JPS62177035U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62177035U JPS62177035U JP6389786U JP6389786U JPS62177035U JP S62177035 U JPS62177035 U JP S62177035U JP 6389786 U JP6389786 U JP 6389786U JP 6389786 U JP6389786 U JP 6389786U JP S62177035 U JPS62177035 U JP S62177035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- wafer storage
- capturing
- storage jig
- engaged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図乃至第３図は、本考案の一実施例を示す
構成図である。第４図は、該実施例の使用状態図
である。第５図乃至第７図は従来例を示す図であ
る。
構成図である。第４図は、該実施例の使用状態図
である。第５図乃至第７図は従来例を示す図であ
る。
補正 昭６１．８．１９
図面の簡単な説明を次のように補正する。
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は、本考案の一実施例を示す
構成図である。第４図は、該実施例の使用状態図
である。第５図乃至第７図は従来例を示す図であ
る。
構成図である。第４図は、該実施例の使用状態図
である。第５図乃至第７図は従来例を示す図であ
る。
Claims (1)
- ウエハを収納する治具であつて、該ウエハ収納
治具を捕捉する捕捉手段が係合し得る係合部を設
けたことを特徴とするウエハ収納治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6389786U JPS62177035U (ja) | 1986-04-26 | 1986-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6389786U JPS62177035U (ja) | 1986-04-26 | 1986-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62177035U true JPS62177035U (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=30899551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6389786U Pending JPS62177035U (ja) | 1986-04-26 | 1986-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62177035U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8987408B2 (en) | 2005-06-16 | 2015-03-24 | Grupo Petrotemex, S.A. De C.V. | High intrinsic viscosity melt phase polyester polymers with acceptable acetaldehyde generation rates |
| US9267007B2 (en) | 2005-09-16 | 2016-02-23 | Grupo Petrotemex, S.A. De C.V. | Method for addition of additives into a polymer melt |
-
1986
- 1986-04-26 JP JP6389786U patent/JPS62177035U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8987408B2 (en) | 2005-06-16 | 2015-03-24 | Grupo Petrotemex, S.A. De C.V. | High intrinsic viscosity melt phase polyester polymers with acceptable acetaldehyde generation rates |
| US9267007B2 (en) | 2005-09-16 | 2016-02-23 | Grupo Petrotemex, S.A. De C.V. | Method for addition of additives into a polymer melt |