JPS62243380A - レ−ザ発振器用乾燥剤容器 - Google Patents

レ−ザ発振器用乾燥剤容器

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JPS62243380A
JPS62243380A JP61085868A JP8586886A JPS62243380A JP S62243380 A JPS62243380 A JP S62243380A JP 61085868 A JP61085868 A JP 61085868A JP 8586886 A JP8586886 A JP 8586886A JP S62243380 A JPS62243380 A JP S62243380A
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JP
Japan
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laser oscillator
gas
desiccant
desiccant container
drying agent
Prior art date
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JP61085868A
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English (en)
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JPH06105814B2 (ja
Inventor
Akiyoshi Nawa
名和 章好
Akihiro Otani
昭博 大谷
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/034Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
    • H01S3/0346Protection of windows or mirrors against deleterious effects

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Drying Of Gases (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野〕 本発明は、レーザ発振器の発振器筐体内に設けられた乾
燥剤容器から微細粉体の流出を防止するレーザ発振器用
乾燥剤容器に関する。
〔従来の技術〕
第2図は、従来のCO,レーザ発振器の一例を示す平面
図である。(1)ハレーザ発振器の発振器筐体、(2)
ハ発振器筐体(1)内に設けられたガス循環用ブロワ、
(3a )、(3b) 41一対ノ正負電極、(4) 
、 (5) t”! ソれぞれ電極(38)、 (3b
 )の各面に平行な方向に対向して設けられた共振器ミ
ラーを形成する全反射鏡、部分反射鏡である。また@&
1、レーザ発振器筐体(1)内のCOfガスを活性物質
として電極(3a )=(3b)間で励起されたレーザ
光である。(6)はレーザ発振器筐体(1)の内壁部に
とりつけられ、レーザ発振器のガス露点を保持する乾燥
剤容器である。
レーザ発振器内にこのような乾燥剤容器(6)を投入す
るのは、レーザ発振器自体真空容器ではあるが、完全に
リークを止めるのは困難で、このようなリークによるレ
ーザ発振器内のガス露点の上昇((・通常は一50℃以
下)を防止するために必要だからである。
第3図は第2図に示した乾燥剤容器(6)を拡大した一
部に断面を含む平面図である。(8)は乾燥剤容器(6
)内に充填された乾燥剤で、乾燥剤(8)の各粒子の大
きさは通常2〜3#I1)程度である。また(9)は乾
燥剤容器(6)の外周部を被覆するあらさO15■程度
のステンレス等よりなる金網である。(1a)は発振器
筐体(1)罠設けられた穴部、(6a)は乾燥剤容器(
6)の底部に設けられた乾燥剤容器底部で、乾燥剤容器
(6)が発撮体筐体(1)の穴部(1日)に挿入され、
乾燥剤容器底部(6a)の外周部が発振器筐体(1)と
0リング(ldを介して接合し、ポル)Qllで固定さ
れるようになっている。
上記のように構成した従来の乾燥剤容器の作用を説明す
れば次の通りである。いま第2図に示す電極(3a)、
 (3b)間でCO,ガスか励記され、レーザ光(2)
を発生すると、レーザ光@・1全反射鏡(4)、部分反
射鏡(5)の共振器ミラーで反射され、共振されたレー
ザ光の一部は■方向からレーザ発振器の外部に出射する
。この際、発振器筐体(1)内のco。
ガスはガス循環用ブロワ(2)により循環され、同時に
ガス露点保持用の乾燥剤容器(6)内に設けられた乾燥
剤(8)によって乾燥させられる。このさい乾燥剤(8
)の粒子の大きさは、先にのべたように一般に2〜3W
rm程度fあり、ステンレス等の金網(9)のあらさ&
! 0.5 am程度であるから、ガス循環用プロワ(
2)によるCO,ガス循環によっても、乾燥剤(8)の
粒子が乾燥剤容器(6)から流出することはない。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、実際には一定の時間経過後に乾燥剤(8
)か劣化あるいは破壊され、乾燥剤(8)の粒子が分離
して微細粉体となる場合がある。このときは、CO,ガ
スの循環用ブロワ(2)により微細粉体(7)が乾燥剤
容器(6)の外周部を構成するステンレス等の金網Q2
から、第2図、第3図で示すように流出してしまい、さ
らに循環されて第2図に示す全反射鏡(4)、部分反射
@1(5)のような共振器ミラーに付着するおそれかあ
る。このため共振器ミラーの表面に5〜50μ程度の焼
結したマイクロスポットが形成され、共振器ミラーの焼
付及び損傷の原因となり、共振器ミラーの寿命が著しく
短縮される原因となっていた。共振器ミラーの寿命を持
続させるには、共振器ミラーを頻繁にクリーニングする
ことが要求され、それtも使用不能となった場合は共振
器ミラー自体を交換せざるを得す、このため経済的にも
、また手数の面からもきわめて大きな問題圧なっていた
本発明は上記のような問題点を解決するためになされた
もので、乾燥剤容器から微粒子粉体が外部に流出するの
を防止し、共振器ミラーの寿命を大幅に増大させたレー
ザ発振器用乾燥剤容器を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記の目的を達成するためになされたもので、
レーザ発振器内に設けた乾燥剤容器の外周部をステンレ
ス又は銅系金属の焼結体で構成したレーザ発振器用乾燥
剤容器を提供するものである。
〔作 用〕
乾燥剤容器内で劣化あるいは破壊された微細粉体は、ス
テンレス又は銅系金属を素材とする焼結金属により形成
された乾燥剤容器外周部のため、乾燥剤容器の外部圧流
出することがなく、共振器ミラーか焼付、損傷すること
はない。
[実施例〕 第1図は本発明の実施例を示す一部を断面で示した半間
図である。なお第3図と同じ機能の部分には同じ記号を
付し説明を省略する。Q2は乾燥剤容器(6)の外周部
を構成する金属の焼結体である。
この金属の焼結体0引ニステンレス又は黄銅を含む銅系
金属を素材として形成され、焼結粒子の構成あらさか1
〜100μの範囲の無数の毛細管の集合体により構成さ
れている。
上記のように構成した本発明の詳細な説明すれば次の通
りである。発振器筐体(1)内のCO,ガスは、ガス循
環用プロワ(2)によりレーザ発振器筐体(1)内を循
環し、同時にガス露点保護用の乾燥剤容器(6)内に充
填された乾燥剤(8)によって乾燥させられる点は、第
2図で示した場合と同様である。しかしながら、本発明
では乾燥剤(8)か劣化あるいは破壊され、乾燥剤(8
)の粒子か分離して微細粒子となりても、この微細粉体
は金属の焼結体αりにより濾過される。このため、ガス
循環用プロワ(2)によるCO,ガスの循環によっても
微細粉体が乾燥剤容器(6)から乾燥剤容器(6)の外
部に流出することなく、このため微細粉体の発根器筐体
(1)内への流入はな〜1゜ 〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、乾燥
剤容器から微細粉体の外部への流出が防止されるので、
共振器ミラーの寿命が大幅に向上するとともに、メンテ
ナンスの回数も減少したレーザ発振器用乾燥剤容器か得
られるという顕著な効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図ヲ1本発明の実施例を示す一部に断面を含んだ平
面図、第2図は従来のレーザ発振器の一例会示す平面図
、第3図は第2図の要部を拡大した一部に断面を含んだ
平面図である。 (1)・・・レーザ発振器筐体、(6)・・・乾燥剤容
器、(8)・・・乾燥剤、幹・・・金属の焼結体。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとする
。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 −〇のへ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レーザ発振器の内部ガス露点を保持する乾燥剤の
    容器の外周部を金属の焼結体で構成したことを特徴とす
    るレーザ発振器用乾燥剤容器。
  2. (2)金属の焼結体がステンレスの焼結体であることを
    特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載のレーザ発振
    器用乾燥剤容器。
  3. (3)金属の焼結体が銅系金属の焼結体であることを特
    徴とする特許請求の範囲第(1)項記載のレーザ発振器
    用乾燥剤容器。
  4. (4)金属の焼結体の構成あらさが1〜100μの範囲
    であることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項ない
    し第(3)項のいずれかに記載のレーザ発振器用乾燥剤
    容器。
JP61085868A 1986-04-16 1986-04-16 レ−ザ発振器用乾燥剤容器 Expired - Lifetime JPH06105814B2 (ja)

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JPS62243380A true JPS62243380A (ja) 1987-10-23
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