JPS6223597A - Turbomolecular pump - Google Patents
Turbomolecular pumpInfo
- Publication number
- JPS6223597A JPS6223597A JP16355085A JP16355085A JPS6223597A JP S6223597 A JPS6223597 A JP S6223597A JP 16355085 A JP16355085 A JP 16355085A JP 16355085 A JP16355085 A JP 16355085A JP S6223597 A JPS6223597 A JP S6223597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- bearings
- gas turbine
- drive shaft
- radial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターボ分子ポンプに関するものである０
〔従来の技術〕
従来のこの種ターボ分子ポンプを第４図に基づいて説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a turbo-molecular pump. [Prior Art] A conventional turbo-molecular pump of this type will be explained based on FIG.
図において、１は回転体であり、その駆動軸１ａの下端
にはガスタービンブレード６が結合されている。３，４
はケーシング２に配設されたラジアル方向のガスベアリ
ングであシ、ガス導入口３ａ、４ａから入ったガスが多
孔質ノズルから噴出するようになっている。５はケーシ
ング２に配設されたスラスト方向のガスベアリングであ
る。７はガスベアリング部と吐出側真空室８の間をシー
ルするシール部材である。In the figure, 1 is a rotating body, and a gas turbine blade 6 is coupled to the lower end of a drive shaft 1a. 3,4
is a radial gas bearing disposed in the casing 2, so that the gas entering through the gas inlet ports 3a, 4a is ejected from the porous nozzle. 5 is a gas bearing in the thrust direction disposed in the casing 2. 7 is a sealing member that seals between the gas bearing section and the discharge side vacuum chamber 8.
しかして上記した従来のものでは、ガスタービンが１
ラジアル方向のガスベアリング３．及び４に対してオー
バハングの形になっているため、ガスベアリング４のラ
ジアル反力が過大となシ、適正な軸受性能を得ることが
できなくなるという問題点があった。又、ガスベアリン
グは、駆動軸１ａとの間に微少々間隙を構成して成るた
め通常は９分割型にできない。このため。However, in the conventional system described above, the gas turbine is
Radial gas bearing 3. and 4, the radial reaction force of the gas bearing 4 becomes excessive, making it impossible to obtain proper bearing performance. Further, the gas bearing cannot normally be made into a nine-part type because it has a slight gap between it and the drive shaft 1a. For this reason.
タービンブレード６と回転体１とは分割して生産し、ネ
ジ結合などの手段により、結合して回転体１を構成する
こととなり、振動の再現性などの面から好ましくないと
いう問題点があった。The turbine blades 6 and the rotating body 1 are produced separately and then combined to form the rotating body 1 by means such as screw coupling, which is undesirable from the viewpoint of vibration reproducibility. .
本発明は上記した従来の問題点に鑑みてなされたもので
９分子ポンプの駆動軸にその外径とほぼ同じ外径を有す
るガスタービンブレード部を配設し、同ブレード部を挾
むように一対のラジアルガスベアリングをケーシングに
配設してなるものである。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and includes a gas turbine blade section having an outer diameter approximately the same as that of the drive shaft of a nine-molecular pump, and a pair of gas turbine blades arranged to sandwich the blade section. It consists of a radial gas bearing placed in a casing.
上記したように構成された本発明によれば。 According to the present invention configured as described above.
一対のラジアルガスベアリングで荷重を均等に支持する
ことができ、ひいては分子ポンプの駆動軸を確実に支承
させることができるものである。The pair of radial gas bearings can support the load evenly, and in turn, the drive shaft of the molecular pump can be supported reliably.
以下１本発明の実施例を第１図及び第２図に基づいて説
明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
図において、１は回転体で、ｌａは同回転体１の、駆動
軸である。In the figure, 1 is a rotating body, and la is a drive shaft of the rotating body 1.
２は、該駆動軸１ａを囲繞するケーシングで。2 is a casing surrounding the drive shaft 1a.
３．４は該ケーシング２に配設されたラジアルガスベア
リングで、夫々ガス供給孔３ａ、４ａを有する多孔質金
属から形成されている。A radial gas bearing 3.4 is disposed in the casing 2 and is made of porous metal having gas supply holes 3a and 4a, respectively.
７はラジアルガスベアリング３側と吐出側真空室８との
間をシールするシール部材である。7 is a sealing member that seals between the radial gas bearing 3 side and the discharge side vacuum chamber 8.
そして、６は上記両ラジアルガスベアリング３．４間に
挾まれるように配置されたガスタービンで、同ガスター
ビン６ば、上記駆動軸１ａの周囲にエンドミル等で直接
機械加工して形成したブレード部６ａと、同ブレード部
６ａに、不動ガスを噴射させるガス噴射ノズル６ｂとか
らなっている。Reference numeral 6 denotes a gas turbine disposed between the two radial gas bearings 3.4, and the gas turbine 6 has blades formed by direct machining with an end mill or the like around the drive shaft 1a. It consists of a part 6a and a gas injection nozzle 6b that injects immobile gas to the blade part 6a.
尚、ガスタービン６は出力との関係で多段に設けでも勿
論可能、であり、このときにはラジアルガスベアリング
３，４も複数設けられるものである。Incidentally, it is of course possible to provide the gas turbine 6 in multiple stages depending on the output, and in this case, a plurality of radial gas bearings 3 and 4 are also provided.
５はスラスト方向の荷重を回転自在に支持する球で、同
球５は潤滑油中に漬けたシ、当接部分に固体潤滑材を使
用したりして形成している。Reference numeral 5 denotes a ball that rotatably supports a load in the thrust direction, and the ball 5 is formed by immersing it in lubricating oil or by using a solid lubricant at its abutting portion.
このように構成された実施例によれば、ガスタービンブ
レード部６ａを駆動軸と一体に構成しているので組立型
回転体にみられる振動の発生は確実に抑制でき１回転体
のオーバハング部もなく全体構造も簡単なものであり又
同ブレード部６ａはラジアルガスベアリング３．４に挾
まれるように配置しているので、該ガスベアリング３，
４への荷重は均分化され過負荷現象に伴なう軸受性能の
低下は未然かつ確実に防止できるものである。According to the embodiment configured in this manner, since the gas turbine blade portion 6a is configured integrally with the drive shaft, the occurrence of vibrations observed in assembled rotary bodies can be reliably suppressed, and overhanging portions of one rotary body can also be suppressed. The overall structure is simple, and since the blade portion 6a is arranged to be sandwiched between the radial gas bearings 3.4, the gas bearings 3,
The load on the bearings 4 is evenly distributed, and deterioration in bearing performance due to overload phenomena can be prevented in advance and reliably.
そして第３図は他の実施例を示すもので、同実施例は上
記した実施例の下部のスラスト荷重？受ける球５に代え
て動圧型球面軸受１５を採用し、潤滑油９内に位置する
ようにしているもので、他の構成は上記した実施例と同
一であり。FIG. 3 shows another embodiment, which is a lower thrust load of the above-mentioned embodiment. A hydrodynamic spherical bearing 15 is used in place of the receiving ball 5, and is positioned within the lubricating oil 9, and the other configurations are the same as in the above-described embodiment.
同一部分には同一符号を付し詳細な説明は省略する。Identical parts are designated by the same reference numerals and detailed explanations will be omitted.
尚、上記した各実施例において９回転体１の重量が軽い
場合、ターボ分子ポンプ吸込側８と。In each of the above-described embodiments, if the weight of the rotating body 1 is light, the suction side 8 of the turbo molecular pump.
ガスベアリング３．４等を設けた側との圧力差により１
回転体１がスラスト方向に不安定になることがあるが、
このような場合にはガスタービン６におけるガス噴射ノ
ズル６ｂからのガス噴射方向を下方に向けることにより
１回転体１に回転力を与えると同時に２回転体１の自重
と同方向に荷重を与えて、安定化させることができる。1 due to the pressure difference with the side where the gas bearing 3.4 etc. is installed.
The rotating body 1 may become unstable in the thrust direction, but
In such a case, by directing the gas injection direction from the gas injection nozzle 6b in the gas turbine 6 downward, rotational force is applied to the first rotating body 1, and at the same time, a load is applied in the same direction as the own weight of the second rotating body 1. , can be stabilized.
又、さらに積極的には第４図で示すように。Moreover, as shown in FIG. 4, more actively.
回転体１の駆動軸１ａに段付部１０を設けて。A stepped portion 10 is provided on the drive shaft 1a of the rotating body 1.
この段付部１０に対して矢印１１で示す方向にガスを噴
射させることにより更に回転体１を安定支持することが
可能である。By injecting gas in the direction shown by the arrow 11 to the stepped portion 10, it is possible to further stably support the rotating body 1.
以上１本発明によれば振動の発生やガスベアリングの過
負荷現象の発生がなくなり、軸受性能を一段と向上させ
ることができるものであり。According to the present invention, vibrations and gas bearing overload phenomena are eliminated, and bearing performance can be further improved.
ひいては分子ポンプの安定運転が得られると共に分子ポ
ンプ自体の寿命を一段と向上させることができる等の種
々の秀れた効果？奏しうるものである。Furthermore, various excellent effects such as stable operation of the molecular pump can be obtained and the life of the molecular pump itself can be further improved. It is something that can be played.
第１図は本発明の実施例を示す要部説明図。
第２図は第１（￥１の■−■断面図、第３図は本発明の
他の実施例を示す要部説明図、第４図は本発明の更に他
の実施例を示す要部説明図、第５図は従来の分子ポンプ
を示す要部説明図である。
１ａ・・・、駆動Ｑ＋＋、 ３． ｌＩ・・ラジア
ルガスベアリング、６・ガスタービン、６ａ・・−ガス
タービンブレード部、６ｂ・・ガス噴射ノズル
、・を人 、ル受、間 猜′
毛１閃
垢？閤FIG. 1 is an explanatory diagram of main parts showing an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a sectional view taken along the line ■-■ of 1 (¥1), Fig. 3 is an explanatory diagram of main parts showing another embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a main part showing still another embodiment of the present invention. Explanatory diagram, FIG. 5 is an explanatory diagram of main parts showing a conventional molecular pump. 1a..., drive Q++, 3. lI... radial gas bearing, 6... gas turbine, 6a...-gas turbine blade section , 6b...gas injection nozzle,... person, le holder, between 猜′ hair 1 scintillation?
Claims (1)
ブレード部を配設すると共に、該駆動軸を囲繞するケー
シングに同駆動軸の軸線と平行方向で上記ガスタービン
ブレード部を挾むように少くとも一対のラジアルガスベ
アリングを配設してなることを特徴とするターボ分子ポ
ンプ。A gas turbine blade portion having an outer diameter substantially the same as the outer diameter of the drive shaft is disposed on the drive shaft, and at least a casing surrounding the drive shaft is configured to sandwich the gas turbine blade portion in a direction parallel to the axis of the drive shaft. A turbo molecular pump characterized by a pair of radial gas bearings.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16355085A JPH066956B2 (en) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | Turbo molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16355085A JPH066956B2 (en) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | Turbo molecular pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6223597A true JPS6223597A (en) | 1987-01-31 |
| JPH066956B2 JPH066956B2 (en) | 1994-01-26 |
Family
ID=15776026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16355085A Expired - Lifetime JPH066956B2 (en) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | Turbo molecular pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066956B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200697U (en) * | 1987-06-16 | 1988-12-23 | ||
| JPH01187396A (en) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
| CN110159596A (en) * | 2019-04-25 | 2019-08-23 | 浙江理工大学 | The axially adjustable cylinder of circumferential direction with the bionical guide vane of adjustable angle |
-
1985
- 1985-07-24 JP JP16355085A patent/JPH066956B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200697U (en) * | 1987-06-16 | 1988-12-23 | ||
| JPH01187396A (en) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
| CN110159596A (en) * | 2019-04-25 | 2019-08-23 | 浙江理工大学 | The axially adjustable cylinder of circumferential direction with the bionical guide vane of adjustable angle |
| CN110159596B (en) * | 2019-04-25 | 2023-11-28 | 浙江理工大学 | Circumferential and axial adjustable cylinder with angle adjustable bionic guide vanes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH066956B2 (en) | 1994-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4721441A (en) | Bearing device for turbocharger | |
| US3043636A (en) | Bearing for high speed rotating shafts | |
| US3390926A (en) | Combined journal and thrust bearing | |
| US6231302B1 (en) | Thermal control system for gas-bearing turbocompressors | |
| EP0335779B1 (en) | Co-axial shaft bearing for a multi-shaft turbo machine, the bearing having clearance control means | |
| US4118042A (en) | Air bearing vacuum seal assembly | |
| JPH04252804A (en) | Thrust compensation device equipped with improved responsive balancing mechanism for hydraulic pressure | |
| US4865529A (en) | Rotor transient positioning assembly | |
| FR2468030A1 (en) | BEARING FOR ROTATING SHAFT | |
| US6146093A (en) | Variable vane seal and washer | |
| KR20000012041A (en) | Journal bearing | |
| US4927326A (en) | Turbomachinery rotor support with damping | |
| CA1067945A (en) | Bearing retaining plate | |
| US10077802B2 (en) | Tilting pad journal bearing assembly | |
| FR3005099A1 (en) | TURBOMACHINE STRUCTURE COMPRISING A VENTILATION RING | |
| US4817111A (en) | Gas laser apparatus, method and turbine compressor therefor | |
| US6736542B2 (en) | Reduced width tilting pad journal bearing and related method | |
| JPS6223597A (en) | Turbomolecular pump | |
| JPS6050999B2 (en) | Axial flow compressor stator structure | |
| EP1262696A1 (en) | Sealing arrangement for a turbomachine bearing | |
| EP0318638B1 (en) | Containment assembly | |
| JP7482000B2 (en) | Tilting pad journal bearing and rotating machine equipped with same | |
| WO2003069128A1 (en) | Turbocompressor with specially configured thrust washer | |
| JPS61190191A (en) | Motor-driven fuel pump for car | |
| US5803708A (en) | Damping device for a rotating machine |