JPS62158003A - Manufacture of ceramic green sheet - Google Patents

Manufacture of ceramic green sheet

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JPS62158003A
JPS62158003A JP111086A JP111086A JPS62158003A JP S62158003 A JPS62158003 A JP S62158003A JP 111086 A JP111086 A JP 111086A JP 111086 A JP111086 A JP 111086A JP S62158003 A JPS62158003 A JP S62158003A
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JP
Japan
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raw material
material slurry
ceramic raw
green sheet
ceramic
Prior art date
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JP111086A
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Japanese (ja)
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田中 雪夫
高倉 真一
飯田 和浩
川端 和子
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は積層コンデンサの誘電体等の材料に使用される
セラミックグリーンシートの製造方法に関するものであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic green sheet used as a material such as a dielectric material of a multilayer capacitor.

(従来技術) 一般に、バインダを含むセラミック原12゛1スラリか
らコーティング方式によりセラミックグリーンシートを
製造するには、ドクタブレード法あるいハリバースロー
ルコータ法と呼ばれる手法が採用されている。
(Prior Art) In general, a method called a doctor blade method or a Harris roll coater method is employed to manufacture ceramic green sheets from a ceramic raw slurry containing a binder by a coating method.

たとえばドクタブレード法では、第3図に示すように、
矢印A、およびA、の向きに回転するロール1および2
の間に張り渡されたステンレス製のベルト3により、矢
印A3て示す向きに搬送されるキャリヤフィルム4上に
原料溜め5を配置する。
For example, in the doctor blade method, as shown in Figure 3,
Rolls 1 and 2 rotating in the directions of arrows A and A
A raw material reservoir 5 is placed on a carrier film 4 that is conveyed in the direction shown by arrow A3 by a stainless steel belt 3 stretched between the two.

この原料溜め5にセラミック原料スラリ6を供給し、原
料溜め5からセラミック原料スラリ6を流出させてキャ
リヤフィルム・1上にセラミック原料スラリ6を塗布ず
ろ。この塗布厚は原料溜め5に設けられたブレード7に
より調整する。ギヤリヤフィルム4上に塗布されたセラ
ミック原料スラリ3を乾燥室8に送って乾燥させ、乾燥
室8にて乾燥されたセラミック原料スラリ6をセラミッ
クグリーンシート9としてキャリヤフィルム4から剥離
する。
A ceramic raw material slurry 6 is supplied to the raw material reservoir 5, and the ceramic raw material slurry 6 is flowed out from the raw material reservoir 5 to apply the ceramic raw material slurry 6 onto the carrier film 1. This coating thickness is adjusted by a blade 7 provided in the raw material reservoir 5. The ceramic raw material slurry 3 coated on the gear rear film 4 is sent to a drying chamber 8 and dried, and the ceramic raw material slurry 6 dried in the drying chamber 8 is peeled off from the carrier film 4 as a ceramic green sheet 9.

また、具体的には図示しないが、リバースロールコータ
法ではロールに付着させたセラミック原料スラリをキャ
リヤフィルムに転移させることにより、キャリヤフィル
ムに夫々セラミック原料スラリを塗布するもので、以後
は、ドクタブレード法と同様の工程を経てセラミックグ
リーンシートが製造される。
Although not shown in detail, in the reverse roll coater method, the ceramic raw material slurry adhered to a roll is transferred to a carrier film, thereby coating each carrier film with the ceramic raw material slurry. Ceramic green sheets are manufactured through the same process as the method.

上記ドクタブレード法やリバースロールコータ法等によ
り、キャリヤフィルム4に塗布されて乾燥室8に入っf
こセラミック原料スラリ6には、第4図に示すように、
その上から直接、熱風か矢印で示すように供給されて熱
風乾燥されろ。
F
As shown in FIG. 4, this ceramic raw material slurry 6 contains:
Dry with hot air or hot air supplied directly from above as shown by the arrow.

ところで、このセラミック原料スラリ6の熱風乾燥時の
熱風の風速は極力抑える必要がある。これは、熱風の風
速を大きくすると、第4図のセラミック原料スラリ6の
表面層からの溶媒等の蒸発か内部層の溶媒拡散移動を上
回るようになるため、■セラミック原料スラリ6のレベ
リングが不充分になり、膜厚のばらつきが大きくなる、
■膜厚のばらつきにより乾燥に差が生じ、セラミックグ
リーンシート9にひび割れが生じる、■キャリヤフィル
ム4上のセラミック原料スラリ6は表面が先に乾燥され
るため、内部の溶媒が蒸発しにくくなり、突発的に溶媒
蒸気が吹き出してセラミックグリーンシート9にピンホ
ールが発生する。
Incidentally, when drying the ceramic raw material slurry 6 with hot air, the speed of the hot air needs to be suppressed as much as possible. This is because when the speed of the hot air is increased, the evaporation of the solvent from the surface layer of the ceramic raw material slurry 6 shown in FIG. becomes sufficient, and the variation in film thickness becomes large.
■ Differences in drying occur due to variations in film thickness, causing cracks in the ceramic green sheet 9. ■ Since the surface of the ceramic raw material slurry 6 on the carrier film 4 is dried first, the internal solvent becomes difficult to evaporate. Solvent vapor suddenly blows out and pinholes are generated in the ceramic green sheet 9.

■セラミック原料スラリ6の表面と内部層との間の乾燥
の速さの差が大きく、セラミックグリーンシート9がカ
ーリングする、 といった多くの問題が生じるからである。
(2) There is a large difference in drying speed between the surface of the ceramic raw material slurry 6 and the inner layer, causing many problems such as curling of the ceramic green sheets 9.

従って、熱風の風速は極力抑えることか好ましいか、こ
のようにすると、セラミック原料スラリ6の乾燥に時間
がかかるという問題があった。
Therefore, it is preferable to suppress the speed of the hot air as much as possible, but if this is done, there is a problem that it takes a long time to dry the ceramic raw material slurry 6.

(発明の目的) 本発明の目的は、品質のすぐれたセラミックグリーンシ
ートを比較的短い乾燥時間で得るようにしたセラミック
グリーンシートの製造方法を提供することである。
(Objective of the Invention) An object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic green sheet, which allows a ceramic green sheet of excellent quality to be obtained in a relatively short drying time.

(発明の構成) このため、本発明は、キャリヤフィルム上に塗布された
セラミック原料スラリに、蒸気透過性を得するフィルム
を通して熱風の熱を供給し乾燥させることを特徴として
いる。すなわち、本発明においては、キャリヤフィルム
に塗布されたセラミック原料スラリに直接、熱風が当た
るのを避け、セラミック原料スラリの上方に温度がほぼ
一定の濃度の高い溶媒雰囲気を形成して、セラミック原
料スラリか均一に乾燥するようにする。
(Structure of the Invention) Therefore, the present invention is characterized in that the ceramic raw material slurry coated on the carrier film is dried by supplying the heat of hot air through the film that provides vapor permeability. That is, in the present invention, the ceramic raw material slurry coated on the carrier film is prevented from being directly hit by hot air, and a highly concentrated solvent atmosphere with a substantially constant temperature is formed above the ceramic raw material slurry. or dry evenly.

(発明の効果) 本発明によれば、乾燥させるセラミック原料スラリの上
方に温度がほぼ一定の濃度の高い溶媒雰囲気が形成され
るので、セラミック原料スラリはすべての部位で均一に
乾燥され、比較的短時間の乾燥で膜厚のばらつきが少な
く、ひび割れ、ピンホールおよびカーリングのない良質
のセラミックグリーンシートを得ることができる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, a highly concentrated solvent atmosphere with a substantially constant temperature is formed above the ceramic raw material slurry to be dried, so that the ceramic raw material slurry is dried uniformly in all parts, and is relatively It is possible to obtain high-quality ceramic green sheets with little variation in film thickness and without cracks, pinholes, or curling by drying in a short time.

(実施例) 以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

本発明では、第4図のように、キャリヤフィルム・1上
に塗布されたセラミック原料スラリ6に直接、熱風を供
給する代りに、第1図に示すように、セラミック原料ス
ラリ6の上面から5mm〜10mmの間隔をおいて配置
されたろ紙等の蒸気透過性のフィルム11の上から熱風
を供給し、この熱風の熱によりセラミック原料スラリ6
を乾燥させるようにする。
In the present invention, instead of supplying hot air directly to the ceramic raw material slurry 6 coated on the carrier film 1 as shown in FIG. 4, as shown in FIG. Hot air is supplied from above vapor permeable films 11 such as filter paper arranged at intervals of ~10 mm, and the ceramic raw material slurry 6 is heated by the heat of the hot air.
Allow to dry.

なお、第1図において、第4図に対応する部分には対応
する符号を付して示し、重複した説明は省略する。
Note that in FIG. 1, parts corresponding to those in FIG. 4 are designated by corresponding reference numerals, and redundant explanations will be omitted.

このようにすれば、上記フィルム11の上から供給され
る熱風がセラミック原料スラリ6に直接当たることがな
く、上記熱風が有している熱は上記フィルム11とセラ
ミック原料スラリ6との間に形成されている空間Sを通
してセラミック原料スラリ6に伝えられる。これにより
、セラミック原料スラリ6が加熱されて内部の溶媒が矢
印で示すように上記空間S内に蒸発し、温度が一定の濃
度の高い溶媒雰囲気が上記空間S内に形成される。
In this way, the hot air supplied from above the film 11 does not directly hit the ceramic raw material slurry 6, and the heat contained in the hot air is generated between the film 11 and the ceramic raw material slurry 6. It is transmitted to the ceramic raw material slurry 6 through the space S where it is located. As a result, the ceramic raw material slurry 6 is heated and the solvent therein evaporates into the space S as shown by the arrow, and a highly concentrated solvent atmosphere with a constant temperature is formed in the space S.

この温度が一定の溶媒雰囲気中にて、上記セラミック原
も1スラリ6は全ての領域で均一に乾燥され、膜厚のば
らつきの少ない、ひび割れやピンホールの少ない良質の
セラミックグリーンシート9となる。
In this solvent atmosphere at a constant temperature, the ceramic raw slurry 6 is dried uniformly in all areas, resulting in a high-quality ceramic green sheet 9 with less variation in film thickness and fewer cracks and pinholes.

ちなみに、第1図において、熱風の温度60℃、風速を
0.3m/secとしたとき、得られたセラミックグリ
ーンシート9(膜厚70μm)の膜厚のばらつきRは、
R=Iμmで、ひび割れやピンホールの発生はなかった
。これに対し、従来の手法によるものでは、得られたセ
ラミックグリーンシート9の膜厚のばらつきRは、R=
4μmで、ひび割れやピンホールの発生が見られた。
Incidentally, in Fig. 1, when the hot air temperature is 60°C and the wind speed is 0.3 m/sec, the variation R in the film thickness of the obtained ceramic green sheet 9 (film thickness 70 μm) is as follows.
R=Iμm, and no cracks or pinholes were observed. On the other hand, according to the conventional method, the variation R in the film thickness of the obtained ceramic green sheets 9 is R=
At 4 μm, cracks and pinholes were observed.

なお、上記実施例において、第2図に示すように、キャ
リヤフィルム4の下にヒータHを配置し、このヒータH
に電源Eを接続して上記キャリヤフィルム4の下側から
もセラミック原料スラリ6が加熱されるようにしてもよ
い。このようにすれば、セラミック原料スラリ6の乾燥
時間がより短縮される。
In the above embodiment, as shown in FIG. 2, a heater H is arranged under the carrier film 4,
The ceramic raw material slurry 6 may also be heated from below the carrier film 4 by connecting a power source E to the carrier film 4. In this way, the drying time of the ceramic raw material slurry 6 is further shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は夫々本発明に係るセラミックグリ
ーンシートの製造方法の2つの実施例の説明図、 第3図はドクタブレード法によるセラミックグリーンノ
ートの製造方法の説明図、 第4図は従来のセラミックグリーンシートの製造方法の
説明図である。 4・・キャリヤフィルム、 6・・・セラミック原料スラリ、 11・・蒸気透過性のフィルム、 11・・・ヒータ。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 前出  葆ほか2名 第1図 第3図 第4図 下
1 and 2 are explanatory diagrams of two embodiments of the method for producing ceramic green sheets according to the present invention, respectively. FIG. 3 is an explanatory diagram of the method for producing ceramic green notebooks by the doctor blade method. FIG. 2 is an explanatory diagram of a conventional method for manufacturing a ceramic green sheet. 4. Carrier film, 6. Ceramic raw material slurry, 11. Vapor permeable film, 11. Heater. Patent applicant: Murata Manufacturing Co., Ltd. Agent: Patent attorney: Mr. Maeda and two others Figure 1 Figure 3 Figure 4 Bottom

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)キャリアフィルム上に塗布されたセラミック原料
スラリに熱風を当てて乾燥させた後、乾燥したセラミッ
ク原料スラリをキャリアフィルムから剥離させてグリー
ンシートを得るセラミックグリーンシートの製造方法に
おいて、上記熱風の熱を蒸気透過性を有するフィルムを
通してキャリアフィルム上のセラミック原料スラリに供
給して乾燥させることを特徴とするセラミックグリーン
シートの製造方法。
(1) In the method for manufacturing a ceramic green sheet, a ceramic raw material slurry coated on a carrier film is dried by applying hot air to it, and then a green sheet is obtained by peeling the dried ceramic raw material slurry from the carrier film. A method for producing a ceramic green sheet, comprising supplying heat to a ceramic raw material slurry on a carrier film through a vapor-permeable film to dry it.
JP111086A 1986-01-06 1986-01-06 Manufacture of ceramic green sheet Granted JPS62158003A (en)

Priority Applications (1)

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Applications Claiming Priority (1)

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JP111086A JPS62158003A (en) 1986-01-06 1986-01-06 Manufacture of ceramic green sheet

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JPS62158003A true JPS62158003A (en) 1987-07-14
JPH0412201B2 JPH0412201B2 (en) 1992-03-03

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Also Published As

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JPH0412201B2 (en) 1992-03-03

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