JPS62152188A - 放電型レ−ザ−装置 - Google Patents
放電型レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS62152188A JPS62152188A JP29631685A JP29631685A JPS62152188A JP S62152188 A JPS62152188 A JP S62152188A JP 29631685 A JP29631685 A JP 29631685A JP 29631685 A JP29631685 A JP 29631685A JP S62152188 A JPS62152188 A JP S62152188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- gas
- laser
- electrodes
- output window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は放電型レーザー装置に関するものである。
（発明の背景）
放電型レーザー装置例えば放電型エキシマレーザ−は、
主放電電極間および予備電離電極間の放電で発生した微
塵や不純物ガスがレーザーガスに混入する。この汚染さ
れたレーザーガスは、全反射ミラーおよびレーザー出力
窓にも達するのでミラーや出力窓には塵や不純物が付着
し、レーザー出力を低下させる原因となる。特に、レー
ザー光が照射される領域は、汚れが固着し、ミラーや窓
を拭いても容易に除去できな（なる。この欠点を解決す
るため、従来は第２図と示す如く、レーザーガスの一部
をチャンバー９中央付近にある吸入ポート１０より取り
出し、ガス精製機１１を通過させることにより、純化し
、再び、出力窓１２、ミラー１３付近の吹出しポート１
４よりもどす。
主放電電極間および予備電離電極間の放電で発生した微
塵や不純物ガスがレーザーガスに混入する。この汚染さ
れたレーザーガスは、全反射ミラーおよびレーザー出力
窓にも達するのでミラーや出力窓には塵や不純物が付着
し、レーザー出力を低下させる原因となる。特に、レー
ザー光が照射される領域は、汚れが固着し、ミラーや窓
を拭いても容易に除去できな（なる。この欠点を解決す
るため、従来は第２図と示す如く、レーザーガスの一部
をチャンバー９中央付近にある吸入ポート１０より取り
出し、ガス精製機１１を通過させることにより、純化し
、再び、出力窓１２、ミラー１３付近の吹出しポート１
４よりもどす。
該吹出しボート１４より入った純化レーザーガスは、レ
ーザー窓１２、ミラー１３表面側からレーザーチャンバ
ー９中央へと流れをつくるので、チャンバー内で発生し
た不純物がミラー１３やレーザー窓１２に達今しない方
法が提案された。言い換えれば、ミラーやレーザー窓付
近の領域にあるガス圧Ｐ１がレーザーチャンバー中央付
近にあるガス圧Ｐ２よりも常に高くなる様に寿ることで
不純物が窓やミラーに付着することを防止している。
ーザー窓１２、ミラー１３表面側からレーザーチャンバ
ー９中央へと流れをつくるので、チャンバー内で発生し
た不純物がミラー１３やレーザー窓１２に達今しない方
法が提案された。言い換えれば、ミラーやレーザー窓付
近の領域にあるガス圧Ｐ１がレーザーチャンバー中央付
近にあるガス圧Ｐ２よりも常に高くなる様に寿ることで
不純物が窓やミラーに付着することを防止している。
尚ガス精製機１１は、静電集塵作用を利用したものでも
、低温不純物トラップ作用を利用したちのでも、物理化
学的なモレキュラーシーブを利用したものでもよい。し
かし、この方法は、パイプ１５の径が小さいと、圧力差
Ｐ ＋ Ｐ ｚを大きくする上で不利であり、また
径を大きくすると、ガス精製機１１の大きさも大きくな
ってしまう。
、低温不純物トラップ作用を利用したちのでも、物理化
学的なモレキュラーシーブを利用したものでもよい。し
かし、この方法は、パイプ１５の径が小さいと、圧力差
Ｐ ＋ Ｐ ｚを大きくする上で不利であり、また
径を大きくすると、ガス精製機１１の大きさも大きくな
ってしまう。
さらに、パイプ１５が長いため、ガス精製機１１のガス
出口付近の圧力Ｐ３を大きくしないと、吸出しポート１
４での所望の圧力Ｐ１が得られなく、純化サイクルの効
率が悪いという欠点があった。
出口付近の圧力Ｐ３を大きくしないと、吸出しポート１
４での所望の圧力Ｐ１が得られなく、純化サイクルの効
率が悪いという欠点があった。
（発明の目的）
本発明は、これらの欠点をすべて解決し、小型で高効率
な窓汚染防止機能をもった放電型レーザーを得ることを
目的とする。
な窓汚染防止機能をもった放電型レーザーを得ることを
目的とする。
（実 施 例）
第１図は本発明の実施例であって、レーザーチャンバー
１の両端にはネック部２があり、その外側に全反射ミラ
ー３、出力窓４が付いている。ネック部２は、レーザー
光が通過できるだけの内径を持っており、またレーザー
チャンバー１には、ｗｉ環ファン、ガス冷却器などが含
まれているが、図中では省略した。ガス精製器５は、ネ
ック部２のまわりに近接しておかれるが、光軸に対する
断面形状はドーナソツ形に限らない。レーザーチャンバ
ー１内で発生した不純物は、ネック部２か細くくびれだ
構造をしているので、奥に進行し難く、さらにネック部
に侵入した不純物はガス精製器５によって純化される。
１の両端にはネック部２があり、その外側に全反射ミラ
ー３、出力窓４が付いている。ネック部２は、レーザー
光が通過できるだけの内径を持っており、またレーザー
チャンバー１には、ｗｉ環ファン、ガス冷却器などが含
まれているが、図中では省略した。ガス精製器５は、ネ
ック部２のまわりに近接しておかれるが、光軸に対する
断面形状はドーナソツ形に限らない。レーザーチャンバ
ー１内で発生した不純物は、ネック部２か細くくびれだ
構造をしているので、奥に進行し難く、さらにネック部
に侵入した不純物はガス精製器５によって純化される。
従って、全反射ミラー３、出力窓４には不純物ガスが達
することはなく常にクリーンな雰囲気でおおわれている
。
することはなく常にクリーンな雰囲気でおおわれている
。
ネック部２の光軸方向の長さは長い程、不純物除去の効
果が大きいが、レーザー装置自身の小形化と逆行するの
で通常５ ｃｍ〜５Ｑｃｍ程度にとどめるのが良いと考
えられる。ガス精製器５は静電集塵作用を利用したもの
、低温不純物トラップ作用を利用したもの、物理化学的
なモレキュラーシープを利用したものでもよい。ここで
は静電集塵作用を利用したガス精製器を例に挙げて説明
する。
果が大きいが、レーザー装置自身の小形化と逆行するの
で通常５ ｃｍ〜５Ｑｃｍ程度にとどめるのが良いと考
えられる。ガス精製器５は静電集塵作用を利用したもの
、低温不純物トラップ作用を利用したもの、物理化学的
なモレキュラーシープを利用したものでもよい。ここで
は静電集塵作用を利用したガス精製器を例に挙げて説明
する。
第３図は静電集塵作用を利用したガス精製器の一例であ
る。ネック部２のまわりには、絶縁体８で絶縁された針
電極６を鞘電極７とから成るガス精製部が置かれている
。針電極６と鞘電極７との間に１０〜１００ＫＶの直流
電圧を印加し、針電極６の先端にコロナ放電を発生させ
る。これにより発生したイオンはレーザーガス中に混入
する不純物ガスと衝突し帯電し、印加電界で鞘電極７に
集められる。光軸から見た断面形状は第４図のようにレ
ーザービームの形に合わして四角い形にしてもよい。
る。ネック部２のまわりには、絶縁体８で絶縁された針
電極６を鞘電極７とから成るガス精製部が置かれている
。針電極６と鞘電極７との間に１０〜１００ＫＶの直流
電圧を印加し、針電極６の先端にコロナ放電を発生させ
る。これにより発生したイオンはレーザーガス中に混入
する不純物ガスと衝突し帯電し、印加電界で鞘電極７に
集められる。光軸から見た断面形状は第４図のようにレ
ーザービームの形に合わして四角い形にしてもよい。
尚、ガス精製器は出力窓、ミラー付近に加え、例えば観
察窓付近に設けてもよい。
察窓付近に設けてもよい。
（発明の効果）
以上のように、本発明によれば、ガス精製部の設ける位
置を、汚れを防止したいミラーや出力窓の直前に置くの
で、小型にすることができると共に効率のよい不純物ガ
ス除去が可能であり、ミラーや出力窓の汚染を防ぐこと
ができる。
置を、汚れを防止したいミラーや出力窓の直前に置くの
で、小型にすることができると共に効率のよい不純物ガ
ス除去が可能であり、ミラーや出力窓の汚染を防ぐこと
ができる。
本発明は、従来の実施例を併用して用いることも可能で
あり、その際個々の精製器はより小型のもので足りるこ
とになる。
あり、その際個々の精製器はより小型のもので足りるこ
とになる。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明による装置の実施例を示
す概略断面図、 第２図は従来の放電型レーザーの汚染防止装置を示す概
略断面図、 第３図（ａ）（ｂ）、第４図は本発明に用いる静電集塵
作用を利用したガス精製器の断面図である。 （主要部分の符号の説明〕 １：レーザーチャンバー ２：ネック部 ミラー ３、１３：＆カッｉ ４．１乙： 弘カニ冬５：
ガス精製器
す概略断面図、 第２図は従来の放電型レーザーの汚染防止装置を示す概
略断面図、 第３図（ａ）（ｂ）、第４図は本発明に用いる静電集塵
作用を利用したガス精製器の断面図である。 （主要部分の符号の説明〕 １：レーザーチャンバー ２：ネック部 ミラー ３、１３：＆カッｉ ４．１乙： 弘カニ冬５：
ガス精製器
Claims (2)
- （１）レーザーチャンバーの出力窓及びミラーの近傍に
ガス精製器を設けたことを特徴とする放電型レーザー装
置。 - （２）前記ガス精製器は静電集塵作用を利用したもので
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の放電
型レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29631685A JPS62152188A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 放電型レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29631685A JPS62152188A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 放電型レ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152188A true JPS62152188A (ja) | 1987-07-07 |
Family
ID=17831968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29631685A Pending JPS62152188A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 放電型レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152188A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01251765A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
-
1985
- 1985-12-25 JP JP29631685A patent/JPS62152188A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01251765A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
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