JPS62296113A - Laser scanning device equipped with means for correcting chromatic aberration of different-wavelength laser beam - Google Patents

Laser scanning device equipped with means for correcting chromatic aberration of different-wavelength laser beam

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JPS62296113A
JPS62296113A JP61140975A JP14097586A JPS62296113A JP S62296113 A JPS62296113 A JP S62296113A JP 61140975 A JP61140975 A JP 61140975A JP 14097586 A JP14097586 A JP 14097586A JP S62296113 A JPS62296113 A JP S62296113A
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JP
Japan
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laser
chromatic aberration
color
scanning device
polygon mirror
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Application number
JP61140975A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshikazu Umeda
梅田 敏和
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Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
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Publication date
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Publication of JPS62296113A publication Critical patent/JPS62296113A/en
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Abstract

PURPOSE:To perform highly accurate matching color, by correcting the color blurring of a scanning beam caused on an image forming plane due to a difference in color by deflecting a laser beam by a minute angle by means of a chromatic aberration correcting means. CONSTITUTION:An He-Ne laser 1, Ar laser 2, and He-Cd laser 3 are respectively used for red, green, and blue. The optical beams emitted from these lasers 1, 2, and 3 are sent to a rotating polygon mirror 7 after they are synthesized to one optical beam by means of a synthesizing optical system using dichroic mirrors 4-6. The polygon mirror 7 scan the inputted optical beam and causes the optical beam to form an image on an image forming plane 9 through an ftheta lens 8. In this case, the color blurring quantity DELTAftheta an ideal image forming location is proportional to the deflecting angle of the reflecting surface of the polygon mirror 7. Therefore, the color blurring quantity DELTAftheta is corrected by regarding the reflecting surface of the mirror 7 and deflecting surface of a chromatic aberration correcting means 11 as equivalent to each other by using the means 11 and convex lenses 12 and 13. The means 11 is constituted in such a way that the laser beam can be deflected by a minute angle so that the refractive index of the medium can be changed and the color shifting can be corrected.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 (産業上の利用分野) この発明は2つ以上の異なる波長のレーザービームを有
するレーザー走査装置に関するものであるう (発明の背景) 異なる波長のレーザービームを用いたレーザー走査装置
は、例えば、カラーレーザープリンターに応用される。
[Detailed Description of the Invention] 3. Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) This invention relates to a laser scanning device having laser beams of two or more different wavelengths (Background of the Invention) Different wavelengths A laser scanning device using a laser beam is applied to, for example, a color laser printer.

この場合、複数のレーザービームを1本に重ね合せて、
結像レンズ(fθレンズ)に入射させ、この結像レンズ
で転写マスタードラム等に主走査して結像するものがあ
る。
In this case, multiple laser beams are superimposed into one,
There is one that makes the light incident on an imaging lens (fθ lens) and uses this imaging lens to main scan and form an image on a transfer master drum or the like.

例えば、第4図に示すように、光源のレーザーには、赤
色用にヘリウムネオン(He−Ne)レーザー(ti長
632.8nm)1、線用にアルゴンイオン(Ar)レ
ーザー([長514.5nm>2、青色用にヘリウムカ
ドニウム(He −Cd)レーザー(波長441.6n
m)3をそれぞわ1本便用する。この3木のレーザーか
ら出た光ビニムは、ダイクロイックミラー4.5.6を
用いた合成光学系で、1太の光ビームとして走査系に送
られる。走査系の回転多面鏡7で入射された光ビームの
走査を行い、fθレンズ8を介して転写マスタードラム
等の結像面9に結像させるようになっている。
For example, as shown in FIG. 4, the light source lasers include a helium neon (He-Ne) laser (ti length 632.8 nm) 1 for red color and an argon ion (Ar) laser ([length 514 nm) for line color. 5nm>2, helium cadmium (He-Cd) laser (wavelength 441.6n) for blue color.
m) Take one bottle of each of 3. The light beams emitted from these three lasers are sent to the scanning system as a single thick light beam by a synthetic optical system using dichroic mirrors 4, 5, and 6. The incident light beam is scanned by a rotating polygon mirror 7 of the scanning system, and an image is formed on an image forming surface 9 of a transfer master drum or the like via an fθ lens 8.

(発明が解決しようとする問題点) ところで、波長の違いによるfθレンズ8の屈折率の違
いから、色収差により、結像面9において、1つのスポ
ットにならず、波長によって異なった位置に結像し、色
ずれが生じる。
(Problem to be Solved by the Invention) By the way, due to the difference in the refractive index of the fθ lens 8 due to the difference in wavelength, due to chromatic aberration, the image is not formed into a single spot on the imaging plane 9, but at different positions depending on the wavelength. However, color shift occurs.

即ち、第5図は回転多面iJ! 7の振れ角θと、理想
結像位置fQからのズレΔfθとの関係の一例を示す。
That is, FIG. 5 shows the rotating polygon iJ! An example of the relationship between the deflection angle θ of No. 7 and the deviation Δfθ from the ideal imaging position fQ is shown.

λ=632.8nmの波長に対しては、△fθ=0で、
走介幅全てにわたって、理想位置に結像されていること
がわかる。
For a wavelength of λ=632.8 nm, Δfθ=0,
It can be seen that the image is formed at the ideal position over the entire travel width.

しかし、λ=514.5nm、λ=441.6nmの光
ビームに対しては、振れ角θに応じて、理想結像位置か
らのズレ△fθが生じている。このため、3本のレーザ
ービームスポットが一点に集まらず、色ずれとなり、画
質の劣化につながっている。
However, for the light beams of λ=514.5 nm and λ=441.6 nm, a deviation Δfθ from the ideal imaging position occurs depending on the deflection angle θ. For this reason, the three laser beam spots do not converge on one point, resulting in color shift and deterioration of image quality.

このような色収差の補正のために、通常は色分散の少な
いガラスを用いたり、fθレンズを複数枚配置する等、
その構成を工夫したりして、色ずれを小さくしているが
、fθレンズの大型化、複雑化等のコストアップを招き
、また色ずれを完全に補正することは、技術的に困難を
伴う。仮に理論的には可能だとしても、レンズ設計上の
誤差、取り付は上の誤差等により、完全な補正はほぼ不
可能となっている。このため、装置が高価になり、安価
なものでは色ずれをある程度許容しているものもある。
In order to correct such chromatic aberration, we usually use glass with low chromatic dispersion or arrange multiple f-theta lenses.
Although efforts have been made to reduce color shift by devising the configuration, this increases cost due to larger and more complex f-theta lenses, and it is technically difficult to completely correct color shift. . Even if it were theoretically possible, complete correction is almost impossible due to errors in lens design and mounting errors. For this reason, the device becomes expensive, and some inexpensive devices allow color misregistration to some extent.

この発明はかかる実情に鑑みなされたもので、色補正の
難しさを克服するために、結像レンズに色補正すること
なく、高開度な色合せが可能なレーザー走査装置を提供
することを目的としている。
This invention was made in view of the above circumstances, and in order to overcome the difficulty of color correction, it is an object of the present invention to provide a laser scanning device that can perform color matching with a high degree of aperture without performing color correction on the imaging lens. The purpose is

(問題点を解決するための手段) この発明は前記の問題点を解決するために、2つ以上の
異なる波長のレーザービームを有するレーザー走査装置
において、波長の違いによる結像面での走査ビームの色
ずれを補正する色収差補正手段を設け、色ずれを補正す
るようにレーザービームを微小角撮らせることを特徴と
している。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a laser scanning device having laser beams of two or more different wavelengths, in which scanning beams on an imaging plane due to differences in wavelength are used. The present invention is characterized in that it is equipped with a chromatic aberration correcting means for correcting the color shift, and that the laser beam is shot at a minute angle so as to correct the color shift.

(作用) この発明では、2つ以上の異なる波長のレーザービーム
を走査させ、この走査ビームを結像レンズを介して結像
させる。このとき、波長の違いにより結像面に生じる走
査ビームの色ずれは、色収差補正下段によりレーザービ
ームを微小角振らせて補正する。
(Operation) In the present invention, two or more laser beams of different wavelengths are scanned, and the scanning beams are imaged through an imaging lens. At this time, the color shift of the scanning beam that occurs on the imaging plane due to the difference in wavelength is corrected by swinging the laser beam by a small angle in the lower chromatic aberration correction stage.

(実施例〉 以下、この発明の一実施例を添付図面に基いて詳細に説
明する。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.

第1図において、光源のレーザーには、赤色用にヘリウ
ムネオン(He−Ne)レーザー(波長632.8nm
)1、縁周にアルゴンイオン(Ar)レーザー(波長5
14.5nm)、青色用にヘリウムカドニウム(He−
Cd)レーザー(波長441.6nm)3をそれぞれ1
本使用する。
In Figure 1, the light source laser is a helium neon (He-Ne) laser (wavelength: 632.8 nm) for red color.
) 1. Argon ion (Ar) laser (wavelength 5
14.5nm), helium cadmium (He-
Cd) laser (wavelength 441.6 nm) 3 to 1 each
Use this book.

この3本のレーザーから出た光ビームは、ダイクロイッ
クミラー4.5.6を用いた合成光学系で、1本の光ビ
ームとして走査系に送られる。ダイクロイックミラー4
は赤色光ビームを反射し、ダイクロイックミラー5は赤
色光ビームを透過し、緑色光ビームを反射する。また、
ダイクロイックミラー6は赤色及び緑色光ビームを透過
し、青色光ビームを反射する。
The light beams emitted from these three lasers are sent to the scanning system as one light beam by a combining optical system using dichroic mirrors 4, 5, and 6. dichroic mirror 4
reflects the red light beam, and the dichroic mirror 5 transmits the red light beam and reflects the green light beam. Also,
Dichroic mirror 6 transmits the red and green light beams and reflects the blue light beam.

走査糸の回転多面鏡7は入射された光ビームの走査を行
い、fθレンズ8を介して結像面9に結像させている。
The scanning thread rotating polygon mirror 7 scans the incident light beam, and forms an image on the imaging surface 9 via the fθ lens 8 .

Arレーザー(波長514.5nm)2、He −Cd
レーザー(波長441.−6nm)3の光学系は、そわ
ぞれ色収差補正手段11と、レンズ12.13から構成
され、レンズ13は合成光学系に配置して兼用されてい
る。
Ar laser (wavelength 514.5 nm) 2, He-Cd
The optical system of the laser (wavelength: 441.-6 nm) 3 is composed of a chromatic aberration correcting means 11 and lenses 12 and 13, respectively, and the lens 13 is placed in a composite optical system and is used also.

λ=632.8nm、λ=514.5nm、λ=441
.6nmの波長に対して、第5図に示されたような特性
を持つfθレンズ8を用いた場合には、理想結像位置か
らの色ずれΔfθは1回転多面鏡7の反射面での振れ角
θに比例している。
λ=632.8nm, λ=514.5nm, λ=441
.. When using the fθ lens 8 with the characteristics shown in FIG. 5 for a wavelength of 6 nm, the color shift Δfθ from the ideal imaging position is due to the deflection on the reflecting surface of the one-rotation polygon mirror 7. It is proportional to the angle θ.

ここで、λ=632.8nmのレーザービームに対して
はfθ特性が充たされ、全振れ角θに対して△fθ=0
となっている。
Here, the fθ characteristic is satisfied for the laser beam with λ=632.8 nm, and Δfθ=0 for the total deflection angle θ.
It becomes.

この波長のレーザービームを基準ビームとして色ずれの
補正を説明する。
Correction of color shift will be explained using a laser beam of this wavelength as a reference beam.

Ar、He−Cdレーザー2.3については、第5図の
グラフで示される△fθの値を打ち消すように、回転多
面鏡7の反射面において、これらの走査ビームを微小角
θ振ってやれば良い。
Regarding the Ar, He-Cd laser 2.3, if these scanning beams are swung by a minute angle θ on the reflecting surface of the rotating polygon mirror 7 so as to cancel the value of Δfθ shown in the graph of FIG. good.

例えば、第5図において、He−Cdレーザー3の走査
ビームが振れ角θlの時に、基準ビーム(He−Neレ
ーザー1)に対して、Δfθ1だけ色ずれを生じていた
とする。これを補正してやるには、He−Cdレーザー
3からの走査ビームを回転多面鏡7の反射面において、
△θ1=△fθl/fだけ、色ずれを打ち消す方向に振
ってやれば良い。
For example, in FIG. 5, when the scanning beam of the He-Cd laser 3 has a deflection angle θl, it is assumed that a color shift occurs by Δfθ1 with respect to the reference beam (He-Ne laser 1). To correct this, the scanning beam from the He-Cd laser 3 is directed to the reflecting surface of the rotating polygon mirror 7.
It is only necessary to shift the color shift by Δθ1=Δfθl/f in the direction of canceling the color shift.

走資幅の中央部では、色ずれを生じないので基準ビーム
と同じで良い。このように全走資幅にわたって、色ずれ
量を求め、それを打ち消す方向に振ってやわば良い。
In the center of the running width, the beam may be the same as the reference beam because no color shift occurs. In this way, you can find the amount of color shift over the entire width of the capital run and swing it in a direction to cancel it out.

第2図のように色ずれ△fθが走査ビームの振れ角θに
対して比例関係にある場合には、補正のために必要な振
れ角をm単に求めることか、一定の比例関係にない場合
でも、fθレンズ8の色ずれの特性を求めて、これから
補正のために必要な撮れ角を求めることができる。
If the color shift △fθ is in a proportional relationship to the deflection angle θ of the scanning beam as shown in Figure 2, it is best to simply find the deflection angle m necessary for correction, or if there is no constant proportional relationship, However, by determining the color shift characteristics of the fθ lens 8, it is possible to determine the angle of view necessary for correction.

また、λ=514.5nmについても同様にして補正で
きる。
Further, correction can be made in the same manner for λ=514.5 nm.

この補正は回転多面鏡7の反射面上でビームの振九を制
御することはできないので、航記色収差補正手段11と
2枚の凸レンズ12.13とを用いて、回転多面鏡7の
反射面と色収差補正手段11の偏向面を等価として制御
するようにしている。
Since this correction cannot control the amplitude of the beam on the reflecting surface of the rotating polygon mirror 7, a navigation chromatic aberration correcting means 11 and two convex lenses 12 and 13 are used to correct the beam amplitude on the reflecting surface of the rotating polygon mirror 7. and the deflection surface of the chromatic aberration correcting means 11 are controlled to be equivalent.

前記色収差補正手段11はその媒質の屈折率を変化させ
、色ずれを補正するようにレーザービームを微小角振ら
せるように構成されている。この例では色収差補正手段
11として、音響光学光偏向−3(AOD)の超音波光
偏向器を用いている。
The chromatic aberration correcting means 11 is configured to change the refractive index of the medium and swing the laser beam by a small angle so as to correct color shift. In this example, an acousto-optic optical deflection-3 (AOD) ultrasonic optical deflector is used as the chromatic aberration correction means 11.

また、ピエゾ抵抗効果素子のように高速応答が可能な振
動子のようなものにミラーをはりっけ、それを振動させ
ることにより、被走査ビームを微小角振らせるようにし
ても良い。
Alternatively, a mirror may be attached to a vibrator capable of high-speed response such as a piezoresistive effect element, and by vibrating the mirror, the scanned beam may be swung by a small angle.

第2図はこの原理因を示したもので、色収差補正手段1
1と回転多面鏡7の反射面とが略共役になるように配置
されている。色収差補正手段11はレンズ12の府側焦
点距離の位置に置かれ、回転多面鏡7の反射面は、レン
ズ13の後側焦点距離の位置に置かれている。、2つの
レンズ12.13は、必ずしも同じものでなくても良い
が、焦点距!l1fl =f2の時に、色収差補正手段
1工での偏向角と回転多面m70反射面上での偏向角か
等しくなる。もし、2つのレンズ12.13の焦点距離
が異なる時には、その比によって色収差補正手段11で
の偏向角を調整してやる必要がある。
Figure 2 shows this principle, and shows the chromatic aberration correction means 1.
1 and the reflective surface of the rotating polygon mirror 7 are arranged so as to be substantially conjugate. The chromatic aberration correcting means 11 is placed at the front focal length of the lens 12, and the reflective surface of the rotating polygon mirror 7 is placed at the rear focal length of the lens 13. , the two lenses 12.13 do not necessarily have to be the same, but the focal length! When l1fl = f2, the deflection angle in the first chromatic aberration correcting means and the deflection angle on the rotating polygon m70 reflecting surface become equal. If the focal lengths of the two lenses 12, 13 are different, it is necessary to adjust the deflection angle in the chromatic aberration correcting means 11 according to the ratio.

この色収差補正手段11は、前記のように素子に加えら
れる超音波の周波数により偏向角を制御するもので、そ
の偏向角はFλ/Vで表わされる。ここでVは超音波の
伝搬速度、Fは超音波の周波数、λはレーザービームの
波長である。
The chromatic aberration correcting means 11 controls the deflection angle by the frequency of the ultrasonic wave applied to the element as described above, and the deflection angle is expressed by Fλ/V. Here, V is the propagation speed of the ultrasound, F is the frequency of the ultrasound, and λ is the wavelength of the laser beam.

例えば、 ・fθレンズの焦点距!1fを250mm・走査ビーム
の振れ角θ1を最大20゛・θl =20−における色
ずれ△fθl=0.5mm(He−Neに対するHe−
Cdの色ずれ) ・ fl  =f2 ・超音波の伝搬速度を3.63X103m・ λ=44
1. 6nm と仮定して、微小角偏向素子11の制御周波数を求めて
みる。
For example, ・Focal length of fθ lens! 1f is 250mm・Scanning beam deflection angle θ1 is maximum 20゛・Color shift Δfθl=0.5mm at θl=20− (He−Ne vs. He−Ne)
Cd color shift) ・ fl = f2 ・ Ultrasonic propagation speed is 3.63 x 103 m ・ λ = 44
1. Assuming that the wavelength is 6 nm, the control frequency of the small angle deflection element 11 will be determined.

回転多面ii7の反射面上で必要な補正量を△θlとす
ると、 △θI=△fθl/f =0.5/250 =2mrad  となる。
If the amount of correction required on the reflective surface of the rotating polygon ii7 is Δθl, then ΔθI=Δfθl/f=0.5/250=2 mrad.

従って、回転多面ti7の反射面上で±2mradだけ
J[ビームに対して、補正したいレーザービームを、走
査角に対して比例的に微小角振ってやれば、色補正が行
えることになる。
Therefore, color correction can be performed by swinging the laser beam to be corrected by a small angle proportional to the scanning angle with respect to the J[beam by ±2 mrad on the reflective surface of the rotating polygon ti7.

前述の例では、fl =f2としたため、色収差補正手
段11での振れ角は、そのまま回転多面鏡7の反射面上
での垢れ角となる。従って、色収差補正手段11を用い
て±2mradレーザービームを振ってやれば良い。
In the above example, since fl = f2, the deflection angle at the chromatic aberration correcting means 11 becomes the deflection angle on the reflective surface of the rotating polygon mirror 7. Therefore, it is sufficient to use the chromatic aberration correction means 11 to swing the laser beam by ±2 mrad.

色収差補正手段11の振れ角(偏向角)はFλ/Vなの
で、基準周波数を80MH2にとった場合、色収差補正
手段11に加える超音波の周波数を96.44MHzか
ら63.56MHzまで、各走査ごとに変化させてやれ
ば良い。そのようすを第3図に示す。
Since the deflection angle (deflection angle) of the chromatic aberration correcting means 11 is Fλ/V, when the reference frequency is set to 80 MH2, the frequency of the ultrasonic waves applied to the chromatic aberration correcting means 11 is changed from 96.44 MHz to 63.56 MHz for each scan. It's good to change it. The situation is shown in Figure 3.

この実施例では、原理的に理解しやすいように2枚のレ
ンズ12.13を用いて説明したが、これらは必ずしも
用いる必要はない。他の方法であっても、等価的に回転
多面鏡7の反射面上で走査ビームを微小角振らせること
ができれば良い。
Although this embodiment has been described using two lenses 12 and 13 to make it easier to understand the principle, it is not necessary to use these lenses. Any other method may be used as long as the scanning beam can be swung by a small angle on the reflecting surface of the rotating polygon mirror 7.

さらに、原則的には、回転多面m7の反射面上で振らせ
ることが必要だが、多少のずれは許容することができる
。この許容量はfθレンズの設計による。
Furthermore, in principle, it is necessary to swing on the reflective surface of the rotating polygon m7, but some deviation can be tolerated. This tolerance depends on the design of the fθ lens.

また、fθレンズの色ずれ量△fθを、走査ビームの走
査角に比例するとして説明したが、これも原理的な理解
がしやすいためであって、前述のような特性を持つfθ
レンズにしか適用できないものではない。ただし、振れ
角θと色ずれ△fθの関係か複雑になれば、色収差補正
手段11に与える周波数の制御もその分n、雑になる。
In addition, although the amount of color shift △fθ of the fθ lens has been explained as being proportional to the scanning angle of the scanning beam, this is also because it is easy to understand the principle, and the fθ lens has the characteristics described above.
This is not something that can only be applied to lenses. However, if the relationship between the deflection angle θ and the color shift Δfθ becomes complicated, the control of the frequency applied to the chromatic aberration correcting means 11 becomes correspondingly more complicated.

しかし、色収差補正手段11に与える周波数は、色ずれ
を完全に補正するものである必要はなく、近似的なもの
でも視覚上はほとんど問題ない。
However, the frequency given to the chromatic aberration correcting means 11 does not need to be one that completely corrects color shift, and even if it is approximate, there is almost no visual problem.

また、結像レンズをfθレンズとして説明してきたが、
一般のftanθレンズにおいても同様な補正か可能で
ある。
Also, although the imaging lens has been explained as an fθ lens,
A similar correction is possible with a general ftanθ lens.

さらに、3色の波長のレーザーを用いた系について説明
したが、2色の場合でも3色以上であフても良い。
Furthermore, although a system using lasers with wavelengths of three colors has been described, it is also possible to use two colors or three or more colors.

また、この実施例の説明では、主走査方向の色ずれ1+
M正であったが、副走査方向の色ずれに用いることもで
きる。この場合はさらに、回転多面鏡7の倒れ角誤差の
補正を同時に行っても良い。この際、色収差補正手段に
加えられる信号は、回転多面鏡7の面ごとに異なってお
り、−回の走査に関しては一定となる。
In addition, in the description of this embodiment, the color shift in the main scanning direction is 1+
Although M is positive, it can also be used for color misregistration in the sub-scanning direction. In this case, the tilt angle error of the rotating polygon mirror 7 may be corrected at the same time. At this time, the signal applied to the chromatic aberration correcting means differs for each surface of the rotating polygon mirror 7, and remains constant for - times of scanning.

さらに、微小角偏向素子11として音響光学光偏向器(
AOD)を用いる時には、これを音響光学光偏向器(A
OM)として用いることもてきる6つまり、超音波の周
波数を変化させることで、走査ビームの偏向を副扉し、
超音波の撮幅を変化させることで走査ビームの変調を行
うことかできる。こうすれは、微小角偏向用に新な素子
を用いなくても良い。
Furthermore, an acousto-optic optical deflector (
When using an acousto-optic optical deflector (AOD), use an acousto-optic optical deflector (AOD).
In other words, by changing the frequency of the ultrasonic waves, the deflection of the scanning beam can be controlled by changing the ultrasonic frequency.
The scanning beam can be modulated by changing the imaging width of the ultrasonic waves. This eliminates the need to use a new element for small angle deflection.

また、別の例では、音響光学光偏向器や音響光学光変調
器への入射前のレーザービームをビームスプリッタ−等
により分割し、モニター光として用い、音響光学光偏向
器や変調器へフィードバックすることにより、光量安定
化にも用いることができる。さらには、音響光学光偏向
器や変調器から出射後の走査ビームをモニターし、音響
光学光偏向器や変調器にフィードバックすることにより
、超音波周波数の変化による音響光字光偏向器や変調器
の回折効率の変化も補償することができる。また、走査
後のレーザービームをモニターし、音響光学光偏向器や
変調器にフィードバックしてやることにより、シェープ
インク補正までも含めた補償が可能である。
In another example, a laser beam before entering an acousto-optic deflector or an acousto-optic modulator is split by a beam splitter, etc., used as monitor light, and fed back to the acousto-optic deflector or modulator. Accordingly, it can also be used for stabilizing the amount of light. Furthermore, by monitoring the scanning beam emitted from the acousto-optic light deflector or modulator and feeding it back to the acousto-optic light deflector or modulator, it is possible to Changes in the diffraction efficiency of can also be compensated for. Furthermore, by monitoring the laser beam after scanning and feeding it back to the acousto-optic optical deflector or modulator, compensation including shape ink correction is possible.

(発明の効果) この発明は前記のように、色収差補正手段でレーザビー
ムを、色ずれを補正するように微小角掘らせるから、色
収差の補正のために、色分散の少ないガラスを用いたり
、fθレンズを複数枚配置する等の手段に変え、走査ビ
ームを微小角振らせる簡単な構成で色ずれを補正するこ
とができ、装置が安価で、高精度な色合せが可能になる
(Effects of the Invention) As described above, in this invention, since the chromatic aberration correcting means cuts the laser beam at a minute angle to correct color shift, glass with low chromatic dispersion is used to correct chromatic aberration, Color misregistration can be corrected with a simple configuration in which the scanning beam is swung by a small angle by using a means such as arranging a plurality of fθ lenses, and the device is inexpensive and highly accurate color matching is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明を通用したレーザ走査装置の概略構成
図、第2図はこの発明を説明する原理図、第3図はこの
発明に用いる超音波の周波数を示す図、第4図は従来の
レーザ走査装置の概略構成図、第5図は走査ビームと色
ずれの関係を示す図である。 1 ・= He −N eレーザー 2・・・Arレーザー 3・・・He−Cdレーザー 4.5.6・・・ダイクロイックミラー7・・・回転多
面鏡 8・・・fθレンズ 9・・・結像面 11−一色収差補正手段 12.13−・・レンズ 第 1 図 第2図 第3図
Fig. 1 is a schematic configuration diagram of a laser scanning device that can be used in this invention, Fig. 2 is a principle diagram explaining this invention, Fig. 3 is a diagram showing the frequency of ultrasonic waves used in this invention, and Fig. 4 is a conventional one. FIG. 5 is a schematic configuration diagram of the laser scanning device shown in FIG. 5, and is a diagram showing the relationship between the scanning beam and color shift. 1 ・=He-N e laser 2...Ar laser 3...He-Cd laser 4.5.6...Dichroic mirror 7...Rotating polygon mirror 8...Fθ lens 9...Conclusion Image plane 11--monochromatic aberration correction means 12.13--lens No. 1, Fig. 2, Fig. 3

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)2つ以上の異なる波長のレーザービームを有する
レーザー走査装置において、波長の違いによる結像面で
の走査ビームの色ずれを補正する色収差補正手段を設け
、色ずれを補正するようにレーザービームを微小角振ら
せることを特徴とするレーザー走査装置。
(1) In a laser scanning device that has laser beams of two or more different wavelengths, a chromatic aberration correction means is provided to correct the color shift of the scanning beam on the imaging plane due to the difference in wavelength, and the laser beam corrects the color shift. A laser scanning device that is characterized by swinging a beam at a small angle.
(2)前記レーザービームを、走査ビームの走査角に応
じて微小角振らせるようになしたことを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のレーザー走査装置。
(2) The laser scanning device according to claim 1, wherein the laser beam is oscillated by a small angle in accordance with the scanning angle of the scanning beam.
(3)前記レーザービームを、走査する回転多面鏡の反
射面に応じて、微小角振らせるようになしたことを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載のレーザー走査装置。
(3) The laser scanning device according to claim 1, wherein the laser beam is swung by a small angle depending on the reflection surface of a rotating polygon mirror being scanned.
(4)前記色収差補正手段は、超音波光偏向器であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザー走
査装置。
(4) The laser scanning device according to claim 1, wherein the chromatic aberration correcting means is an ultrasonic light deflector.
(5)前記色収差補正手段は、ミラーと、電場を加える
ことにより変化を生ずるミラーの取付可能な素子とを有
することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレー
ザー走査装置。
(5) The laser scanning device according to claim 1, wherein the chromatic aberration correcting means includes a mirror and an element to which the mirror can be attached, which changes when an electric field is applied thereto.
(6)前記色収差補正手段は、偏向と変調を同時に行う
ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第4項又は
第5項記載のレーザー走査装置。
(6) The laser scanning device according to claim 4 or 5, wherein the chromatic aberration correcting means performs deflection and modulation simultaneously.
JP61140975A 1986-06-17 1986-06-17 Laser scanning device equipped with means for correcting chromatic aberration of different-wavelength laser beam Pending JPS62296113A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0589700A1 (en) * 1992-09-25 1994-03-30 Xerox Corporation Device and apparatus for high speed tracking in a raster output scanner

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