JPS62228461A - Metallic vapor deposited film and its production - Google Patents

Metallic vapor deposited film and its production

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JPS62228461A
JPS62228461A JP7118486A JP7118486A JPS62228461A JP S62228461 A JPS62228461 A JP S62228461A JP 7118486 A JP7118486 A JP 7118486A JP 7118486 A JP7118486 A JP 7118486A JP S62228461 A JPS62228461 A JP S62228461A
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aluminum oxide
oxide layer
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雅一 山本
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健一 佐藤
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Abstract

PURPOSE:To reduce the gas permeability and heat conductivity by successively forming an amorphous aluminum oxide layer and a metallic aluminum layer on a traveling plastic film by vacuum deposition so as to increase the adhesive power of the layers to the base film. CONSTITUTION:A plastic film 1 wound around a drawing-out shaft 5 is traveled along a cooling drum 12. Aluminum in a crucible 7 is melted and oxygen is introduced from an oxygen cylinder 10 to form an aluminum oxide layer on the film 1 by vacuum deposition. The film 1 having the formed aluminum oxide layer is wound again around the shaft 5 and a metallic aluminum layer is similarly formed. A film having a lower amorphous aluminum oxide layer and an upper metallic aluminum layer on at least one side is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、ベースフィルムから剥離脱落することのない
付着力の優れた金属アルミニウム層を右し、高いガス遮
断性を示す金属蒸着フィルムに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a metal vapor deposited film that includes a metal aluminum layer with excellent adhesion that does not peel off from a base film and exhibits high gas barrier properties.

(従来の技術) 最近、金属蒸着フィルムは優れた光線反射性、光遮断性
、ガス遮断性等を有するため表面光沢を生かした用途や
包装材料用途等に多く使われている。
(Prior Art) Metal-deposited films have recently been widely used in applications that take advantage of their surface gloss, packaging materials, etc. because they have excellent light reflectivity, light shielding properties, gas barrier properties, and the like.

しかし、これらの従来の金属蒸着フィルムは、金属蒸@
層のベースフィルムへの付着性が悪く、フィルム面より
剥離し易い欠点を有している。
However, these conventional metallized films are
It has the disadvantage that the layer has poor adhesion to the base film and is easily peeled off from the film surface.

従って、このような欠点を解決するために、種々の方法
が1足案されている。例えば、プラスブックの表面を予
め物理的おるいは化学的/よ方法で粗面化したり、電気
的なコロナ放電処理あるいはグロー放電処理を施す方法
等である。しかし、これらの方法では実用に充分供する
だけの付着強度が得られず、用途が限定されていた。
Therefore, various methods have been proposed to solve these drawbacks. For example, the surface of the plus book may be roughened in advance by physical or chemical methods, or electrical corona discharge treatment or glow discharge treatment may be performed. However, these methods do not provide sufficient adhesion strength for practical use, and their uses are limited.

従って、この問題を解決するために予めフィルムの表面
に接着剤等を薄く塗イロする方法か試みられている。
Therefore, in order to solve this problem, attempts have been made to apply a thin layer of adhesive or the like on the surface of the film in advance.

(発明か解決しようとする問題点) しかし、このような接着剤を予め塗イロし、しかる後に
金属アルミニウムを真空蒸着したフィルムには、次の佳
’c′に問題点がおった。
(Problems to be Solved by the Invention) However, the following problems arose in films in which such an adhesive was applied in advance and then metal aluminum was vacuum-deposited.

すなわら、 a、真空蒸着に先立らフィルム表面に予め接着剤を塗布
しな()ればならないので、工程が複層[になりコスト
高になる。
That is, a. Since it is necessary to apply an adhesive to the film surface in advance before vacuum deposition, the process becomes multi-layered, resulting in high costs.

b、(9られた金属蒸着フィルムはやはり接着力が不充
分てあり、用途によっては使用できない。
b. (9) The metallized film still has insufficient adhesive strength and cannot be used for some purposes.

C,プラスチックフィルムと金属蒸着層との間に接着剤
層がおるため、高温雰囲気にざらされた場合に該接着剤
層が耐熱性を損なわれ、それか移動することにより、ア
ルミニウム蒸着源か光沢を失い、白化してしまうという
大きな問題点がおる。
C. Since there is an adhesive layer between the plastic film and the metal deposition layer, when exposed to a high temperature atmosphere, the adhesive layer loses its heat resistance and moves, causing the aluminum deposition source to lose its luster. There is a big problem that it loses its color and turns white.

d、特に金属蒸着フィルムを包装用材料として使用する
場合は、アルミニウム蒸着層の厚さはカス遮断性および
その安定性と相関関係を有し、この意味で(ユ金属蒸着
層は厚い方か好ましい。しかし、例えば金属アルミニ「
クムの熱伝導率は約2.OQKcal、/m # h 
・QCで一般のプラスチックフィルムの約1000倍に
もJ3よび、包装用材料に使用する場合には、ラミネー
トフィルムの熱封止部から熱伝導率か高いと熱が逃げて
しまうので、金属蒸着層の厚さは極力薄いことが望まし
いという相反する問題点があった。
d. Especially when using a metallized film as a packaging material, the thickness of the aluminum-deposited layer has a correlation with the gas barrier properties and its stability, and in this sense (the thicker the metallized layer is, the better However, for example, metal aluminum "
The thermal conductivity of cum is approximately 2. OQKcal, /m # h
・QC is about 1000 times that of general plastic film. When used for packaging materials, heat will escape from the heat sealing part of the laminate film if the heat conductivity is high, so the metal vapor deposition layer is used. There is a conflicting problem in that it is desirable that the thickness of the material be as thin as possible.

本発明の目的は、上記に述べた欠点のないしの、すなわ
ち高温使用時にも、金属光沢を失うことなく、且つ優れ
たガス遮断性を有する金属蒸着フィルムおよびその製造
方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a metallized film that does not have the above-mentioned drawbacks, that is, does not lose its metallic luster and has excellent gas barrier properties even when used at high temperatures, and a method for producing the same.

(問題点を解決するための手段) すなわら本発明は、 プラスチックフィルムの少なくとも片面に酸化アルミニ
ウム層、および該酸化アルミニ1クム層上に積層された
金属アルミニウム層を有することを特徴とする金属蒸着
フィルム。および、同一真空容器内でフィルム走行中に
酸化アルミニウム層と金属アルミニウム層を連続的に真
空蒸着によって形成することを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
(Means for Solving the Problems) In other words, the present invention provides a metal film characterized in that it has an aluminum oxide layer on at least one side of a plastic film, and a metal aluminum layer laminated on the aluminum oxide 1 cum layer. Deposited film. The method for producing a metal-deposited film according to claim 1, characterized in that the aluminum oxide layer and the metal aluminum layer are continuously formed by vacuum deposition while the film is running in the same vacuum container.

を提供する−しのでおる。- Provide Oru Shinode.

本発明に用いるプラスチックフィルムとは、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレン
テレフタレート、ポリブチレンチレフタレ−1〜等のポ
リエステル、ナイロン6、ナイロン12等のポリアミド
、芳香族ポリアミド、ポリイミド等である。また、本発
明にあけるプラスチックフィルムの累月としては、以上
の重合体や、他のイ1機車台体との共重合体でおっても
良い。ざらに、これらの右)幾巾合体は、その用途によ
り溶融押出ししたもの、−軸重るいは二軸で延伸したも
のでも良く、特に限定されるものでtよない。
The plastic film used in the present invention includes polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polyesters such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate-1, polyamides such as nylon 6 and nylon 12, aromatic polyamides, polyimides, and the like. Furthermore, the plastic film used in the present invention may be made of the above-mentioned polymers or copolymers with other vehicle chassis bodies. In general, these multi-width composites may be melt-extruded, -axially stretched or biaxially stretched, depending on the use, and are not particularly limited.

また、これらのイ’i +a重合体に公知の手法により
帯電防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、熱安定剤、内部滑
剤等か添加されていてもJ:い。
Further, antistatic agents, ultraviolet absorbers, colorants, heat stabilizers, internal lubricants, etc. may be added to these i'i +a polymers by known methods.

本発明におりるプラスチックフィルムとしては機械的強
度、熱的寸法安定性等、プラスチック蒸着フィルム材と
しての適性を備えていれば良い。
The plastic film according to the present invention may have mechanical strength, thermal dimensional stability, and other suitability as a plastic vapor-deposited film material.

これらのプラスチックフィルムは、酸化アルミニウム層
の形成に先立ち、コロナ放電処理、プラズマ処理等の表
面処理、または物理的、化学的方法による表面粗面化処
理が施されていても何ら支障がない。
These plastic films may be subjected to surface treatment such as corona discharge treatment or plasma treatment, or surface roughening treatment by physical or chemical methods without causing any problems, prior to the formation of the aluminum oxide layer.

また、付着力向上のためには、公知の方法による接着剤
の塗布を予め施されていてもよいが、前述した高温体の
白化現象を引き起さない適性を備えていることが必要で
おる。
Further, in order to improve adhesion, adhesive may be applied in advance by a known method, but it is necessary to have an aptitude that does not cause the above-mentioned whitening phenomenon of high-temperature bodies. .

本発明のプラスチックフィルムの厚さは、特に制限を受
けないが、2〜250μmが可撓性、熱的特性、機械的
特性の点から好ましく、9〜125μmの範囲でおるこ
とがより好ましい。
The thickness of the plastic film of the present invention is not particularly limited, but is preferably from 2 to 250 μm in terms of flexibility, thermal properties, and mechanical properties, and more preferably from 9 to 125 μm.

本発明にあける酸化アルミニウムとは、Aσ01AQ2
02、AQ203等のアルミニウムの酸化物である。ま
た、酸化アルミニウム層中に(=j看力を損わない範囲
で他の不純物が含まれていてもよい。
The aluminum oxide used in the present invention is Aσ01AQ2
These are aluminum oxides such as 02 and AQ203. In addition, other impurities may be contained in the aluminum oxide layer (=j) within a range that does not impair the strength.

また、本発明に83ける酸化アルミニウム(よ、可撓性
′つ成形斗を発揮するため、非結晶で゛おる方か好まし
い。結晶性の酸化アルミニウムが含まれると、厚膜にし
たり屈曲を与えた場合に、膜に亀裂か発生するので好ま
しくない。
In addition, in the present invention, aluminum oxide (amorphous) is preferable in order to exhibit flexibility and formability. If crystalline aluminum oxide is contained, the film may be made thicker or may be bent. If this happens, cracks may occur in the film, which is not desirable.

なお、結晶性または非結晶性の!F11定には、通常の
X線回折装置で容易に測定できる。
In addition, crystalline or amorphous! The F11 constant can be easily measured using an ordinary X-ray diffraction device.

すなわら、本発明にJ5ける非結晶性の酸化アルミニウ
ムとは、X線回折によって特定の回折が観測されないも
のを意味している。
That is, the amorphous aluminum oxide in J5 of the present invention means one in which no specific diffraction is observed by X-ray diffraction.

酸化アルミニ1クム層の厚さは、ベースフィルムや用途
等により測定されるのが好ましく、一般に金属アルミニ
ウム蒸着層のイ」着力同士のためには、20〜1000
人の範囲がよい。より好ましくは、50〜300人て必
る。酸化アルミニウム層の厚さか20Å以下の場合には
続いて積層されるアルミニウム蒸着層のイ」着力が充分
でなく、1000大以上の場合には、光の干渉による虹
彩色が発生し好ましくない。
The thickness of the aluminum oxide layer is preferably measured depending on the base film and the intended use, and is generally 20 to 1000 mm thick for the adhesion of the metal aluminum vapor deposited layer.
Good range of people. More preferably, 50 to 300 people are required. If the thickness of the aluminum oxide layer is less than 20 Å, the adhesion of the subsequently laminated aluminum vapor-deposited layer will not be sufficient, and if it is more than 1,000 Å, iris coloration will occur due to light interference, which is undesirable.

酸化アルミニウム層の形成方法としては、酸化アルミニ
1クムの粉末ヤ固形物を真空蒸着、スパッタリング、イ
オンブレーティング簀で真空蒸着りる方法や、アルミニ
・クム金属と酸素カスとを導入して、上記の真空蒸着の
方法で形成する方法か採用できる。また、予めアルミニ
ウムを公知の方法で薄く蒸着し、後はど酸化させる方法
でもよい。
The aluminum oxide layer can be formed by vacuum evaporation, sputtering, or vacuum evaporation of 1 µm of aluminum oxide powder in an ion-blating tank, or by introducing aluminum cum metal and oxygen scum to form the above-mentioned It is possible to adopt a method of forming by vacuum evaporation method. Alternatively, aluminum may be deposited thinly in advance by a known method and then oxidized.

本発明にd3いては、金属アルミニウム層は通帛の方法
で形成する。該アルミニウム層の厚さについては、特に
限定するものではないが、目的に応じて表面光沢、導電
性、光遮断性、カス遮断性簀が充分に17られる範囲が
好ましい。
In step d3 of the present invention, the metal aluminum layer is formed by a conventional method. The thickness of the aluminum layer is not particularly limited, but it is preferably within a range that provides sufficient surface gloss, electrical conductivity, light shielding properties, and scum shielding properties depending on the purpose.

また、本発明者らは、このような酸化アルミニウム層と
金属アルミニウム層とを蜂済的に効率よく設(プる方法
として以下の方法を発明覆るに至・)k。
In addition, the present inventors have invented the following method as a method for efficiently and cost-effectively forming such an aluminum oxide layer and a metal aluminum layer.

ずなわら、第2図に示す作な薫る装置において、プラス
チックフィルム1が冷却ドラム12に沿って真空蒸着さ
れるとき、蒸着部分の始めの部分にガス流♀制御器9を
用いて酸素ボンベ10中の酸素ガスをカス吹出口8を介
して導入(5・、反応蒸着によって酸化アルミニウム層
を形成させ、後半の部分(ま酸素を導入せず通帛のアル
ミニウム層を形成する方法である。この方法を使用すれ
ば、従来のアルミニウムのみを真空蒸着する方法と全く
同様に、カス吹出口8の位首および酸素ガスの流量を制
御することにより、容易に酸化アルミニウム層と金属ア
ルミニウム層の二層を連続的に厚み精度よく形成するこ
とができる。
However, in the elegant apparatus shown in FIG. 2, when the plastic film 1 is vacuum-deposited along the cooling drum 12, a gas flow controller 9 is used to inject an oxygen cylinder 10 at the beginning of the deposition section. Oxygen gas is introduced through the waste outlet 8 (5), and an aluminum oxide layer is formed by reactive vapor deposition, and the latter part (this is a method in which a regular aluminum layer is formed without introducing oxygen). By using this method, you can easily deposit two layers of aluminum oxide and metal aluminum by controlling the position of the waste outlet 8 and the flow rate of oxygen gas, just like the conventional method of vacuum-depositing only aluminum. can be formed continuously with high thickness accuracy.

(作 用) 本発明による金属蒸着フィルムは金属アルミニ・クム層
のイ」省力が強く、且つ熱による白化現象もないことか
ら各種しlヘルド用途等の包装用、ラベル用、金銀糸用
、各種装飾用、電気部品用途等に使用することかできる
。特に包装用材料として用いる場合には、必要とするガ
ス遮断性を(9るのに、従来のものよりa9い金属蒸着
層で済むため熱伝う91生か低く、ピー1〜シールが容
易に行なえる利点がある。
(Function) The metal-deposited film according to the present invention has a strong labor-saving effect on the metal aluminum cum layer and does not cause whitening due to heat. It can be used for decoration, electrical parts, etc. In particular, when used as a packaging material, the required gas barrier properties (91) are required, but since only a metal vapor-deposited layer is needed which is larger than conventional ones, the heat transfer rate is low (91), and sealing can be easily performed. There are advantages.

J:た、本発明に係る金属前るフィルムは以」二の用途
にあわUて他(Aおlとのラミネー1〜、貼合せ、文字
、図柄等の印刷、表面保護コーティング簀を適宜性なう
ことができる。
J: The metal-based film according to the present invention can be used for the following purposes (laminating with other materials, lamination, printing of letters, designs, etc., surface protection coating, etc.) as appropriate. can become.

(実施例) 以下に本発明を実施例により説明1−る。な(13,1
5性の測定、評価には、次の方法を用いた。
(Examples) The present invention will be explained below using examples. Na(13,1
The following method was used to measure and evaluate sex.

イ、酸化アルミニウム層の結晶性 X線回折装置(理学電機(株)袈)を用いてCu Kα
線(Niフィルタ使用)S:蒸着層表面に入射させ、ゴ
ニオメータ−で試料とX線源を回転させながら、シンチ
レーションカウンター(理学電は(沫)製)で回折強度
を測定した。
B. Cu Kα using a crystalline X-ray diffraction device (Rigaku Denki Co., Ltd.) of aluminum oxide layer
Ray (using a Ni filter) S: The diffraction intensity was measured using a scintillation counter (manufactured by Rigakuden) while rotating the sample and X-ray source using a goniometer.

ロ、酸化アルミニウム図の組成分析 蒸着層をESC△スペクトロメータ(,12′、津製作
所(株)装ESCA750)で分析し、AQ2Pのスペ
クトルの結合エネルギーから酸化アルミニウム組成を確
認した。
B. Composition analysis of aluminum oxide diagram The deposited layer was analyzed with an ESC△ spectrometer (12', ESCA750 manufactured by Tsu Seisakusho Co., Ltd.), and the aluminum oxide composition was confirmed from the binding energy of the AQ2P spectrum.

ハ、酸化アルミニウムi c15よび金属アルミニウム
層の厚さ 酸化アルミニウム層の厚さは、予め基板フィルムにポリ
エステル粘着テープ(日東電に(沫)製)NO31B)
を貼り、これに蒸着したIC。
C. Aluminum oxide IC15 and the thickness of the metal aluminum layer The thickness of the aluminum oxide layer is determined by applying polyester adhesive tape (manufactured by Nitto Electric Co., Ltd.) NO31B to the substrate film in advance.
IC was pasted and vapor-deposited on it.

この粘看テープをはがし、蒸着部分と未然青部分の段差
を作る。この段差部を高精度段差測定機(小板研究所(
沫)装、ET−10>にて測定した。また、金属アルミ
ニウム1苫についても同様な方法により測定した。
Peel off this adhesive tape to create a step between the vapor-deposited area and the blue area. This step was measured using a high-precision step measuring device (Koita Research Institute).
Measurements were made using the ET-10>. Further, metal aluminum 1 was also measured in the same manner.

ハ、金属アルミニウム層の付着力 プラスチックフィルムの上に酸化アルミニウム層、さら
に金属アルミニウム層を蒸着した上に接着剤を塗イ[シ
、乾燥復信のプラスチックフィルムとラミネートした。
C. Adhesion of metal aluminum layer: An aluminum oxide layer was deposited on top of the plastic film, and then an adhesive was applied on top of the metal aluminum layer.

その後、2枚のプラスチックフィルムを剥離し、その際
の剥離力を付着強度として測定した。具体的には以下に
述へる通りである。
Thereafter, the two plastic films were peeled off, and the peeling force at that time was measured as the adhesion strength. Specifically, it is as described below.

プラスチックフィルム上に酸化アルミニウム層及び金属
アルミニウム層を順次形成させ、その上に次の溝成の接
着剤を2μm塗イロし、80°C11分間乾燥後、50
μmのギトスティングポリゾI」ピレンフィルムと圧着
させる。
An aluminum oxide layer and a metal aluminum layer were sequentially formed on the plastic film, and then the following grooved adhesive was applied to a thickness of 2 μm, dried at 80°C for 11 minutes, and then heated at 50°C.
It is pressed together with a μm Gitosting Polyzo I” pyrene film.

接着剤 (1)レイカホント正−270(大日精化(株〉製、ウ
レタン系塗料)       100部(2)ごイカホ
ントC−26(入日:請化°()朱)袈、イソシアネー
1〜硬化剤)      20部(3)酸化エチル  
        120部圧着させたリンプルを40’
C172時間−r −ジンクした後、15mm幅にカツ
トシ、万有引張圧縮試験機(ミネベア(沫)装、TCM
−50)で、90度方向に20cm/分のスピードで剥
離し、その際の剥離力をイ」打強度として測定した。
Adhesive (1) Reikahonto Sei-270 (manufactured by Dainichiseika Co., Ltd., urethane paint) 100 parts (2) Goikahonto C-26 (in Japan: Koka ° () vermilion), isocyanate 1 ~ curing agent) 20 parts (3) Ethyl oxide
40' of crimped 120 parts
After Zincing for 2 hours, cut to a width of 15 mm, and test using a Tensile Compression Tester (Minebea Equipment, TCM).
-50), and was peeled off at a speed of 20 cm/min in a 90 degree direction, and the peeling force at that time was measured as the "I" striking strength.

二、白化 プラスチックフィルムの上に、酸化アルミニウム層及び
金属アルミニウム層を順次形成C3−t!、熱処理をし
た場合のフィルム面の光沢度の変化を測定した。
2. Sequentially forming an aluminum oxide layer and a metal aluminum layer on the whitened plastic film C3-t! , the change in gloss of the film surface was measured when heat treated.

具体的には以下に述べる通りである。Specifically, it is as described below.

プラスチックフィルム上に漿化アルミニウム層及び金属
アルミニウム層を順次形成させ、150°C15分間熱
処理した後、光沢度をデジタル変角光度計(スカ試験は
(株)製、UGV−4D)で測定した。
A serous aluminum layer and a metal aluminum layer were sequentially formed on a plastic film and heat-treated at 150° C. for 15 minutes, and then the gloss was measured with a digital variable angle photometer (UGV-4D, manufactured by Ska Test Co., Ltd.).

実施例に 111111延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム
(12,aN7)を、幅1000mm、長さ6000n
1のに】−ル状とし、第2図に示す蒸着装置の巻出軸5
にA看した。純度99,9%のアルミニ1クムを800
0カー小ンルツボ7に充填し、真空容器4を5.0×]
○−4Torrに排気した。
In the example, a 111111 stretched polyethylene terephthalate film (12, aN7) was prepared with a width of 1000 mm and a length of 6000 nm.
1] The unwinding shaft 5 of the vapor deposition apparatus shown in FIG.
I watched A. 800 ml of 99.9% pure aluminum
Fill the small crucible 7 with 0 car and vacuum container 4 5.0×]
It was evacuated to -4 Torr.

次いて、高周波誘導加熱方式によりカーボンルツボ7内
の)′ルミニウムを溶融さけ、該フィルム1を200m
、7分で走行さt!ながら、表面抵抗か1.5Ω′口に
なるよう調整した。
Next, the aluminum in the carbon crucible 7 is melted using a high frequency induction heating method, and the film 1 is spread over a distance of 200 m.
, runs in 7 minutes! However, the surface resistance was adjusted to 1.5Ω'.

;欠にカス流帛制窃1器9により、酸素ボンベ10の酸
素カスを・ノjス吹出ロ8/8−介して、l?、I+ 
Kf状態の1木(青(こ(灸剪1して80.7分で導入
しなか1ら1復化アルミニウム1をi2 (第1図)を
形成ざU、30分間蒸4を絹1続した。その後、蒸着フ
ィルムを取り出し、リンプルをX線回折及びESCAス
ペク1ヘロメータで分析した結果、非結晶斗の酸化アル
ミニウム(八0203)であることを確52シた3、次
に酸化アルミニウムを蒸着したフィルムを同じく第2図
に示す蒸着装置の巻出軸5に装着した。
;By the waste flow control device 1 9, the oxygen scum from the oxygen cylinder 10 was passed through the nozzle blower 8/8-, and l? ,I+
In the Kf state, 1 tree (blue) (moxibustion 1 and 80.7 minutes were introduced, 1 to 1 regenerated aluminum 1 to 1 (Fig. After that, the vapor-deposited film was taken out and the rimple was analyzed by X-ray diffraction and an ESCA Spec 1 herometer, and it was confirmed that it was amorphous aluminum oxide (80203).3 Next, aluminum oxide was vapor-deposited. The obtained film was mounted on the unwinding shaft 5 of the vapor deposition apparatus shown in FIG.

純度99.9%のアルミニウムを800Clカーボンル
ツボ7に充填し、真空容器を5X10’Torrに排気
しtg Q次いで高周波誘導加熱方式によりカーボンル
ツボ7内のアルミニウムを溶融し、該フィルムを250
m/分で走行させ、表面抵抗値が1.5Ω/口になる様
に金属アルミニウム層3を調整した。アルミニウムの蒸
着量を制御しながら約10分間継続した後、蒸着フィル
ムを取り出した。蒸着したフィルムを評価した。結果は
第2表に示す通りであった。
Fill an 800Cl carbon crucible 7 with aluminum with a purity of 99.9%, evacuate the vacuum container to 5 x 10' Torr, melt the aluminum in the carbon crucible 7 using a high frequency induction heating method, and heat the film to 250 Cl carbon crucible 7.
The metal aluminum layer 3 was adjusted so that the surface resistance value was 1.5 Ω/mouth by running at a speed of m/min. After continuing for about 10 minutes while controlling the amount of aluminum deposited, the deposited film was taken out. The deposited films were evaluated. The results were as shown in Table 2.

実施例2.3 実施例1と同様な方法により酸化アルミニウム層2及び
金属アルミニウム層3を111部次形成させ、その際の
酸化アルミニウム層2の形成条イど18第1表に示した
。金属アルミニウム層3の形成条件は実施例1と同様で
あった。
Example 2.3 The aluminum oxide layer 2 and the metal aluminum layer 3 were formed in 111 parts by the same method as in Example 1, and the formation steps for the aluminum oxide layer 2 are shown in Table 1. The conditions for forming the metal aluminum layer 3 were the same as in Example 1.

第1表 注)ベースフィルムはい1Fれもポリエチレンテレフタ
レ−1−(12μ厚)実施例4 二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(12μ
mJl )に第2図に示す蒸着装置で金属アルミニウム
を蒸着した。その際、アルミニウムの表面抵抗(直を]
、007口になる様にして調整した後、ノjス流量制御
装置9により、ガス吹出口8にり酸素ガスを、)り1準
状態の体積に換算して2M/分で導入しながら蒸着を継
続した。
Table 1 Note) Base film Yes 1F Polyethylene terephthalate 1 (12μ thick) Example 4 Biaxially stretched polyethylene terephthalate film (12μ thick)
Metallic aluminum was vapor-deposited on the substrate (mJl) using the vapor deposition apparatus shown in FIG. At that time, the surface resistance (direction) of aluminum is
, 007, and then the gas flow rate controller 9 introduced the oxygen gas into the gas outlet 8 at a rate of 2 M/min (converted to the volume of 1 quasi-state) for evaporation. continued.

蒸着したフィルムを評価した結果、ベースフィルム1と
金属アルミニウム層3の間の酸化アルミニウム[苫2の
厚みは70〜120人と不均一で必つたが、金属アルミ
ニウム層3(1430人と均一であった。付着強度を測
定したところ250 Q /15mmと高い数値を示し
た。
As a result of evaluating the deposited film, it was found that the thickness of the aluminum oxide layer 2 between the base film 1 and the metal aluminum layer 3 was uneven between 70 and 120 people, but the thickness of the metal aluminum layer 3 (1430 people was uniform). When the adhesion strength was measured, it showed a high value of 250 Q/15mm.

このことから、酸化アルミニウム層2及び′金属アルミ
ニウム凶3を順次形成した実施例1.2.3の様に酸化
アルミニウム層2が均一な厚みになる場合より、不均一
な厚みを持つ本実施例の方が高い付着強度を示すことが
判る。
From this, the aluminum oxide layer 2 has a non-uniform thickness rather than the case where the aluminum oxide layer 2 has a uniform thickness as in Example 1.2.3 in which the aluminum oxide layer 2 and the metal aluminum layer 3 are formed sequentially. It can be seen that the adhesive strength is higher.

電子顕微鏡による断面観察によると酸化アルミニウム層
2及び金属アルミニウム層3を順次前6した実施例1.
2.3は第1図に示す様に、酸化アルミニウム薄膜層が
均一に形成されているのに対し、本実施例のサンプルは
第3図に示V様に表面積が大きい伏rmとなっていた。
According to a cross-sectional observation using an electron microscope, Example 1 was formed in which the aluminum oxide layer 2 and the metal aluminum layer 3 were sequentially formed.
As shown in Figure 1, in 2.3, the aluminum oxide thin film layer was uniformly formed, whereas the sample of this example had a large surface area as shown in Figure 3, V. .

比較例1 ポリエヂレンテレフタレー1へフィルム(12μm厚)
上に、5.0X ’I Q−4Torrの真空中におい
て、醒索ガスを導入せず走行速度250m、・′分で゛
表面抵抗値1.5Ω/口のアルミニウム層を薫4した。
Comparative Example 1 Film to polyethylene terephthalate 1 (12 μm thickness)
An aluminum layer having a surface resistance of 1.5 Ω/hole was coated on top of the aluminum layer at a running speed of 250 m/min in a vacuum of 5.0×IQ-4 Torr without introducing a cleaning gas.

実施例5.6.7 実施例1と同様な方法によりキャスティングポリプロピ
レンフィルム(125μm)上に酸化アルミニウム層2
及び金属アルミニウム層3を順次形成ざV、その際の1
復化アルミニウム層2の形成条件を変えた。
Example 5.6.7 Aluminum oxide layer 2 was deposited on a cast polypropylene film (125 μm) by a method similar to Example 1.
and the metal aluminum layer 3 are sequentially formed.
The conditions for forming the regenerated aluminum layer 2 were changed.

実施例8 実施例4と同様な方法によりキャスティングポリプロピ
レンフィルム(25μm)上に酸化アルミニウム層2及
び金属アルミニウム層3を同一時に形成さt↓だ。その
結果、電子顕微鏡の観察で第3図に示1様に表面積か大
ぎい状態となっていた。
Example 8 An aluminum oxide layer 2 and a metal aluminum layer 3 were simultaneously formed on a cast polypropylene film (25 μm) by the same method as in Example 4. As a result, observation using an electron microscope revealed that the surface area was too large as shown in FIG.

比較例2 ギ\7ステイングボリプロピレンフイルム(25μm厚
)上に、4.3 X 1Q−4TOrr(1)真空中ニ
オいて、酸素ガスを導入はゾ゛走行速+* 240汀1
/分で表面抵抗値1./1Ω/口のアルミニウム層/!
−蒸着した。
Comparative Example 2 Oxygen gas was introduced onto a polypropylene film (25 μm thick) at 4.3 x 1Q-4 TOrr (1) in a vacuum at a running speed of 240 x 1
surface resistance value 1./min. /1Ω/Aluminum layer at the mouth/!
- Deposited.

第2表に以りの実施1911および比較例の測定結果を
示す。
Table 2 shows the measurement results of Example 1911 and Comparative Example.

(発明のリノ宋) 本発明に係る金属蒸着フィルムは、蒸着層のベースフィ
ルムとの付着力が強く、また、高温雰囲気中での表面光
沢の変化もない特徴を有している。
(Rino Song of the Invention) The metal vapor deposited film according to the present invention has a feature that the adhesion of the vapor deposited layer to the base film is strong, and there is no change in surface gloss in a high temperature atmosphere.

さらに、本発明に係る金属蒸着フィルムは、カス遮断1
生に富みnつ熱伝導・11を低く抑えることができるの
で、包装用フィルムとした場合にピー1〜シールか容易
に行なえる利点がある。
Furthermore, the metallized film according to the present invention has a scum barrier 1
Since it is rich in heat conductivity and can keep heat conductivity low, it has the advantage that it can be easily sealed when used as a packaging film.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の実施例を示す断面図、第2図は本発
明を・実施する蒸着装置の一例を示す説明図、第3図は
本発明の他の実施例を承り断面図である。 1ニブラスチツクフイルム 2:酸化アルミニウム層 3:金属)′ルミニウム層 4:真空容器 5:進出軸 6:杏取軸 7:ルツボ 8:ガス吹出口 9:カス流量制御器 10:酸素ボンベ 11:マスク 12:冷却ドラム
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. be. 1 Nibrush stick film 2: Aluminum oxide layer 3: Metal) 'Aluminum layer 4: Vacuum container 5: Advance shaft 6: Apricot shaft 7: Crucible 8: Gas outlet 9: Dregs flow rate controller 10: Oxygen cylinder 11: Mask 12: Cooling drum

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)プラスチックフィルムの少なくとも片面に酸化ア
ルミニウム層、および該酸化アルミニウム層上に積層さ
れた金属アルミニウム層を有することを特徴とする金属
蒸着フィルム。
(1) A metal-deposited film comprising an aluminum oxide layer on at least one side of the plastic film, and a metal aluminum layer laminated on the aluminum oxide layer.
(2)酸化アルミニウム層が非結晶性であることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の金属蒸着フィルム。
(2) The metal vapor deposited film according to claim 1, wherein the aluminum oxide layer is amorphous.
(3)同一真空容器内でプラスチックフィルム走行中に
酸化アルミニウム層と金属アルミニウム層を連続的に真
空蒸着によって形成することを特徴とする金属蒸着フィ
ルムの製造方法。
(3) A method for producing a metal-deposited film, which comprises continuously forming an aluminum oxide layer and a metal aluminum layer by vacuum deposition while the plastic film is running in the same vacuum container.
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