JPS62281484A

JPS62281484A - Laser oscillator

Info

Publication number: JPS62281484A
Application number: JP12351486A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Onishi; 康雄大西
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-05-30
Filing date: 1986-05-30
Publication date: 1987-12-07

Abstract

PURPOSE:To detect the revolution of a gas circulating blower without changing setting even when the number of revolution of the blower is altered with the variation of its specifications by providing a means detecting the rotation of a motor and generating first pulses, a means detecting the turn of the blower and generating second pulses and a counter to which the first and second pulses are inputted. CONSTITUTION:A laser oscillator turning a gas circulating blower 3 in a laser tube 1 by a motor 5 on the outside of the laser tube 1 is provided with first pulse generating means 6, 7a detecting the revolution of the motor 5 and generating first pulses R, second pulse generating means 7b, 9 detecting the revolution of the gas circulating blower 3 and generating second pulses P and a counter 10 detecting the lowering of rotation and stoppage of rotation of the gas circulating blower 3 on the basis of said first and second pulses R, P. A preset counter is used as the counter 10, and counts the first pulses R while being reset by the second pulses P. Instantaneous pulses P in which a detection signal D from the revolution sensor 7b is converted by a differential element 9 is employed as the second pulses P.

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明［産業上の利用分野］この発明は、レーザ発振装置に関し、特にエキシマレー
ザのガス循環ブロアの故障を容易に且つ速やかに検出で
きるレーザ発振装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] 3. Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a laser oscillation device, and particularly to a laser oscillation device that can easily and quickly detect failure of a gas circulation blower of an excimer laser. It is related to.

［従来の技術］第２図は例えばラムダフィシツク社の収脱図面（ＥＭＧ
　２０２２Ｏ２−２０４，１９８４年度）に記載された
、従来のレーザ発振装置を一部側断面図で示すブロック
図である。図において、（１）はエキシマレーザを構成
するレーザ管、（１ａ）はレーザ管（１）の両端に設け
られたフランツ、（２）はレーザ管（１）内に封入され
たレーザガス、（３）はレーザ管（１）内に回転可能に
収納されたガス循環ブロア、（４）はガス循環ブロア（
３）の回転軸と磁気的に結合された磁気カンブリング、
（５）は磁気カンブリング（４）を介してガス循環ブロ
ア（３）を回転駆動するためのモータ、（１１）はモー
タ（５）をレーザ管（１）の仕様に応じて駆動制御する
ためのモータ制御装置、（１２）はガス循環ブロア（３
）の外周部の対向配置された近接スイッチなどの周知の
回転センサ、（［３）は回転センサ（１２）からの検出
信号に基づいて、ガス循環ブロア（３）の回転数低下又
は停止を検出し、図示しないアラーム出力を発生する制
御回路である。[Prior art] Figure 2 shows, for example, Lambda Physics' extraction and extraction drawing (EMG).
2022O2-204, 1984) is a block diagram illustrating a conventional laser oscillation device in a partial side sectional view. In the figure, (1) is a laser tube constituting an excimer laser, (1a) is a Franz provided at both ends of the laser tube (1), (2) is a laser gas sealed in the laser tube (1), and (3) is a laser tube that constitutes an excimer laser. ) is a gas circulation blower rotatably housed in the laser tube (1), and (4) is a gas circulation blower (
3) magnetic cambling that is magnetically coupled to the rotating shaft;
(5) is a motor for rotating the gas circulation blower (3) via magnetic cambling (4), and (11) is for driving and controlling the motor (5) according to the specifications of the laser tube (1). (12) is a gas circulation blower (3).
) A well-known rotation sensor such as a proximity switch placed oppositely on the outer periphery of the sensor ([3) detects a decrease in the rotation speed or stoppage of the gas circulation blower (3) based on a detection signal from the rotation sensor (12). This is a control circuit that generates an alarm output (not shown).

又、第３図は第２図の■−■線による断面図であり、（
１４）はレーザガス（２）を冷却するための熱交換器、
（１５）はレーザガス（２）を励起させるための一対の
主放電電極である。又、熱交換器（１４）は必要に応じ
てレーザガス清浄器も含んでいる。Also, Fig. 3 is a cross-sectional view taken along the line ■-■ in Fig. 2, and (
14) is a heat exchanger for cooling the laser gas (2);
(15) are a pair of main discharge electrodes for exciting the laser gas (2). The heat exchanger (14) also includes a laser gas purifier if necessary.

従来のレーザ発振装置は上記のように構成され、モータ
制御装置（１１）により所定の回転数でモータ（５）を
駆動し、レーザ管（１）内のガス循環ブロア（３）を回
転させることにより、レーザガス（２）を循環させてレ
ーザ出力の低下を防ぐようになっている。The conventional laser oscillation device is configured as described above, and the motor control device (11) drives the motor (5) at a predetermined rotation speed to rotate the gas circulation blower (3) in the laser tube (1). This allows the laser gas (2) to be circulated to prevent a decrease in laser output.

一方、回転センサ（１２）及び制御回路（１３）には、
レーザ発振装置の仕様、即ち、レーザガス（２）の種類
及び圧力、レーザ出力、繰り返し周波数、等に応じた値
が予め設定されている。従って、回転センサ（１２）に
より検出されるガス循環ブロア（３）の回転数が、所定
の値より小さくなるか、又は停止すると、制御回路（１
３）は、アラーム出力を発生し、レーザ発振装置の動作
を止めて発振をオフさせる。On the other hand, the rotation sensor (12) and the control circuit (13) have
Values are set in advance according to the specifications of the laser oscillation device, that is, the type and pressure of the laser gas (2), laser output, repetition frequency, etc. Therefore, when the rotation speed of the gas circulation blower (3) detected by the rotation sensor (12) becomes smaller than a predetermined value or stops, the control circuit (1
3) generates an alarm output, stops the operation of the laser oscillation device, and turns off the oscillation.

［発明が解決しようとする問題点］従来のレーザ発振装置は以上のように、レーザ春Ｅ猛署
のイ＋洋りく迩百七冶スジ　し−ぜゼス（′９）の循環
を適切に行うため、ガス循環ブロア（３）の回転数回ち
モータ（５）の回転数を変更しなければならないので、
回転センサ（１２）７ｔび制御回路（１３）の設定内容
を変更しなければならず、多大な労力及び時間を要する
という問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] As described above, the conventional laser oscillation device properly performs the circulation of the laser spring E force signal + yoriku yuriku yaku yakujisuji shi-zezesu ('9). Therefore, it is necessary to change the rotation speed of the gas circulation blower (3) and the rotation speed of the motor (5).
There was a problem in that it was necessary to change the settings of the rotation sensor (12) and the control circuit (13), which required a great deal of labor and time.

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たちので、仕様変更に伴ってガス循環ブロアの回転数が
変更されても、設定変更せずにガス循環ブロアの回転検
出が可能なレーザ発振装置を得ることを目的とする。This invention was made to solve the above-mentioned problems, so even if the rotation speed of the gas circulation blower is changed due to a change in specifications, a laser that can detect the rotation of the gas circulation blower without changing the settings is provided. The purpose is to obtain an oscillation device.

［問題点を解決するための手段〕この発明に係るレーザ発振装置は、モータの回転を検出
して第１のパルスを発生する第１のパルス発生手段と、
ガス循環ブロアの回転を検出して第２のパルスを発生す
る第２のパルス発生手段と、第１及び第２のパルスが人
力されるカウンタとを備えたものである。[Means for Solving the Problems] A laser oscillation device according to the present invention includes a first pulse generating means that detects rotation of a motor and generates a first pulse;
The apparatus includes a second pulse generating means that detects the rotation of the gas circulation blower and generates the second pulse, and a counter that manually generates the first and second pulses.

［作用］この発明においては、カウンタが第１及び第２のパルス
に基づいて、ガス循環ブロアの回転低下又は回転停止を
検出する。[Operation] In the present invention, the counter detects a decrease in rotation or stoppage of rotation of the gas circulation blower based on the first and second pulses.

［実施例］以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の実施例を示すブロック図であり、（１）
〜（５）及び（１１）は前述の従来装置と同様のもので
ある。（６）はモータ（５）の回転軸に一体に設けられ
たパルス発生用のカム板、（７ａ）はカム板（６）の回
転を検出して回転パルスＲを出力するための近接スイッ
チである。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. 1st
The figure is a block diagram showing an embodiment of this invention, (1)
- (5) and (11) are similar to the conventional device described above. (6) is a cam plate for generating pulses that is integrally provided on the rotating shaft of the motor (5), and (7a) is a proximity switch that detects the rotation of the cam plate (6) and outputs the rotation pulse R. be.

（８）はレーザ管（１）の一方のフランジ（１ａ）に形
成された透明窓であり、ガス循環ブロア（３）の外周部
に対応しており、レーザ管（１）の外部から透視できる
ようになっている。（７ｂ）は透明窓（８）に対向する
ように設けられ、ガス循環ブロア（３）の回転を検出す
るための近接スイッチ、（９）は近接スイッチ（７ｂ）
からの検出信号の波形を瞬時パルスＰに変換する微分素
子、（１０）は回転パルスＲをカウントし且つ瞬時パル
スＰをリセットパルスとするカウンタである。又、カウ
ンタ（１０）はプリセットカウンタとして使用されるた
め、予めパルス値が設定されている。(8) is a transparent window formed on one flange (1a) of the laser tube (1), which corresponds to the outer periphery of the gas circulation blower (3) and can be seen from outside the laser tube (1). It looks like this. (7b) is a proximity switch provided to face the transparent window (8) and detects the rotation of the gas circulation blower (3); (9) is a proximity switch (7b);
A differential element (10) that converts the waveform of the detection signal from the sensor into an instantaneous pulse P is a counter that counts the rotational pulse R and uses the instantaneous pulse P as a reset pulse. Further, since the counter (10) is used as a preset counter, a pulse value is set in advance.

次に、第１図に示ｊ、たこの発明の一実施例の動作につ
いて説明する。前述と同様に、モータ制御装置（１１）
は、レーザ発振装置に応じた所定の回転数指令を出力し
て、モータ（５）を回転駆動する。Next, the operation of the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 will be described. Similarly to the above, the motor control device (11)
outputs a predetermined rotational speed command according to the laser oscillation device to rotationally drive the motor (5).

ガス循環ブロア（３）は、磁気カップリング（４）を介
してモータ（５）により回転され、レーザ管（１）内の
レーザガス（２）を循環させる。A gas circulation blower (3) is rotated by a motor (5) via a magnetic coupling (4) to circulate the laser gas (2) within the laser tube (1).

このとき、モータ（５）の回転軸に連結されたカップリ
ング（６）がモータ（５）と共に回転するので、近接ス
イッチ（７ａ）は、カム板（６）の回転数に比例した回
転パルスＲをカウンタ（１０）に入力する。At this time, the coupling (6) connected to the rotation shaft of the motor (5) rotates together with the motor (5), so the proximity switch (7a) generates a rotation pulse R proportional to the rotation speed of the cam plate (6). is input into the counter (10).

一方、ガス循環ブロア（３）の回転は、近接スイッチ（
７ｂ）により検出され、その検出信号りは微分素子（９
）により瞬時パルスＰとなってカウンタ（１０）に入力
される。On the other hand, the rotation of the gas circulation blower (3) is controlled by the proximity switch (
7b), and the detection signal is detected by the differential element (9b).
), it becomes an instantaneous pulse P and is input to the counter (10).

従って、ガス循環ブロア（３）がモータ（５）に追従し
て回転している間は、回転パルスＲのカウント値が、瞬
時パルスＰにより常にリセットされ、ブリセント値に達
することがないので、アラーム出力は発生しない。Therefore, while the gas circulation blower (3) is rotating following the motor (5), the count value of the rotation pulse R is always reset by the instantaneous pulse P and never reaches the recent value, causing an alarm. No output occurs.

もし、何らかの不具合により、モータ（５）が回転して
いるにもかかわらず、ガス循環ブロア（３）が回転低下
又は停止した場合は、瞬時パルスＰによるリセットのタ
イミングが遅れるか又はとだえるので、回転パルスＲに
よるカウンタ（１０）のカウント値がプリセット値に達
し、カウンタ（１０）からアラーム出力が発生ずる。従
って、レーザ発振装置を直ちに停止させることができる
。If, due to some malfunction, the gas circulation blower (3) rotates less or stops even though the motor (5) is rotating, the timing of the reset using the instantaneous pulse P may be delayed or stopped. , the count value of the counter (10) due to the rotation pulse R reaches the preset value, and an alarm output is generated from the counter (10). Therefore, the laser oscillation device can be stopped immediately.

このときのプリセット値は、予め設定するパルス値を選
択することに上り、適宜最適の値とすることができる。The preset value at this time corresponds to selecting a pulse value to be set in advance, and can be set to an optimal value as appropriate.

尚、上記実施例では回転センサとして近接スイッチ（７
ａ）、（７ｂ）を使用したが、（也の光電スイッチ、磁
気スイッチ等を用いてもよい。In the above embodiment, a proximity switch (7) is used as the rotation sensor.
Although a) and (7b) were used, a photoelectric switch, a magnetic switch, etc. of (ya) may also be used.

又、近接スイッチ（７ｂ）をレーザ管（１）の外側に設
けたが、レーザ管（１）内に設けても同等の効果を奏す
る。Further, although the proximity switch (7b) is provided outside the laser tube (1), the same effect can be obtained even if it is provided inside the laser tube (1).

［発明の効果］以上のようにこの発明によれば、モータの回転を検出し
て第１のパルスを発生する第１のパルス発生手段と、ガ
ス循環ブロアの回転を検出して第２のパルスを発生する
第２分パルス発生手段と、第１及び第２のパルスが人力
されるカウンタとを備え、カウンタが第１及び第２のパ
ルスに基づいて、ガス循環ブロアの回転低下又は回転停
止を検出するようにしたので、ガス循環ブロアの回転数
を変更しても、設定変更することなく、速やかに且つ確
実に故障を検出できるレーザ発振装置が得られる効果が
ある。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the first pulse generating means detects the rotation of the motor and generates the first pulse, and the first pulse generating means detects the rotation of the gas circulation blower and generates the second pulse. and a counter to which the first and second pulses are manually input, and the counter is configured to reduce or stop the rotation of the gas circulation blower based on the first and second pulses. Since the detection is carried out, there is an effect that a laser oscillator can quickly and reliably detect failures without changing the settings even if the rotation speed of the gas circulation blower is changed.

[Brief explanation of the drawing]

第１図はこの発明の一実施例を一部側断面図で示すブロ
ック図、第２図は従来のレーザ発振装置を一部側断面図
で示すブロック図、第３図は第２図のＩＩＩ−ＩＩＩ線
による部分断面図である。（１）　レーザ管　　　　（３）・・・ガス循環ブロア
（５）・・・モータ　　　　　（６）・・カム板（７ａ
）、（７ｂ）・近接スイッチ（８）・・透明窓　　　　　（９）・−・微分素子Ｄ・
・検出信号　　　　　Ｒ・回転パルスＰ・・・瞬時パル
ス　　　　（１０）・・・カウンタ尚、図中、同一符号
は同−又は相当部分を示す。 −〜内Ｃ０ｊ）の二〇工 ≧ Ｎ手続補正、書（自発）２１発明の名称レーザ発振装置３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住　所　　　　　東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名　称　　（６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉４、代理人住　所　　　　　東京都千代田区丸の内二丁目４番１号
丸の内ビルディング４階電　話　（２１６）　５８１１　［代表コ５、補正の対
象（１）明細書の発明の詳細な説明の欄６、補正の内容（１）明細書第６頁２〜３行の「しなければならないの
で」を「しようとしたとき・」と訂正する。（２）明細書第８頁９〜１０行の「カップリング」を「
カム坂Ｊと訂正する。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention with a partial side sectional view, FIG. 2 is a block diagram showing a conventional laser oscillation device with a partial side sectional view, and FIG. 3 is a block diagram showing a part III of FIG. It is a partial sectional view taken along the line -III. (1) Laser tube (3) Gas circulation blower (5) Motor (6) Cam plate (7a
), (7b)・Proximity switch (8)・・Transparent window (9)・−・Differential element D・
・Detection signal R・Rotational pulse P...Instantaneous pulse (10)...Counter In the figures, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. -~ C0j) 20 ts ≧ N Procedural amendment, written (spontaneous) 21 Name of invention Laser oscillation device 3, relationship to the person making the amendment Patent applicant address 2-2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Name (601) Mitsubishi Electric Corporation Representative Moriya Shiki 4, Agent address 4th floor, Marunouchi Building, 2-4-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Telephone (216) 5811 [Representative 5, subject to amendment (1) Column 6 of Detailed Description of the Invention of the Specification, Contents of Amendment (1) In lines 2-3 of page 6 of the specification, "because it has to be done" is corrected to "when trying to do it." (2) “Coupling” on page 8, lines 9-10 of the specification is changed to “
Correct with Kamuzaka J.

Claims

[Claims]

(1) In a laser oscillation device in which a gas circulation blower in the laser tube is rotated by a motor external to the laser tube,
a first pulse generating means for detecting the rotation of the motor and generating a first pulse; a second pulse generating means for detecting the rotation of the gas circulation blower and generating a second pulse; A laser oscillation device comprising: a counter that detects a decrease in rotation or a stop of rotation of the gas circulation blower based on the first and second pulses.

(2) The laser oscillation device according to claim 1, wherein the counter is a preset counter that counts the first pulse and is reset by the second pulse.

(3) The laser oscillation device according to claim 2, wherein a predetermined pulse value is set in advance in the counter.

(4) The first pulse generating means consists of a cam plate connected to the rotating shaft of the motor and a rotation sensor arranged opposite to the cam plate, and the first pulse is generated by the rotation of the cam plate. The laser oscillation device according to any one of claims 1 to 3, wherein the laser oscillation device is a rotational pulse according to the invention.

(5) The laser oscillation device according to claim 4, wherein the rotation sensor is a proximity switch.

(6) The laser oscillation device according to claim 4, wherein the rotation sensor is a photoelectric switch or a magnetic switch.

(7) The second pulse generating means consists of a rotation sensor disposed facing the outer periphery of the gas circulation blower and a differential element that converts a detection signal from the rotation sensor into an instantaneous pulse. The laser oscillation device according to any one of claims 1 to 6, wherein is the instantaneous pulse.

(8) The laser oscillation device according to claim 7, wherein the rotation sensor is provided inside the laser tube.

(9) The laser oscillation device according to claim 7, wherein the rotation sensor is provided outside the laser tube.

(10) A laser oscillation device according to claim 9, characterized in that the laser tube is provided with a transparent window.

(11) The laser oscillation device according to any one of claims 7 to 10, wherein the rotation sensor is a proximity switch.

(12) Claims 7 to 1, characterized in that the rotation sensor is a photoelectric switch or a magnetic switch.
The laser oscillation device according to any one of item 0.