JPS62192659U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62192659U JPS62192659U JP7831086U JP7831086U JPS62192659U JP S62192659 U JPS62192659 U JP S62192659U JP 7831086 U JP7831086 U JP 7831086U JP 7831086 U JP7831086 U JP 7831086U JP S62192659 U JPS62192659 U JP S62192659U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection mirror
- excimer laser
- laser oscillator
- rotating member
- total reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第1,2図は本考案の一実施例としての回転式
反射鏡付きエキシマレーザ発振器を示すもので、
第1図はその概略構成を示す模式図、第2図は第
1図の―断面図であり、第3,4図は従来の
エキシマレーザ発振器を示すもので、第3図はそ
の概略構成を示す模式図、第4図は第3図の―
断面図でてある。 図において、11……部分反射鏡、12A〜1
2D……全反射鏡、13……窓、15……レーザ
ビーム、16……回転円板、16a……回転円板
の回転中心。なお、図中、同一の符号は同一、又
は相当部分を示している。
反射鏡付きエキシマレーザ発振器を示すもので、
第1図はその概略構成を示す模式図、第2図は第
1図の―断面図であり、第3,4図は従来の
エキシマレーザ発振器を示すもので、第3図はそ
の概略構成を示す模式図、第4図は第3図の―
断面図でてある。 図において、11……部分反射鏡、12A〜1
2D……全反射鏡、13……窓、15……レーザ
ビーム、16……回転円板、16a……回転円板
の回転中心。なお、図中、同一の符号は同一、又
は相当部分を示している。
Claims (1)
- レーザビーム出力用窓を兼ねる部分反射鏡とこ
の部分反射鏡に対向して配設された全反射鏡とか
ら成る共振器をもつたエキシマレーザ発振器にお
いて、上記全反射鏡が回転部材の回転中心から偏
倚した位置で同回転部材に取り付けられたことを
特徴とする回転式反射鏡付きエキシマレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7831086U JPS62192659U (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7831086U JPS62192659U (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62192659U true JPS62192659U (ja) | 1987-12-08 |
Family
ID=30927130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7831086U Pending JPS62192659U (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62192659U (ja) |
-
1986
- 1986-05-22 JP JP7831086U patent/JPS62192659U/ja active Pending