JPS62184745U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62184745U JPS62184745U JP7266286U JP7266286U JPS62184745U JP S62184745 U JPS62184745 U JP S62184745U JP 7266286 U JP7266286 U JP 7266286U JP 7266286 U JP7266286 U JP 7266286U JP S62184745 U JPS62184745 U JP S62184745U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- engaging member
- engaging
- storage body
- wafer storage
- rear side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
Description
第１図は移動手段に連結されをウエハ収納体吊
下用の係合部材の形状を示す斜視図である。第２
図はウエハ収納体上面側に固設された係合部材の
形状を示す斜視図である。第３図は従来技術に係
る係合部材を示す斜視図である。 １，２０：係合部材、２，３０：補強部材、４
：ウエハ収納体、１３，２１：係合部位、１３ａ
，２１ａ：係合位置。
下用の係合部材の形状を示す斜視図である。第２
図はウエハ収納体上面側に固設された係合部材の
形状を示す斜視図である。第３図は従来技術に係
る係合部材を示す斜視図である。 １，２０：係合部材、２，３０：補強部材、４
：ウエハ収納体、１３，２１：係合部位、１３ａ
，２１ａ：係合位置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一の係合部材と他の係合部材を互いに係合
させ、前記係合部材の一側に固設されたウエハ収
納体の移動又は中空保持を行う係合部材において
、他の係合部材との係合面の背面側に、該係合位
置に対応する背面側部位を跨ぐ如く補強部材を固
着させた事を特徴とする係合部材。 (2) 前記係合部材がウエハ収納体側に固設され
ている実用新案登録請求の範囲第１項記載の係合
部材。 (3) 前記係合部材がウエハ収納体を移動させる
移動手段側に連結されている実用新案登録請求の
範囲第１項記載の係合部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7266286U JPS62184745U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7266286U JPS62184745U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184745U true JPS62184745U (ja) | 1987-11-24 |
Family
ID=30916309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7266286U Pending JPS62184745U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184745U (ja) |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP7266286U patent/JPS62184745U/ja active Pending