JPS62199102U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62199102U JPS62199102U JP8476486U JP8476486U JPS62199102U JP S62199102 U JPS62199102 U JP S62199102U JP 8476486 U JP8476486 U JP 8476486U JP 8476486 U JP8476486 U JP 8476486U JP S62199102 U JPS62199102 U JP S62199102U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pot
- water
- reflux
- drainage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の装置の一例を示す概略図である
。 ５：還流ポツト、６：水抜きポツト。
。 ５：還流ポツト、６：水抜きポツト。
Claims (1)
- 少量の水を含有する水より軽い油分からなる凝
縮液を滞留させ、油分は還流し水分は下層液とし
て抜き出すための還流ポツトと、還流ポツトの下
部から抜き出される下層液を滞留させ分離された
水が一定量となるまで保持するための水抜きポツ
トとからなり、還流ポツトの下部から水抜きポツ
トの上部へ下層液を流すための連絡管、水抜きポ
ツトの下部から水を排出するための排出口及び水
抜きポツト上部と還流ポツト上部とを連絡する均
圧管並びに水抜きポツト上部に連絡する加圧ガス
吹込み管にはそれぞれ弁１、弁２及び弁３並びに
弁４を設けると共に水抜きポツトには静電容量式
の界面計を設け、この信号により水面が上限設定
値に達した時、弁１を閉に、弁２を開に弁３を閉
にそして弁４を開にし、下限設定値に達したとき
、弁１を開に、弁２を閉にそして弁３を開にそし
て弁４を閉にする手段を設けたことを特徴とする
水抜き装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8476486U JPS62199102U (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8476486U JPS62199102U (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199102U true JPS62199102U (ja) | 1987-12-18 |
Family
ID=30939557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8476486U Pending JPS62199102U (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62199102U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020014022A (ja) * | 2019-10-11 | 2020-01-23 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| US11986853B2 (en) | 2015-06-03 | 2024-05-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus, film formation unit, substrate processing method and film formation method |
-
1986
- 1986-06-05 JP JP8476486U patent/JPS62199102U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11986853B2 (en) | 2015-06-03 | 2024-05-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus, film formation unit, substrate processing method and film formation method |
| JP2020014022A (ja) * | 2019-10-11 | 2020-01-23 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
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