JPS62226014A - ロ−タリ−エンコ−ダ−用ドラムの製造方法 - Google Patents
ロ−タリ−エンコ−ダ−用ドラムの製造方法Info
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- JPS62226014A JPS62226014A JP6996986A JP6996986A JPS62226014A JP S62226014 A JPS62226014 A JP S62226014A JP 6996986 A JP6996986 A JP 6996986A JP 6996986 A JP6996986 A JP 6996986A JP S62226014 A JPS62226014 A JP S62226014A
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- Japan
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- drum
- exposure
- signal
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- Pending
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Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
回転角度、回転数を検出するロータリーエンコーダーに
関するものであり、特にロータリーエンコーダーに用い
られる信号記録用ドラムの製造方法に係るものである。
関するものであり、特にロータリーエンコーダーに用い
られる信号記録用ドラムの製造方法に係るものである。
ロータリーエンコーダーには、大別して回転信号の検出
方式により光学式と磁気式とがある。光学式においては
、発光素子と受光素子の間に固定スリット板、可動スリ
ット円板を配置し、可動スリット円板の回転によって生
ずる遮光、透光の動作を、電気信号として検出するもの
である。ここで、可動スリット円板は、通常ガラス板に
金属膜を蒸着し、フォトマスクによる露光エツチングに
よりスリット形成している。光学式ロータリーエンコー
ダーの信号記録用の媒体には、製法上の理由から円板が
使用されている。即ち、フォトマスクによる露光エツチ
ングでは、平面状の媒体にしか信号の記録は行なえない
ものである。しかし最近においては、ロータリーエンコ
ーダーに多機能が要求されてきており、媒体に記録され
る信号トラックの数も増加している。媒体が円板の場合
、信号トラックの増加に比例して円板の外径が大きくな
り、ロータリーエンコーダーの外径も大きくなって取扱
い上著しい支障をきたす。この欠点を改善するため、媒
体をドラムとしてその外周面に信号トラックを設け、各
信号トラックをドラムの軸方向に配列する事によりドラ
ムの外径の増大を抑制する方法が取られている。
方式により光学式と磁気式とがある。光学式においては
、発光素子と受光素子の間に固定スリット板、可動スリ
ット円板を配置し、可動スリット円板の回転によって生
ずる遮光、透光の動作を、電気信号として検出するもの
である。ここで、可動スリット円板は、通常ガラス板に
金属膜を蒸着し、フォトマスクによる露光エツチングに
よりスリット形成している。光学式ロータリーエンコー
ダーの信号記録用の媒体には、製法上の理由から円板が
使用されている。即ち、フォトマスクによる露光エツチ
ングでは、平面状の媒体にしか信号の記録は行なえない
ものである。しかし最近においては、ロータリーエンコ
ーダーに多機能が要求されてきており、媒体に記録され
る信号トラックの数も増加している。媒体が円板の場合
、信号トラックの増加に比例して円板の外径が大きくな
り、ロータリーエンコーダーの外径も大きくなって取扱
い上著しい支障をきたす。この欠点を改善するため、媒
体をドラムとしてその外周面に信号トラックを設け、各
信号トラックをドラムの軸方向に配列する事によりドラ
ムの外径の増大を抑制する方法が取られている。
一方磁気式においては、円板に磁気媒体をコーティング
し、この磁気媒体に磁極が順次反転する磁気信号を形成
し、この磁気信号の記録面に近接して、ホール素子、磁
気抵抗素子等を配置して、円板の回転によって生ずる交
番磁界を電気信号として検出するものである。しかしこ
の場合、信号記録面と、ホール素子、あるいは磁気抵抗
素子との間隔が温度変化によって変動し易く、そのため
磁界が変動して、安定した電気信号が得られない。
し、この磁気媒体に磁極が順次反転する磁気信号を形成
し、この磁気信号の記録面に近接して、ホール素子、磁
気抵抗素子等を配置して、円板の回転によって生ずる交
番磁界を電気信号として検出するものである。しかしこ
の場合、信号記録面と、ホール素子、あるいは磁気抵抗
素子との間隔が温度変化によって変動し易く、そのため
磁界が変動して、安定した電気信号が得られない。
このため、現在ではドラムの外周面に磁気信号を形成す
る方法が取られている。しかし更に分解能を向上させる
ためには、現状の如き平板状の磁気媒体に磁気信号を形
成する方法では、高いピッチ精度を保ちながら磁気信号
ピッチを１００μｍ以下にする事は困難であり、別の方
法、即ちドラム外周面の磁気媒体を露光エツチング法等
により歯車状に形成して、これに着磁して磁気信号とす
る方法が提案されている。
る方法が取られている。しかし更に分解能を向上させる
ためには、現状の如き平板状の磁気媒体に磁気信号を形
成する方法では、高いピッチ精度を保ちながら磁気信号
ピッチを１００μｍ以下にする事は困難であり、別の方
法、即ちドラム外周面の磁気媒体を露光エツチング法等
により歯車状に形成して、これに着磁して磁気信号とす
る方法が提案されている。
〔特開昭６Ｏ−２１９５０９）
〔発明が解決しようとする問題点〕
ドラムの外周面に、露光エツチングにより信号を記録す
る方法においては、ドラム外周面は曲率を存しているた
め、従来の如き平面状のフォトマスクによる露光は実施
不可能となる。又可とう性を有するフォトマスクをドラ
ムに巻つけて露光する方法も有るが、ドーラｌ、の外径
寸法にバラツキが有ると、外周長のバラツキとなり、最
小の信号と最後の信号が重なり合ったり離れすぎたりし
て、安定した精度の信号ドラムが得にくいという問題点
を有している。
る方法においては、ドラム外周面は曲率を存しているた
め、従来の如き平面状のフォトマスクによる露光は実施
不可能となる。又可とう性を有するフォトマスクをドラ
ムに巻つけて露光する方法も有るが、ドーラｌ、の外径
寸法にバラツキが有ると、外周長のバラツキとなり、最
小の信号と最後の信号が重なり合ったり離れすぎたりし
て、安定した精度の信号ドラムが得にくいという問題点
を有している。
本発明はドラムの外径寸法にバラツギが有っても信号を
正確に形成出来る方法を提供するものである。
正確に形成出来る方法を提供するものである。
本発明は、ドラム外周面の磁気媒体又は金属膜上にフォ
トレジスト層を形成し、ドラムを一定速度又は一定撒少
角度間欠的に回転させておき、所定角度の回転毎に露光
を逐次行なって行く事を特徴とする。
トレジスト層を形成し、ドラムを一定速度又は一定撒少
角度間欠的に回転させておき、所定角度の回転毎に露光
を逐次行なって行く事を特徴とする。
以下、本発明の詳細を実施例により説明する。
第１図は、本発明に係る露光装置全体の１例を示す線図
である。１はドラムであり、外周面に磁性膜層がコート
されさらにその表面にフォトレジスト層がコートされて
いる。このドラムをモーター４により間欠駆動される回
転軸にセットする。ついでモーターを回転させるが、そ
の回転はエンコーダー５によって検出されて、制御回路
８に回転１１７報が入力される。制御回路８は、ドラム
の必要信号ピンチ分だけドラムが回転する毎に発光電源
９に対して発光指令を出し、この指令により発光電源が
動作すれば、光源６は瞬間的に発光しマスク７に設けら
れた露光パターンでフォトレジスト層を露光させる。
である。１はドラムであり、外周面に磁性膜層がコート
されさらにその表面にフォトレジスト層がコートされて
いる。このドラムをモーター４により間欠駆動される回
転軸にセットする。ついでモーターを回転させるが、そ
の回転はエンコーダー５によって検出されて、制御回路
８に回転１１７報が入力される。制御回路８は、ドラム
の必要信号ピンチ分だけドラムが回転する毎に発光電源
９に対して発光指令を出し、この指令により発光電源が
動作すれば、光源６は瞬間的に発光しマスク７に設けら
れた露光パターンでフォトレジスト層を露光させる。
特に、露光が軸に所定角度の回転毎に行なわれるため、
ドラムの外径にバラツキが有っても、必要数の信号が高
精度で記録出来る。又ドラム外径の変更及び信号数の変
更に対しては、エンコーダー５及び制御回路８の若干の
変更で対応出来る。
ドラムの外径にバラツキが有っても、必要数の信号が高
精度で記録出来る。又ドラム外径の変更及び信号数の変
更に対しては、エンコーダー５及び制御回路８の若干の
変更で対応出来る。
以上述べた様な本発明に係る露光装置を用いれば高精度
でかつ容易に、フォトレジスト層に露光パターンを焼付
ける事が出来る。その後、周知のエツチング法により磁
性膜を除去することにより露光パターンに対応した精密
な磁性膜バタンを回転ドラム周面上に形成することがで
きる。
でかつ容易に、フォトレジスト層に露光パターンを焼付
ける事が出来る。その後、周知のエツチング法により磁
性膜を除去することにより露光パターンに対応した精密
な磁性膜バタンを回転ドラム周面上に形成することがで
きる。
又他の実施例として、光源は常に発光させておき制御回
路８の信号によってシャッターを動作させる事により露
光を制御しても良い。
路８の信号によってシャッターを動作させる事により露
光を制御しても良い。
以上は磁気式のドラムの露光方法についてのべたが光学
式のドラムについても全く同様な方法で金属膜にスリッ
トパターンを形成する事が出来る。
式のドラムについても全く同様な方法で金属膜にスリッ
トパターンを形成する事が出来る。
本発明によれば、ロータリーエンコーダーのドラムを間
欠的な露光で行なうため、ドラムの外径のバラツキにも
かかわらず信号記録を正確に行なえ、かつドラムの記録
信号基体の数変更に対しても、節単に対応出来るため、
ドラム品質の向上、生産性の向上が達成できる。
欠的な露光で行なうため、ドラムの外径のバラツキにも
かかわらず信号記録を正確に行なえ、かつドラムの記録
信号基体の数変更に対しても、節単に対応出来るため、
ドラム品質の向上、生産性の向上が達成できる。
第１図は、本発明の露光装置の一実施例を示す斜視図で
ある。 １ニドラム基体、２：磁性薄膜層、３：ホトレジスト層
、３１．３２，３３．３４：感光させたいパターン、４
：モータ、５：エンコーダー、６：光源、７：マスク、
８：制御回路、９：発光電源。 第１図
ある。 １ニドラム基体、２：磁性薄膜層、３：ホトレジスト層
、３１．３２，３３．３４：感光させたいパターン、４
：モータ、５：エンコーダー、６：光源、７：マスク、
８：制御回路、９：発光電源。 第１図
Claims (1)
- ロータリーエンコーダーに用いる、回転信号記録用のド
ラムの磁気媒体又は金属膜上に、フォトレジスト層を形
成し、該ドラムを一定速度又は一定微少角度間欠的に回
転させておき、所定角度の回転毎に露光を逐次行ってゆ
く事を特徴とするロータリーエンコーダー用ドラムの製
造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6996986A JPS62226014A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | ロ−タリ−エンコ−ダ−用ドラムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6996986A JPS62226014A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | ロ−タリ−エンコ−ダ−用ドラムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62226014A true JPS62226014A (ja) | 1987-10-05 |
Family
ID=13417986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6996986A Pending JPS62226014A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | ロ−タリ−エンコ−ダ−用ドラムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62226014A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000184776A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Moriyama Kogyo Kk | ブラシレスｄｃモータの制御方法および装置 |
| WO2013037204A1 (zh) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 成都伊贝基科技有限公司 | 高精度编码轮、及其构成的编码器 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP6996986A patent/JPS62226014A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000184776A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Moriyama Kogyo Kk | ブラシレスｄｃモータの制御方法および装置 |
| WO2013037204A1 (zh) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 成都伊贝基科技有限公司 | 高精度编码轮、及其构成的编码器 |
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