JPS6225883U - - Google Patents

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JPS6225883U
JPS6225883U JP11872485U JP11872485U JPS6225883U JP S6225883 U JPS6225883 U JP S6225883U JP 11872485 U JP11872485 U JP 11872485U JP 11872485 U JP11872485 U JP 11872485U JP S6225883 U JPS6225883 U JP S6225883U
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JP
Japan
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semiconductor device
contact pin
mounting table
sample mounting
pressing
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JP11872485U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ〜第１図ｃは、本考案の半導体装置の
測定装置の要部断面図、第２図は、半導体装置の
端子を示す斜視図、第３図は、従来の半導体装置
の測定装置の要部断面図。 図において、１１はガイド壁面、１２は試料載
置台、１３はスプリング、１４は半導体装置、１
５はクランプ、１６はスプリング、１７は上部コ
ンタクトピン、１８は押圧台、１９は押圧装置、
２１は下部コンタクトピン、２２は基台、をそれ
ぞれ示している。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ガイド壁面１１にスライドして垂直方向に上下
    移動する試料載置台１２と、 試料載置台１２とスプリング１６によつて連結
    されて上部コンタクトピン１７とスプリング１３
    を備えた押圧台１８と、 下部コンタクトピン２１を備えた基台２２から
    なる半導体装置の測定装置で、 半導体装置１４を試料載置台１２に載置して固
    定した後、押圧装置１９によつて押圧台１８を移
    動させて、該半導体装置１４をクランプすると同
    時に、上部コンタクトピン１７によつて、半導体
    装置１４の所定の端子に接合し、 更に連続的に試料載置台１２をガイド壁面１１
    に垂直方向にスライドさせて、基台２２の下部コ
    ンタクトピン２１と半導体装置１３の所定の配線
    端子とが接続されるようにしたことを特徴とした
    半導体装置の測定装置。
JP11872485U 1985-07-31 1985-07-31 Pending JPS6225883U (ja)

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JP11872485U JPS6225883U (ja) 1985-07-31 1985-07-31

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JPS6225883U true JPS6225883U (ja) 1987-02-17

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ID=31005449

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