JPS62197639U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62197639U JPS62197639U JP8553886U JP8553886U JPS62197639U JP S62197639 U JPS62197639 U JP S62197639U JP 8553886 U JP8553886 U JP 8553886U JP 8553886 U JP8553886 U JP 8553886U JP S62197639 U JPS62197639 U JP S62197639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer holder
- semiconductor wafer
- storage recess
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
第１図は半導体ウエハ給排部の縦断側面図、第
２図は第１図の―線矢視図、第３図は第２図
の―線矢視図、第４図は半導体ウエハ搬送装
置の概略平面図、第５図は第１図に対する動作図
、第６図は従来例の縦断正面図、第７図は第６図
の平面図、第８図は第６図の動作説明図である。 Ａは半導体ウエハ、１は回転テーブル、６はウ
エハホルダ、６ａはウエハ収納凹部、７，８はコ
ンベア、９はヒンジ、１１は起倒レバー、１３は
チヤツクピン、１４はストツパ面、１５は弾性体
、１６は位置決め、押圧ピン。
２図は第１図の―線矢視図、第３図は第２図
の―線矢視図、第４図は半導体ウエハ搬送装
置の概略平面図、第５図は第１図に対する動作図
、第６図は従来例の縦断正面図、第７図は第６図
の平面図、第８図は第６図の動作説明図である。 Ａは半導体ウエハ、１は回転テーブル、６はウ
エハホルダ、６ａはウエハ収納凹部、７，８はコ
ンベア、９はヒンジ、１１は起倒レバー、１３は
チヤツクピン、１４はストツパ面、１５は弾性体
、１６は位置決め、押圧ピン。
Claims (1)
- 上面にウエハ収納凹部を有し、起倒自在にヒン
ジ支持されるウエハホルダと、ウエハホルダのヒ
ンジ部と反対側部分に設けられ、ウエハホルダを
倒したとき、下端部が所定のストツパ面に当接し
て突き上げられる１本のチヤツクピンと、このチ
ヤツクピンを、その上端に形成した爪が前記ウエ
ハ収納凹部内の半導体ウエハを押さえる状態に付
勢する弾性体と、ウエハホルダが倒れた状態でウ
エハ収納凹部内の半導体ウエハを押しあげ、かつ
、ウエハホルダ外へ送り返すコンベアと、このコ
ンベアによりウエハホルダ外からウエハ収納凹部
上に送り込まれた半導体ウエハを受け止めて位置
決めし、かつその受け止め位置から前記コンベア
の半導体ウエハ送り返し方向に半導体ウエハを押
圧可能な位置決め、押圧ピンとを備えたことを特
徴とする半導体ウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8553886U JPH0530023Y2 (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8553886U JPH0530023Y2 (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197639U true JPS62197639U (ja) | 1987-12-16 |
| JPH0530023Y2 JPH0530023Y2 (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=30941035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8553886U Expired - Lifetime JPH0530023Y2 (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0530023Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-06-05 JP JP8553886U patent/JPH0530023Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0530023Y2 (ja) | 1993-07-30 |