JPS62182636A - Diaphragm type vacuum gauge - Google Patents
Diaphragm type vacuum gaugeInfo
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- JPS62182636A JPS62182636A JP2448186A JP2448186A JPS62182636A JP S62182636 A JPS62182636 A JP S62182636A JP 2448186 A JP2448186 A JP 2448186A JP 2448186 A JP2448186 A JP 2448186A JP S62182636 A JPS62182636 A JP S62182636A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ダイアフラム型真空計の＊ ３ｍの改良に関
するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to an improvement of *3m in a diaphragm type vacuum gauge.
（従来の技術）
真空室の真空度を測定する手段としてダイアフラム型真
空計は周知である。第２図にはこの種のダイアフラム型
真空計の構成が示されている。(Prior Art) A diaphragm type vacuum gauge is well known as a means for measuring the degree of vacuum in a vacuum chamber. FIG. 2 shows the construction of this type of diaphragm type vacuum gauge.
図において、計器枠体１の一方壁面にはパイプ状の接続
部２が外方へ突設されており、該接続部２は真空室（真
空作業室）３に接続され、該真空室３と計器枠体１は測
定孔（接続部２のパイプ孔）４を通して連通している。In the figure, a pipe-shaped connection part 2 is provided on one wall of an instrument frame 1 and protrudes outward, and the connection part 2 is connected to a vacuum chamber (vacuum work chamber) 3. The instrument frame 1 communicates through a measurement hole (pipe hole of the connection part 2) 4.
そして、計器枠木１内はダイアフラム５によって連通室
６と低真空室１５に、また電極８によって低真空室１５
と回路収容室７に気密隔絶されている。The inside of the instrument frame 1 is connected to the communication chamber 6 and the low vacuum chamber 15 by the diaphragm 5, and the low vacuum chamber 15 is connected to the low vacuum chamber 15 by the electrode 8.
It is hermetically isolated from the circuit housing chamber 7.
回路収容室７内には真空度検出手段を構成する電極８と
電気回路９とが収容されている。The circuit housing chamber 7 accommodates an electrode 8 and an electric circuit 9 that constitute vacuum degree detection means.
電ｆ！８は絶縁部材１０を介して計器枠体１の内壁面に
固定されており、その電極８の面は一定の間隙を介して
ダイアフラム５に対向させである。Electric f! 8 is fixed to the inner wall surface of the instrument frame 1 via an insulating member 10, and the surface of the electrode 8 is opposed to the diaphragm 5 with a predetermined gap therebetween.
″Ｃ，極８には正の電圧が印加され、また、ダイアフラ
ム５はアース接続されている。そしてダイアフラム５と
電極８によってコンデンサが形成されている。つまり、
電極８は、真空室３内の圧力変化に対応して撓むダイア
フラム５の撓み量を静電容量の変化として検出するもの
である。A positive voltage is applied to the electrode 8, and the diaphragm 5 is grounded.The diaphragm 5 and the electrode 8 form a capacitor.
The electrode 8 detects the amount of deflection of the diaphragm 5, which is deflected in response to a change in pressure within the vacuum chamber 3, as a change in capacitance.
そして、該電１ｆ！８による容量変化の検出信号は電気
回路９ｊ＼加えられる。And that electric 1f! A capacitance change detection signal by 8 is applied to an electric circuit 9j\.
該電気回路９は入力端子１３から加えられる駆動電源に
よって動１ヤし、前記電険８から加えられた検出信号を
信号処理し、検出信号の静電容量に対応した値（例えば
電圧値）を有する真空度の測定信号を出力端子１４から
図示されていない表示器等へ送るものである。The electric circuit 9 is operated by a drive power applied from an input terminal 13, processes the detection signal applied from the electric wire 8, and generates a value (for example, a voltage value) corresponding to the capacitance of the detection signal. A measurement signal of the degree of vacuum is sent from the output terminal 14 to a display device (not shown) or the like.
したがって、この種のダイアフラム型真空計によれば、
真空室３の真空圧の変化に対応してダイアフラム５が撓
み、これに伴いダイアフラム５と電極８との間隙が変１
ヒするから、結局電極８の静電容量が変１ヒする。つま
り、真空室３内の真空圧が電極８の静電容量値として検
出される。Therefore, according to this kind of diaphragm type vacuum gauge,
The diaphragm 5 bends in response to changes in the vacuum pressure in the vacuum chamber 3, and the gap between the diaphragm 5 and the electrode 8 changes accordingly1.
As a result, the capacitance of the electrode 8 changes. That is, the vacuum pressure within the vacuum chamber 3 is detected as the capacitance value of the electrode 8.
したがって、電気回路９によって処理された測定信号を
表示器へ送ることにより、該表示器の表示部に真空室３
内の真空度が表示されるのであるしかしながら、この種
のダイアフラム型真空計においては、計器枠体１の周囲
の温度が変１ヒすると該計器枠体１の寸法変化等に起因
してダイアフラム５が撓み、真空室３内の真空度が変化
しないらかかわらず、あなから真空度が変化したかのよ
うに電１函８の静電容量が変１ヒしてしまう。Therefore, by sending the measurement signal processed by the electric circuit 9 to the display, the display section of the display shows the vacuum chamber 3.
However, in this type of diaphragm type vacuum gauge, when the temperature around the instrument frame 1 changes, the diaphragm 5 is bent, and even if the degree of vacuum inside the vacuum chamber 3 does not change, the capacitance of the electric box 8 changes as if the degree of vacuum had changed from inside.
そのため、真空室３内の真空度を正確に測定できないと
いう問題がある。このような問題を解消するために、通
常、ダイアフラム型真空計の所望位置にヒータと温度制
御装置とを設け、真空度測定中（ダイアフラム型真空計
の動１ヤ中）は、該ダイアフラム型真空計の温度を一定
に保つようにしている。Therefore, there is a problem that the degree of vacuum inside the vacuum chamber 3 cannot be accurately measured. In order to solve such problems, a heater and a temperature control device are usually installed at desired positions of the diaphragm vacuum gauge, and during vacuum measurement (during the movement of the diaphragm vacuum gauge), the diaphragm vacuum gauge is The temperature of the meter is kept constant.
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記のように、電気回路系で温度制御を
行う場合、かなり激しく温度変１ヒする環境下にあって
は、ダイアフラム型真空計の温度（特にダイアフラム５
の近所の温度）を真空度測定中、常時、一定に保つのが
困難であり、信頼性の高い高精度の真空度測定が難しい
という問題があった。本発明は上記υＣ宋の問題点を解
決するためになされたものであり、その目的は、周囲の
温度変１ヒの悪影響を受けることなく信頼性の高い真空
度測定を行うことができるダイアフラム型真空計を提１
共することにある。(Problem to be Solved by the Invention) However, as mentioned above, when temperature control is performed using an electric circuit system, the temperature of the diaphragm type vacuum gauge (especially the diaphragm 5
There was a problem in that it was difficult to keep the temperature in the vicinity of the vacuum constant at all times during the measurement of the degree of vacuum, and it was difficult to measure the degree of vacuum with high reliability and accuracy. The present invention was made in order to solve the problems of the above-mentioned υC song, and its purpose is to develop a diaphragm type that can perform highly reliable vacuum measurement without being adversely affected by changes in ambient temperature. Insert the vacuum gauge 1
It's about sharing.
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するために、次のように構成さ
れている。即ち、本発明は真空室に連通ずる測定孔が設
けられた計器枠木と、この計器枠木内に配設され真空室
内の真空圧の変１ヒに対応して撓み変形するダイアフラ
ムと、このダイアフラムの変形量を検出し真空度の測定
信号を出力する真空度検出手段とを有するダイアフラム
型真空計において、前記計器枠木は真空空間を介し遮蔽
枠体によって覆われているダイアフラム型真空計である
。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. That is, the present invention provides an instrument frame provided with a measurement hole that communicates with a vacuum chamber, a diaphragm disposed within the instrument frame that bends and deforms in response to changes in vacuum pressure within the vacuum chamber, and this diaphragm. A diaphragm-type vacuum gauge has vacuum degree detection means for detecting the amount of deformation of the vacuum gauge and outputting a vacuum degree measurement signal, and the instrument frame is covered by a shielding frame body through a vacuum space. .
（作 用）
上記（１・１成からなる本発明において、真空室の真空
度測定はｂｔ来例と同様な作用によって行われるただし
、本発明においては、真空室の真空度測定中に周囲の温
度変１ヒがあっても、計器枠体は真空室間を介して遮蔽
枠体によって覆われているので１．１１器枠体、すなわ
ち、ダイアフラムは周囲の温度から断熱されており、こ
のため、周囲の温度変化によってダイアフラムが撓み変
形を行うことがほとんどない、このように、本発明によ
れば、周囲の温度変１ヒの悪影響を受けることのない正
確な、かつ、信頼性の高い真空度測定が可能となるもの
である。(Function) In the present invention consisting of the above (1.1), the degree of vacuum in the vacuum chamber is measured by the same function as in the bt conventional example. Even if there is a temperature change, the instrument frame is covered by the shielding frame between the vacuum chambers.1.11 The instrument frame, that is, the diaphragm, is insulated from the surrounding temperature; The diaphragm hardly undergoes flexural deformation due to changes in ambient temperature.As described above, according to the present invention, an accurate and reliable vacuum that is not adversely affected by changes in ambient temperature can be achieved. This makes it possible to measure the temperature.
（実 施 例）
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。な
お、本実施例の説明において、従来例と同一の構成部分
は同一符号を付してその説明を省略する。第１図には本
発明の一実施例の構成が示されている。本実施例におい
て特徴的なことは、計器枠体１が真空空間１１を介して
遮蔽枠体１２によって覆われていることである。このた
め、周囲の温度が変化しても真空空間１１が断熱層とし
て機能するから、周囲の温度変化が計器枠木１におよぼ
すことはほとんどない。(Example) Hereinafter, one example of the present invention will be described based on the drawings. In the description of this embodiment, the same components as those of the conventional example are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of the present invention. A feature of this embodiment is that the instrument frame 1 is covered with a shielding frame 12 with a vacuum space 11 in between. Therefore, even if the ambient temperature changes, the vacuum space 11 functions as a heat insulating layer, so that ambient temperature changes hardly affect the instrument frame 1.
つまり、周囲の温度が激しく変１ヒしてもこれに影響さ
れることなく、計器枠体１の温度はほぼ同一温度に保た
れる。この結果、周囲の温度変化によってダイアフラム
５が撓み変形をおこすことがほとんどなく、したがって
、ダイアフラム５は真空室３の圧力変化にのみ対応して
撓み変形を行うこととなり、これにより、真空室３内の
真空度を正確かつ安定に測定することが可能となる。In other words, even if the ambient temperature changes drastically, the temperature of the instrument frame 1 is maintained at approximately the same temperature without being affected by this. As a result, the diaphragm 5 hardly bends or deforms due to changes in ambient temperature, and therefore the diaphragm 5 bends only in response to pressure changes in the vacuum chamber 3. It becomes possible to measure the degree of vacuum accurately and stably.
（発明の効果）
本発明は以上説明したような構成と作用とを有している
ので、ダ、イアフラム型真空計の温度変１ヒによる測定
誤差を極めて少なくすることができ、これにより正確な
、かつ、信顆性の高い真空度測定と行うことが可能とな
る。(Effects of the Invention) Since the present invention has the configuration and operation as explained above, it is possible to extremely reduce measurement errors due to temperature changes in the diaphragm type vacuum gauge, thereby ensuring accurate measurement. In addition, it becomes possible to measure the degree of vacuum with high reliability.
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来例の
構成図である。
１・・・・・・計器枠体、 ２・・・・・・接続部、
３・・・・・・真空室、 ４・・・・・・測定孔、 ５
・・・・・・ダイアフラム、６・・・・・・連通室、
７・・・・・・回路収容室、８・・・・・・電極９・・
・・・・電気回路、 １０・・・・・・絶縁部材、 １
１・・・・・・真空空間、 １２・・・・・・遮蔽枠体
、 １３・・・・・・入力端子、 １４・・・・・・出
力端子、 １５・・・・・・低真空室。
率７図
率 ２ 図FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a conventional example. 1...Instrument frame body, 2...Connection part,
3... Vacuum chamber, 4... Measurement hole, 5
...Diaphragm, 6...Communication chamber,
7...Circuit accommodation chamber, 8...Electrode 9...
...Electric circuit, 10...Insulating member, 1
1... Vacuum space, 12... Shielding frame, 13... Input terminal, 14... Output terminal, 15... Low vacuum Room. Rate 7 Figure Rate 2 Figure
Claims (1)
計器枠体内に配設され真空室内の真空圧の変化に対応し
て撓み変形するダイアフラムと、このダイアフラムの変
形量を検出し真空度の測定信号を出力する真空度検出手
段とを有するダイアフラム型真空計において、前記計器
枠体は真空空間を介し遮蔽枠体によって覆われているこ
とを特徴とするダイアフラム型真空計。An instrument frame with a measurement hole communicating with the vacuum chamber, a diaphragm disposed inside the instrument frame that bends and deforms in response to changes in the vacuum pressure in the vacuum chamber, and detects the amount of deformation of the diaphragm and detects the vacuum. 1. A diaphragm type vacuum gauge comprising a degree of vacuum detection means for outputting a degree of vacuum measurement signal, wherein the instrument frame is covered with a shielding frame through a vacuum space.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2448186A JPS62182636A (en) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | Diaphragm type vacuum gauge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2448186A JPS62182636A (en) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | Diaphragm type vacuum gauge |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182636A true JPS62182636A (en) | 1987-08-11 |
Family
ID=12139373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2448186A Pending JPS62182636A (en) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | Diaphragm type vacuum gauge |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62182636A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0315732A (en) * | 1988-12-19 | 1991-01-24 | Ivac Corp | Pressure measuring device |
| JP2000321161A (en) * | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Anelva Corp | Capacitance-type vacuum sensor |
| JP2007124814A (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Shinko Electric Co Ltd | Console table |
| KR100806960B1 (en) | 2006-08-31 | 2008-02-22 | 한국표준과학연구원 | Vacuum gauge using hot plate and cantilever |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5827748B2 (en) * | 1978-03-15 | 1983-06-11 | 松下電工株式会社 | Coreless motor rotor |
-
1986
- 1986-02-06 JP JP2448186A patent/JPS62182636A/en active Pending
Patent Citations (1)
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| JP2007124814A (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Shinko Electric Co Ltd | Console table |
| KR100806960B1 (en) | 2006-08-31 | 2008-02-22 | 한국표준과학연구원 | Vacuum gauge using hot plate and cantilever |
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