JPS62220822A

JPS62220822A - ピエゾ抵抗型力測定要素

Info

Publication number: JPS62220822A
Application number: JP61192199A
Authority: JP
Inventors: バウムガルトナー　ハンス　ウルリツヒ; カルデララ　レト; ゾンデレツガー　ハンス　コンラツド; ウエーバー　ペーター
Original assignee: Kristal Instrumente AG
Current assignee: Kristal Instrumente AG
Priority date: 1986-03-18
Filing date: 1986-08-19
Publication date: 1987-09-29
Also published as: ATE47227T1; DE3666294D1; EP0237598B1; US4738146A; EP0237598A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】イ、産業上の利用分野本発明は、少なくても２つの力導入プレートの間に、圧
力に応じて比電導率の変化する少なくても１つの電気導
体を設（プ、該力導入プレートによって力を該導体の向
きに対し実質的に垂直な方向に伝達する如く構成される
ピエゾ抵抗型力測定要素に関する。本発明はまた、その
ような力測定要素の、時間に対する、加えられる力の変
化または最高力を決定するための使用方法に関する。

ロ、従来の技術及び問題点新しいｉ置を開発する場合、力の計算を確認したり、あ
るいはまた製造プロセスや機械の機能を、管理するため
に、カドランスデューサが必要である。新しい設計に、
理由が直接表示されないような不都合な部分があった場
合、後で力測定の行われることが多い。新しい設計の最
初の図面を引く段階では、設計者にとって力測定が必要
であることは少ないから、カドランスジューサのための
室が備えられていることは余りない。現在市販されてい
る多くのカドランスデューサは大型であり、従って限ら
れたスペースに設置することはできない。ピエゾ電気型
カドランスデューサは周知のように平形、典型的には同
根または環形状であるため設置容積を殆んど取らず、し
ばしば２つの突当る機械要素の間または軸上にワッシャ
のように取付けられる。そのようなカドランスデューサ
は設置スペースは小さくてすむが、静的測定ができない
。測定の前に、通常増幅器入力に接地することによって
零セットをしなければならず、そしてその零セットは測
定操作が長時間行われる場合には変移することがある。

このような零セットの不確実性のために、或る種の測定
にはピエゾ電気型トランスデユーサは使用できない。そ
のような場合、ひずみ計付きトランスデユーサ、あるい
はまた容量型または誘導型カドランスデューサが使われ
るが、これらはずっと大型であり、そして特に平形に作
ることはできない。市販されている多くのひずみ計付き
カドランスデューサは長手方向ピエゾ抵抗効果を備える
ようになっている。即ち、抵抗ワイヤが接着される所の
基板の長手方面のそのワイヤが延ばされ、これによって
電気抵抗が大きくされる。この抵抗の増大が伸びまたは
ひずみの測定に利用される。また、長手方向効果の代り
に、同様に長い間知られている横方向効果を用い、力の
方向とＴｉｌの方向を相互に直角にして、カドランスデ
ューサを平らな形状に設計できるようにすることも示唆
されている（例えば、オツバーマン「力線に対し横方向
゛の金属測定グリッドを備えた新しい力センサ−」、セ
ンサー・アンド・アクチュエータ、７　（１９８５）ｐ
、２２３ｆｆ、）。

それら従来知られているトランスデユーサは、抵抗材料
としてスパッタリングで看けられ層、あるいはフォイル
からエツチングされたゼラニンを使用する。力の測定は
その材料の弾性変形の範囲内で行われ、従ってその既知
のトランスデユーサの測定範囲は非常に限定される。更
に既知のトランスデユーサは所要の特別な測定感度の調
節を行えない。

ＤＥ−Ａ−１９３２８９９によって、抵抗材料で構成さ
れる線形または面形の導体が２つの弾性方導入部品の間
に弾性絶縁層によって取付けられるような、横方向ピエ
ゾ抵抗効果に基づくカドランスデューサが知られている
。このトランスデユーサでは、力線が全て電気導体を通
るのではないため力の分岐が生じ、このため測定感度が
損なわれる。弾性担体または絶縁層のため導体の固定が
比較的縁やかであるので横方向ひずみができ、この結果
電気的零変移が生じ、これを修正しなければならない。

力導入部品の弾性が度量衡ヒステリシス現象を生じさせ
、これにより当該トランスデユーサは実際の使用に不適
切なものになる。更にこのトランスデユーサの全体的な
寸法は使用できる測定範囲に対して大ぎい。トランスデ
ユー丈を或る感度に調節することは、或る成分に作用す
る特別の最高力を測定するため以外には不可能である。

ハ０問題点を解決するための手段本発明はそこで、冒頭に記述の型式のピエゾ抵抗型力測
定要素において、横方向効果を用い、ピエゾ電気型トラ
ンスデユーサと同様に平らな、スペースをとらない形状
に製造でき、そして加えられる力を広い測定範囲で且つ
長い試験Ｉｇｉ間に亘って正確に測定できるようにする
。

それらの要求は本発明によれば、特許請求の範囲第１項
の特徴部分に記載のような特徴により達せられる。

そこで導体が２つの力導入プレートの間で予加圧により
不可逆的、即ち塑性的に変形され、そしてそれらプレー
トは測定すべき力を機械的分岐なしに導体へ伝達するよ
うに設計される。導体を塑゛性変形さ仕る予加圧はＩ述
するように力測定要素の測定範囲を著しく広くし、そし
てまたトランスデユーサの感度を特別の用途に用いられ
るようにＡ節できるようにする。導体は、好適にはセラ
ミック材料の担体プレート上に巻かれ、そしてこの担体
プレートが、同様に好適にはセラミック、従って多孔質
の材料の２つの力導入プレートの間にサンドウィッチ状
に挟まれる。予加圧により導体または抵抗ワイヤはこれ
の長手方向に対し直角方向に作用する力によって変形さ
れる。導体の塑性変形による抵抗の不可逆的変化と、弾
性変形による抵抗の可逆的変化は両方とも力の測定に［
１１１でき、前者は例えば弾道学における最高荷重を測
定でき、そして後者はプロセス中の連続的な力測定を行
える。力導入プレートの剛性のため、力が機械的分岐な
しに導入されるので測定精度が著しく高められる。力導
入プレートの固有の細孔内への導体材料の塑性流動によ
って導体はしつかり係留され、従って加えられる力によ
る一次元荷重が、前と同様に、導体の本質的に流体静力
学内筒ｍへ変換され、この結果使用できる測定範囲が非
常に拡げられ、そしてヒステリシス効果が著しく少なく
される。力導入プレートまたは担体プレートの細孔内に
導体を係留する代りに、それらプレートの溝内に導体を
嵌込んでも同様な効果が得られる。

瞬間的抵抗または零に対する外気温度の影響を無くする
ため、測定導体と同じ材料の補正導体を測定要素上の荷
重の掛からない適当な個所に設置することができる。

二、実施例以下、好適な実施例と添付図面を参照に本発明のより詳
細な説明を続ける。

適当な抵抗材料は典型的にはマンガニン（１２％Ｍｎ、
２％Ｎｉ１８６％Ｃｕ）、ゼラニン（１２％Ｍｎ’、２
％Ｎｉ、０．５％Ｇｅ、８５．５％Ｃｕ）またはクロム
ニッケル合金である。これらは全て、抵抗の非常に低い
温度係数と実質的なピエゾ抵抗係数を有する。それら抵
抗材料はまた、フォイルからエツチング、スパッタリン
グ、また蒸着された層として使用されよう。

第１図は２つの力導入プレート１とこれらの間で塑性変
形された導体２を示す。第１図はまた、本発明に従って
、導入される力（Ｋ）によって作られた力線が機械的分
岐なしに導体２を通り、これによって測定範囲が非常に
拡大され、また力導入地点の独立と力の分配が得られる
ことを示している。これは、例えばセラミックで構成さ
れる機械的に剛性の力導入プレートを使用することによ
って達せられる。前記ドイツ公報第１９３２８９９号に
記載のような弾性の力導入プレートでは力分岐があり、
この結果使用測定範囲が狭くなり、また不都合なヒステ
リシス効果と零変移が生じる。第１図に示されるように
、導体２として使用される抵抗ワイヤを好適には直径の
１０％から４０％平らにすることにより、そのワイヤは
力導入プレート１の細孔内に係留され、これにより、−
次元加圧力による導体２の荷重が木質的に流体静力学的
荷重に変換される。これによって、使用できる測定範囲
が非常に拡げられる。

塑性変形による不可逆な抵抗変化と弾性変形による可逆
な抵抗変化が第２図を参照に説明されよう。第２図は予
加圧力または測定力（Ｋ）のマグニチュードと導体の抵
抗変化（ΔＲ）との間の相関関係を示している。Ｏから
（Ａ）までの低い荷重において抵抗ワイヤは弾性的に変
形される。力（Ｋ）が（Ａ）を超えて（Ｂ）まで増大す
ると、ワイヤの材料は流動し始める。即ち塑性変形が始
まり、ワイヤは平たくされる。この偏平化によるワイヤ
の断面の減小により、曲線は（Ａ′）から（Ａ）までに
おけるより、（Ａ）から（Ｂ）までにおいてより急にな
る。ワイヤの弾性変形成分と塑性変形成分は両方とも抵
抗を増大させ、これらの効果は加算される。

荷重をそのまま続けて増大していくと、曲線は（Ｃ）を
通過して最終的に点（Ｄ）に至る。この間、力導入プレ
ート１は徐々に平らにされていくワイヤの大きくなって
いく面上に戎ってその偏平化を続け、従って単位荷重当
りの比面積荷重は小さくなる。荷重が点（Ｄ）まで上げ
られ、それから外されると、荷重に対する電気抵抗の曲
線は直線形のブランチ（Ｄ−Ｄ’）を作り、荷重が完全
に無くなると点（Ｄ′）に達する。ここでまた新しく荷
重が加えられるとブランチ（Ｄ−Ｄ’）を逆に戻る。こ
の可逆性は弾性測定範囲を示し、その直線（Ｄ−Ｄ　’
　）の傾斜はその可逆的に使用できる測定範囲の測定感
度と点（Ｄ）の荷重を特徴付ける。荷重の付加が（Ａ、
Ｂ）または（Ｃ）までしか行われなかった場合には、同
様にして直線的で可逆的に往復できる曲線ブランチ（Ｃ
′−Ｃ）、（Ｂ’−８）、または（Ａ’−Ａ）をたどる
ことができる。それらブランチの傾斜は塑性変形に関す
る前述と同じ理由で相互に異なる。このことから明らか
なように、予荷重力によって測定感度を選択的に調節す
ることができる。弾道実験の間に力がちょうど（Ｄ）に
おける最高値に達したとすれば、値（Ｄ’−ＡＭで与え
られる抵抗変化がその最高値の直接測定値になる。とい
うのはその実験の間にブランチ（Ａ　’　−Ａ−Ｂ−Ｃ
−Ｄ’）をたどるからである。従ってインターバル（Ｄ
’−Ａ’）によって特徴付けられる抵抗変化は、最高力
による導体の恒久的塑性変形の直接測定値になる。その
実験のとき測定器械を接続する必要はない。実験の前と
後に電気抵抗を測定すれば十分である。

第３図は、環状の担体プレート６に抵抗ワイヤ２を巻付
け、２つの環状の力導入プレート１の間に挟付けたもの
の断面を示す。第４図は抵抗ワイヤを巻かれた担体プレ
ート６の上図面である。この型式のプレート組立体は好
適に、巻いたワイヤの直径の１０％から４０％偏平にす
るに十分な圧力で予荷重を掛けられる。抵抗ワイヤ２は
先に第１図に示したように、担体プレート６の両側から
の加圧によって平らにされる。第５図は加圧されたワイ
ヤの拡大した詳細断面図である。この図面に示されるよ
うに、抵抗ワイヤ２の材料が担体プレート６と２つの力
導入プレート１との細孔８の中に入り、これによってワ
イヤ２はそれら３つのプレート内にしつかり係留される
。

この力導入プレート１と抵抗ワイヤ２の係留は主として
、圧縮により横方向対向力が作られることによって、−
次元的に作用する加圧力を、抵抗ワイヤに対し実質的に
流体静力学的に作用する荷重へと変換するのに役立つ。

これによって使用できる測定範囲が非常に広くされる。

その範囲は数１００ＯＮ／ａｍ２に達する。これは、ワ
イヤが単軸ストレス状態において耐えられないような荷
重である。抵抗ワイヤ２の流体静力学的荷重掛けはまた
、第６ｂ図に示されるように一方または両方の側に設け
られる溝７の中にワイヤを設置しても行うことができる
。この実施例においてワイヤは、一方に溝７を備えられ
た２つの力導入プレート１の間に蛇行状に設置される。

第７ａ図と第７ｂ図は本発明のまた別の実施例を示す。

この実施例においては、ワイヤの代りに、蒸着、スパッ
タリング、またはエツチングによって形成される電気導
体層３が用いられる。これも溝７内に係留してもよい。

第８図は、矩形の力導入プレート１と担体プレート６を
備えて抵抗ワイヤ２を使用する他の実施例を示す。また
別の変化形として２本のワイヤ９と１０を使った複巻線
にすることができる。この巻線では２つの異なる抵抗が
得られ、これらをそれぞれにブリッジ回路の相互に反対
側の２つの作用腕に接続することにより感度を２段にで
きる。

典型的には力導入プレート１と６の細孔により抵抗ワイ
ヤ２を係留することの別の結果として、それらプレート
がワイヤと共に組立てユニットを形成する。第９図に示
されるように、そのユニットを適当なハウジング１１．
１２内に収納して力トランスデユーサを作ることができ
る。そのハウジングは好適には、面研削された底部と側
部を有するケーシング１１と同じく面研削された頂部カ
バー１２とで構成されよう。そのハウジングの底部１１
と頂部１２は予荷重を掛けて一緒に結合され、これにＪ
−りその内部でプレート組立体１，６゜１が一緒に加圧
される。好適にはハウジング１１゜１２上に、電子導体
ボード１４とコネクタ１５をもったエレクトロニクスハ
ウジング１３が取付けられる。このハウジング１３は、
加圧されるワイヤと同じ材料の補正抵抗器と増幅器を収
納する。

こうして第９図のカドランスデューサは例えばカドラン
スミッタに作ることができる。

第１０図は、力導入プレート１の周囲溝内に補正巻線１
７を設置する実施例を示す。この構成では、補正巻線に
圧縮力が掛からず、またスペースを小さくできるので、
補正巻線取付は方法として優れたものである。更に補正
巻線１７と測定巻線１６が同じ体部に接するので、それ
らの温度が同じになる。

担体プレートへの抵抗ワイヤの巻付（プは一般的に巻線
機で行われる。特に小型のリングでは手巻きも可能であ
る。抵抗変化が不安定になるのを避けるためにはワイヤ
のターンを接触し合わせてはならない。

手巻きにはしばしば巻線補助装置が必要である。

第１１図は、ワイヤ案内として使われる、そのような補
助装置の実例を示す。左側に示すリングセグメントはノ
ツチ１８を備え、これの中にワイヤが置かれる。中央の
セグメントは孔１９を備え、これにワイヤが通される。

担体プレート６のセラミックは加工が困難で高コストに
なるから、ノツチ１８や孔１９を形成し易い軟かい絶縁
材料の接着縁部を設けるのが好適であろう。右側のセグ
メントは、裸のリング面に巻線が接着されるものである
。

力導入プレート１．６を加圧するとき巻線の入口部と出
口部に問題が生じる。ワイヤが２つの一緒に加圧される
プレートの間に挿入された場合、その断面は長円形（内
側）から円形（外側）に変化してそこにノツチ効果が生
じ、その個所でワイヤは短時間のうちに破断する。そこ
で担体プレート６の縁部に２つの酋孔２０を設け、これ
ら孔の中に黄銅または銅のビン２１を接着剤で固定し、
これらビンにワイヤ端部のワイヤ４を恒久的にはんだ付
けするのが好適である。それらビン２１は同時にフィー
ダケーブルの端子をはんだ付けするのにも使える（第１
２ａ図及び第１２ｂ図〉。

最後に第１３図は、力導入プレート１が、抵抗ワイヤ２
を巻付けられた担体プレート６を、溶接されるプラスチ
ックスリーブ２２によって、予荷重を掛けた状態に保ち
、これによって、２つの力導入バンチ２３の間で直接導
入を行うのに特に適したユニットを形成する如き実施例
を示す。

以上のように本発明によれば、高い荷ｍ能力を有し、そ
して力、圧力、及び加速を測定するための様々なトラン
スデユーサに利用できる、非常に薄い力測定要素を作る
ことができる。

従来技術を超える特別の長所は、本発明の力測定要素を
使って、弾性範囲だけでなく、クラッシュセンサーとし
て超荷重を物理的に記憶し、そして超荷重が掛かつてい
る状態の開力測定要素を電気接続する必要なしに、その
超荷重状態の後の任意の時に値を求めることができるこ
とである。

実例によって、上記２つの場合、即ち弾性範囲での可逆
的測定と、その後の、超荷重状態時に有効であった最高
力の決定とがいかにうまく組合されるかを示す。例えば
、プレスにおける１つまたはそれ以上の加圧サイクルの
間に時間対力曲線を作った場合、力測定要素は弾性、従
って可逆的範囲内で操作する。そのプロセスは新しく連
続的に登録される。もしそのプレス工具が超荷重を掛け
られれば、その仕事寿命の間にその抵抗が悪くなるので
、破ｎする結果になろう。そのような事故を分析する場
合、勿論、その工具破損にどの最高力が係わっているか
を知ることが望まれる。その最高力を決定するのは本発
明の力測定要素によれば簡単である。というのは、実験
開始時に１つだけの抵抗測定を行い、そして破損の後の
任意時に別の１つを行えばよいからである。この場合力
測定要素は、証拠の役をする物理的メモリーまたはクラ
ッシュセンサーとして働く。

１つの事故に関連する、物理的に記憶された最高力はま
た、例えば、航空機、スペースクラフト、及び機関車の
臨界荷重支承成分と関連して利用できる。

力の測定と記録から派生的に加速度と圧力の測定と記録
ができるのである。

従ってここに記ｊホしてきた力測定要素は、塑性変形範
囲で操作するときには、典型的には塵埃爆発、高圧がま
その他の爆発性液及びガスを容れる容各内の爆発で生じ
るような圧力に対するクラッシュセンサーと同様に機能
する。この力測定要素は衝撃加速度計として航空機やス
ペースクラフトの事故の分析に使用できる。この場合特
に、重要な証拠を提供できる。クラッシュセンサーは、
例えば第９図に示されるような密閉したハウジング内に
収容された本発明の力測定要素のような、完全組込みプ
レートまたは荷重ワッシャとして設計することができよ
う。

【図面の簡単な説明】

第１図は、２つの力導入プレートとこれらの間で塑性変
形された抵抗ワイヤ、及びそれらを通る力線を示す。第２図は、例えば塑性及び弾性変形範囲における、測定
される力とワイヤの抵抗変化との間の相関関係をグラフ
で示す。第３図は、抵抗巻線をもったセラミックリング組立体の
断面図を示す。第４図は、環状実施例の、抵抗ワイヤを巻付けられる担
体プレートを示す。第５図は、２つのセラミックの力導入プレートの細孔内
への抵抗ワイヤの係留を拡大して示す。第６ａ図及び第６ｂ図は、１つの実施例の、溝付きの上
側及びＦ側力導入プレートとこれらプレートの間で蛇行
状にその溝内に設置される抵抗ワイヤを示す。第７ａ図及び第７ｂ図は、第６ａ図及び第６ｂ図と同様
であるが、抵抗ワイヤではなく、スパッタリングまたは
蒸着で形成される電導層を有する実施例の満付き上側及
び下側方導入プレートを示す。第８図は、２つの力導入プレートの間に挟まれた、複ワ
イヤ巻線をもった担体プレートを示す。第９図は、適当なハウジング内に収容された付属のエレ
クトロニクスを備える本発明の完全な力測定要素を斜視
図で示す。第１０図は、周囲溝内に設置された温度補正導体を有す
るピエゾ抵抗型力測定要素を示す。第１１図は、ワイヤ巻線固定の様々な方法（ノツチ、孔
、接着）を示す、環状担体ブレー１−のセグメントを示
す。第１２ａ図及び１２ｂ図は、担体プレートの縁部の２つ
の金属ピンへの巻線端部の係留を示す。第１３図は、プラスチックスリーブをもった力導入プレ
ートのカバリングを示す。１・・・力導入プレート、２・・・抵抗ワイヤ、６・・
・担体プレート、７・・・溝、８・・・細孔、９，１ｏ
・・・複ワイヤ、１１．１２・・・ハウジング内１７・・・補正巻線、１８・・・ノツチ、１９・・・孔
、２１・・・ビン、２２・・・スリーブ、２３・・・力
導入パンチ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少なくても２つの力導入プレートの間に、圧力に
応じ変化する比電導率を有する少なくても１つの電気導
体を設置し、それら力導入プレートによって力を該電気
導体に、これの主指向に対し実質的に直角方向に伝達す
るごとく構成されたピエゾ抵抗型力測定要素において、
該電気導体（２）が両該力導入プレート（１）の間で予
荷重力により予塑性変形を受け、そして測定すべき力の
作用線が本質的に機械的分岐無しに入っていくことを特
徴とする力測定要素。
（２）特許請求の範囲第１項の力測定要素において、該
力導入プレート（１）が電気絶縁材料で構成されること
を特徴とする力測定要素。
（３）特許請求の範囲第２項の力測定要素において、該
絶縁材料が多孔質セラミックであることを特徴とする力
測定要素。
（４）特許請求の範囲第１項、第２項、または第３項の
力測定要素において、該予荷重力を変えることによりト
ランスデューサの感度を該導体（２）の弾性変形範囲内
の或る１つの値に調節できることを特徴とする力測定要
素。
（５）特許請求の範囲第４項の力測定要素において、該
トランスデューサ感度が全数校正定数に調節できること
を特徴とする力測定要素。
（６）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素におい
て、該導体（２）が塑性変形によって該力導入プレート
（１）の細孔（８）内に係留されることを特徴とする力
測定要素。
（７）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素におい
て、該導体（３）が溝（７）内に設置されることを特徴
とする力測定要素。
（８）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素におい
て、該導体（２）が、２つの力導入プレート（１）の間
に設置される担体プレート（６）上に装架されることを
特徴とする力測定要素。
（９）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素におい
て、該プレート（２、６）が実質的に矩形であることを
特徴とする力測定要素。
（１０）特許請求の範囲第１項から第８項までの任意１
項の力測定要素において、該プレート（１、６）が環形
であることを特徴とする力測定要素。
（１１）特許請求の範囲第８項の力測定要素において、
該電気導体（２）が該担体プレート（６）上に円環状巻
線の形に装架されることを特徴とする力測定要素。
（１２）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素にお
いて、該力導入プレート（１）、該担体プレート（６）
、及び該導体（２）が機械的予荷重を掛けられるハウジ
ング（１１、１２）内に組込まれることを特徴とする力
測定要素。
（１３）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素にお
いて、該導体（２）がブリッジ回路の少なくても１つの
腕を形成することを特徴とする力測定要素。
（１４）特許請求の範囲第８項の力測定要素において、
該担体プレート（６）に複ワイヤが巻かれ、その各巻線
（９、１０）がブリッジ回路の相互に反対側の各腕を形
成することを特徴とする力測定要素。
（１５）特許請求の範囲第１２項の力測定要素において
、該ハウジング（１１、１２）が、該導体（２）と同じ
材料の荷重を掛けられない補正導体（１７）を収容し、
これによって抵抗の変化に対する温度の影響を補正する
ことを特徴とする力測定要素。
（１６）特許請求の範囲第１５項の力測定要素において
、該補正導体（１７）が、該力導入プレート（１）と担
体プレート（６）の少なくても一方に設けられる溝の中
に設置されることを特徴とする力測定プレート。
（１７）特許請求の範囲前記任意１項の力測定要素にお
いて、トランスミッタをつくるようにハウジング（１１
、１２、１３）内で該力導入プレート（１、６）に追加
のエレクトロニクスが組合わされることを特徴とする力
測定要素。
（１８）特許請求の範囲前記任意１項のピエゾ抵抗型力
測定要素の、電気導体の不可逆変形を行わせる最高力を
測定するための使用方法において、力が加えられている
間該力測定要素を測定器械に接続して、またはしないで
、該最高力が作用する前及び後の任意の時に該電気導体
（２）の抵抗を測定し、そして該不可逆変形による抵抗
の変化から該最高力を決定することを特徴とする方法。
（１９）特許請求の範囲第１項から第１７項までのピエ
ゾ抵抗型力測定要素の、時間に対する、加えられる力の
変化を測定するための使用方法において、該力が実質的
に該導体（２）の不可逆弾性変形だけを起させるように
測定範囲が選択されることを特徴とする方法。