JPS62191717A - Apparatus for measuring flow amount - Google Patents
Apparatus for measuring flow amountInfo
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、流体の流量を測定する装置に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a device for measuring the flow rate of a fluid.
〈従来の技術）
従来、化学プラント、流体機械の組立調整工場等に於い
て、配管内を流れる流体の流量を測定する為に、第１図
に示す如く断面積が上方に拡大する透明鉛直管内にロー
タ（６０）を収容してなるロータメータ（６）が使用さ
れている。<Prior art> Conventionally, in chemical plants, fluid machinery assembly and adjustment factories, etc., in order to measure the flow rate of fluid flowing inside the piping, a transparent vertical pipe whose cross-sectional area expands upward, as shown in Figure 1, is used. A rotameter (6) having a rotor (60) housed therein is used.
ロータメータのロータ（６０）は、透明鉛直管内を上方
に流れる流体によって上向きの力を受け、この力とロー
タの自重が均り合った位置に静止することになるが、流
体の流！（流速）が変化すると、これに伴ってロータの
位置は上下に移動するから、鉛直管内のロータ位置を読
み取ることによって、ロータメータが接続された流体系
の流量を測定することが出来るのである。The rotameter rotor (60) receives an upward force from the fluid flowing upward in the transparent vertical tube, and comes to rest at a position where this force and the rotor's own weight are balanced, but the fluid flow! When the flow rate changes, the rotor position moves up and down, so by reading the rotor position in the vertical pipe, the flow rate of the fluid system to which the rotameter is connected can be measured.
ロータメータ（６）は、構造が簡単であるから保守が簡
易であり、精度も比較的高い。然も、小形軽量であるか
ら既設の流体系に対しても容易に装備することが出来る
。従って、工業用として広く使用されている。Since the rotameter (6) has a simple structure, maintenance is easy and the accuracy is relatively high. Moreover, since it is small and lightweight, it can be easily installed in existing fluid systems. Therefore, it is widely used for industrial purposes.
又、流体系の制御、調整等の為に、流量を自動的に測定
する必要がある場合は、測定結果のオンライン処理が可
能な羽根車式流量計、オーバル歯車式流量計等の計量型
流量計が使用される。In addition, if it is necessary to automatically measure the flow rate for controlling or adjusting a fluid system, metering type flowmeters such as impeller type flowmeters and oval gear type flowmeters that can process measurement results online can be used. meter is used.
（解決しようとする問題点）
ロータメータは構造が簡単で保守が容易であるが、流量
を読み取る為に監視員を常時配置しなければならない問
題があった。(Problem to be solved) The rotameter has a simple structure and is easy to maintain, but there is a problem in that a monitor must be stationed at all times to read the flow rate.
一方、オーバル歯車式流量計等の計量型流量計は測定値
のオンライン処理は可能であるが、測定精度を維持する
ために頻繁な保守点検が必要となるばかりでなく、点検
毎に設備を停止しなければならないから、設備の稼動率
が低下する問題があった。On the other hand, measuring flowmeters such as oval gear type flowmeters can process measured values online, but they not only require frequent maintenance and inspections to maintain measurement accuracy, but also require the equipment to be stopped for each inspection. As a result, there was a problem in that the operating rate of the equipment decreased.
（問題点を解決する為の手段）
本発明は、測定データのオンライン処理が可能であり、
然も設備維持の容易な流ｉ測定装置を提供することを目
的とする。(Means for solving the problem) The present invention enables online processing of measurement data,
However, it is an object of the present invention to provide a flow i measuring device that is easy to maintain.
本発明の流量測定装置は、流体系に接続されるべき透明
鉛直管内にロータ＜６０）を収容した流量検出用ロータ
メータ（６）と、該ロータメータ（６）を視野内に設定
して対向配設されロータ（６０）の変位に対応したビデ
オパルス信号を発生するイメージセンサ−カメラ（１）
と、該イメージセンサ−カメラ（１）を動作せしめる駆
動回路（２）と、前記ビデオパルス信号が接続された演
算処理回路（４）とから構成される。該演算処理回路（
４）には、ロータ位置と流体系の流量との関係が予め設
定されている。The flow rate measuring device of the present invention includes a flow rate detection rotameter (6) containing a rotor <60) in a transparent vertical pipe to be connected to a fluid system, and a rotameter (6) set in a field of view and arranged facing each other. an image sensor-camera (1) that generates a video pulse signal corresponding to the displacement of the rotor (60);
, a drive circuit (2) for operating the image sensor-camera (1), and an arithmetic processing circuit (4) to which the video pulse signal is connected. The arithmetic processing circuit (
4), the relationship between the rotor position and the flow rate of the fluid system is set in advance.
（作 用）
ロータメータ（６）は流量を測定すべき流体系に接続さ
れ、これによってロータメータ内のロータ（６０）は流
体の流速従って流量に応じた作用力を受け、力学的に均
衡する位置へ移動する。(Function) The rotameter (6) is connected to the fluid system whose flow rate is to be measured, and the rotameter (60) in the rotameter receives an acting force according to the fluid flow velocity and therefore the flow rate, and is brought to a dynamically balanced position. Moving.
イメージセンサ−カメラ（１）は、ロータメータ（６）
の全体を視野に入れることの出来る位置に設定されてお
り、駆動回路（２）によって駆動される。The image sensor camera (1) is a rotameter (6)
It is set at a position where the entire area can be viewed, and is driven by a drive circuit (2).
この結果、ロータメータ（６）はイメージセンサ−カメ
ラ（１）内の多数の光センサー素子に写像され、ロータ
（６０）の陰影が捕らえられる。即ち、イメージセンサ
−カメラく１）内の多数の光センサー素子は、ロータメ
ータ＜６）の後方からロータメータ（６）を通過して入
射した光により露光され、該光センサー素子は夫々ビデ
オパルス信号を発生する。しかし、ロータメータ（６）
の後方からロータ（６０）に向かった光は該ロータ（６
０）によって遮断されるから、ロータ位置に対応する光
センサー素子は露光されず、パルス信号を発しない。従
ってイメージセンサ−カメラ内のセンサー素子の内、パ
ルス信号を発生していないセンサー素子を検知すること
により、ロータ（６０）の陰影を捕らえることが出来る
のである。As a result, the rotameter (6) is mapped onto a number of light sensor elements in the image sensor-camera (1) and the shadow of the rotor (60) is captured. That is, a large number of photosensor elements in the image sensor-camera (1) are exposed to light that has passed through the rotameter (6) from behind the rotameter (6), and each of the photosensor elements receives a video pulse signal. Occur. However, the rotameter (6)
The light directed towards the rotor (60) from behind the rotor (60)
0), the light sensor element corresponding to the rotor position is not exposed and does not emit a pulse signal. Therefore, the shadow of the rotor (60) can be captured by detecting the sensor elements that do not generate pulse signals among the sensor elements in the image sensor-camera.
演算処理回路く４）は、イメージセンサ−カメラ（１）
からのビデオパルス信号に信号処理を施して、予め設定
されているロータ位置と流体系の流量との関係に基づい
て、流体系の流量を表わす信号を作成する。The arithmetic processing circuit 4) is an image sensor-camera (1)
A signal representing the flow rate of the fluid system is created based on a preset relationship between the rotor position and the flow rate of the fluid system.
該信号は、例えば表示装置へオンラインに接続して流量
をデジタル表示し、或は更に適当な信号処理を施して流
体系に対する制御信号に変換し、流体系の流量制御に供
する。For example, the signal is connected online to a display device to digitally display the flow rate, or is further subjected to appropriate signal processing to be converted into a control signal for the fluid system, which is used to control the flow rate of the fluid system.
（発明の効果）
本発明の流量測定装置に於いては、流体系に接続される
べきロータメータ（６）は、その構造が単純であるから
、動作信頼性が高く、保守が極めて容易である。又、比
較的構成の複雑なイメージセンサ−カメラ〈１）はロー
タメータ（６）の外側へ別体に配置されるから、点検修
理の際に流体系自体に分解等の工事を施す必要はない。(Effects of the Invention) In the flow rate measuring device of the present invention, the rotameter (6) to be connected to the fluid system has a simple structure, so its operation reliability is high and maintenance is extremely easy. Furthermore, since the image sensor/camera (1), which has a relatively complicated configuration, is separately arranged outside the rotameter (6), there is no need to disassemble or otherwise disassemble the fluid system itself during inspection and repair.
従って、測定装置の保守点検のために設備の稼動率が低
下することはなく、然も保守点検作業は容易且つ迅速に
行なうことが出来る。Therefore, the operating rate of the equipment does not decrease due to maintenance and inspection of the measuring device, and maintenance and inspection work can be performed easily and quickly.
（実施例〉
第１図は、ポンプ（９１）を具えた流体系の流量制御シ
ステムに対し、本発明に係る流量８１１１定装置を実施
した一例を示している。(Example) FIG. 1 shows an example in which the flow rate 8111 constant device according to the present invention is implemented in a fluid flow rate control system equipped with a pump (91).
ロータメータ（６）は支持板＜６３）に固定した上で、
流体系に連繋する配管（７）の途中に接続する。After fixing the rotameter (6) to the support plate <63),
Connect to the middle of the pipe (7) connected to the fluid system.
ロータメータ（６）に対向して、イメージセンサ−カメ
ラ（１）が配設され、視野内にロータメータ（６）を設
定している。該カメラく１）は、基台（１７）上に位置
決め＠横＜１３）を介して位置調節可能に支持されてい
る。An image sensor-camera (1) is arranged opposite to the rotameter (6), and sets the rotameter (6) within its field of view. The camera 1) is supported on a base (17) so that its position can be adjusted via a positioner (laterally <13).
該位置決め機構（１３）は、カメラ（１）のロータメー
タ（６）に対する接近離間方向の位置を調節する第１調
節具（１４）と、これに直交する水平方向の位置を調節
する第２調節具（１５）と、前後の傾きを調節する第３
調節具（１６）とを具えている。The positioning mechanism (13) includes a first adjustment tool (14) that adjusts the position of the camera (1) in the direction of approach and separation from the rotameter (6), and a second adjustment tool that adjusts the position in the horizontal direction orthogonal thereto. (15) and the third part that adjusts the front and rear inclination.
An adjustment tool (16) is provided.
尚、ロータメータ（６）とカメラ（１）との距１１１１
Ｄは３８７ ｍ ＋ｎに設定される。In addition, the distance between the rotameter (6) and the camera (1) is 1111
D is set to 387 m +n.
イメージセンサ−カメラ（１）は、２０４８ビツトのＣ
ＣＤ（電荷結合素子）から構成されるリニヤアレイイメ
ージセンサ−であって、分解能は０．１ｍｍ／ビット、
走査周期は４ ｍ５ｅｃ 、視野りは２０４．８＋ｎｍ
である。The image sensor camera (1) is a 2048-bit C
A linear array image sensor consisting of a CD (charge-coupled device) with a resolution of 0.1 mm/bit.
Scanning period is 4 m5ec, field of view is 204.8+nm
It is.
従って、第４図に示す如く、ロータメータ（６）を上下
方向に０．１ｍｍ毎に区分した場合、各微小部分（６４
）は、イメージセンサ−カメラ（１）内の２０４８個の
光センサー素子群（１０）の内、何れかの光センサー素
子（１１）と１対１の関係で対応することとなる。Therefore, as shown in FIG.
) corresponds in a one-to-one relationship with any one of the optical sensor elements (11) among the 2048 optical sensor element groups (10) in the image sensor-camera (1).
ロータメータ（６）の後方には第１図に示す如く投光器
（８）が配設されている。A floodlight (8) is provided behind the rotameter (6) as shown in FIG.
イメージセンサ−カメラ（１）は周知の駆動回路（２）
によって駆動され、被測定物体となるロータ（６０）の
陰影（第４図中（１２））を捕らえる。即ち、各投光器
（８）からの光はロータメータ（６）の透明部分くロー
タ（６０）が位置しない透明鉛直管部分）を通過して、
イメージセンサ−カメラ（１）内に配列された光センサ
ー素子群を照射し、露光された各センサー素子は夫々ビ
デオパルス信号と発生する。しかし、投光器（８）から
ロータ〈６０）へ向がっな光はロータ（６０）によって
遮断され、ロータ（６０）に対応する位置の光センサー
素子には封達せず、該センサー素子はパルス信号を発し
ない。従ってイメージセンサ−カメラ内のセンサー素子
の内、パルス信号を発生していないセンサー素子の位置
を検出することにより、ロータ（６０）の位置を知るこ
とが出来る。この際、パルス信号を発しないセンサー素
子の内、ロータ（６０）の上面に対応するセンサー素子
をロータ位置検出の基準とすることにより、例えば透明
鉛直管の下端部からロータ（６０）の上面までの距ＭＨ
を算出し、これを以てロータ（６０）の位置とすること
が出来る。The image sensor-camera (1) is a well-known drive circuit (2)
The shadow ((12) in FIG. 4) of the rotor (60), which is the object to be measured, is captured. That is, the light from each floodlight (8) passes through the transparent part of the rotameter (6) (the part of the transparent vertical tube where the rotor (60) is not located),
The image sensor-camera (1) is irradiated with a group of photosensor elements arranged in the camera (1), and each exposed sensor element generates a respective video pulse signal. However, the light directed from the floodlight (8) to the rotor (60) is blocked by the rotor (60) and does not reach the optical sensor element at the position corresponding to the rotor (60), and the sensor element receives the pulse signal. does not emit. Therefore, the position of the rotor (60) can be known by detecting the position of the sensor element that does not generate a pulse signal among the sensor elements in the image sensor-camera. At this time, among the sensor elements that do not emit pulse signals, by using the sensor element corresponding to the upper surface of the rotor (60) as a reference for rotor position detection, for example, from the lower end of the transparent vertical tube to the upper surface of the rotor (60). distance MH
can be calculated and used as the position of the rotor (60).
イメージセンサ−カメラ（１）がらのビデオパルス信号
は、増幅器（３）及び演算処理回路（４）を介して表示
装置（５）へ接続されている。該演算処理回路（４）に
は更に制御回路（４０）が接続され、該制御回路（４０
）の出力信号はポンプ（９１）へ制御信号として送られ
、流体系の流量制御が行なわれる。The video pulse signal from the image sensor-camera (1) is connected to a display device (5) via an amplifier (3) and an arithmetic processing circuit (4). A control circuit (40) is further connected to the arithmetic processing circuit (4).
) is sent to the pump (91) as a control signal to control the flow rate of the fluid system.
前記演算処理回路（４）及び制御回路（４ｏ）は例えば
ワンチップマイクロコンピュータ等を用いて、表示装置
（５）はデジタル表示の可能な液晶ディスプレイ等を用
いて容易に構成することが出来る。The arithmetic processing circuit (4) and the control circuit (4o) can be easily configured using, for example, a one-chip microcomputer or the like, and the display device (5) can be easily configured using a liquid crystal display or the like capable of digital display.
次に、第３図に示すフローチャートに基づいて、上記測
定装置の動作について述べる。Next, the operation of the measuring device will be described based on the flowchart shown in FIG.
測定に際しては、演算処理回路（４）に対し、流量計算
に必要な種々の初期値、例えばイメージセンサ−カメラ
（１）が監視すべきロータ（６０）の移動領域等が設定
され、この状態で実際の測定及び制御が開始される。During measurement, various initial values necessary for flow rate calculation are set in the arithmetic processing circuit (4), such as the movement area of the rotor (60) to be monitored by the image sensor-camera (1), and in this state. Actual measurement and control begins.
先ず、イメージセンサ−カメラ（１）はロータ（６ｏ）
の陰影を捕らえてビデオパルス信号を発生し、これによ
ってロータ（６０）の位置が検出される。First, the image sensor camera (1) is attached to the rotor (6o)
The shadow of the rotor (60) is captured and a video pulse signal is generated by which the position of the rotor (60) is detected.
該ビデオパルス信号は演算処理回路（４）へ入力され、
演算処理回路（４）は、該ビデオパルス信号を処理する
ことにより、ロータ（６０）の位置（例えばロータメー
タ〈６）の下端部からロータ（６０）の上面までの高さ
Ｈ）を算出し、更にこの結果を基にして配管（７）内の
流量を計算する。尚、高さＨと流量との関係は、予め関
数化されて演算処理回路く４）内に設定されている。The video pulse signal is input to an arithmetic processing circuit (4),
The arithmetic processing circuit (4) calculates the position of the rotor (60) (for example, the height H from the lower end of the rotameter (6) to the upper surface of the rotor (60)) by processing the video pulse signal, Furthermore, the flow rate in the pipe (7) is calculated based on this result. Note that the relationship between the height H and the flow rate is previously converted into a function and set in the arithmetic processing circuit 4).
該計算結果は表示装置（５〉へ送られ、４桁のデジタル
値として表示される。The calculation result is sent to the display device (5) and displayed as a 4-digit digital value.
演算処理回路（４）の出力信号は、更に制御回路（４０
）へ入力され、設定すべき流体系の流量と算出された前
記流量との偏差を表わす制御信号に変換される。The output signal of the arithmetic processing circuit (4) is further transmitted to the control circuit (40).
) and is converted into a control signal representing the deviation between the flow rate of the fluid system to be set and the calculated flow rate.
該制御信号はポンプ（９１）の出力調整部へ接続され、
これによって流体系の流量の自動制御が行なわれる。The control signal is connected to an output adjustment section of the pump (91),
This provides automatic control of the flow rate of the fluid system.
第２図は、本発明に係る測定装置をタンクレベルの制御
システムに実施した例を示している。FIG. 2 shows an example in which the measuring device according to the present invention is implemented in a tank level control system.
該システムは、タンク（９）内の流木が消費されてタン
クレベルが低下すると、制御弁（９０）が開いてタンク
（９）へ流体を補充するものである。The system is such that when the driftwood in the tank (9) is consumed and the tank level drops, a control valve (90) opens to replenish the tank (9) with fluid.
この場合、イメージセンサ−カメラ（１）の撮影対象は
、タンク（９）に装備されたフロート式水位計（６１）
である。In this case, the object to be photographed by the image sensor/camera (1) is the float type water level gauge (61) installed in the tank (9).
It is.
イメージセンサ−カメラ（１）には、上記実施例と同様
に、駆動回路（２）、増幅器（３）、演算処理回路（４
）、表示装置（５）及び制御回路（４０）が接続されて
いる。The image sensor camera (1) includes a drive circuit (2), an amplifier (3), and an arithmetic processing circuit (4), as in the above embodiment.
), a display device (5), and a control circuit (40) are connected.
但し、演算処理回路（４）は、算出したフロート（６２
）の位置からタンク（９）のレベル（水位）を算出し、
表示装置（５）へ送るのである。However, the arithmetic processing circuit (4) uses the calculated float (62
) Calculate the level (water level) of tank (9) from the position of
It is sent to the display device (5).
又制御回路（４０）は、演算処理回路（４）からの出力
信号に基づいて、実際のタンクレベルと設定すべき目標
タンクレベルとの偏差信号を作成し、該信号によって前
記制御弁（９０）の開閉を制御する。The control circuit (40) also creates a deviation signal between the actual tank level and the target tank level to be set based on the output signal from the arithmetic processing circuit (4), and uses this signal to control the control valve (90). control opening and closing.
上記何れのシステムに於いても、イメージセンサ−カメ
ラ（１）などにトラブルが生じた場合、ロータメータを
直接に監視することにより、手動運転を続行することが
可能である。In any of the above systems, if a problem occurs with the image sensor/camera (1), etc., it is possible to continue manual operation by directly monitoring the rotameter.
従来、既設の流体系に於いて、流量を自動測定する必要
が生じて計量型流量計を装備する改造を行なう場合、大
掛かりな配管工事が必要となり、改造に高い費用がかか
る問題があった。しかし、本発明に係る測定装置によれ
ば、流体系にロータメータ（６）が既に装備されている
場合は、これをそのまま利用して測定装置を構成するこ
とが出来る。従って、流体系自体に改造を施す必要は全
く無い。Conventionally, when an existing fluid system is modified to be equipped with a metering type flowmeter in order to automatically measure the flow rate, there has been a problem in that large-scale piping work is required and the modification is expensive. However, according to the measuring device according to the present invention, if the fluid system is already equipped with a rotameter (6), the measuring device can be configured by using this as is. Therefore, there is no need to modify the fluid system itself.
尚、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。It should be noted that the configuration of each part of the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made within the technical scope of the claims.
例えば、演算処理回路（４）には、単に流量の計算のみ
ならず、設備の運転に必要な種々のデータの算出や制御
信号の作成を行なわしめることも可能である。For example, the arithmetic processing circuit (4) can not only simply calculate the flow rate, but also calculate various data necessary for operating the equipment and create control signals.
第１図は本発明に係る流量測定装置の一実施例を示すシ
ステム構成図、第２図は他の実施例を示すシステム構成
図、第３図は測定装置の動作を示すフローチャート、第
４図は測定原理の説明図である。FIG. 1 is a system configuration diagram showing one embodiment of the flow rate measuring device according to the present invention, FIG. 2 is a system configuration diagram showing another embodiment, FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the measuring device, and FIG. 4 is an explanatory diagram of the measurement principle.
Claims (1)
６０）を収容した流量検出用ロータメータ（６）と、該
ロータメータ（６）を視野内に設定して対向配設されロ
ータ（６０）の変位に対応したビデオパルス信号を発生
するイメージセンサーカメラ（１）と、該イメージセン
サーカメラ（１）を動作せしめる駆動回路（２）と、前
記ビデオパルス信号が接続された演算処理回路（４）と
から構成され、該演算処理回路（４）は、予め設定され
ているロータ位置と流体系の流量との関係に基づいて、
前記ビデオパルス信号から流体系の流量を表わす信号を
作成し出力する流量測定装置。[1] A rotor (
A rotameter (6) for detecting a flow rate containing a rotor (60), and an image sensor camera (1) that is arranged facing each other with the rotameter (6) set within its field of view and generates a video pulse signal corresponding to the displacement of the rotor (60). ), a drive circuit (2) for operating the image sensor camera (1), and an arithmetic processing circuit (4) to which the video pulse signal is connected. Based on the relationship between the rotor position and the flow rate of the fluid system,
A flow rate measurement device that creates and outputs a signal representing the flow rate of a fluid system from the video pulse signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3488986A JPS62191717A (en) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | Apparatus for measuring flow amount |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3488986A JPS62191717A (en) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | Apparatus for measuring flow amount |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62191717A true JPS62191717A (en) | 1987-08-22 |
Family
ID=12426722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3488986A Pending JPS62191717A (en) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | Apparatus for measuring flow amount |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62191717A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207963A (en) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Fluid supply monitoring device and substrate processing apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS417579Y1 (en) * | 1965-12-22 | 1966-04-18 | ||
| JPS53138765A (en) * | 1977-05-11 | 1978-12-04 | Ichikawa Shiseidou Kk | Detecting means for flow rate in area flow meter |
| JPS57148214A (en) * | 1981-03-11 | 1982-09-13 | Fuji Denki Erumesu Kk | Flow rate measuring device |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP3488986A patent/JPS62191717A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS417579Y1 (en) * | 1965-12-22 | 1966-04-18 | ||
| JPS53138765A (en) * | 1977-05-11 | 1978-12-04 | Ichikawa Shiseidou Kk | Detecting means for flow rate in area flow meter |
| JPS57148214A (en) * | 1981-03-11 | 1982-09-13 | Fuji Denki Erumesu Kk | Flow rate measuring device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207963A (en) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Fluid supply monitoring device and substrate processing apparatus |
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