JPS62218915A - 顕微鏡用回転装置 - Google Patents

顕微鏡用回転装置

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Publication number
JPS62218915A
JPS62218915A JP5697387A JP5697387A JPS62218915A JP S62218915 A JPS62218915 A JP S62218915A JP 5697387 A JP5697387 A JP 5697387A JP 5697387 A JP5697387 A JP 5697387A JP S62218915 A JPS62218915 A JP S62218915A
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JP
Japan
Prior art keywords
rotating device
microscope
objective lens
code
comparison circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP5697387A
Other languages
English (en)
Inventor
ベルント・シユプルツク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPS62218915A publication Critical patent/JPS62218915A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発明は、顕微鏡用回転装置ないし転換器、例えば回転
装置位置(設定)割出し装置全備えた対物Vンズ回転(
交換)装置+!ないし転便器に関する。
従来技術 この槌のb itは、例えば西独特許出願公告公報第2
219521号で・ら公知である。この装f道は、照明
光路に設けられている光学要素全現時点の回転装置位置
で仲人されている対物レンズに適合するために用いられ
ている。この目的で、装置は、カム円板または異なった
値の抵抗器に接続されている電気スイッチを備えセいも
これら装置の動作原理は、可動の回転装置皿状シェルと
そのホルダとの闇にSける接触走査に基づくものであり
、便って摩耗したり妨害を受は易い。別の例として、無
接触光学的定食があるが、これは回転装置の皿状シェル
に対して走査を行うのではなくそれに取付けら□れてい
る対物レンズについて行うものである(上述の文献の第
5図ヲ診照され度い)。このような対物レンズの光学的
走査はまた西独特許明a1沓第2846655号にも提
案されている。この提案に係わる装置にも、螺着され几
対物レンズの角度位置が一義的に検知できないという難
点がある。
西独特肝明細瘍第3202461号から、同様に対物レ
ンズ自体2元学的に無接触で走査する装置が知られてい
る。この装置においては、パイヨネット取付は部上6t
ilえた対物レンズの背側にディジタル符号が設けられ
ている。従って、特殊な対物レンズを用いなければなら
ないという点上度外視しても、ストライプ符号の読取り
が動的に行われるという問題がある。即ち、顕微鋭?使
用司馳状頭にした後に、回転装貢全一度勧力)さなけれ
は、動作位置にある対物レンズに関する情報が得らf′
Lないという欠点がある。
西独特許明細書第3145615号から、写真用対物レ
ンズに、例えば異なった強さの磁石の形態にある磁性符
号を設け、符号識別の目的でM々の凪界七ンサ全カメラ
のハウシングに設けることが知られている。このセンサ
は、レベル識別回路に接読されて?り、該回路は、アナ
ログ信号音、複数の!j4なった対物レンズのうちの1
つの対物レンズに依存する分解能で評価する。しかしな
がら、この種のアナログ符号化には、機械的公差を非常
に小さくしなければならないこと、電子的構成要素を正
確に補償しなけれはならないことが要求され、例えは経
年劣化等による故障全比較的に受は易い。
発明の目的 本発明の課題は、間車な構造で故障が少なく、回転装宜
位fi!j1゛々報を回転装置駆動用モータでフィード
バックするのに適している回転装置位置2割出すのに無
接触旧に動作する装置’に備えた顕倣鏡の回転装置例え
ば対物レンズ回転装置を提供することにある。
発明の構成 上の課題は、特許請求の範凹第1項の所hη特倣部分に
記載のように、回転装置の異なった動作位!母に、それ
ぞれ少なくとも1つの磁石金、Lgl’i QJ’ H
eな回伝装イαの皿状シェルにディジタル符号全形成す
る配列で取付け、該符号の検知のためのfM数の磁界セ
ンサ?設けゐことにより達成される。
不発明の構成によれは、回転装置の皿状シェル音非常に
容易に事後的に符号化することがでさ、そして符号走査
には、市販の構成要素、例えば備1え付は閾値スイッチ
を備えたホール素子の使用が可能であるという利点が得
られる。ホール素子の信号はディジタル形態で直接目標
1直と比較することができる。この場合目標1直は操作
パネルに設けられているキーylf−17から入力する
ことができ、従って′電子系に要する費用全少なくして
高い信頼性が実現される。
本発明の他め利点は、添付図向中第1図ないし第5図を
参照しての実施例に関する以下の説明から明らかとなろ
う。
実施例 第1図に示した対物レンズ回転(交換)装置道ないしり
ポルピングノーズピースは、顕am(詳細には図示せず
)の台架に取付けられfc部分3と、回転可能な回転装
宜皿吠シェル1から構成され、該回転装噴皿状シェルの
1lilR2は一定耶分3に支承されている。
回転装置シェル1は螺着される対物レンズのための5つ
のねじ付き受は部8aないし8ek備えている。尚、第
1図および第2肉においては、動作位置にある対物レン
ズ4だけが示されている。
回転装置の固定部分3には、軸2に対して放射状の配列
で3個のホール素子6aないし6cが並置して長孔7円
に挿入され、例えば凄沼剤により[!]定されている。
ホール素子としては、fllえは、備付けの閾値スイッ
チ勿有するテキサスインスツルメンツ(Texas I
nstruments)社で1ら商品名rTL172J
として市販されている型のものとすることができる。
回転装置ぴの皿状シェル1は15個の孔を有してzvl
これら孔の3個ずつか、対物レンズ用の5つのねじ付き
受けH(S 8 a −8eの1つに相関されている。
便って、5つの群のうちの1つの群の3つの孔は軸2に
対して半径方向に配列されて、関連の対物レンズが動作
位置にある時にセンサ6aないし6cに対向して位置す
る。
孔のうちの幾つかのものには、−d的なディジタル符号
、即ち5つの群の各々に対して異なつたディジタル符号
を表わすように永久磁石が挿入されている。この符号も
しくはツーばば、回転装置の対応の切換位置において上
記永久磁石がホール素子の前に位喧付けられた時に6つ
のホール素子6aないし6cにより読取られる。
例えは、第1図に示した位置においては、2つの磁石5
aおよび5bi=センサ6aSよび6bに対をしており
、他方、孔5cは空である。従って、ホール素子6aな
いし6cは、2進法符号で数値「3」に対応し、切侠位
買に関連の対物レンズ′に識別的に表わす並列旧号を発
生する。
センサ6aないし6cの並列信号は、比較器11の入力
端Bに口側される。該比較器の人力mAは操作パネル(
図示せず)のキーざ一ドの出力端10に凄胱されている
。この操作パネルにおいては、動作位置に設定すべさ対
物レンズt15つの異なったキーのうちの1つを押すこ
とにより呼出すことができる。尚該キーには、回転装置
の装備に対応した記号が付けられている。この目的7)
%ら、特に、記号を使用者自身が付けることができるよ
うに、記号が交換可能であるキーを用いるのが有利であ
る。キーの作動で、キーざ−ドの出力端には、回路11
におい℃センサ6a&いし6cの符号と比較される符号
が発生される。現在位置が、所望の目標位置と一致しな
い場合には、比較器11はモータ13のための制御回路
12に出力信号を発生する。
そこで、該モータ13は回転Itの皿状シェル1を、入
力端AおよびBにおける2つの符号が一致する1で回転
する。一致が生ずると、モータ13は停止し、それ自体
公知の(従って図示せず)の球型固定装置が、顕微鏡の
光軸に対し、対物レンズが1固定されている回転装置皿
状シェル1の正確な心出しのための微位置付けを行う。
比較器11は、さらに、回転装置の皿状シェル1の異な
った符号列が当逃まれる記憶装置もしくはメモIJ 全
備えている。論理回路は、予め選択された回転装置51
設定位置に対する距離が最小となる方向にモータ13を
回転する作用knし、ぞれにより、交換過程に要する時
間は最小限度に押えられる。
自明なことであるがセンサ6aないし6cの出力信号は
、顕微鏡における他の機能、例えば照明光路における絞
りまたはレンズ系或いは設定された顕微鏡の倍率に対す
る単位の表示のような機能の制御にも用いることができ
よう。
図示の実施例においては、ホール素子Sよび関連の磁石
群は、軸2とねじ付き受は部8aないし8eとの間に牛
後方向に整列して配設され℃いる。しかしながら、回転
装置における利用可能なスペース上の問題から磁石?軸
2とねじ付き受は部8aないし8−eとの間に星形に配
設する代りに、隣接するねじ付言受は部ti41にそれ
ぞれ設置することができ、この方が合目謬年ある。勿論
他の設置方式も可能であり、例えは、軸2に対する同心
円上で逐次選択されるように配設することができる。
この種の実施例が第4図に示しである。第4図において
、参照数字101は、対物レンズのためのねじ付き受は
部108ケ備え軸102を中心に回転可1止である回転
装置の皿状シェルを表わす。該回転装置皿状シェルには
ざらに7字形のrjIt114aないし114eが設け
られており、これら溝は、顕微鏡台架の固定部分109
に設けらればね付勢されている係止法120と協働して
回転装置の切換位&を確定する。
回転装置の外周部には、それぞれ3つの孔からなる5群
の孔が設けられている。これら孔は、回転装置の切換位
置に関連の永久磁石を収容する。該永久磁石は第4図に
黒く塗り潰して示しである。磁界の方向が半径方向外回
きであるこれら磁石には、係止位置において、固定の部
分109に設けられている6つのホール素子106aな
いし106cが対向して位置し、孔105aないし10
5C内の磁石によシ形成される符号を読取る。
磁石およびホール素子106aないし106cは軸10
2に対して同心の円上に配設されているので、ホール素
子106は、回転装置の係止位置への送ジ回転に際して
1回偽の符号信号を発生する。この信号の処理を阻止す
るために、固定部分109にはマイクロスイッチ117
が設けられており、このマイクロスイッチの切換アーム
は、回転10101が休止位改に達すると直ちに溝11
4C円に係合する。
このスイッチ117は第5図から明らD)なように、ホ
ール糞子106aないし106cの出力端と比較回路1
11との間に接読されているYA(JJJ回路118に
接読されている。この制御回路118によりスイッチ1
17の所定位置においてホール素子116aないし11
6cにより発生される読取られた符号だけが有効である
と評価されて比較回路111に転送される。
第1図およびm4図に示した実施例においては、本発明
による回転装置位+1割出し装置全備えた対物レンズ回
転fetがそれぞれ示しである。
顕?a鏡の他の回転装置、例えは絞り回転装肯或いはフ
ィルタ回転装置t″も同じ仕方で構成することが可能で
ある。
発明の効果 本発明によれは、動作もしくは作用位置にある対物レン
ズの位置清報を直直接ディグタル信号形態で得て、該対
物レンズの識別もしくは同定に用いることかでき、誤動
作のない廉価な顕微鏡用回転装置が実現される。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による回転装置位!割出し装置t値え
た顕微鏡の対物レンズ回転装を全回転@を含む断面で示
す因、第2図は、第1図の装置の回転装置皿状シェル1
の内DI+を示す平面図、第3図は信号処理に用いられ
る電子装謂をブロックダイヤグラムで示す図、第4図は
、本発明の変形実施例による対物レンズ回転装置の内側
を示す平面図、そして第5図は第4図の実施例において
用いられる′1子装置tブロックダイヤグラムで示す図
である。 i、1oi・・・回転装置皿状シェル、2.102・・
・軸、4・・・対物レンズ、5・・・磁石、6・・・セ
ンサ、7・・・孔、8.108・・・ねじ付き受は部、
10・・・キーボード出力端、11.111・・・比較
回路、12・・・制御回路、13・・・モータ、105
・・・孔、106,116・・・ホール=J<子、10
9・・・固定の部分、114・・・溝、11T・・・マ
イクロスイッチ、118・・・制御回路、120・・・
係止法、A、B・・・入力端。 、4 Fig、3

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、回転装置位置割出し装置を備えた顕微鏡用回転装置
    ないし転換器において、該回転装置ないし転換器の異な
    った動作位置毎に、それぞれ少なくとも1つの磁石(5
    a、5b)が、回転可能な回転装置皿状シェル(1)に
    ディジタル符号を形成する配列で取付けられ、該符号の
    検知のための複数の磁界センサ(6aないし6c)が設
    けられていることを特徴とする顕微鏡用回転装置。 2、磁界センサ(6aないし6c)が、備付け閾値スイ
    ッチを備えたホール素子である特許請求の範囲第1項記
    載の顕微鏡用回転装置。 3、ホール素子(6aないし6c)の出力端がディジタ
    ル比較回路(11)に接続され、該比較回路(11)の
    第2の入力端(A)が顕微鏡用操作パネルに設けられて
    いるキーボード(10)に接続されている特許請求の範
    囲第2項記載の顕微鏡用回転装置。 4、比較回路(11)が回転装置(1)を駆動するモー
    タ(13)のための制御用電子装置(12)に接続され
    ている特許請求の範囲第3項記載の顕微鏡用回転装置。 5、ホール素子(106aないし106c)の出力端が
    制御回路(118)を介し比較回路(111)に接続さ
    れ、そして該制御回路が、回転装置(101)の係止部
    (114)により作動されるスイッチ(117)と接続
    されている特許請求の範囲第3項記載の顕微鏡用回転装
    置。
JP5697387A 1986-03-14 1987-03-13 顕微鏡用回転装置 Pending JPS62218915A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3608483 1986-03-14
DE3608483.2 1986-03-14
DE3630632.0 1986-09-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62218915A true JPS62218915A (ja) 1987-09-26

Family

ID=6296311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5697387A Pending JPS62218915A (ja) 1986-03-14 1987-03-13 顕微鏡用回転装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62218915A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03213811A (ja) * 1989-07-05 1991-09-19 Mitsutoyo Corp 顕微鏡及びその操作方法
US5396063A (en) * 1992-06-08 1995-03-07 Nikon Corporation Objective replacing apparatus having objective position, displacement and address detecting means and microscope using it
JP2011137642A (ja) * 2009-12-25 2011-07-14 Olympus Corp 位置検出装置

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US5396063A (en) * 1992-06-08 1995-03-07 Nikon Corporation Objective replacing apparatus having objective position, displacement and address detecting means and microscope using it
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