JPS62154596U - - Google Patents

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JPS62154596U
JPS62154596U JP4339586U JP4339586U JPS62154596U JP S62154596 U JPS62154596 U JP S62154596U JP 4339586 U JP4339586 U JP 4339586U JP 4339586 U JP4339586 U JP 4339586U JP S62154596 U JPS62154596 U JP S62154596U
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JP
Japan
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lower limit
limit value
ion implantation
monitoring
amount
Prior art date
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Pending
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JP4339586U
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Publication date
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【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の機能ブロツク図
、第２図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第３図および第４図は動作を説明するた
めのフローチヤート、第５図は上下限値設定画面
を示す図、第６図は従来例の構成を示すブロツク
図である。 ５１…上下限値設定手段、５２…上下限値記憶
手段、５３…計測値読込手段、５４…比較手段、
５５…異常表示手段。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) イオン注入装置における監視量の上限値お
    よび下限値を設定する上下限値設定手段と、この
    上下限値設定手段によつて設定した前記監視量の
    上限値および下限値を記憶する上下限値記憶手段
    と、前記イオン注入装置から送られる監視量の計
    測値を読み込む計測値読込手段と、この計測値読
    込手段によつて読み込んだ前記監視量の計測値を
    前記上下限値記憶手段によつて記憶された上限値
    および下限値と比較する比較手段と、この比較手
    段の比較結果に基づき前記監視量の計測値が前記
    監視量の上限値および下限値の範囲を逸脱したと
    きに異常表示を行う異常表示手段とを備えたイオ
    ン注入監視装置。 (2) 前記上下限値設定手段は、前記イオン注入
    装置において発生する監視量の項目名と前記監視
    量の上限値および下限値とからなる上下限値設定
    画面をＣＲＴ表示装置に表示させる上下限値設定
    画面表示手段を有している実用新案登録請求の範
    囲第(1)項記載のイオン注入監視装置。 (3) 前記異常表示手段は前記上下限値設定画面
    を前記ＣＲＴ表示装置に出現させるようにしてい
    る実用新案登録請求の範囲第(2)項記載のイオン
    注入監視装置。 (4) 前記異常表示手段は前記上下限値設定画面
    を点滅させるようにしている実用新案登録請求の
    範囲第(2)項記載のイオン注入監視装置。 (5) 前記異常表示手段は前記上下限値設定画面
    の表示色を平常時の表示色と異なる色に変えるよ
    うにしている実用新案登録請求の範囲第(2)項記
    載のイオン注入監視装置。
JP4339586U 1986-03-25 1986-03-25 Pending JPS62154596U (ja)

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JP4339586U JPS62154596U (ja) 1986-03-25 1986-03-25

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JP4339586U JPS62154596U (ja) 1986-03-25 1986-03-25

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JPS62154596U true JPS62154596U (ja) 1987-10-01

Family

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JP4339586U Pending JPS62154596U (ja) 1986-03-25 1986-03-25

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JP (1) JPS62154596U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0239453U (ja) * 1988-09-07 1990-03-16
JPH05121034A (ja) * 1991-10-24 1993-05-18 Nissin Electric Co Ltd 荷電粒子数積算器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0239453U (ja) * 1988-09-07 1990-03-16
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