JPS62217445A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS62217445A JPS62217445A JP5983386A JP5983386A JPS62217445A JP S62217445 A JPS62217445 A JP S62217445A JP 5983386 A JP5983386 A JP 5983386A JP 5983386 A JP5983386 A JP 5983386A JP S62217445 A JPS62217445 A JP S62217445A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、光を
介して反転磁区をつくることにより情報を記録し、磁気
光学効果（カー効果もしくはノアラブ−効果）を利用し
て読み小寸ごとのできる光磁気記録媒体に関するもので
ある。
介して反転磁区をつくることにより情報を記録し、磁気
光学効果（カー効果もしくはノアラブ−効果）を利用し
て読み小寸ごとのできる光磁気記録媒体に関するもので
ある。
（発明の概要）
本発明の光磁気記録媒体においては、膜面に垂直な方向
に磁化容易軸を有する磁性薄膜で合金の組成が、 （Ｔｂｊ！ ＧｄｍＨｎ ） （Ｆｅ
ＣＯＶ ） ｘｌ−Ｘ ＋ −Ｖ Ｍ＝Ｐｒ、 Ｎｄ、 Ｗｂ（７）一種以上で表わされ、
合金組成範囲が ｉ＋ｍ＋ｎ＝１ ０．２≦（≦０．９ ０≦ｍ≦０．８ ０．０１≦ｎ≦０．５ ０．５≦ｘ≦０．９ ０．０５≦ｙ＜１ であるとき、熱安定性に優れ、磁気光学定数の値の優れ
た記録媒体が得られる。すなわち上記の組成式で希土類
元素の・一部をＰｒ、 Ｎｄ、 Ｗｂの一種以上で置換
した非晶質合金薄膜では、カー回転角の大きな光磁気記
録媒体が得られる。
に磁化容易軸を有する磁性薄膜で合金の組成が、 （Ｔｂｊ！ ＧｄｍＨｎ ） （Ｆｅ
ＣＯＶ ） ｘｌ−Ｘ ＋ −Ｖ Ｍ＝Ｐｒ、 Ｎｄ、 Ｗｂ（７）一種以上で表わされ、
合金組成範囲が ｉ＋ｍ＋ｎ＝１ ０．２≦（≦０．９ ０≦ｍ≦０．８ ０．０１≦ｎ≦０．５ ０．５≦ｘ≦０．９ ０．０５≦ｙ＜１ であるとき、熱安定性に優れ、磁気光学定数の値の優れ
た記録媒体が得られる。すなわち上記の組成式で希土類
元素の・一部をＰｒ、 Ｎｄ、 Ｗｂの一種以上で置換
した非晶質合金薄膜では、カー回転角の大きな光磁気記
録媒体が得られる。
（従来の技術）
一般に、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄
膜をガラス、ＰＣ，ＰＭＭＡ笠の透明基板面上に形成さ
せ、キュリ一点あるいは、磁気的補償温度を利用して光
ビームにより反転磁区を作ることによって情報を記録さ
せ、記録させた情報をカー効果あるいはファラデー効果
を利用して読み出す光磁気記録が知られている。
膜をガラス、ＰＣ，ＰＭＭＡ笠の透明基板面上に形成さ
せ、キュリ一点あるいは、磁気的補償温度を利用して光
ビームにより反転磁区を作ることによって情報を記録さ
せ、記録させた情報をカー効果あるいはファラデー効果
を利用して読み出す光磁気記録が知られている。
従来、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄膜
としては、ＨｎＢｉ、 ＨｎＣｕ３ｉ等の多結晶体、Ｇ
ｄＣｏ、 ＧｄＦｅ、 ＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ、
ＴｂＦｅＣｏ、 ＧｄＴｂＦｅＣｏ等の非晶質合金、
Ｇｄ１Ｇ等のガーネット膜等が知られている。
としては、ＨｎＢｉ、 ＨｎＣｕ３ｉ等の多結晶体、Ｇ
ｄＣｏ、 ＧｄＦｅ、 ＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ、
ＴｂＦｅＣｏ、 ＧｄＴｂＦｅＣｏ等の非晶質合金、
Ｇｄ１Ｇ等のガーネット膜等が知られている。
これらの薄膜のうち、非晶質合金は、大面積の薄膜を室
温付近の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネ
ルギーで書き込むための書き込み効率等が優れており、
多結晶体・ガーネット膜は磁気光学効果（カー回転角お
よびファラデー回転角）が大きいという特徴を有してい
る。
温付近の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネ
ルギーで書き込むための書き込み効率等が優れており、
多結晶体・ガーネット膜は磁気光学効果（カー回転角お
よびファラデー回転角）が大きいという特徴を有してい
る。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、Ｈｎ阻、 ＨｎＣＬＩ阻、 Ｇｄ１Ｇ等
の膜は均一な特徴をもつ大面積の薄膜を作ることがむず
かしい。
の膜は均一な特徴をもつ大面積の薄膜を作ることがむず
かしい。
また非晶質薄膜においても種々の欠点が指摘されている
。たとえばＧｄ Ｆｅは保磁力が小ざく、記録されたピ
ットが安定に存在しない。ＧｄＦｅ、 ＧｄＣｏは、磁
気的補償点を利用した書き込みであり膜組成を厳しく管
理しなりれば均一な書き込み効率が得られない。ＴｂＦ
ｅは、大きな保磁力を有するがキュソー渇度が低く信号
を読み出す時にパワーの強い光を用いることができない
という難点がある。反射光によるカー効果を利用した読
み出しＳ／Ｎ比は、反射率をＲ，カー回転角をＯｋとす
ると、Ｑ−・Ｏｋに比例する。したがって、Ｓ／Ｎ比良
く読み出す為には、カー回転角および反射率が大きな値
をもだな（プればならない。ＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＦｅ
Ｃｏ、 ＧｄＴｂＦｅＣ０膜のカー回転角は０．３〜０
．４２°で大きい値をとるとされている。しかし、この
値でも充分でなく、更にカー回転角を大きくする研究が
進められている。
。たとえばＧｄ Ｆｅは保磁力が小ざく、記録されたピ
ットが安定に存在しない。ＧｄＦｅ、 ＧｄＣｏは、磁
気的補償点を利用した書き込みであり膜組成を厳しく管
理しなりれば均一な書き込み効率が得られない。ＴｂＦ
ｅは、大きな保磁力を有するがキュソー渇度が低く信号
を読み出す時にパワーの強い光を用いることができない
という難点がある。反射光によるカー効果を利用した読
み出しＳ／Ｎ比は、反射率をＲ，カー回転角をＯｋとす
ると、Ｑ−・Ｏｋに比例する。したがって、Ｓ／Ｎ比良
く読み出す為には、カー回転角および反射率が大きな値
をもだな（プればならない。ＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＦｅ
Ｃｏ、 ＧｄＴｂＦｅＣ０膜のカー回転角は０．３〜０
．４２°で大きい値をとるとされている。しかし、この
値でも充分でなく、更にカー回転角を大きくする研究が
進められている。
そこで、本発明は従来このような欠点を解決し、熱安定
性に優れ、かつカー回転角が充分に大きくＳ／Ｎ比の良
い読み出しが可能な光磁気記録媒体を提供することを目
的としている。
性に優れ、かつカー回転角が充分に大きくＳ／Ｎ比の良
い読み出しが可能な光磁気記録媒体を提供することを目
的としている。
（問題点を解決するための手段）
上記の問題を解決するためにこの発明は、膜面に垂直な
方向に磁化容易軸を有する磁性膜で合金の組成が、 （ＴｂＪ ＧｄｍＨｎ ） （Ｆｅ Ｃ
ｏｙ ） ｘｌ −Ｘ ＋ −Ｖ Ｍ＝Ｐｒ、 Ｎｄ、 Ｙｂの一種以上 合金組成範囲が 、９＋ｍ＋ｎ＝１ ０．２≦ｌ≦０．９ ０≦ｍ≦０．８ ０．０１≦ｎ≦０．５ ０．５≦ｘ≦０．９ ０．０５≦ｙ＜１ であるとき、上記目的の熱安定性に優れ、カー回転角の
増大を達成せんとするものである。
方向に磁化容易軸を有する磁性膜で合金の組成が、 （ＴｂＪ ＧｄｍＨｎ ） （Ｆｅ Ｃ
ｏｙ ） ｘｌ −Ｘ ＋ −Ｖ Ｍ＝Ｐｒ、 Ｎｄ、 Ｙｂの一種以上 合金組成範囲が 、９＋ｍ＋ｎ＝１ ０．２≦ｌ≦０．９ ０≦ｍ≦０．８ ０．０１≦ｎ≦０．５ ０．５≦ｘ≦０．９ ０．０５≦ｙ＜１ であるとき、上記目的の熱安定性に優れ、カー回転角の
増大を達成せんとするものである。
（作用）
本発明に係る光磁気記録媒体に於いては、上記組成式で
示された非晶質磁性媒体を形成することにより磁気光学
定数の値の優れた記録媒体が得られる。
示された非晶質磁性媒体を形成することにより磁気光学
定数の値の優れた記録媒体が得られる。
また、本発明の上記組成式で示された光磁気記録媒体は
、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけに充
分な磁気異方性を持たなければならない。このためには
、まず薄膜を非晶質で構成する必要があり、これには、
スパッタリング法あるいきは、真空蒸着法などによって
薄膜を製膜することによって達成される。充分な磁気異
方性およびカー回転角を持たせるための組成としては、
上記組成範囲を満たさなければならない。
、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけに充
分な磁気異方性を持たなければならない。このためには
、まず薄膜を非晶質で構成する必要があり、これには、
スパッタリング法あるいきは、真空蒸着法などによって
薄膜を製膜することによって達成される。充分な磁気異
方性およびカー回転角を持たせるための組成としては、
上記組成範囲を満たさなければならない。
（実施例）
以下この発明の実施例にもとずいて説明する。
これらの膜は、スパッタリング法により作製したが真空
蒸着法、イオンブレーティング法などその他の多くの物
理的ペイバーディポジション法によつても作製すること
ができる。
蒸着法、イオンブレーティング法などその他の多くの物
理的ペイバーディポジション法によつても作製すること
ができる。
基板は、ガラスあるいは有機物透明体を用いる。
実施例１：高周波スパッタ装置において、直径３インチ
のガラスを基板とし、ターゲットとして直径６インチの
Ｆｅ上に１０Ｍ角のＧｄ、 Ｔｂ、 Ｎｄ、 Ｃｏヲ均
一にならべたものを使用した。チャンバー内を２．０Ｘ
１０ トール以下まで真空排気した後、へｒ圧を２
．５Ｘ１０ トールにし製膜を行なった。この様に
してできた膜厚１０００オングストロームの膜は、膜面
に垂直な方向に磁気容易軸を有し、またＸ線的に非晶質
であった。また組成分析を行なった結果この磁性膜は（
Ｔｂ Ｏ，３Ｇｄ Ｏ，５ＮｄＯ，２） ０．２３
（Ｆｅ ０．６Ｃｏ Ｏ，４） ０．７７であり、
カー回転角は、発振波長６３３ ｎｍのＨｅ−Ｎｅレー
ザで測定したところ０．５２度であった。
のガラスを基板とし、ターゲットとして直径６インチの
Ｆｅ上に１０Ｍ角のＧｄ、 Ｔｂ、 Ｎｄ、 Ｃｏヲ均
一にならべたものを使用した。チャンバー内を２．０Ｘ
１０ トール以下まで真空排気した後、へｒ圧を２
．５Ｘ１０ トールにし製膜を行なった。この様に
してできた膜厚１０００オングストロームの膜は、膜面
に垂直な方向に磁気容易軸を有し、またＸ線的に非晶質
であった。また組成分析を行なった結果この磁性膜は（
Ｔｂ Ｏ，３Ｇｄ Ｏ，５ＮｄＯ，２） ０．２３
（Ｆｅ ０．６Ｃｏ Ｏ，４） ０．７７であり、
カー回転角は、発振波長６３３ ｎｍのＨｅ−Ｎｅレー
ザで測定したところ０．５２度であった。
第１実施例に於ける「ｅのターゲット上のＮｄとＴｂの
量を変化させる以外は、第１実施例と同様の方法で作製
した膜のカー回転角の変化を第１図ａに示す。第１図ａ
は、このＮｄの吊の変化に対してカー回転角が変化する
様子を示したものである。
量を変化させる以外は、第１実施例と同様の方法で作製
した膜のカー回転角の変化を第１図ａに示す。第１図ａ
は、このＮｄの吊の変化に対してカー回転角が変化する
様子を示したものである。
実施例２：第１実施例におけるＦｅターゲット上のＮｄ
、 Ｔｂ、 Ｇｄの量を変化させる以外は、第１実施例
と同様の方法で作製した。この膜の組成は、（Ｔｂ ０
．２Ｇｄ ０．７Ｎｄ Ｏ，１＞ ０．２１ （Ｆ
Ｑ ０１６Ｃｏ ０．４）０．７９であり、カー回転角
は０．５４１であった。
、 Ｔｂ、 Ｇｄの量を変化させる以外は、第１実施例
と同様の方法で作製した。この膜の組成は、（Ｔｂ ０
．２Ｇｄ ０．７Ｎｄ Ｏ，１＞ ０．２１ （Ｆ
Ｑ ０１６Ｃｏ ０．４）０．７９であり、カー回転角
は０．５４１であった。
第２実施例に於ける「ｅターゲット上のＮｄとＴｂの量
を変化させる以外は、第２実施例と同様の方法で作製し
た膜のノコ−回転角の変化を第１図すに示す。第１図す
は、このＮｄの量の変化に対してカー回転角が変化する
様子を示したものである。
を変化させる以外は、第２実施例と同様の方法で作製し
た膜のノコ−回転角の変化を第１図すに示す。第１図す
は、このＮｄの量の変化に対してカー回転角が変化する
様子を示したものである。
第２図ａは、実施例１の場合のＮｄの量の変化に対して
キュリ一温度が変化する様ｆを示したものである。第２
図すは、実施例２の場合のＮｄの量の変化に対してキ」
４り一温度が変化する様子を示したものである。Ｎｄの
量に対してキュリ一温度の変化は４０〜５０℃程度であ
った。
キュリ一温度が変化する様ｆを示したものである。第２
図すは、実施例２の場合のＮｄの量の変化に対してキ」
４り一温度が変化する様子を示したものである。Ｎｄの
量に対してキュリ一温度の変化は４０〜５０℃程度であ
った。
（発明の効果）
この発明は、以上説明したように組成式％式％）
で表わされ、合金組成範囲が
ｊ！十ｍ＋ｎ＝１
０．２≦ｌ≦０．９
０≦ｍ≦０．８
０．０１≦ｎ≦０．５
０．５≦ｘ≦０．９
０．０５≦ｙ＜１
であるとぎ、従来得られなかった大きい磁気光学定数が
得られ、Ｓ／Ｎ比よく読み出し可能であり、製膜性も容
易な優れた光磁気記録媒体を提供することができる。
得られ、Ｓ／Ｎ比よく読み出し可能であり、製膜性も容
易な優れた光磁気記録媒体を提供することができる。
第１図は、本発明に係る光磁気記録媒体において、Ｎｄ
の吊とノコ−回転角の関係を示す図。第２図は、Ｎｄの
量とキュリ一温度の関係を示す図。 ａ ・（Ｇｄ０．５ Ｔｂ０．５−ｎ Ｎｄ ｎ）
０．２３ （Ｆｅ０．６ Ｃ。 Ｏ，４） ０．７７ ｂ−（Ｇｄ０．７ Ｔｂ０．３−ｎ Ｎｄ ｎ） ０
．２１ （Ｆｅ０．６ Ｃ。 ０．４） ０．７９
の吊とノコ−回転角の関係を示す図。第２図は、Ｎｄの
量とキュリ一温度の関係を示す図。 ａ ・（Ｇｄ０．５ Ｔｂ０．５−ｎ Ｎｄ ｎ）
０．２３ （Ｆｅ０．６ Ｃ。 Ｏ，４） ０．７７ ｂ−（Ｇｄ０．７ Ｔｂ０．３−ｎ Ｎｄ ｎ） ０
．２１ （Ｆｅ０．６ Ｃ。 ０．４） ０．７９
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄膜で合
金の組成が、 （Ｔｂ＿ｌＧｄ＿ｍＭ＿ｎ）＿１＿−＿ｘ（Ｆｅ＿１＿
−＿ｙＣｏ＿ｙ）＿ｘで表わされることを特徴とする光
磁気記録媒体。 ここでＭは、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｙｂの一種又は、二種以上で
あり、合金組成範囲が ｌ＋ｍ＋ｎ＝１ ０．２≦ｌ≦０．９ ０≦ｍ≦０．８ ０．０１≦ｎ≦０．５ ０．５≦ｘ≦０．９ ０．０５≦ｙ＜１ である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5983386A JPS62217445A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5983386A JPS62217445A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62217445A true JPS62217445A (ja) | 1987-09-24 |
Family
ID=13124624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5983386A Pending JPS62217445A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62217445A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4957824A (en) * | 1987-03-24 | 1990-09-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information storage medium and method of manufacturing the same |
| US6534162B1 (en) * | 1999-06-29 | 2003-03-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP5983386A patent/JPS62217445A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4957824A (en) * | 1987-03-24 | 1990-09-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information storage medium and method of manufacturing the same |
| US6534162B1 (en) * | 1999-06-29 | 2003-03-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium |
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