JPS62174889A - 照明条件解析方法および装置 - Google Patents

照明条件解析方法および装置

Info

Publication number
JPS62174889A
JPS62174889A JP61014951A JP1495186A JPS62174889A JP S62174889 A JPS62174889 A JP S62174889A JP 61014951 A JP61014951 A JP 61014951A JP 1495186 A JP1495186 A JP 1495186A JP S62174889 A JPS62174889 A JP S62174889A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lighting
illumination
sample
brightness
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61014951A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahito Nakajima
雅人 中島
Yushi Inagaki
雄史 稲垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP61014951A priority Critical patent/JPS62174889A/ja
Publication of JPS62174889A publication Critical patent/JPS62174889A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Image Input (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 物体の形状や表面に描かれた図形を認識する際の最適照
明条件を知る方法および装置であり、点滅および輝度が
制御される複数個の照明素子をキャップ形状に配設した
照明部に照明された該試料の像を撮影し、該撮影像から
撮影像内に予め設定した所望位置の明るさを検出し、該
検出情報から照明条件を評価解析する方法および装置で
ある。
〔産業上の利用分野〕
本発明は照明条件解析方法および装置、特に図面や物体
等を視覚により認識する装置における最適照明条件を知
る解析方法および装置に関する。
図面(WJ像)や物体等の各種試料の欠陥等を検出する
認識装置、例えばキーボードに設けたキートップの配列
を検査する装置、ICの表示やり一ド端子を検査する装
置等において、照明光の方向と明るさは、該試料の光学
的性状との相関のもとに視覚認識装置の性能に大きく影
響する。
成る試料の表面に照明光を投射し、該表面に形成された
図面のコントラストが不鮮明なとき、照明光を適当な角
度に傾斜させることで、鮮明なコントラストが得られる
ことは、通常の生活経験の中でも知られている。即ち、
鏡面状物体の表面に刻印された文字を視覚認識するとき
は、明視野照明で見たとき鮮明なコントラストが得られ
る反面、光散乱面上の文字を視覚認識するときは、暗視
野照明で見た方が鮮明なコントラストが得られる。
このように、照明光の方向によって認識確度と精度が大
きく異なるため、照明条件を評価解析する方法および装
置が要望されるようになった。
〔従来の技術と発明が解決しようとする問題点〕しかし
、従来の前記認識装置等において、各試料に対し照明の
最適条件を設定する明確な方法および装置が存在しない
ため、照明条件の設定はその都度作業者が観察しながら
設定していた。
特に複数方向からの照明が最適であり、かつ、1つの試
料について認識対象により照明の切り換えが望ましいと
きは、装置の操作が極めて煩わしいため、評価解析が適
正に行えないことがあるという問題点があった。
C問題点を解決するための手段〕 第1図は本発明の第1の実施例に係わる照明条件解析方
法および装置構成例を説明するためのシステム図、第2
図は第1図に示す照明部本体の外観を示す斜視図である
第1図において、1は測定対象となる試料、2は試料1
を搭載した基板、3は照明部、4は撮像部、5は照明部
3の制御部、6は撮像部4が撮影した画像内で明るさの
計測点を指示する指示部、7は該明るさを計測する測定
部、8は明るさの測定値を演算処理する演算処理部、9
は照明条件解析装置を制御する制御部である。照明部3
の照明部本体10は第2図に示すように、複数個の照明
素子101を具えている。
上記問題点は第1図および第2図によれば、複数個の照
明素子101を選択的に制御する照明部3、で試料1を
照明し、該照明による試料1の像を撮影し、該撮影像の
所望点における明るさを計測して、試料1の照明条件と
該撮影像の明視度との関係を知ることを特徴とし、 さらに、照明素子101の制御が照明素子101の点滅
と輝度を変化させることによって行なうこと、および、
前記撮影像の計測点が複数個所であり、前記明視度が該
複数個所での明るさ測定値を演算処理した値であること
を特徴とする、照明条件解析方法、 並びに、測定試料1を搭載する基板2と、複数個の照明
素子101を内側に向けて配設しキャップ形状の照明部
3と、照明素子101を選択的に制御tIHする照明制
御部5と、照明部3に照明された試料1を撮影する撮像
部4と、その撮像内でその明るさ検出する計測点を指示
する計測点指示部6と、該測定点の明るさを測定する測
定部7と、測定部7の測定値を演算処理する演算処理部
8とを具えてなること、 さらに、基Mi2が透明基板であり、一対の照明部3で
基板2を挟むように配設してなること、および、照明部
3が四方の4面と上面とにそれぞれ複数個の照明素子1
01を配設した角形のキャップ形状の照明部本体を具え
てなること、照明部3がドーム状に複数個の照明素子1
01を配設したキャップ形状の照明部本体を具えてなる
ことを特徴とする照明条件解析装置により解決される。
〔作用〕
上記手段によれば、所望の方向と輝度で試料を照明し試
料の明視度を測定することで、最適照明条件の設定が可
能となり、その結果を各種視覚認識装置等に適用するこ
とで該装置の測定値が安定し信頼性の向上が図れると共
に、該装置の操作が容易になり視覚認識試験の作業性が
効率化することができた。
〔実施例〕
以下に、図面を用いて本発明の照明条件解析方法および
装置を説明する。
第1図において、基板2に搭載し試料1を覆う照明部3
は、試料1の四方を囲うa −y d面および試料1の
上方を覆うe面にそれぞれ複数個の照明素子(LED)
を配設した本体10と、e面の中央の開口11に対向す
るハーフミラ−12と、ハーフミラ−12の側方に配設
した照明素子(LED)13にてなり、撮像部4はハー
フミラ−12の上方に対向し設置される。
照明制御部5は、照明部3に接続されるプログラマブル
電源群13と、装置制御部9に接続された照明素子アド
レス回路14と、電!13a〜13eとアドレス回路1
4とに接続したD/Aコンバータ15と、アドレス回路
14とコンバータ15とに接続した照明光分布メモ1月
6および、アドレス回路14とメモリ16とに接続した
照明制御系17を具えてなる。
電源群13は、照明部本体10の3面に配設した照明素
子を点灯させるプログラマブル電源13a、同す面に配
設した照明素子を点灯させるプログラマブル電源13b
、同C面に配設した照明素子を点灯させるプログラマブ
ル電源13C1同d面に配設した照明素子を点灯させる
プログラマブル電源13d、同C面に配設した照明素子
を点灯させるプログラマブル電源13eにてなる。
指示部6は、撮像部(カメラ)4および測定部7に接続
された画像メモリ18と、画像メモリ18に接続された
ディスプレイ19と、メモリ18とディスプレイ19と
に接続した明るさ測定位置指示部20と、測定部7と装
置制御部9および指示部20とに接続された指示アドレ
スメモリ21とを具えてなる。
さらに、測定部7は演算部8および装置制御部9に接続
し、演算部8は装置制御部9と出力回路22に接続し、
出力回路22は装置制御部9と接続されている。
第2図の実施例において、照明部本体10の枠体102
が形成し直立するa −d面のそれぞれには、縦5列、
横7列に照明素子(L E D :L4ght Emj
tt’edDiode等)101が内側を向いて配設し
、a −d面の上辺に跨るe面は、中央の1箇所を除い
て縦、横7列にL E D 101が内側を向いて配設
しである。
そして、各LED1011$個々に位置付け(アドレス
)、例えばa w d面について最下列の左端から10
1□〜101 r ”r、次いで下より2列目は101
□1〜101□7.最上列について10Ls1〜101
stの如(位置付けし、e面については3面と接する左
端から101、I〜101 l?+次いで2列目は10
1□1〜101□?+d面に接する列の左端から101
 ? I〜1017?の如く位置付けしてあり、かつ、
対応する電源13a〜13eに接続されている。
第3図(イ) 、 (IT)は測定試料の一例とその明
るさ測定点の指定例を示す斜視図、第4図(イ) 、 
(o) 、 (ハ)は第2図に示す照明部本体の照明素
子を点灯するパラメータの実施例を示す斜視図である。
第3図において、取付板23に搭載された試料1は文字
Tを表示するキートップであり、試料1を搭載した取付
板23は基板2に搭載し、照明部3にてL E D10
L13を適宜に点灯すると、試料1および取付板23の
像は、撮像部4を介してディスプレイ19に写し出され
る。
そこで、例えば第3図(イ)に示す如くキートップ1の
文字T内の点A1文字Tの周囲の点B、キートップ1の
端部の点C1取付板23の表面の点D、または第3図(
ロ)に示す如くキートップ1の文字T内の点A01文字
Tの周囲の点B、〜B4+取付板23の表面の点D1〜
D4は、ディスプレイ19に写された撮影像を見て、測
定位置指示部(ライトペン等)20により指定する。
すると、該指定はアドレスメモリ21に記憶され、該記
憶情報に基づき画像メモリ18内で各指定測定点の明る
さを、測定部7が測定する。
一方、照明部3の各LEDIOIおよび13は、照明制
御部5により選択されたものの点灯および輝度調整が可
能、即ち照明制御系17に入力した情報に基づいてアド
レス回路14は所定のL E D 101.13を点灯
し、コンバータ15は該点灯LEDの輝度を調整する。
その結果、全L E DIOI、13を同時に所定の輝
度で点灯させたり、第4図に示す如く所定0LED10
1.13を選択的に点滅、および該選択点滅が適宜の時
間間隔で変化するようにできる。
点灯LEDIOIに斜線を書き込んだ第4図において、
(イ)は基板2と並行する平面上に配置されたLEDI
OI群だけを点灯させた図、(ロ)は基板2に直立する
コ字形にLEDIOIを点灯させた図、(ハ)は基板2
の上方から環状にLEDIOIを点灯させた図であり、
当然のことながら(イ)+(0)+(ハ)を組み合わせ
た点灯および該点灯に輝度調整を含む制御が可能である
第5図≠≠由*−酵はキートップ1の測定点A〜Dにつ
き照明部3の照明条件をα、α2.α3の3段階に変え
て得た明るさの測定値を増幅出力電圧で示す図、第6図
は該測定値より各照明条件別にコントラスト比を演算部
8が算出した結果の図、第7図は多数個のキートップ1
につき該測定点別にヒストグラムを演算部8が算出した
結果の図である。
第5図において、縦軸は測定点A−D、横軸は照明条件
α1.α2.αコであり、該縦軸と横軸の交点に記載し
た測定値(V)は、黒色表示の文字内の測定点Aが照明
条件の変化に係わらずほぼ一定であるのに対し、他の測
定点B−Dは照明条件の変化によって変動している。
第6図において、(イ)は照明条件αl、(CI)は照
明条件α21(ハ)は照明条件α3に係わり、縦軸と横
軸はそれぞれ測定点A−Dであり、縦軸と横軸の相互間
のコントラスト比をその交点に記載したものである。
そこで、測定点AとBに注目し文字Tが最も明確に判別
できる(コントラスト比が最大値)照明条件は、照明条
件α3であり、測定点AとDに注目し文字Tが最も明確
に判別できる照明条件は、照明条件α1であることが、
第6図より判明できる。
第7図は明るさ測定値を演算処理して得たヒストグラム
の一例である。
多数個のキートップ1につき各測定点A−Dの明るさの
度数分布を示す第7図において、縦軸は度数、横軸は照
明条件の変化を含む明るさの測定値であり、第7図より
キートップ1の表示文字Tの明るさ分布特性を知ること
ができる。
第8図は本発明の第2の実施例に係わる装置の照明部を
示す斜視図、第9図は本発明の第3の実施例に係わる装
置の照明部を示す斜視図、第10図は本発明の第4の実
施例に係わる装置の照明部を示す斜視図である。
前出図と共通部分に同一符号を使用した第8図において
、照明部31は本体32とハーフミラ−12と照明素子
13にてなり、装置基板(2)に搭載される本体32は
、該基板の中央に搭載した試料(1)の周側を囲う円筒
面33と、円筒1’fii33の上端を塞ぐ円形面34
とに、内側を向いた複数個のL E D 101を配設
してなる。ただし、円形面34は中央に開口35を設け
てあり、開口35に対向するハーフミラ−12の側方に
発光素子13が対向し、ハーフミラ−12の上方に撮像
部4が対向するように設けられる。
このように構成された照明部本体32は、第1図の照明
部本体10と置換したとき、測定試料1を照明する側方
からの光強度が均一化される、即ち照明部本体10は角
形であるため、垂直面a −dは横方向の中央に位置す
るL E D 101 と端部に位置するLEDlol
とでは、同じ高さレベルにあっても試料1からの距離が
異なるため、同一輝度にしたとき試料1を照らす光強度
に差が生じるが、照明部本体32は、そのような光強度
差を生じないという利点がある。
前出図と共通部分に同一符号を使用した第9図において
、照明部41は本体42とハーフミラ−12と照明素子
13にてなり、装置基板(2)に搭載される本体とは、
中央に開口43を有するドーム形状であり、該ドーム形
状に内側を向いた複数個のLEDlolを配設してなる
。そして、開口43に対向するハーフミラ−12の側方
に発光素子13が対向し、ノ1−フミラー12の上方に
撮像部4が対向するように設けである。
このように構成された照明部本体42を、第1図の照明
部本体10と置換したとき、該ドーム形状の中心部に試
料(1)を配置すれば、全LEDIOIは該試料からほ
ぼ等距離となり、照明部本体32よりもさらに均等な照
明光で試料を照明することができる。
前出図と共通部分に同一符号を使用した第10図におい
て、照明部51は開口43を有するドーム形状の照明本
体42と、完全なドーム形状の照明本体52と、照明本
体42と52とで挟む透明基板53と、ハーフミラ−1
2および照明素子13にてなり、照明本体42と52ハ
内側を向いた複数個0LEDIOIを配設してなる。そ
して、開口43に対向するハーフミラ−12の側方に発
光素子13が対向し、ハーフミラ−12の上方に撮像部
4が対向するように設けである。
このように構成された照明部51を、第1図の基板2お
よび照明部3と置換し、透明基板53の中心部に試料(
1)を配置すれば、該試料(1)は照射照明光および透
過照明光の双方で撮像可能となり、前記実施例装置より
もさらに広い範囲の照明条件に対応する解析が可能であ
る。
なお、上記実施例において演算処理部8は所要の演算機
能、例えば標準偏差の演算機能を具えることにより、所
要値を即座に知ることができることを付記する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明方法および装置によれば、最
適照明条件の設定が可能となり、その結果を各種視覚認
識装置等に適用することで該装置の測定値が安定化し信
頼性の向上が図れると共に、複雑な照明条件を実現する
ことができ、また、該装置の操作が容易になり視覚認識
試験の作業性を効率化した効果が顕著である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例に係わる照明条件解析方
法および装置構成例を説明するためのシステム図、 第2図は第1図に示す照明部本体の外観を示す斜視図、 第3図(() 、 ([1)は測定試料の一例とその明
るさ測定点の指定例を示す斜視図、 第4図(イ) 、 (0) 、 (++)は第2図に示
す照明部本体の照明素子を点灯するパラメータの実施例
を示す斜視図、 第5図#≠*中##は撮像の所定点の明るさ測定例を示
す図、 第6図は第f図の測定例の演算処理例を示す図、第7図
は明るさ測定値を演算処理して得たヒストグラムの一例
、 第8図は第2の実施例になる装置の照明部を示す斜視図
、 第9図は第3の実施例になる装置の照明部を示す斜視図
、 第10図は第4の実施例になる装置の照明部を示す斜視
図、 である。 図中において、 1はキートップ(試料) 2.53は試料塔載基板、 3.31,41.51は照明部、 4は撮像部(カメラ)、 5は照明部の制御部、 6は明るさ計測点の指示部、 7は明るさ測定部、 8は測定値の演算処理部、 9は装置全体の制御部、 10.32.42は照明部本体、 13、101はLED (照明素子)、A −’Dは明
るさ計測点、 を示す。 代理人 弁理士 井 桁 貞 − ネ1 図 θ\) X7図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定基板に試料を搭載し、該試料に対向する照明
    部の複数個の照明素子を照明制御部が選択的に制御し、
    選択された該照明素子の照明による該試料の像を撮影し
    、該撮影像の所望点における明るさを測定して、該試料
    の照明条件と該撮影像の明視度との関係を計測すること
    を特徴とする照明条件解析方法。
  2. (2)前記照明素子の制御が照明素子の点滅ならびに点
    灯時の輝度を変化させることを特徴とする前記特許請求
    の範囲第1項記載の照明条件解析方法。
  3. (3)前記撮影像の計測点が複数個所であり、前記明視
    度が該複数個所での明るさ測定値を演算処理した値であ
    ることを特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の照
    明条件解析方法。
  4. (4)測定試料を搭載する基板と、該試料に対向する複
    数個の照明素子を配設したキャップ形状の照明部と、該
    照明素子を選択的に制御する照明制御部と、該照明部に
    照明された該試料を撮影する撮像部と、該撮影像内でそ
    の明るさ検出する測定点を指示する測定点指示部と、該
    測定点の明るさを測定する測定部と、該測定部の測定値
    を演算処理する演算処理部とを具えてなることを特徴と
    する照明条件解析装置。
  5. (5)前記基板が透明基板であり、一対の前記照明部で
    該基板を挟むように配設してなることを特徴とする前記
    特許請求の範囲第4項記載の照明条件解析装置。
  6. (6)前記照明部が四方の4面と上面とにそれぞれ複数
    個の前記照明素子を配設した角形のキャップ形状の照明
    部本体を具えてなることを特徴とする前記特許請求の範
    囲第4項記載の照明条件解析装置。
  7. (7)前記照明部がドーム状に複数個の前記照明素子を
    配設したキャップ形状の照明部本体を具えてなることを
    特徴とする前記特許請求の範囲第4項記載の照明条件解
    析装置。
JP61014951A 1986-01-27 1986-01-27 照明条件解析方法および装置 Pending JPS62174889A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61014951A JPS62174889A (ja) 1986-01-27 1986-01-27 照明条件解析方法および装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61014951A JPS62174889A (ja) 1986-01-27 1986-01-27 照明条件解析方法および装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62174889A true JPS62174889A (ja) 1987-07-31

Family

ID=11875282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61014951A Pending JPS62174889A (ja) 1986-01-27 1986-01-27 照明条件解析方法および装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62174889A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996011392A1 (fr) * 1994-10-06 1996-04-18 Advantest Corporation Automate programmable et son procede de mise en application dans la mesure de dispositifs
JP2002277406A (ja) * 2001-03-14 2002-09-25 Saki Corp:Kk 外観検査方法および装置
JP2008215943A (ja) * 2007-03-01 2008-09-18 Ntn Corp 照明装置およびパターン修正装置
JP2021105628A (ja) * 2019-12-26 2021-07-26 株式会社Rutilea 物品撮影装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996011392A1 (fr) * 1994-10-06 1996-04-18 Advantest Corporation Automate programmable et son procede de mise en application dans la mesure de dispositifs
JP2002277406A (ja) * 2001-03-14 2002-09-25 Saki Corp:Kk 外観検査方法および装置
JP2008215943A (ja) * 2007-03-01 2008-09-18 Ntn Corp 照明装置およびパターン修正装置
JP2021105628A (ja) * 2019-12-26 2021-07-26 株式会社Rutilea 物品撮影装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5060065A (en) Apparatus and method for illuminating a printed circuit board for inspection
US4648053A (en) High speed optical inspection system
KR960006968B1 (ko) 본딩와이어 검사장치 및 방법
CN101443653B (zh) 边缘检查设备
JPH055281B2 (ja)
CN209432714U (zh) 一种用于缺陷检测的系统
JPS60219504A (ja) 基板上の回路素子の高さ測定装置
KR960005092B1 (ko) 본딩와이어 검사방법
JP4655644B2 (ja) 周期性パターンのムラ検査装置
CN111999309A (zh) 定位柱缺陷工业视觉检测设备及检测方法
KR960005090B1 (ko) 본딩와이어 검사장치
JPS62174889A (ja) 照明条件解析方法および装置
JP2000046532A (ja) パターン検査装置
JPH0697203B2 (ja) 粒子凝集判定装置
JPH0821709A (ja) 表面形状測定装置
CN1327149A (zh) 用来检测平面光源所发出的光线的检测装置
JP7178001B2 (ja) 検査装置
JPH08105722A (ja) デバイス外観検査用照明器及びこの照明器を用いたデバイス外観自動検査装置
KR20040025622A (ko) 광학 장치의 제조 방법 및 이에 이용하는 결함 판정용검사 도구
JPH04346011A (ja) はんだ付け状態の外観検査装置
US6826307B1 (en) Contrast determining apparatus and methods
CN213544424U (zh) 一种检查设备
CN213121656U (zh) 一种外观检查装置及外观检查系统
JPH05296745A (ja) 形状測定装置
CN213121665U (zh) 一种检查装置