JPS62153592A - ２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置 - Google Patents
２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置Info
- Publication number
- JPS62153592A JPS62153592A JP29188485A JP29188485A JPS62153592A JP S62153592 A JPS62153592 A JP S62153592A JP 29188485 A JP29188485 A JP 29188485A JP 29188485 A JP29188485 A JP 29188485A JP S62153592 A JPS62153592 A JP S62153592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- pump
- stage side
- chamber
- pressure reducing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
- F04C18/3442—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation the surfaces of the inner and outer member, forming the inlet and outlet opening
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、２段真空ポンプの１段側ポンプロータと２段
側ポンプロータとを連結する回転軸の軸封装置−関し、
２段式油回転真空ポンプに適用して好適のものである。
側ポンプロータとを連結する回転軸の軸封装置−関し、
２段式油回転真空ポンプに適用して好適のものである。
（従来の技術）
従来の２段式油回転真空ポンプは、第３図に示すように
、ポンプケーシング１のシリンダＸｔａ＋１ｂ内に偏心
して、１段側（高真空側）の第１０−タ２と２段０ｉｔ
ｌ （低真空ｉｌ′１１１）の第２０−タ３が共泄の回
転軸４によって取付けられ、１台のモータで駆動される
ようになっている・そして１段側ポンプの吸気口５は被
排気容器に接続され、同排気口６は、第４図の展開図に
も示すように、２段側ポンプの吸気ロアに通路８を介し
て接続され、２段側ポンプの排気口９は、図示しないば
ねで押圧された排気弁１０を経て外気に解放されている
。
、ポンプケーシング１のシリンダＸｔａ＋１ｂ内に偏心
して、１段側（高真空側）の第１０−タ２と２段０ｉｔ
ｌ （低真空ｉｌ′１１１）の第２０−タ３が共泄の回
転軸４によって取付けられ、１台のモータで駆動される
ようになっている・そして１段側ポンプの吸気口５は被
排気容器に接続され、同排気口６は、第４図の展開図に
も示すように、２段側ポンプの吸気ロアに通路８を介し
て接続され、２段側ポンプの排気口９は、図示しないば
ねで押圧された排気弁１０を経て外気に解放されている
。
上記のように、２段真空ポンプでは、真空容器からポン
プ外界へ至るまでの間を多数の空間で仕切られておシ、
各仕切部はそれぞれ油でシールされておシ、これらの各
シール部によって、仕切られた部分の圧力差が１段式ポ
ンプにおけるよシも少なくて済むので、それだけ媚れに
くい構造になっている。
プ外界へ至るまでの間を多数の空間で仕切られておシ、
各仕切部はそれぞれ油でシールされておシ、これらの各
シール部によって、仕切られた部分の圧力差が１段式ポ
ンプにおけるよシも少なくて済むので、それだけ媚れに
くい構造になっている。
また、１段側ポンプの作動油を２段側ポンプから給油さ
せるようにすることによって、１段側ポンプでは、脱気
された油を作動油とすることができる。更に、１段側ポ
ンプの排気弁近傍の空間は２段側ポンプの吸気口と連通
しているので１段側ポンプの死容積（デッドボリューム
〕は生じない。
せるようにすることによって、１段側ポンプでは、脱気
された油を作動油とすることができる。更に、１段側ポ
ンプの排気弁近傍の空間は２段側ポンプの吸気口と連通
しているので１段側ポンプの死容積（デッドボリューム
〕は生じない。
そのため、該死容積をなくして排気効率を良くするため
に通常用いられる油が不要となる。従って、１段側ポン
プの作動油量を徹底的に削減することができる。これら
の特徴は、真空ポンプの到達圧力を引き下げるために有
効である。
に通常用いられる油が不要となる。従って、１段側ポン
プの作動油量を徹底的に削減することができる。これら
の特徴は、真空ポンプの到達圧力を引き下げるために有
効である。
しかしながら、排気される空気の中に水蒸気などの凝縮
し易い蒸気が多く含まれている場合、２段側ポンプをガ
スバラストポンプ即ち、油回転ポンプが圧縮工程にかか
った時、適廿の空気をポンプ内に入れて、排気している
凝縮性の蒸気が凝縮して油と懸濁してしまわないうちに
ポンプ外に追い出すようにした真空ポンプとして使用す
ることが行われているが、この場合、第４図に示すよう
に、２段側ポンプの排気口９の手前に設けられたガスバ
ラストパルプ１１が開かれると、ロータ３が矢印方向に
回転して、ベーン３ａによってポンプ吸入空間が吸気ロ
アつまシ１段側ポンプの排気側と遮断された段階で、空
気が外からポンプ室（部屋）Ｆに流入し、ロータ３が更
に回転したとき、排気弁１０を押し上げて空気と共に水
蒸気を排出させるようになされている。
し易い蒸気が多く含まれている場合、２段側ポンプをガ
スバラストポンプ即ち、油回転ポンプが圧縮工程にかか
った時、適廿の空気をポンプ内に入れて、排気している
凝縮性の蒸気が凝縮して油と懸濁してしまわないうちに
ポンプ外に追い出すようにした真空ポンプとして使用す
ることが行われているが、この場合、第４図に示すよう
に、２段側ポンプの排気口９の手前に設けられたガスバ
ラストパルプ１１が開かれると、ロータ３が矢印方向に
回転して、ベーン３ａによってポンプ吸入空間が吸気ロ
アつまシ１段側ポンプの排気側と遮断された段階で、空
気が外からポンプ室（部屋）Ｆに流入し、ロータ３が更
に回転したとき、排気弁１０を押し上げて空気と共に水
蒸気を排出させるようになされている。
この場合、上記の室Ｆは、常に大気圧のガスが存在する
ことになるため、２段側ポンプから１段側ポンプへ回転
軸４を伝ってガスが逆流する。この逆流を防ぐために従
来は、回転軸４の途中にオイルシールを設けていた。
ことになるため、２段側ポンプから１段側ポンプへ回転
軸４を伝ってガスが逆流する。この逆流を防ぐために従
来は、回転軸４の途中にオイルシールを設けていた。
（発明が解決しようとする問題点）
上記した従来の２段真空ポンプにおいては、両ロータを
連結する回転軸に沿う逆流に対して、■回転軸上にオイ
ルシールを取付けることによって対策されて来た。
連結する回転軸に沿う逆流に対して、■回転軸上にオイ
ルシールを取付けることによって対策されて来た。
そのため、回転軸部分を伝って軸受を潤滑しつつ２段側
から１段側へ供給される作動油まで遮断されてしまい、
１段側ポンプへの給油には特別な配ｗ、七複雑な構造を
必要として来た。また、真空ポンプには特にオイルシー
ルを設けるスペースを１段側ポンプと２段側ポンプの間
に必要とし、そのため真空ポンプの小型化を妨げて来た
。更にまた、回転軸とオイルリップとの摺動によって機
械損失や発熱の原因となって好ましくないという各問題
点があった。
から１段側へ供給される作動油まで遮断されてしまい、
１段側ポンプへの給油には特別な配ｗ、七複雑な構造を
必要として来た。また、真空ポンプには特にオイルシー
ルを設けるスペースを１段側ポンプと２段側ポンプの間
に必要とし、そのため真空ポンプの小型化を妨げて来た
。更にまた、回転軸とオイルリップとの摺動によって機
械損失や発熱の原因となって好ましくないという各問題
点があった。
本発明社、上記した従来技術の問題点を解決するために
、１段側ロータと２段側ロータを連結する回転軸上に、
２段側ポンプの吸気側へ連通された減圧室を設けたこと
を特徴としている。
、１段側ロータと２段側ロータを連結する回転軸上に、
２段側ポンプの吸気側へ連通された減圧室を設けたこと
を特徴としている。
（作用）
本発明は、上記のように構成されているので、２段側ポ
ンプのガスバラストバルブを開けてガスバラスト作用を
させているとき、２段側ポンプの排気弁近傍の箆に大気
圧のガスが進入し、２段側ポンプの軸部分に微少な漏れ
によるガスによって圧力が上昇し、該ガスは、１段側軸
部分へ差圧によって流れようとするが、途中に設けられ
た２段側ポンプの吸気側に連なる減圧ｍＫよって２段側
ポンプに引き戻され、１段側ポンプへのガスの逆流は著
しく軽減される。
ンプのガスバラストバルブを開けてガスバラスト作用を
させているとき、２段側ポンプの排気弁近傍の箆に大気
圧のガスが進入し、２段側ポンプの軸部分に微少な漏れ
によるガスによって圧力が上昇し、該ガスは、１段側軸
部分へ差圧によって流れようとするが、途中に設けられ
た２段側ポンプの吸気側に連なる減圧ｍＫよって２段側
ポンプに引き戻され、１段側ポンプへのガスの逆流は著
しく軽減される。
（実施例〕
次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
ｇ１図は、本発明の一実施例を示す減圧軸封装置を備え
た２段真空ポンプの概略側断面図であシ、第２図は、第
１図における１段側及び２段側の両ポンプを左右に展開
して示した説明用図面であって、図中、第３図及び第４
図に記載した符号と同一のものは、同一ないし同類部分
を示すものとし、これらの部分については再度の説明を
省略する。
た２段真空ポンプの概略側断面図であシ、第２図は、第
１図における１段側及び２段側の両ポンプを左右に展開
して示した説明用図面であって、図中、第３図及び第４
図に記載した符号と同一のものは、同一ないし同類部分
を示すものとし、これらの部分については再度の説明を
省略する。
図において、１段側の第１０−タ２と２段側の第２０−
タ３が共通の回転軸４に直結され、１段側ポンプの排気
口６と２段側ポンプの吸気ロアは通路８で接続されてい
る点は、従来のもの（第３図）と変シはないが、本実施
例では、第１及び第２の両ロータを連結する回転軸４の
途中に、上記通路８に連通された減圧室２０が設けられ
ている、。
タ３が共通の回転軸４に直結され、１段側ポンプの排気
口６と２段側ポンプの吸気ロアは通路８で接続されてい
る点は、従来のもの（第３図）と変シはないが、本実施
例では、第１及び第２の両ロータを連結する回転軸４の
途中に、上記通路８に連通された減圧室２０が設けられ
ている、。
次に作用について説明する。該真空ポンプが作動される
と、２段側ポンプの軸部分のガス圧力は、第２図のり、
Ｅ、Ｆの各室の平均的な圧力でちると考えられ、また１
段側ポンプの４４１１部分のガス圧力は、Ａ、Ｂ、Ｃの
各部屋の平均的な圧力であると考えられる。そして真空
ボ／プが到達圧力に達すると、Ａ−Ｆの各室はほぼ到達
圧力に近い圧力となると考えられる。
と、２段側ポンプの軸部分のガス圧力は、第２図のり、
Ｅ、Ｆの各室の平均的な圧力でちると考えられ、また１
段側ポンプの４４１１部分のガス圧力は、Ａ、Ｂ、Ｃの
各部屋の平均的な圧力であると考えられる。そして真空
ボ／プが到達圧力に達すると、Ａ−Ｆの各室はほぼ到達
圧力に近い圧力となると考えられる。
いま、ガスパラストバルブ１１を開けると、室Ｆには大
気圧のガスが充渦する。この時、２攻側ポンプの軸部分
は室Ｆからの微少な漏れによってガスによる圧力上昇が
ある。このガスによる圧力上昇のため、２段側軸部分の
ガスは、１段側軸部分へ差圧によって流れようとするが
、途中で、２攻側ポンプの吸気側の室りと連通された減
圧室Ｇに到達し、ここでガスは、２攻側ポンプによって
引き戻されてしまう。
気圧のガスが充渦する。この時、２攻側ポンプの軸部分
は室Ｆからの微少な漏れによってガスによる圧力上昇が
ある。このガスによる圧力上昇のため、２段側軸部分の
ガスは、１段側軸部分へ差圧によって流れようとするが
、途中で、２攻側ポンプの吸気側の室りと連通された減
圧室Ｇに到達し、ここでガスは、２攻側ポンプによって
引き戻されてしまう。
このようにして、１段側ポンプへのガスの逆流は者しく
軽減される。
軽減される。
この実施例によれば、従来、１段側ポンプと２攻側ポン
プの間の軸封のために用いられていたオイルシールを省
くことができるので、真空ポンプを小型化することに役
立つばかシでなく、１段側及び２段側の両ロータを連結
する回転軸にはオイルシールのような障害物が設けられ
ていないので、２ＩＤ、側ポンプから１段側ポンプへの
給油には、軸受部に沿った経路を使うことができる。従
って、＠滑系統を簡略化することができる。
プの間の軸封のために用いられていたオイルシールを省
くことができるので、真空ポンプを小型化することに役
立つばかシでなく、１段側及び２段側の両ロータを連結
する回転軸にはオイルシールのような障害物が設けられ
ていないので、２ＩＤ、側ポンプから１段側ポンプへの
給油には、軸受部に沿った経路を使うことができる。従
って、＠滑系統を簡略化することができる。
なお、上記実施例において、回転軸４上に設けられる減
圧室２０を、１段ａｔポンプの排気口６と２攻側ポンプ
の吸気ロアとを連通ずる通路８を介して、２攻側ポンプ
の吸気側に連通させるようにした構造について説明した
が、減圧室２０を直接、２攻側ポンプの吸気側に連通さ
せるようにすることも可能である。
圧室２０を、１段ａｔポンプの排気口６と２攻側ポンプ
の吸気ロアとを連通ずる通路８を介して、２攻側ポンプ
の吸気側に連通させるようにした構造について説明した
が、減圧室２０を直接、２攻側ポンプの吸気側に連通さ
せるようにすることも可能である。
また、本発明による減圧軸封装置を２段式油回転真空ポ
ンプに適用した例について説明したが、油槽に浸漬して
使用する油回転ポンプに限らず、他の形式の２段真空ポ
ンプにも同様に適用することができる。
ンプに適用した例について説明したが、油槽に浸漬して
使用する油回転ポンプに限らず、他の形式の２段真空ポ
ンプにも同様に適用することができる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、１段側ロータと
２段側ロータを連結する回転軸上に、２攻側ポンプの吸
気側へ連通された減圧室を設けたことにより、従来、１
段側ポンプと２攻側ポンプの間の軸封のために用いられ
ていたオイルシールを省くことができるので、部品点数
やコストが触減でき、ポンプを小型化することができる
。
２段側ロータを連結する回転軸上に、２攻側ポンプの吸
気側へ連通された減圧室を設けたことにより、従来、１
段側ポンプと２攻側ポンプの間の軸封のために用いられ
ていたオイルシールを省くことができるので、部品点数
やコストが触減でき、ポンプを小型化することができる
。
また、１段側及び２段側の両ロータを連結する回転軸に
はオイルシールのような障害物が設けられていないので
、２攻側ポンプから１段側ポンプへの給油には、軸受部
に浴った経路を使うことができる。従って、潤滑系統を
簡略化することができる。
はオイルシールのような障害物が設けられていないので
、２攻側ポンプから１段側ポンプへの給油には、軸受部
に浴った経路を使うことができる。従って、潤滑系統を
簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す減圧軸封装置を惜えた
２段；（空ポンプの概略側断面図、第２図は第１図の１
段側及び２段廻］の両ポンプを左右に展開して示した説
明用図面、第３図及び第４図は従来のものを示す第１図
及び第２図と同様の図面でめる。 ２・・・１段側ポンプの第１０−タ。 ３・・・２攻側ポンプの第２０−タ。 ４・・・回転軸、 ６・・・１攻側ポンプの排気口。 ７・・・２攻側ポンプの吸気口、 ８・・・通路。 １１・・・ガスバラストパルプ、 ２０・・・減圧
室。
２段；（空ポンプの概略側断面図、第２図は第１図の１
段側及び２段廻］の両ポンプを左右に展開して示した説
明用図面、第３図及び第４図は従来のものを示す第１図
及び第２図と同様の図面でめる。 ２・・・１段側ポンプの第１０−タ。 ３・・・２攻側ポンプの第２０−タ。 ４・・・回転軸、 ６・・・１攻側ポンプの排気口。 ７・・・２攻側ポンプの吸気口、 ８・・・通路。 １１・・・ガスバラストパルプ、 ２０・・・減圧
室。
Claims (1)
- ２段真空ポンプにおいて、１段側ロータと２段側ロータ
を連結する回転軸上に、２段側ポンプの吸気側へ連通さ
れた減圧室を設けたことを特徴とする２段真空ポンプの
減圧軸封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29188485A JPS62153592A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | ２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29188485A JPS62153592A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | ２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153592A true JPS62153592A (ja) | 1987-07-08 |
| JPH0447157B2 JPH0447157B2 (ja) | 1992-08-03 |
Family
ID=17774689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29188485A Granted JPS62153592A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | ２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62153592A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04254175A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-09 | Hoshizaki Electric Co Ltd | 製氷機 |
| JPH0654990U (ja) * | 1991-05-20 | 1994-07-26 | 日研システム株式会社 | 機能部品の接続装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217389A (ja) * | 1985-05-30 | 1987-01-26 | ザ ビ−オ−シ− グル−プ ピ−エルシ− | 機械ポンプ |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29188485A patent/JPS62153592A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217389A (ja) * | 1985-05-30 | 1987-01-26 | ザ ビ−オ−シ− グル−プ ピ−エルシ− | 機械ポンプ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04254175A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-09 | Hoshizaki Electric Co Ltd | 製氷機 |
| JPH0654990U (ja) * | 1991-05-20 | 1994-07-26 | 日研システム株式会社 | 機能部品の接続装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0447157B2 (ja) | 1992-08-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100216020B1 (ko) | 펌프 | |
| JPH066950B2 (ja) | 多段式ルーツ型真空ポンプ | |
| GB1248031A (en) | Two-stage rotary vacuum pumps | |
| WO2018094914A1 (zh) | 喷气增焓涡旋压缩机及制冷系统 | |
| JP2001513862A (ja) | 真空ポンプ | |
| US3438570A (en) | Two stage vacuum pump | |
| JPH079239B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| JP2005307978A (ja) | 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備 | |
| US5697771A (en) | Vacuum pump with oil separator | |
| JP4145830B2 (ja) | 油冷式圧縮機 | |
| JPS6217389A (ja) | 機械ポンプ | |
| JPS62153592A (ja) | ２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置 | |
| US6764288B1 (en) | Two stage scroll vacuum pump | |
| JPS61152990A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| GB2069610A (en) | Vacuum pump | |
| JPS63285279A (ja) | 真空ポンプの軸封装置 | |
| JPH08296575A (ja) | 回転ベーン形圧縮機及び真空ポンプ | |
| CA1196615A (en) | Gerotor vacuum pump | |
| JPH08543Y2 (ja) | 油冷式スクリュ圧縮機 | |
| JPH0115715B2 (ja) | ||
| JPH11294355A (ja) | ローリングピストン型ロータリ圧縮機 | |
| EP4174316A1 (en) | Vacuum pump provided with a gas ballast arrangement | |
| JPH04153594A (ja) | ローリングピストン型圧縮機 | |
| WO2022004027A1 (ja) | ロータリ圧縮機および冷凍サイクル装置 | |
| US20240077078A1 (en) | Rotary vane vacuum pump with gas ballast assembly |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |