JPS6223282B2 - - Google Patents

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JPS6223282B2
JPS6223282B2 JP56065650A JP6565081A JPS6223282B2 JP S6223282 B2 JPS6223282 B2 JP S6223282B2 JP 56065650 A JP56065650 A JP 56065650A JP 6565081 A JP6565081 A JP 6565081A JP S6223282 B2 JPS6223282 B2 JP S6223282B2
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JP
Japan
Prior art keywords
color filter
protein
oxidation
oxygen
film
Prior art date
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Expired
Application number
JP56065650A
Other languages
Japanese (ja)
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JPS57181502A (en
Inventor
Katsura Watanabe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPS6223282B2 publication Critical patent/JPS6223282B2/ja
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は色フイルターの製造方法に関するもの
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a color filter.

CCD等の各種固体撮像素子の色フイルター
は、主にタンパク質などの有機物によつて形成さ
れている。
Color filters of various solid-state imaging devices such as CCDs are mainly formed of organic substances such as proteins.

タンパク質を色フイルターの感光性膜の材料と
して用いるのは、タンパク質が加工性、染色性に
おいて他の物質より優れているためである。この
目的のために、例えばカゼイン、ゼラチンなどの
タンパク質が主に色フイルター用材料として使用
されている。
Proteins are used as materials for the photosensitive film of color filters because proteins are superior to other substances in terms of processability and dyeability. For this purpose, proteins such as casein, gelatin, etc. are mainly used as materials for color filters.

色フイルターの分光感度(光透過率特性)は、
その染色状態と、そのベース膜厚とに大きく依存
する。したがつて、色フイルターのベース膜厚
は、色フイルターの分光特性を決定する上で極め
て重要な要因をなしている。
The spectral sensitivity (light transmittance characteristics) of the color filter is
It largely depends on the dyeing state and the base film thickness. Therefore, the base film thickness of the color filter is an extremely important factor in determining the spectral characteristics of the color filter.

ところで、タンパク質は水溶液状態において不
安定であり、容易に重合、分解等を受けるため
に、使用に際して種々の不便が生じている。な
お、タンパク質水溶液が不安定となる要因として
は種々のものが考えられる。それらの要因として
は、例えば、薬品による加水分解、バクテリヤ等
の微生物による分解、水溶液中でのイオン強度の
変化による重会合、更には酸化による重合(特に
タンパク質分子に含まれているSH基の酸化によ
るS―S結合の形成)などが考えられる。これら
のうち、酸化による重合以外の要因は、薬品の選
択、防腐剤の使用、塩の不添加や非稀釈などの手
段により一応抑制することが可能である。また、
特にバクテリア等の微生物による分解を抑制する
ためには、防腐剤の添加以外の方法として、バク
テリアの活動を抑えるために低温に保存するとい
う手段も実際に採用されている。
By the way, proteins are unstable in an aqueous solution state and easily undergo polymerization, decomposition, etc., resulting in various inconveniences when used. In addition, various factors can be considered as factors that make the protein aqueous solution unstable. These factors include, for example, hydrolysis by chemicals, decomposition by microorganisms such as bacteria, polymerization due to changes in ionic strength in an aqueous solution, and polymerization due to oxidation (especially oxidation of SH groups contained in protein molecules). (Formation of S--S bond) etc. can be considered. Among these factors, factors other than polymerization due to oxidation can be suppressed by means such as selection of chemicals, use of preservatives, non-addition of salts, and non-dilution. Also,
In particular, in order to suppress decomposition by microorganisms such as bacteria, in addition to adding preservatives, a method of storing foods at low temperatures to suppress bacterial activity is actually adopted.

しかし、これらの要因の他に多くのタンパク質
にはSH基を有するシステインが含有されてい
て、このSH基は極めて酸化され易く、空気中の
酸素によつても容易に酸化されてS―S結合を形
成し重合してしまうという性質を有している。し
たがつて、前述した如き手段によつては酸化によ
るタンパク質の重合を抑制することは不可能であ
る。その酸化によるタンパク質の重合を防止する
ためには、酸素が存在しない条件下で操作をすれ
ばよいが、そのためには特別の装置が必要である
し、そのような無酸素の条件を設定するには高に
費用を要しまた取扱いも困難で実用上好ましくな
い。このような特別の条件を用いることなく、タ
ンパク質の酸化による重合を抑制しうる別の方法
としては、β―メルカプトエタノール等のSH基
保護試薬を使用することが提案され成果を収めて
いる。しかし、色フイルター形成のために感光剤
として使用され得る重クロム酸アンモニウム等は
酸化剤であるところから、前述した如きSH基保
護試薬を使用することには自ずからある程度の制
約が生じている。したがつて、かかる制約を受け
ることなくタンパク質水溶液を短期間に安定化で
きる方法が更に望まれていた。
However, in addition to these factors, many proteins contain cysteine with an SH group, and this SH group is extremely easily oxidized, and is easily oxidized by oxygen in the air, forming S-S bonds. It has the property of forming and polymerizing. Therefore, it is impossible to suppress protein polymerization due to oxidation by the above-mentioned means. In order to prevent protein polymerization due to oxidation, it is possible to operate under oxygen-free conditions, but this requires special equipment, and it is difficult to set up such anoxic conditions. is expensive and difficult to handle, and is therefore not preferred in practice. As another method capable of suppressing oxidative polymerization of proteins without using such special conditions, the use of SH group-protecting reagents such as β-mercaptoethanol has been proposed and has been successful. However, since ammonium dichromate and the like, which can be used as a photosensitizer for forming color filters, are oxidizing agents, there are naturally some restrictions on the use of the above-mentioned SH group protecting reagent. Therefore, there has been a further desire for a method that can stabilize an aqueous protein solution in a short period of time without being subject to such restrictions.

また、タンパク質水溶液を自然状態や冷蔵庫な
どの冷所で長時間貯蔵すれば酸化が進行しある程
度の粘度に達し、その溶液を塗布すればある程度
均一の膜厚を有するベース塗膜を得ることができ
る。しかしながら、この場合には、タンパク質水
溶液がある程度の粘度になるまでには長時間を要
し、かつ、タンパク質水溶液が不安定なためその
時間を特定するにもその都度塗膜を形成させてみ
てその膜厚を測定するなどの手間を要し、実用に
際しては極めて不便である。
In addition, if an aqueous protein solution is stored in its natural state or in a cold place such as a refrigerator for a long time, oxidation will progress and it will reach a certain level of viscosity, and if the solution is applied, a base coating film with a somewhat uniform thickness can be obtained. . However, in this case, it takes a long time for the aqueous protein solution to reach a certain level of viscosity, and since the aqueous protein solution is unstable, determining the time required requires forming a coating each time. This method requires time and effort such as measuring the film thickness, and is extremely inconvenient in practical use.

そこで、本発明は、特に、タンパク質水溶液を
短期間に高粘度化して安定化させ、かつ、実質的
に均一な膜厚を有するベース塗膜を形成させるこ
とができる色フイルターの製造方法を提供するこ
とを目的としている。
Therefore, the present invention particularly provides a method for producing a color filter that can increase the viscosity of an aqueous protein solution to stabilize it in a short period of time, and form a base coating film having a substantially uniform thickness. The purpose is to

本発明に係る色フイルターの製造方法は、タン
パク質および感光剤からなる色フイルター用感光
性組成物を酸素含有気体の存在下で強制的に酸化
することにより高粘度化して安定化させた後、色
フイルターの基体に塗布して均一な膜厚を有する
ベース塗膜を形成し、次いで前記ベース塗膜を染
色することを特徴としている。
The method for producing a color filter according to the present invention involves forcibly oxidizing a photosensitive composition for a color filter consisting of a protein and a photosensitizer in the presence of an oxygen-containing gas to increase the viscosity and stabilize it. The method is characterized in that it is applied to the substrate of a filter to form a base coating film having a uniform thickness, and then the base coating film is dyed.

本発明に使用されるタンパク質および感光剤は
それぞれ何ら特定されるものではなく、従来から
同じ目的に使用されているものであればいずれも
使用可能である。なお、タンパク質としては、そ
の分子中にSH基を有するシステインを成分とし
て含有するものが特に好ましいが、後述するよう
な強制的酸化を受けて高粘度化が可能であるタン
パク質であればいずれも使用することができる。
The protein and photosensitizer used in the present invention are not particularly specified, and any protein that has been conventionally used for the same purpose can be used. In addition, as a protein, it is particularly preferable to use a protein containing cysteine having an SH group in its molecule as a component, but any protein that can be made to have a high viscosity by undergoing forced oxidation as described below can be used. can do.

本発明に係る方法に適用される強制的酸化は酸
素含有気体の存在下で行われる。酸素含有気体と
しては、酸素自体でもよいし、また空気のように
酸素を含有する気体であつてもよく、その気体中
の酸素濃度は特に限定されるものではない。強制
的酸化をする方法としては、タンパク質水溶液を
物理的に撹拌することが挙げられる。この強制的
酸化を行う時間は一般には約1乃至3時間で十分
であるが、強制的酸化の開始前における原料タン
パク質水溶液の初期粘度、撹拌速度等の条件によ
り適宜変更することが可能であり、その時間は当
業者にとつては容易に選択することができる。
The forced oxidation applied in the method according to the invention is carried out in the presence of an oxygen-containing gas. The oxygen-containing gas may be oxygen itself or a gas containing oxygen such as air, and the oxygen concentration in the gas is not particularly limited. Examples of methods for forced oxidation include physically stirring the aqueous protein solution. The time for performing this forced oxidation is generally about 1 to 3 hours, but it can be changed as appropriate depending on conditions such as the initial viscosity of the raw protein aqueous solution and the stirring speed before the start of forced oxidation. The time can be easily selected by one skilled in the art.

このようにして強制的酸化をして高粘度にした
タンパク質水溶液は、色フイルターの基体にスピ
ンコート法、スクリーン印刷法、浸漬法、その他
の適当な手段によつて塗布される。塗布方法は常
法のものでよく、その条件も常法に従つて適宜選
択すればよい。また、その塗膜の厚みにしても何
ら特定されるものではなく、特に、約1〜5μあ
れば充分である。
The aqueous protein solution made highly viscous through forced oxidation is applied to the substrate of the color filter by spin coating, screen printing, dipping, or other suitable means. The coating method may be a conventional method, and the conditions may be appropriately selected according to a conventional method. Further, there is no particular limitation on the thickness of the coating film, and in particular, a thickness of about 1 to 5 μm is sufficient.

なお、色フイルターの基体に塗布されるタンパ
ク質水溶液には、重クロム酸アンモン等の感光剤
が添加されるが、その量にしても従来から使用さ
れている量を使用すればよい。
Note that a photosensitizer such as ammonium dichromate is added to the aqueous protein solution applied to the substrate of the color filter, and the amount used may be the same as conventionally used.

前述したようにして塗布されたタンパク質水溶
液の感光膜は、例えば、次のようにして色フイル
ターに形成される。まず、この感光膜上に所定形
状のマスクを置き、紫外線を照射して選択的に露
光して硬化後、非露光部を例えば温水にして浸漬
して溶解除去する。次に、この色フイルターの基
体を第1色目の例えば赤色の染料溶液に含浸し、
露光部を染色して赤色のフイルター成分を形成す
る。
The photoresist film of the aqueous protein solution applied as described above is formed on a color filter, for example, in the following manner. First, a mask of a predetermined shape is placed on this photoresist film, and after being selectively exposed to ultraviolet rays and cured, the unexposed areas are immersed in, for example, warm water to be dissolved and removed. Next, the base of this color filter is impregnated with a dye solution of a first color, for example, red, and
The exposed area is dyed to form a red filter component.

次いで、この赤色フイルター成分を隔離するた
めに、この赤色フイルター成分を含む受光面全体
に、例えば、ポリケイ皮酸ビニル系(例えば
TPR、KPRなど)環化ゴム系(例えば、
KTFR、OMRなど)等のフオトレジスト皮膜を
形成する。このフオトレジスト皮膜上に、第2色
目の例えば緑色のフイルター成分を形成するため
に、受光部のみに前記と同様にして感光膜を形成
する。この感光膜を前記と同様に処理して緑色の
フイルター成分を形成させる。再び受光面の全面
に亘つて緑色フイルター成分の隔離のためにフオ
トレジスト皮膜を形成する。次に、第3色目の例
えば青色のフイルター成分を形成するために、前
記と同様に処理して青色フイルター成分を形成す
る。
Then, in order to isolate this red filter component, the entire light-receiving surface containing this red filter component is coated with, for example, a polyvinyl cinnamate system (e.g.
TPR, KPR, etc.) Cyclized rubber-based (e.g.
Forms a photoresist film such as KTFR, OMR, etc. In order to form a filter component of a second color, for example green, on this photoresist film, a photoresist film is formed only on the light receiving portion in the same manner as described above. This photoresist film is processed in the same manner as described above to form a green filter component. A photoresist film is again formed over the entire light-receiving surface to isolate the green filter component. Next, in order to form a filter component of a third color, for example, blue, the same process as above is performed to form a blue filter component.

以上のようにして形成された色フイルターは、
特に、材料として用いる感光性を有するタンパク
質水溶液を強制的酸化により高粘度化しているの
で、前記タンパク質水溶液の強制的酸化開始から
約1時間〜約3時間で所望の粘度にすることがで
き実質的に均一の厚みを有する塗膜を得ることが
できる。これに対し、そのような強制的酸化をし
ないで常温に放置する自然酸化だけによる場合に
は、同様な結果を得ることができるまでには約20
時間以上を要することになる。したがつて、本発
明は実用上極めて有利である。
The color filter formed as above is
In particular, since the photosensitive aqueous protein solution used as the material is made to have a high viscosity through forced oxidation, the desired viscosity can be achieved in approximately 1 to 3 hours from the start of forced oxidation of the protein aqueous solution. A coating film having a uniform thickness can be obtained. On the other hand, if you do not perform such forced oxidation and only use natural oxidation by leaving it at room temperature, it will take about 20 minutes to achieve similar results.
It will take more time. Therefore, the present invention is extremely advantageous in practice.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明す
る。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.

実施例 空気中において1時間撹拌して得られた重クロ
ム酸アンモンを含有するカゼイン水溶液5c.c.をウ
エーハー上に置き、スピンナーコートを、第1段
階では1000rpmで20秒間、第2段階では2000rpm
で10秒間行つて約1.5μ感光膜を得た。この感光
膜を前述したようにして常法によつて処理して所
望の色フイルターが得られた。
Example 5 c.c. of casein aqueous solution containing ammonium dichromate obtained by stirring in air for 1 hour was placed on a wafer and spinner coated at 1000 rpm for 20 seconds in the first stage and at 2000 rpm in the second stage.
This was carried out for 10 seconds to obtain a photoresist film of approximately 1.5 μm. This photoresist film was processed in a conventional manner as described above to obtain a desired color filter.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 タンパク質および感光剤からなる色フイルタ
ー用感光性組成物を酸素含有気体の存在下で強制
的に酸化することにより高粘度化して安定化させ
た後、色フイルターの基体に塗布して均一な膜厚
を有するベース塗膜を形成し、次いで前記ベース
塗膜を染色することを特徴とする色フイルターの
製造方法。
1 A photosensitive composition for a color filter consisting of a protein and a photosensitizer is forcibly oxidized in the presence of an oxygen-containing gas to make it highly viscous and stabilized, and then applied to the substrate of a color filter to form a uniform film. A method for producing a color filter, comprising forming a thick base coating film, and then dyeing the base coating film.
JP56065650A 1981-04-30 1981-04-30 Manufacture of color filter Granted JPS57181502A (en)

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JPS57181502A JPS57181502A (en) 1982-11-09
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5774707A (en) * 1980-10-29 1982-05-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Production of stripe filter

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5774707A (en) * 1980-10-29 1982-05-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Production of stripe filter

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JPS57181502A (en) 1982-11-09

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