JPS62237302A - Rotational position detector for rotary oscillatory actuator - Google Patents

Rotational position detector for rotary oscillatory actuator

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JPS62237302A
JPS62237302A JP8048086A JP8048086A JPS62237302A JP S62237302 A JPS62237302 A JP S62237302A JP 8048086 A JP8048086 A JP 8048086A JP 8048086 A JP8048086 A JP 8048086A JP S62237302 A JPS62237302 A JP S62237302A
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JP
Japan
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output shaft
sensor
output
operational amplifier
output voltage
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JP8048086A
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Japanese (ja)
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Yuuichi Nanae
裕一 名苗
Hideo Niikura
英生 新倉
Shigehisa Maruyama
重久 丸山
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

PURPOSE:To speed up the response of a rotary oscillatory actuator to a rotation control signal by providing a magnet part at an end surface of an output shaft and a magnetic sensor at the opposite position of the end surface. CONSTITUTION:This device consists of a rotational force generation part 1 which controls the device electrically, the output shaft 2, a rotational position detection part 3, the magnet part 4 provided on the end surface 2a of the output shaft 2, and the electric sensor 5 provided at the opposite position. The sensor 5 utilizes ferromagnetic magneto-resistance effect and a pattern of ferromagnetic metal is provided on the opposite surface of the magnet part 4, so that the sensor operates as a magnetic flux response type sensor. Then a reference position is set when the border line A of the magnet part 4 is positioned as shown by a double dotted chain line for the sensor 5 and a bias voltage is impressed to obtain a sinewave output voltage. This output voltage varies almost linearly within a range shown by a solid line and an angle of rotating and an output voltage vary linearly. Therefore, the angle of rotation of the output shaft 2 is detected from the output voltage.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、出力軸の回転位置を検出するための回転揺動
アクチュエータの回転位置検出装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a rotational position detection device for a rotary swing actuator for detecting the rotational position of an output shaft.

[発明の概要コ 本発明は、出力軸の回転位置を検出する回転揺動アクチ
ュエータの回転位置検出装置において、前記出力軸の端
面とこの端面の対向位置とに一方にマグネット部を他方
に磁気センサーを設けることにより、 出力軸のイナーシャが小さくなり回転制御信号に対する
回転揺動アクチュエータの応答性を速くすることができ
るものである。
[Summary of the Invention] The present invention provides a rotational position detection device for a rotary oscillating actuator that detects the rotational position of an output shaft. By providing this, the inertia of the output shaft is reduced and the response of the rotary swing actuator to the rotation control signal can be increased.

[従来の技術] 例えばガルバノスキャナーはレーザ光をミラーに反射さ
せ、この反射光をプリンターの感光部に照射するもので
、前記ミラーの回転位置を変えることによって前記感光
部の所望位置にレーザ光を照射する。而して、前記ミラ
ーの回転位置を規制するためにミラーを回転する回転揺
動アクチュエータの出力軸には回転位置検出装置が設け
られる。
[Prior Art] For example, a galvano scanner reflects a laser beam on a mirror and irradiates the photosensitive area of a printer with the reflected light. By changing the rotational position of the mirror, the laser beam can be directed to a desired position on the photosensitive area. irradiate. In order to regulate the rotational position of the mirror, a rotational position detection device is provided on the output shaft of the rotary swing actuator that rotates the mirror.

従来のかかる回転位置検出装置は、第6図に示すように
、出力軸2の円周面にはロータ21がラジアル方向に突
設されている。4個のステータ22は、円弧状をなし出
力軸2と開広の円周上に配設されて全体で略円状をなし
ている。4個のステータ22は、互いに対向する位置に
あるもの同士が接続されて4個のステータ22とロータ
21とによって2個のコンデンサが構成されている。
In such a conventional rotational position detection device, as shown in FIG. 6, a rotor 21 is provided on the circumferential surface of the output shaft 2 so as to protrude in the radial direction. The four stators 22 have an arcuate shape and are disposed on the circumference of the output shaft 2 to form a substantially circular shape as a whole. The four stators 22 are connected to each other at opposing positions, and the four stators 22 and the rotor 21 constitute two capacitors.

而して、出力軸2が回転して第6図の二点鎖線で示す位
置にくると、ロータ21の側面とステータ22との重な
り合う面積が双方のコンデンサによって異なり重なり合
う面積に比例して双方のコンデンサの容量も異なる。従
って、出力軸2の回転角とコンデンサの容量が比例する
ため、双方のコンデンサの容量を対比して出力軸2の回
転角を検出するよう構成されている(米国特許第4,1
42゜144号参照)。
When the output shaft 2 rotates and comes to the position shown by the two-dot chain line in FIG. The capacity of the capacitor is also different. Therefore, since the rotation angle of the output shaft 2 is proportional to the capacitance of the capacitor, the rotation angle of the output shaft 2 is detected by comparing the capacitances of both capacitors (U.S. Pat.
42゜144).

[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上記回転位置検出装置にあっては、出力
軸2のラジアル方向に突出するロータ21を取り付ける
ので、出力軸2のイナーシャが大きくなり、回転制御信
号に対する回転揺動アクチュエータの応答性が悪いとい
う欠点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned rotational position detection device, since the rotor 21 that protrudes in the radial direction of the output shaft 2 is attached, the inertia of the output shaft 2 becomes large and the rotation control signal is The rotary swing actuator had a drawback of poor response.

特に、ガルバノスキャナーに用いられるミラー回転用の
出力軸2は、例えば振動周期が30ヘルツ又はそれ以上
であり応答性の速さが要求される。
In particular, the output shaft 2 for mirror rotation used in a galvano scanner has a vibration period of 30 hertz or more, for example, and is required to have a fast response.

そこで、本発明は回転制御信号に対する回転揺動アクチ
ュエータの応答性を速くできる回転揺動アクチュエータ
の回転位置検出装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a rotational position detection device for a rotary and oscillating actuator that can increase the responsiveness of a rotary and oscillating actuator to a rotational control signal.

[問題点を解決するための手段] 而して、上記目的を達成するための本発明の構成は、電
気的に制御できる回転力発生部の出力軸の端面とこの端
面の対向位置とに、一方にマグネット部を、他方にこの
マグネット部の磁場方向の変化に応じた出力を出す磁気
センサーをそれぞれ設けたことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] Accordingly, the configuration of the present invention for achieving the above-mentioned object is such that the end face of the output shaft of the electrically controllable rotational force generating section and the opposing position of this end face, It is characterized in that a magnet section is provided on one side, and a magnetic sensor that outputs an output according to a change in the magnetic field direction of the magnet section is provided on the other side.

[作用] 従って、出力軸が回転しても出力軸の端面にマグネット
部又は磁気センサーを設けたためトルク発生に寄与しな
い部分の回転トルクが小さく出力軸のイナーシャが小さ
い。
[Operation] Therefore, even if the output shaft rotates, since the magnet portion or the magnetic sensor is provided on the end face of the output shaft, the rotational torque of the portion that does not contribute to torque generation is small, and the inertia of the output shaft is small.

[実施例] 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。[Example] Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.

第1図において、電気的に制御できる回転力発生部lは
この実施例ではコアレス式のモータにて構成されている
。このモータは、両端面に出力軸2が突出しこの出力軸
2の一方端にはレーザ光を反射さ辻るミラー(図示せず
)が、他方端には回転位置検出装置3が設けられている
In FIG. 1, an electrically controllable rotational force generating section 1 is constituted by a coreless motor in this embodiment. This motor has an output shaft 2 protruding from both end faces, a mirror (not shown) that reflects laser light at one end, and a rotational position detection device 3 at the other end. .

この回転位置検出装置3は、前記出力軸2の端面2aと
この端面2aの対向位置とに、一方に設けたマグネット
部4と、他方に設けたこのマグネット部4の磁場方向の
変化に応じた出力を出す磁気センサー5とで構成される
。この実施例においては、出力軸2の端面2aにマグネ
ット部4、その対向位置に磁気センサー5が設けられて
いる。
This rotational position detecting device 3 has a magnet part 4 provided on one end face 2a of the output shaft 2 and a position opposite to this end face 2a, and a magnet part 4 provided on the other hand that responds to a change in the direction of the magnetic field. It is composed of a magnetic sensor 5 that outputs an output. In this embodiment, a magnet part 4 is provided on the end surface 2a of the output shaft 2, and a magnetic sensor 5 is provided at a position opposite to the magnet part 4.

前記マグネット部4は、円柱状をなし、その上面に境界
線Aを介してS極とN極との二極を有している。
The magnet section 4 has a cylindrical shape and has two poles, an S pole and an N pole, on its upper surface with a boundary line A interposed therebetween.

前記磁気センサー5は、第2図にて詳しく示すように、
強磁性磁気抵抗効果を利用したもので前記マグネット部
4の対向面に強磁性金属のパターンが設けられ、磁束応
答型のセンサーとして動作する。
The magnetic sensor 5, as shown in detail in FIG.
It utilizes the ferromagnetic magnetoresistance effect, and a ferromagnetic metal pattern is provided on the opposing surface of the magnet portion 4, so that it operates as a magnetic flux responsive sensor.

而して、磁気センサー5に対しマグネット部4の境界線
へが第2図の二点鎖線の位置にある場合を基亭位置(回
転角度0°)としバイアス電圧を印加すると、第3図に
示すような正弦波の出力電圧が得られる。この出力電圧
は第3図にて実線で示す範囲はほぼリニアな変化をし、
回転角と出力電圧がリニアに比例する。このリニアに比
例することから出力電圧にて出力軸2の回転角度が知ら
れる。
When the magnetic sensor 5 is set to the basic position (rotation angle 0°) when the boundary line of the magnet portion 4 is at the position indicated by the two-dot chain line in FIG. A sinusoidal output voltage as shown is obtained. This output voltage changes almost linearly in the range shown by the solid line in Figure 3.
Rotation angle and output voltage are linearly proportional. Since it is linearly proportional to this, the rotation angle of the output shaft 2 can be known from the output voltage.

回転力発生部1の駆動制御回路は、第4図及び第5図に
示すように、先づ、前記磁気センサー5の出力電圧を増
幅する増幅回路6を備えている。
As shown in FIGS. 4 and 5, the drive control circuit of the rotational force generating section 1 includes an amplifier circuit 6 that amplifies the output voltage of the magnetic sensor 5.

増幅回路6は、磁気センサー5の双方の出力信号を差動
増幅して角度信号Voを出力するもので、二つのオペア
ンプ7.8を有し、その十入力端子に抵抗R,,R,を
介して磁気センサー5の出力端子a、 bがそれぞれ接
続されている。双方のオペアンプ7.8の出力端子は抵
抗Ra、 R4を介してそれぞれの一入力端子に接続さ
れて、個々のオペアンプ7.8は磁気センサー5のそれ
ぞれの出力電圧を増幅する。
The amplifier circuit 6 differentially amplifies both output signals of the magnetic sensor 5 and outputs an angle signal Vo, and has two operational amplifiers 7.8, and has resistors R, , R, at their input terminals. Output terminals a and b of the magnetic sensor 5 are connected through the magnetic sensor 5, respectively. The output terminals of both operational amplifiers 7.8 are connected to one input terminal of each through resistors Ra and R4, and each operational amplifier 7.8 amplifies the respective output voltage of the magnetic sensor 5.

一方のオペアンプ7の出力端子と抵抗R8との共通接続
点は抵抗R5を介してオペアンプ9の一入力端子に接続
されている。他方のオペアンプ8の出力端子と、抵抗R
4との共通接続点は抵抗R6を介してオペアンプ9の十
入力端子に接続され、このオペアンプ9の十入力端子と
抵抗R0との共通接続点は、抵抗R1を介してアースさ
れている。
A common connection point between the output terminal of one operational amplifier 7 and resistor R8 is connected to one input terminal of operational amplifier 9 via resistor R5. The output terminal of the other operational amplifier 8 and the resistor R
A common connection point between the operational amplifier 9 and the resistor R0 is connected to the tenth input terminal of the operational amplifier 9 via a resistor R6, and a common connection point between the tenth input terminal of the operational amplifier 9 and the resistor R0 is grounded through a resistor R1.

このオペアンプ9の出力端子は、抵抗R,を介して一入
力端子に負帰還がかけられ双方の入力電圧の差を増幅す
る。このオペアンプ9の出力電圧は、微分回路1qに出
力されると共に加算回路11に出力される。
The output terminal of this operational amplifier 9 is subjected to negative feedback to one input terminal via a resistor R, and the difference between the two input voltages is amplified. The output voltage of the operational amplifier 9 is output to the differentiator circuit 1q and also to the adder circuit 11.

尚、R8は、双方のオペアンプ7.8の基準値調整用の
抵抗である。
Note that R8 is a resistor for adjusting the reference value of both operational amplifiers 7.8.

前記微分回路10は、増幅回路6の出力信号である角度
信号Vθを角速度信号Vwに変えるもので、前記オペア
ンプ9の出力端子がコンデンサC3を介してオペアンプ
12の一入力端子に接続され、このオペアンプ12の十
入力端子はアースされている。
The differentiating circuit 10 converts the angle signal Vθ, which is the output signal of the amplifier circuit 6, into an angular velocity signal Vw.The output terminal of the operational amplifier 9 is connected to one input terminal of the operational amplifier 12 via a capacitor C3, and the operational amplifier The 12 input terminals are grounded.

このオペアンプ12の出力端子は、抵抗RIoと可変抵
抗R11との直列回路を介してオペアンプ12の一入力
端子とコンデンサC1との共通接続点に接続されており
、このオペアンプ12は入力電圧を微分した信号(角速
度信号)を出力する。
The output terminal of this operational amplifier 12 is connected to a common connection point between one input terminal of the operational amplifier 12 and the capacitor C1 via a series circuit of a resistor RIo and a variable resistor R11, and this operational amplifier 12 differentiates the input voltage. Outputs a signal (angular velocity signal).

また、このオペアンプ12の出力端子と一入力端子との
間にはコンデンサC2を介在してバンドパスフィルター
を構成し、所定値以上の信号をカットしている。
Further, a capacitor C2 is interposed between the output terminal and one input terminal of the operational amplifier 12 to form a band pass filter to cut signals exceeding a predetermined value.

前記オペアンプ12の出力端子は、抵抗RI!と可変抵
抗!セ1.との直列回路を介してオペアンプ13の一入
力端子に接続されている。
The output terminal of the operational amplifier 12 is connected to a resistor RI! And variable resistance! Se1. It is connected to one input terminal of the operational amplifier 13 via a series circuit with.

このオペアンプ13は、十入力端子がアースされている
と共に出力端子が抵抗R14を介して一入力端子に接続
されて前記オペアンプ12の出力信号を増幅する。
This operational amplifier 13 has one input terminal grounded and an output terminal connected to one input terminal via a resistor R14 to amplify the output signal of the operational amplifier 12.

前記加算回路11は、入力信号Vi(負の値)と角度信
号Ve(負の値)と角速度信号Vw(正の値)とを加算
して入力信号Viと角度信号We及び角速度信号Ywと
の差を出力するもので、角度信号Weと共に角速度信号
Vwをもフィードバックされて出力軸2の回転速度がほ
ぼ一定になるよう構成されている。
The adder circuit 11 adds the input signal Vi (negative value), the angle signal Ve (negative value), and the angular velocity signal Vw (positive value) to form the input signal Vi, the angle signal We, and the angular velocity signal Yw. It outputs the difference, and is configured to feed back the angular velocity signal Vw together with the angle signal We so that the rotational speed of the output shaft 2 is almost constant.

加算回路11はオペアンプ14を備え、このオペアンプ
14の一入力端子には、オペアンプ9の出力端子が抵抗
RI5を介して、オペアンプ13の出力端子が抵抗R+
aを介して、入力電源がオペアンプ15にて増幅され、
このオペアンプ15の出力端子が抵抗R17を介して、
それぞれ接続されている。このオペアンプ14の子端子
は抵抗R111を介してアースされ、出力端子は抵抗R
18を介して一入力端子に接続されている。
The adder circuit 11 includes an operational amplifier 14. The output terminal of the operational amplifier 9 is connected to one input terminal of the operational amplifier 14 through a resistor RI5, and the output terminal of the operational amplifier 13 is connected to one input terminal of the operational amplifier 14 through a resistor R+.
The input power is amplified by the operational amplifier 15 via a,
The output terminal of this operational amplifier 15 is connected via a resistor R17,
each connected. The child terminal of this operational amplifier 14 is grounded via the resistor R111, and the output terminal is connected to the resistor R111.
It is connected to one input terminal via 18.

ドライブ回路16は、前記加算回路11の出力信号に応
じてモータの回転速度・正逆等を行うもので、オペアン
プ17の十入力端子に前記オペアンプ14の出力端子が
接続されている。
The drive circuit 16 controls the rotation speed of the motor, forwards and reverses, etc. according to the output signal of the adder circuit 11, and the output terminal of the operational amplifier 14 is connected to the input terminal of the operational amplifier 17.

このオペアンプ17の一入力端子はモータコイルLと抵
抗1?1゜との直列回路を介してアースされ、又、出力
端子は第−及び第二のダーリントン回路18、19に接
続されている。
One input terminal of this operational amplifier 17 is grounded through a series circuit of a motor coil L and a resistor of 1° to 1°, and its output terminal is connected to the first and second Darlington circuits 18 and 19.

第一のダーリントン回路18は、トランジスタTr+の
ベース端子がダイオードD、を介してオペアンプ17の
出力端子に、コレクタ端子が外部電源(例えば+15V
 )に、それぞれ接続されている。また、このトランジ
スタTrtのベース端子とコレクタ端子との間には抵抗
R2lが介在されていると共にエミッタ端子はトランジ
スタTryのベース端子に接続されている。
In the first Darlington circuit 18, the base terminal of the transistor Tr+ is connected to the output terminal of the operational amplifier 17 via the diode D, and the collector terminal is connected to an external power supply (for example, +15V
) are connected to each other. Further, a resistor R2l is interposed between the base terminal and collector terminal of this transistor Trt, and the emitter terminal is connected to the base terminal of the transistor Try.

このトランジスタTrtは、コレクタ端子が外部電源(
例えば+15V)に接続され、エミッタ端子が抵抗R0
を介してオペアンプ17の一入力端子とモータコイルL
との共通接続点に接続されている。
This transistor Trt has a collector terminal connected to an external power supply (
For example, +15V), and the emitter terminal is connected to the resistor R0.
One input terminal of the operational amplifier 17 and the motor coil L
connected to a common connection point with

第二のダーリントン回路19は、トランジスタTrsの
ベース端子がダイオードD、、 D、の直列回路を介し
てオペアンプ17の出力端子に接続され、コレクタ端子
が外部電源(例えば−15V )に接続されている。ま
た、このトランジスタTr+のベース端子とコレクタ端
子との間には抵抗R23が介在されていると共にエミッ
タ端子はトランジスタTr、のベース端子に接続されて
いる。
In the second Darlington circuit 19, the base terminal of the transistor Trs is connected to the output terminal of the operational amplifier 17 via a series circuit of diodes D, D, and the collector terminal is connected to an external power supply (for example, -15V). . Further, a resistor R23 is interposed between the base terminal and collector terminal of this transistor Tr+, and the emitter terminal is connected to the base terminal of the transistor Tr.

このトランジスタTr4は、コレクタ端子が外部電源(
例えば−15■)に接続され、エミッタ端子が抵抗11
ffiaを介してオペアンプ17の一入力端子とモータ
コイルLとの共通接続点に接続されている。
This transistor Tr4 has a collector terminal connected to an external power supply (
For example, the emitter terminal is connected to the resistor 11
It is connected to a common connection point between one input terminal of the operational amplifier 17 and the motor coil L via the ffia.

而して、オペアンプ17の出力電圧によって第一のダー
リントン回路18及び第二のダーリントン回路19が作
動し、モータコイルしには第一のダーリントン回路18
によって第5図にて実線で示す方向で、且つ、オペアン
プ17の出力電圧と外部電源(例えば+15■)との差
に対応する電流が流れようとする。また、モータコイル
しには第二のダーリントン回路19によって第5図にて
破線で示す方向に、且つ、オペアンプ17の出力電圧と
外部電源(例えば−15V)との差に対応する電流が流
れようとする。従って、実際にはモータコイルしには電
流の大きい方向に、且つ、減算された分だけ流れる。
Therefore, the first Darlington circuit 18 and the second Darlington circuit 19 are activated by the output voltage of the operational amplifier 17, and the first Darlington circuit 18 is connected to the motor coil.
Therefore, a current tends to flow in the direction shown by the solid line in FIG. 5 and corresponding to the difference between the output voltage of the operational amplifier 17 and the external power supply (for example, +15 cm). Furthermore, a current will flow through the motor coil in the direction shown by the broken line in FIG. shall be. Therefore, the current actually flows through the motor coil in the direction of the larger current and by the subtracted amount.

例えば、入力信号Viと角度信号Veとの絶対値が等し
い場合(このとき角速度信号Vwは0となる。)にはオ
ペアンプ17の出力電圧が0となり、第−及び第二のダ
ーリントン回路18.19にてモータコイルしに流れる
双方の電流が相殺されて7ri流は流れない。
For example, when the absolute values of the input signal Vi and the angle signal Ve are equal (at this time, the angular velocity signal Vw becomes 0), the output voltage of the operational amplifier 17 becomes 0, and the second and second Darlington circuits 18, 19 Both currents flowing to the motor coil cancel each other out, and the 7ri current does not flow.

上記槽成において、所望回転角に対応する入力電圧を印
加すると、駆動制御回路にてトルク発生部Iであるモー
タが駆動して出力軸2がほぼ一定速度で所望回転角に回
転される。
In the above tank configuration, when an input voltage corresponding to a desired rotation angle is applied, the motor serving as the torque generating section I is driven by the drive control circuit, and the output shaft 2 is rotated at a substantially constant speed to the desired rotation angle.

この出力軸2の回転に際して出力軸2にはその端面2a
にマグネット部4が固定されており、トル・り発生に寄
与しないマグネット部4ら同様に回転する。しかし、出
力軸2の端面2aに設けられており回転トルクが小さい
ためイナーツヤも小さく、回転制御信号に対する応答性
が速い。
When the output shaft 2 rotates, the output shaft 2 has an end surface 2a.
A magnet part 4 is fixed to the magnet part 4, and the magnet part 4, which does not contribute to the generation of torque, rotates in the same way. However, since it is provided on the end surface 2a of the output shaft 2 and the rotational torque is small, the inertia is also small and the response to the rotation control signal is fast.

[発明の効果] 以上述べたように本発明によれば、出力軸の端面と、こ
の端面の対向面とに一方にマグネット部を他方に磁気セ
ンサーを設けたので、出力軸のイナーシャを小さくでき
回転制御信号に対する回転揺動アクチュエータの応答性
を速くできるという効果を奏する。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the inertia of the output shaft can be reduced because a magnet portion is provided on one side and a magnetic sensor is provided on the other side of the end face of the output shaft and the opposing face of this end face. This has the effect of increasing the responsiveness of the rotary swing actuator to the rotation control signal.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図乃至第5図は本発明の実施例を示し、第1図は回
転位置検出装置の斜視図、第2図は磁気センサーの底面
図、第3図は磁気センサーの出力波形図、第4図は駆動
制御回路のブロック図、第5図は駆動制御回路図であり
、第6図は従来例を示す回転位置検出装置の斜視図であ
る。 ■・・・回転力発生部、2・・・出力軸、2a・・・出
力軸の端面、3・・・回転位置検出装置、4・・・マグ
ネット部、5・・・磁気センサー。 1−−−rfIJ卸発↑呻 固転位置硬土AL糾視図 第1図 穏気乞ンプーめ土77液形図 第3図 、間動制田回謄のフロ1.、り図 第4図 バリ4邦くf丁rK、イりン2Lz曇按装置どつ斜視β
口 (従来fりIJ)第6図
1 to 5 show embodiments of the present invention, in which FIG. 1 is a perspective view of the rotational position detection device, FIG. 2 is a bottom view of the magnetic sensor, FIG. 3 is an output waveform diagram of the magnetic sensor, and FIG. FIG. 4 is a block diagram of the drive control circuit, FIG. 5 is a drive control circuit diagram, and FIG. 6 is a perspective view of a conventional rotational position detection device. ■... Rotational force generating section, 2... Output shaft, 2a... End face of output shaft, 3... Rotational position detection device, 4... Magnet part, 5... Magnetic sensor. 1---rfIJ Wholesaler↑Reflection hard soil AL inspection diagram Figure 1 Calculate pumping soil 77 Liquid form diagram Figure 3 Intermediate movement system field rotation flow 1. , Figure 4 Bali 4 country f cho rK, lin 2 Lz fogging device dotsu perspective β
Mouth (Conventional f IJ) Figure 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 電気的に制御できる回転力発生部の出力軸の端面とこの
端面の対向位置とに、一方にマグネット部を、他方にこ
のマグネット部の磁場方向の変化に応じた出力を出す磁
気センサーをそれぞれ設けたことを特徴とする回転揺動
アクチュエータの回転位置検出装置。
A magnet section is provided on one end of the output shaft of the electrically controllable rotational force generating section and a position opposite this end surface, and a magnetic sensor that outputs an output according to a change in the direction of the magnetic field of this magnet section is provided on the other side. A rotational position detection device for a rotary swing actuator, characterized in that:
JP8048086A 1986-04-08 1986-04-08 Rotational position detector for rotary oscillatory actuator Pending JPS62237302A (en)

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JP8048086A JPS62237302A (en) 1986-04-08 1986-04-08 Rotational position detector for rotary oscillatory actuator

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JP8048086A JPS62237302A (en) 1986-04-08 1986-04-08 Rotational position detector for rotary oscillatory actuator

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