JPS62156538A - ダスト測定装置 - Google Patents
ダスト測定装置Info
- Publication number
- JPS62156538A JPS62156538A JP29623585A JP29623585A JPS62156538A JP S62156538 A JPS62156538 A JP S62156538A JP 29623585 A JP29623585 A JP 29623585A JP 29623585 A JP29623585 A JP 29623585A JP S62156538 A JPS62156538 A JP S62156538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- exhaust gas
- flow rate
- wind velocity
- counter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ダストを鎌う半導体工場等において、高い
圧力でダクト中を流れるガス中のダストを管理するだめ
のダストの測定に用いるダスト測定装置に関するもので
ある。
圧力でダクト中を流れるガス中のダストを管理するだめ
のダストの測定に用いるダスト測定装置に関するもので
ある。
第３図〜第５図は従来のこの種のダスト測定装置を示す
図である。
図である。
第３図、第４図はＪＩＳ Ｚ−８８０８に示されるダ
クトを流れる排ガス中のダスト測定方法であり、ダスト
補集部１０．ガス吸引部２０．吸引流量測定部３ｏから
なり、ダスト補集部１０は、ダスト補集器１１Ａがダク
ト内にあるｌ形（第３図）とダスト補集器１１Ｂがダク
ト外にある２形（第４図）とに分けられる。この測定方
法は、ダスト補集部１ｏにおいて排ガスを吸引し、円筒
ろ紙１２Ａ（第３図）または円形ろ紙１２Ｂ（第４図）
にダストを補集した後ひょう量して測定する方法である
。
クトを流れる排ガス中のダスト測定方法であり、ダスト
補集部１０．ガス吸引部２０．吸引流量測定部３ｏから
なり、ダスト補集部１０は、ダスト補集器１１Ａがダク
ト内にあるｌ形（第３図）とダスト補集器１１Ｂがダク
ト外にある２形（第４図）とに分けられる。この測定方
法は、ダスト補集部１ｏにおいて排ガスを吸引し、円筒
ろ紙１２Ａ（第３図）または円形ろ紙１２Ｂ（第４図）
にダストを補集した後ひょう量して測定する方法である
。
また第５図は半導体工場において、ガス中のダストを測
定する従来の方法であり、排ガスをミスト除去ビン４０
を介しミストを除去してダストカウンタに送りダストの
測定を行うものである。
定する従来の方法であり、排ガスをミスト除去ビン４０
を介しミストを除去してダストカウンタに送りダストの
測定を行うものである。
従来のダスト測定装置においては、以上のようにしてダ
スト測定が行われるが、第３図、第４図のものにおいて
は、ダストの総量は捕捉されるが、長時間採取すること
が必要で、また数々のセット等（サンプラのシール、風
速等）に時間がかかり、しかも０．３７ｔｍ程度の微小
粒子のカウントがしずらく、粒径の区別ができないとい
う問題点があった。またダストカウンタを使用するもの
においても、バルブから流す流量や、測定方法が確立さ
れておらず、作業者による個人差のためダスト数のばら
つきがある等の問題点があった。
スト測定が行われるが、第３図、第４図のものにおいて
は、ダストの総量は捕捉されるが、長時間採取すること
が必要で、また数々のセット等（サンプラのシール、風
速等）に時間がかかり、しかも０．３７ｔｍ程度の微小
粒子のカウントがしずらく、粒径の区別ができないとい
う問題点があった。またダストカウンタを使用するもの
においても、バルブから流す流量や、測定方法が確立さ
れておらず、作業者による個人差のためダスト数のばら
つきがある等の問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ダストカウンタを用いて容易に等速吸引で
きるとともに、粒径の区別ができるダスト測定装置を得
ることを目的とする。
れたもので、ダストカウンタを用いて容易に等速吸引で
きるとともに、粒径の区別ができるダスト測定装置を得
ることを目的とする。
この発明に係るダスト測定装δは、ダクト内の排ガスを
入口から取り込む筒体と、この筒体の入口側に流入排ガ
スの流速を調整する流量調整器を設け、筒体の入口の下
流にダストカウンタに流入排ガスの一部を供給するサン
プル口を設け、さらに筒体中の排ガスの風速を測定する
風速計を備えたダストサンプラを具備したものである。
入口から取り込む筒体と、この筒体の入口側に流入排ガ
スの流速を調整する流量調整器を設け、筒体の入口の下
流にダストカウンタに流入排ガスの一部を供給するサン
プル口を設け、さらに筒体中の排ガスの風速を測定する
風速計を備えたダストサンプラを具備したものである。
この発明においては、ダクト内の排ガスの流速を流量調
整器で調整して筒体内の流速をサンプラ本体内に配置し
た風速計によりダストカウンタの吸引風速と同じ風速と
なるようにセントすることができることから、等速吸引
が簡単に設定できる。
整器で調整して筒体内の流速をサンプラ本体内に配置し
た風速計によりダストカウンタの吸引風速と同じ風速と
なるようにセントすることができることから、等速吸引
が簡単に設定できる。
第１図はこの発明の一実施例を示すタストサンプラの概
略図である。
略図である。
ｉ１図において、１はサンプラ本体で、図示のように２
つに分離できる筒体からなり、２はサンプルガス入口ノ
ズル、３はダストカウンタへのサンプル口、４は風速測
定口を示し、５は前記風速測定口４からサンプラ本体１
内に設けられた風速計、６は前記サンプラ本体１内の排
ガスの流速を調整する流量調整器である。このダストサ
ンプラは、吸引量がＩＣＦ／ｗｉｎのダストカウンタ用
として設計したものであり、吸引量によりサイズを変え
る必要がある。
つに分離できる筒体からなり、２はサンプルガス入口ノ
ズル、３はダストカウンタへのサンプル口、４は風速測
定口を示し、５は前記風速測定口４からサンプラ本体１
内に設けられた風速計、６は前記サンプラ本体１内の排
ガスの流速を調整する流量調整器である。このダストサ
ンプラは、吸引量がＩＣＦ／ｗｉｎのダストカウンタ用
として設計したものであり、吸引量によりサイズを変え
る必要がある。
第２図は第１図のダストサンプラを用いた測定方法を示
すものである。この測定方法はダクト（図示せず）から
の排ガスの流速を流量調整器６で調整してその排ガスの
流速を風速計５で測定し、第２図のＡの部分の風速をサ
ンプル口３の風速、すなわちダストカウンタの吸引風速
と同風速となるようにセットする。
すものである。この測定方法はダクト（図示せず）から
の排ガスの流速を流量調整器６で調整してその排ガスの
流速を風速計５で測定し、第２図のＡの部分の風速をサ
ンプル口３の風速、すなわちダストカウンタの吸引風速
と同風速となるようにセットする。
なお、流量調整器６からの発塵もあるため、数分間その
ままの状態でブローした後、実測定を行う。
ままの状態でブローした後、実測定を行う。
上記の方法によれば、サンプルガスの等速吸引が容易に
なり、精度の高いダストの測定が実現できる。
なり、精度の高いダストの測定が実現できる。
この発明は以上説明したとおり、ダクト内の排ガスを入
口から取り込む筒体と、この筒体の入口側に流入排ガス
の流速を調整する流量調整器を設け、筒体の入口の下流
にダストカウンタに流入排ガスの一部を供給するサンプ
ル口を設け、さラニ筒体中の排ガスの流速を測定する風
速計を備え、前記排ガスを吸引する風速と、ダストカウ
ンタべの吸引風速とを同じにして、排ガスを吸引するダ
ストサンプラを具備したので、簡単に、かつ個人差が少
なく精度の高いダスト測定ができる効果がある。
口から取り込む筒体と、この筒体の入口側に流入排ガス
の流速を調整する流量調整器を設け、筒体の入口の下流
にダストカウンタに流入排ガスの一部を供給するサンプ
ル口を設け、さラニ筒体中の排ガスの流速を測定する風
速計を備え、前記排ガスを吸引する風速と、ダストカウ
ンタべの吸引風速とを同じにして、排ガスを吸引するダ
ストサンプラを具備したので、簡単に、かつ個人差が少
なく精度の高いダスト測定ができる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示すダストサンプラの構
成図、第２図は第１図のダストサンプラによるダストの
測定方法を示す概略図、第３図。 第４図はＪＩＳに規定されるダスト測定装置の構成図、
第５図は他の従来のダストの測定方法を示す概略図であ
る。 図において、１はサンプラ本体、２はサンプルガス入口
ノズル、３はサンプル口、４は風速測定口、５は風速計
、６は流量調整器である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 （はが２名）第３図 第４図 一一一一一一一一一一一一−−−−−−−−Ｊｌｏ
２０ ３０ 手続補正書（自発） 昭和 年 月 日
成図、第２図は第１図のダストサンプラによるダストの
測定方法を示す概略図、第３図。 第４図はＪＩＳに規定されるダスト測定装置の構成図、
第５図は他の従来のダストの測定方法を示す概略図であ
る。 図において、１はサンプラ本体、２はサンプルガス入口
ノズル、３はサンプル口、４は風速測定口、５は風速計
、６は流量調整器である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 （はが２名）第３図 第４図 一一一一一一一一一一一一−−−−−−−−Ｊｌｏ
２０ ３０ 手続補正書（自発） 昭和 年 月 日
Claims (1)
- ダクト内を流れる排ガス中のダストをダストカウンタを
用いて測定するダスト測定装置において、前記ダクト内
の排ガスを入口から取り込む筒体と、この筒体の前記入
口側に流入排ガスの流速を調整する流量調整器を設け、
前記入口の下流にダストカウンタに前記流入排ガスの一
部を供給するサンプル口を設け、さらに前記筒体中の排
ガスの風速を測定する風速計を備えたダストサンプラを
具備したことを特徴とするダスト測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29623585A JPS62156538A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | ダスト測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29623585A JPS62156538A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | ダスト測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62156538A true JPS62156538A (ja) | 1987-07-11 |
Family
ID=17830927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29623585A Pending JPS62156538A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | ダスト測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62156538A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6584865B1 (en) * | 2001-03-08 | 2003-07-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Absolute reference aerosol sampler |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29623585A patent/JPS62156538A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6584865B1 (en) * | 2001-03-08 | 2003-07-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Absolute reference aerosol sampler |
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