JPS62177032U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62177032U JPS62177032U JP5156686U JP5156686U JPS62177032U JP S62177032 U JPS62177032 U JP S62177032U JP 5156686 U JP5156686 U JP 5156686U JP 5156686 U JP5156686 U JP 5156686U JP S62177032 U JPS62177032 U JP S62177032U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- groove
- heat treatment
- grooves
- width
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
Description
第１図は本考案の一実施例の熱処理用ボートの
正面図、第２図ａは従来のボートの正面図、ｂは
同ボートのＡ―Ａ′断面図、ｃは同ボートの基底
部の他の実施例の断面図。 １…ボート、２ａ，２ｂ，１２ｂ…溝、３…ウ
エハ、４ａ…支持板、４ｂ，６Ａ，６Ｂ…支持棒
、５…連結棒。
正面図、第２図ａは従来のボートの正面図、ｂは
同ボートのＡ―Ａ′断面図、ｃは同ボートの基底
部の他の実施例の断面図。 １…ボート、２ａ，２ｂ，１２ｂ…溝、３…ウ
エハ、４ａ…支持板、４ｂ，６Ａ，６Ｂ…支持棒
、５…連結棒。
Claims (1)
- ３点以上の支持点を有し、基底部支持体の溝と
上部支持棒の溝が垂直同一面内に配置されたウエ
ハ熱処理用ボートにおいて、上記支持棒の溝幅を
基底部支持体の溝幅よりも広くしたことを特徴と
するウエハ熱処理用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5156686U JPS62177032U (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5156686U JPS62177032U (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62177032U true JPS62177032U (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=30875947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5156686U Pending JPS62177032U (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62177032U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS598055A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 命令語処理方法 |
-
1986
- 1986-04-08 JP JP5156686U patent/JPS62177032U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS598055A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 命令語処理方法 |