二]ンベ\7/10はチェーンコンペX7で構成されC
おり、ワークWを装填したマガジンMを水平方向に搬■
するようになっている。又図示されていない機構により
、マガジンMはワーク中心線へがコンペi’ 40の幅
方向と平行になる姿勢′c」ンベA140の人口に乗せ
られるようになっている。
2] Nbe\7/10 is composed of chain competition X7 and C
The magazine M loaded with the workpiece W is transported horizontally.
It is supposed to be done. Further, by a mechanism not shown, the magazine M is placed on the load chamber A140 in an attitude 'c' in which the center line of the workpiece is parallel to the width direction of the loader I'40.

ハンドロボッ1〜41は1対のレール46と、レール4
6に沿って移fj+−Jるロボット本体47と、ロボッ
ト本体47を駆動するエアーシリンダ機構4Bとを備え
ている。レール46はコンベヤ40の出1]49の上方
から移送!A置42の上方まで」ンベi7/10と平行
に延びている。[1ポット本゛体47は、後述する如く
、マガジンMを保持するように構成されており、出口4
9上のマガジンMはロボット本体47により移送装′e
i42の台車50上まで運ばれる。シリンダ機構48は
例えば3木のエアーシリンダを組合せで構成されでJ3
す、移送装置42上でのロボット本体47の停止位置を
変更し、台車50上の3種類の位置A1、A2、A3 
〈ワーク中心線のみ図示)のいずれにもマガジンMを乗
せることができるようになっている。
The hand robots 1 to 41 have a pair of rails 46 and a rail 4.
6 and an air cylinder mechanism 4B that drives the robot body 47. The rail 46 is transferred from above the output 1] 49 of the conveyor 40! It extends parallel to the cabinet i7/10 to above the A position 42. [The one-pot main body 47 is configured to hold a magazine M, as described later, and has an outlet 4
The magazine M on the top 9 is transferred by the robot main body 47
It is carried to the top of i42's trolley 50. The cylinder mechanism 48 is composed of a combination of three wooden air cylinders, for example.
The stopping position of the robot body 47 on the transfer device 42 is changed, and three types of positions A1, A2, A3 on the trolley 50 are changed.
(Only the center line of the workpiece is shown) The magazine M can be placed on either side.

移送装置42は」ンベA740に対してその搬送方向前
方に位置しており、コンベヤ40と直交する1対の水平
レール51を備えている。前記台車50はシリンダ52
により駆*)J ’c5れ−(レール51上を移動する
ようになっている。
The transfer device 42 is located in front of the conveyor A740 in the conveyance direction, and includes a pair of horizontal rails 51 that are orthogonal to the conveyor 40. The truck 50 has a cylinder 52
It is designed to move on the rail 51.

ターンテーブル装置43は移送装置42の出口に隣接し
て設【プであり、図示されていない機構により、空のカ
ーロセル1がデープル55の上面に乗せられるようにな
っている。
The turntable device 43 is installed adjacent to the outlet of the transfer device 42, and allows the empty carousel 1 to be placed on the upper surface of the daple 55 by a mechanism not shown.

ハンドロボット44及びコンベヤ45は前記コンベヤ4
0及びハンドロボット41と同様の構造を備えτおり、
それぞれ−1ンベA740及びハンドロボット41の側
方近傍にぞれらと平(1に設けである。
The hand robot 44 and the conveyor 45 are connected to the conveyor 4.
0 and the hand robot 41,
They are provided in the vicinity of the sides of the -1 robot A740 and the hand robot 41, respectively.

第6図のVl−■断面拡大部分略図である第7図の如く
、前記11ポット本体47にはシリンダ60及びガイド
ロッド61を利用して冑降部62が昇降自在に取付けで
ある。、昇降部62の両側部には下方へ突出したアーム
63が設けてあり、アーム63の下部にマガジンMの前
記フック39に下方から係合するフック65が設けであ
る。又昇降部62には両アーム63の間隔を変えるため
のシリンダ機構(図ホt!f)が設けである。従っ【、
コンペS740上のマガジンMを移送する場合、両アー
ム63の間隔を広げた状態でシリンダ60により冑降部
62をF降させ、続いて両アーム63の間隔を狭めてノ
ック6bをフック39の下方に位置させ、次に5回降部
62を上4させることによりマガジンMをアーム63i
1−保持して引上げることができる。又これとは逆の手
順で各部を作動させることにより、アーム63で保持し
たマガジンMを台車50の昇降台70の上面に下でこと
ができる。
As shown in FIG. 7, which is an enlarged cross-sectional view of FIG. Arms 63 projecting downward are provided on both sides of the elevating section 62, and a hook 65 that engages with the hook 39 of the magazine M from below is provided at the lower part of the arm 63. Further, the elevating portion 62 is provided with a cylinder mechanism (see t!f in the figure) for changing the distance between the arms 63. Follow [,
When transferring the magazine M on the competition S740, the lowering part 62 is lowered F by the cylinder 60 with the gap between both arms 63 widened, and then the knock 6b is moved below the hook 39 by narrowing the gap between both arms 63. , and then raise the lowering part 62 five times to move the magazine M to the arm 63i.
1-Can be held and pulled up. Moreover, by operating each part in the reverse order, the magazine M held by the arm 63 can be lowered onto the upper surface of the lifting platform 70 of the truck 50.

前記台車50には垂1なガイド71が設Gノてあり、ガ
イド71により4降台70が昇降自在に支持されている
。又、図示されていないが、台車50には昇降台70を
昇降させるための駆動機構(シリンダ機構)が設けであ
る。
A vertical guide 71 is provided on the truck 50, and four descending platforms 70 are supported by the guide 71 so as to be movable up and down. Although not shown, the truck 50 is provided with a drive mechanism (cylinder mechanism) for raising and lowering the lifting platform 70.

ターンテーブル機構43にはデープル55を支持する垂
直軸72や、垂直軸72を回転させるモータ機構(図示
せず)が設けIある。テーブル55上において、空のカ
ーロセル1はそのナボート2.3がレール51と平行に
、すなわち台車50上のワークWの中心線Aと平行に延
びている。従って台車50によりワークWを適当な高さ
に保持し、そのままの状態で台車50を前進させると、
ワークWの中心孔aにサポート2又は3)が挿入され、
挿入後に臂降台70を下降さVることにより、ワークW
が前述の如く1ナボート2又は3に装着され、マガジン
MはワークWから下方へ分離される。このようにしで分
離されたマガジンIVNJ台車50によりハンドロボッ
ト44の近傍まで良され、ハンドロボット44及び=1
ンベヤ45により紡出される。
The turntable mechanism 43 is provided with a vertical shaft 72 that supports the daple 55 and a motor mechanism (not shown) that rotates the vertical shaft 72. On the table 55, the empty carousel 1 has its nabot 2.3 extending parallel to the rail 51, that is, parallel to the center line A of the workpiece W on the carriage 50. Therefore, if the workpiece W is held at an appropriate height by the cart 50 and the cart 50 is moved forward in that state,
Support 2 or 3) is inserted into the center hole a of the workpiece W,
By lowering the lowering table 70 after insertion, the work W
is attached to the first nabot 2 or 3 as described above, and the magazine M is separated downward from the workpiece W. The magazine IVNJ cart 50 separated in this way is carried to the vicinity of the hand robot 44, and the hand robot 44 and =1
It is spun by a conveyor 45.

なお第33図の如く、サポート2は4箇所に設けである
が、上記装着作業において、マガジンM毎に、台車50
上の7万ジン設置位tM(AI、A3:第6図)及び2
回降台70の上下位置を変更することにより、4回の装
着動作で全てのリポート2にワークWが装着される。又
ワークWが大径で、す゛ボート3を使用する場合・b、
マガジンMの設置位置(A2)やシ1降台70の上下位
置が適当に設定される。
As shown in Fig. 33, the supports 2 are provided at four locations, but in the above installation work, the cart 50 is installed for each magazine M.
Upper 70,000 jin installation position tM (AI, A3: Figure 6) and 2
By changing the vertical position of the unloading table 70, the work W is mounted on all the reports 2 in four mounting operations. In addition, when the workpiece W has a large diameter and Suwa boat 3 is used, b.
The installation position (A2) of the magazine M and the vertical position of the S1 unloading platform 70 are set appropriately.

上述の如くカーロLル1へのワークWの装着が完了する
と、テ・−プル55は90°IU11転し、サポート2
.3やワーク中心線Aはレール51と直交づる姿勢とな
る。続いて前記搬送ロボット(図示1!f)がカーロセ
ル1を引上げ、種々の前処理槽(図示ゼず)、めっぎ処
即槽1°(第1図)、後処理槽に順々にワークWを漬【
ノる。
When the installation of the workpiece W on the Carlo Lle 1 is completed as described above, the table 55 rotates 90°IU11, and the support 2
.. 3 and the workpiece center line A are in a posture perpendicular to the rail 51. Next, the transfer robot (1!f in the figure) pulls up the Carrocell 1 and sequentially transfers the workpieces to various pre-treatment tanks (not shown), the plating tank 1° (Fig. 1), and the post-processing tank. Pickled W [
Noru.

このようにして処理が完了すると、前記装着装置と同様
の構造を有する取外装置く図示Uず)により、ワークW
がカーロセル1から前記マガジンMと同様のマガジンに
回収される。なお取外装買の作業手順は装着装置の作業
手順と逆になる。
When the process is completed in this way, the workpiece W is removed by a removal device (not shown) having a structure similar to that of the mounting device.
is collected from the carousel 1 into a magazine similar to the magazine M mentioned above. Note that the work procedure for removing and purchasing is the opposite of the work procedure for the mounting device.

(発明の効果) 以上説明したにうに本発明ににると、カーロセル1のサ
ポート2.3をワークWの中心孔aに差込むことにより
ワークWの装着が完了し、又中心孔aからサポート2.
3を抜くことによりワークWの取外しが完了するので、
ワークの着脱作業を簡単化し、作業能率を高めることが
できる。
(Effects of the Invention) According to the present invention as described above, mounting of the workpiece W is completed by inserting the support 2.3 of the carlo cell 1 into the center hole a of the workpiece W, and the support is provided from the center hole a. 2.
Removal of workpiece W is completed by removing 3.
It is possible to simplify the work of attaching and detaching the workpiece and improve work efficiency.

しかす、サポート2.3を回転させることにより、ワー
クWと処理液との接触効率を高め、めっき品質の向上及
び処理時間の短縮を図ることができる。
However, by rotating the support 2.3, it is possible to increase the contact efficiency between the workpiece W and the processing liquid, improve the plating quality, and shorten the processing time.

ツなわち本発明では、実際のめっき品質や処理時間に関
市る条件を充分に満たし、しかも@脱の簡単なカーロセ
ル1を得ることができる。
In other words, according to the present invention, it is possible to obtain Carocell 1 which fully satisfies the conditions related to actual plating quality and processing time, and which is easy to remove.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明実施例のカー[ルルの垂直断面略図、第
2図は第1図の−・部切欠き拡大部分略図、第3図は第
1図の一部切欠き■−■矢視略図、第4図はマガジンの
正面略図、第5図は第4図の■−V断商断固略図6図は
装着装置の平面略図、第7図は第6図のVl −Vl断
面拡大略図である。1・・・カー[IL/ル、2.3・
・・棒状リポート、7・・・フレーム、12・・・室、
15・・・チェーン(ナボート駆動機構)、a・・・中
心孔、W・−・ワーク代理人 弁理1 大森 忠孝1°
″・ ′j泄−:
Fig. 1 is a schematic vertical cross-sectional view of a curl according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an enlarged schematic view of a notch shown in Fig. 1, and Fig. 3 is a partially cutaway view of Fig. 4 is a schematic front view of the magazine, FIG. 5 is a schematic diagram of the ■-V section in FIG. 4, FIG. 6 is a schematic plan view of the mounting device, and FIG. It is. 1... car [IL/ru, 2.3.
... Bar report, 7... Frame, 12... Room,
15...Chain (Nabort drive mechanism), a...Center hole, W...Work agent Patent attorney 1 Tadataka Omori 1°
″・ ′j excretion:

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ワーク装着用棒状サポートの一端をフレームに回転自在
に取付けて棒状サポートをフレームにより片持ち梁状態
で水平に支持し、上記サポート端部を固定したフレーム
部分を中空構造にして内部に液密状態の室を形成し、該
室にサポートを回転させるサポート駆動機構を設け、サ
ポートを円板状の多数のワークの中心孔に挿入すること
により、多数のワークを間隔を隔ててサポートにより保
持するようにし、同時にワークに回転を伝達することを
特徴とする表面処理装置用カーロセル。
One end of the rod-shaped support for mounting the workpiece is rotatably attached to the frame, and the rod-shaped support is horizontally supported by the frame in a cantilevered state.The frame portion to which the support end is fixed is made into a hollow structure with a liquid-tight interior. A chamber is formed, a support drive mechanism for rotating the support is provided in the chamber, and the support is inserted into the center hole of a large number of disc-shaped works, so that a large number of works are held at intervals by the support. , a Carlo cell for surface treatment equipment that simultaneously transmits rotation to the workpiece.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1600529A2 (en) * 2004-05-26 2005-11-30 Komag, Inc. Method and apparatus for applying a voltage to one or more substrates during plating

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1600529A2 (en) * 2004-05-26 2005-11-30 Komag, Inc. Method and apparatus for applying a voltage to one or more substrates during plating
EP1600529A3 (en) * 2004-05-26 2011-01-12 Komag, Inc. Method and apparatus for applying a voltage to one or more substrates during plating

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