JPS62150158A - Array probe for spatial scanning - Google Patents

Array probe for spatial scanning

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Publication number
JPS62150158A
JPS62150158A JP60290621A JP29062185A JPS62150158A JP S62150158 A JPS62150158 A JP S62150158A JP 60290621 A JP60290621 A JP 60290621A JP 29062185 A JP29062185 A JP 29062185A JP S62150158 A JPS62150158 A JP S62150158A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
array probe
array
grating lobe
ultrasonic wave
Prior art date
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Pending
Application number
JP60290621A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Ogura
聰 小倉
Kazunori Koga
古賀 和則
Masahiro Koike
正浩 小池
Fuminobu Takahashi
高橋 文信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP60290621A priority Critical patent/JPS62150158A/en
Publication of JPS62150158A publication Critical patent/JPS62150158A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To enable efficient transmission and reception of ultrasonic wave, by mounting shoes fit on the rim of an array probe having a reflection surface vertical to an ultrasonic wave transmitting surface of the array probe with a plurality of ultrasonic transmitting/receiving elements arranged to utilize the reflection of the reflection surface. CONSTITUTION:An ultrasonic wave reflection surface 3 is set vertical to an ultrasonic transmission surface fit on the rim thereof 1 with a sound pressure reflectance gamma of -1. A primary grating lobe 7 propagates through an object 4 being inspected but -1 primary grating lobe 8 is reflected with the ultrasonic wave reflection surface 3 to be propagating in the same direction as the primary grating lobe 7. At this point, as the reflected grating lobe 8 thus reflected is the same in the phase as the primary grating lobe, both intensify each other to form a synthesized ultrasonic wave 12. This provides a sound pressure the same as would be obtained with the existence of array probe 1; doubling in the size. It will be an ultrasonic distribution only in the direction. To be termed simply, the array element for reverse phase transmission is expressed by symbol -while the array element for normal phase transmission by symbol +. Thus, a higher SN ratio is possible with a higher transmitting/receiving efficiency.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超音波探傷等の超音波計測に使用するアレイ
探触子に係り、特に空間スイッチング走査による超音波
ビーム制御に好適な空間スイッチング用アレイ探触子に
関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an array probe used for ultrasonic measurements such as ultrasonic flaw detection, and in particular to an array probe suitable for ultrasonic beam control using spatial switching scanning. related to array probes for use.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

遅延素子を用いずに超音波ビームの入射角を変える制御
を行なうには、例えばアレイ探触子の各素子を等間隔で
選び、これら各素子から同時に超音波を送信し、送信波
同士の干渉により発生する±n次のグレーティングロー
ブを利用する方式がある。しかし、この場合グレーティ
ングローブの他に垂直ビームも発生し、斜角探傷の妨げ
となり、垂直ビームの除去が必要であった。そこで1等
間隔に選んだアレイ素子同士の中間のアレイ素子を更に
選び出し、前記選択した素子と逆位相で同時に送信させ
て、これら各アレイ素子からの超音波の干渉の結果垂直
ビームおよび偶数次のグレーティングローブを除去でき
る方式がある。この場合でも、探触子の面に垂直な方向
を中心として対称にグレーティングローブが発生するた
め、超音波反射源の位置を特定するには、超音波の送信
と受信を分けて行なう2探触子法が必要であり、狭あい
部等の2探触子法が使えない場合には上記の超音波送受
信法が適用できない欠点があった。
To control the incident angle of an ultrasound beam without using a delay element, for example, each element of an array probe is selected at equal intervals, and ultrasound is transmitted simultaneously from each element to prevent interference between the transmitted waves. There is a method that utilizes ±n-order grating lobes generated by . However, in this case, in addition to the grating lobes, a vertical beam is also generated, which interferes with oblique flaw detection, and it is necessary to remove the vertical beam. Therefore, an array element in the middle of the array elements selected at equal intervals is further selected and transmitted simultaneously with the opposite phase to the selected element, and as a result of the interference of the ultrasonic waves from each of these array elements, a vertical beam and an even-order beam are generated. There is a method that can remove grating lobes. Even in this case, grating lobes are generated symmetrically with respect to the direction perpendicular to the surface of the probe, so in order to identify the position of the ultrasound reflection source, two probes are used to transmit and receive ultrasound separately. There is a drawback that the above-mentioned ultrasonic transmission/reception method cannot be applied in cases where the two-probe method cannot be used, such as in narrow spaces.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

アレイ探触子を使い、超音波ビームの伝搬方向を変える
入射角制御を行なうには、遅延回路を用いる方法とアレ
イ素子を等間隔で選択しこれらから同時に超音波を送信
する方法の二種類がある。
There are two ways to use an array probe to control the angle of incidence to change the propagation direction of an ultrasound beam: a method that uses a delay circuit, and a method that selects array elements at equal intervals and simultaneously transmits ultrasound from them. be.

前者は遅延素子が高価であるため装置自体が高価になる
次点があり、後者はアレイ探触子に左右対称に発生する
グレーティングローブを利用するため、欠陥位置標定に
は送受信を別々にする二探触子法が必要であり、狭あい
部等の検査には不適となる。前者の欠点は現時点では避
けられない問題であるため、後者の欠点について以下に
述べる。
The former has the disadvantage that the delay element is expensive, so the device itself is expensive, while the latter uses grating lobes that are generated symmetrically on the array probe, so it is necessary to use two separate transmitters and receivers to locate the defect location. A probe method is required, making it unsuitable for inspecting narrow spaces. Since the former disadvantage is an unavoidable problem at present, the latter disadvantage will be described below.

ここでは後者の超音波ビーム制御法を空間走査方式と呼
ぶ。空間走査方式では、アレイ探触子の各素子を等間隔
で選び出して同時に超長波を送信するので構造的対称性
によりθ方向のグレーティングローブと同時に一〇方向
のグレーティングローブも発生する。従って、グレーテ
ィングローブを超音波探傷に利用するとθ方向からの反
射波なのか、−〇方向からの反射波なのか判別できず、
超音波の送受信を別々のアレイ探触子を用いねばならな
い。本発明は、上記二方向に伝搬するグレーティングロ
ーブを一つにまとめ、1個のアレイ探触子で超音波探傷
を可能とさせるものである。
Here, the latter ultrasonic beam control method is referred to as a spatial scanning method. In the spatial scanning method, each element of the array probe is selected at equal intervals and ultralong waves are transmitted at the same time, so due to structural symmetry, grating lobes in the θ direction and grating lobes in the 10 directions are generated at the same time. Therefore, when grating lobes are used for ultrasonic flaw detection, it is impossible to determine whether the reflected waves are from the θ direction or the −〇 direction.
Separate array probes must be used to transmit and receive ultrasound. The present invention combines the grating lobes propagating in the two directions described above into one, and enables ultrasonic flaw detection with one array probe.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

アレイ探触子を用いた空間走査方式により2方向に伝播
するグレーティングローブを、端面反射により1方向に
伝播するグレーティングローブに変換するシューをアレ
イ探触子に取付けたことにより、上記の問題は解決でき
る。
The above problem was solved by attaching a shoe to the array probe that converts the grating lobes that propagate in two directions into grating lobes that propagate in one direction through end face reflection using the spatial scanning method using the array probe. can.

〔作用〕[Effect]

アレイ探触子から対称に送信される二つのグレーティン
グローブの内、探傷に使用できない方のグレーティング
ローブを反射により探傷に使用できる作用を有する。こ
の為、超音波の送受信効率およびSN比が向上できる上
、1個のアレイ探触子で超音波探傷が可能となる作用を
含む。
Of the two grating lobes symmetrically transmitted from the array probe, the grating lobe that cannot be used for flaw detection can be used for flaw detection by reflection. Therefore, the ultrasonic transmission/reception efficiency and the S/N ratio can be improved, and ultrasonic flaw detection can be performed using one array probe.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。第1
図は1本発明である空間走査用アレイ探触子の構造を示
す側面図である。超音波5をアレイ探触子1から被検体
4に伝播させるシュー2はアクリル製等であり、このシ
ューの一方の端面に超音波を反射させる鏡面状の超音波
反射面3を用けたところに特徴がある。一般に超音波の
音圧反送係数γは式(1)で表わされる。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. 1st
FIG. 1 is a side view showing the structure of a spatial scanning array probe according to the present invention. The shoe 2 that propagates the ultrasonic waves 5 from the array probe 1 to the subject 4 is made of acrylic or the like, and a mirror-like ultrasonic reflection surface 3 that reflects the ultrasonic waves is used on one end surface of this shoe. It has characteristics. Generally, the sound pressure repulsion coefficient γ of ultrasonic waves is expressed by equation (1).

ここで、Z工は入射側媒質の音響インピーダンス、Z2
 は反射側媒質の音響インピーダンスである。
Here, Z is the acoustic impedance of the incident medium, Z2
is the acoustic impedance of the reflecting medium.

従って、上記第1図において71 をシュー2の音響イ
ンピーダンス、Z2 を空気中の音響インピーダンスと
すると、一般に21> 2.であるため、この時の音圧
反射率γは次式となる。
Therefore, in FIG. 1, if 71 is the acoustic impedance of the shoe 2 and Z2 is the acoustic impedance in the air, generally 21>2. Therefore, the sound pressure reflectance γ at this time is given by the following equation.

γ弁−1・・・・・・・・・・・・・・・(2)だから
、超音波反射面3に入射する超音波はすべで反射をされ
る。ただし、その音圧の位相は入射波とは反対となる。
γ Valve-1 (2) Therefore, all the ultrasonic waves incident on the ultrasonic reflecting surface 3 are reflected. However, the phase of the sound pressure is opposite to that of the incident wave.

第2図に空間走査方式により超音波ビームの入射角を制
御する事の原理を示す。アレイ探触子1から等間隔でア
レイ素子10を選び出し、同時に超音波送受信器9によ
り超音波を送信させると、次式に従う±0方向に伝播す
る±1次のグレーティングローブ7.8が発生する。
Figure 2 shows the principle of controlling the incident angle of an ultrasonic beam using the spatial scanning method. When array elements 10 are selected at equal intervals from the array probe 1 and ultrasonic waves are simultaneously transmitted by the ultrasonic transmitter/receiver 9, a ±1st-order grating lobe 7.8 is generated that propagates in the ±0 direction according to the following formula. .

θ=±5in−′ ()  ・・・・・・・・・・・・
 (3)ここで、λは被検体4を伝播する超音波6,7
゜8の波長、dは選んだアレイ素子10同士の間隔であ
る。この場合、±θ力方向伝播するグレーティングロー
ブ7.8の他にアレイ探触子1から垂直に伝播するメイ
ンローブ6が存在し、斜角超音波探傷時には雑音源とし
て働くために好ましくない。そこで、このメインローブ
6を打消す方法として第3図に示す方法が考案された。
θ=±5in-' () ・・・・・・・・・・・・
(3) Here, λ is the ultrasonic waves 6, 7 propagating through the object 4
The wavelength is 8°, and d is the spacing between the selected array elements 10. In this case, in addition to the grating lobes 7.8 that propagate in the ±θ force direction, there is a main lobe 6 that propagates perpendicularly from the array probe 1, which is not preferable because it acts as a noise source during oblique ultrasonic flaw detection. Therefore, a method shown in FIG. 3 was devised as a method of canceling out this main lobe 6.

第3図は、第2図においてアレイ探触子1から選び出し
たアレイ素子10の間の素子11を更に選び、超音波送
受信器9が超音波を送信すると同時に、これら選び出さ
れた素子11に超音波送受信器9と逆位相の超音波送受
信器9′から逆位相で超音波を送信させる。この結果、
これら2種類の波が干渉しあいメインローブ6が打消さ
れ、さらに±1次のグレーティングローブ7.8の音圧
が2倍に増加される効果も得られる。しかし、±1次の
グレーティングローブ7.8の2方向の超音波が存在す
るためにこの方法を超音波探傷に利用すると欠陥位置標
定のためには、送信と受信をそれぞれ別個に行なう二探
触子法が必要となる。
FIG. 3 shows that the elements 11 between the array elements 10 selected from the array probe 1 in FIG. Ultrasonic waves are transmitted in an opposite phase from an ultrasonic transmitter/receiver 9' having an opposite phase to the ultrasonic transmitter/receiver 9. As a result,
These two types of waves interfere with each other, canceling out the main lobe 6, and furthermore, the effect of doubling the sound pressure of the ±1st-order grating lobe 7.8 can be obtained. However, since there are ultrasonic waves in two directions with ±1st-order grating lobes7.8, when this method is used for ultrasonic flaw detection, two probes that transmit and receive separately are required to locate the defect location. A child law is required.

従って、狭あい部等の検査には不適となる」二、超音波
送受信器の数も一探触子法に比べで2倍必要となる欠点
もある。そこで、式(1)を利用することにより、−探
触子方で行なえるアレイ探触子を考案した。
Therefore, it is unsuitable for inspecting narrow spaces, etc.''2.It also has the disadvantage that it requires twice as many ultrasonic transmitters and receivers compared to the single probe method. Therefore, by using equation (1), we devised an array probe that can perform the -probe method.

第4図は本発明の基本原理を示す図である。この場合は
、アレイ探触子1の縁に合わせて超音波反射面3をアレ
イ探触子1の超音波送信面に垂直に設定した例であり、
音圧反射率γは−1としている。1次のグレ−ティング
ローブ7はそのまま被検体4中を伝播するが、−1次の
グレーティングローブ8は超音波反射面3で反射を受け
、1次のグレーティングローブ7と同し方向に伝播され
る。この時、この反射されたグレーティングローブ8は
、1次のグレーティングローブと同位相であるため、両
者は強めあい合成超音波12となる。
FIG. 4 is a diagram showing the basic principle of the present invention. In this case, the ultrasonic reflecting surface 3 is set perpendicular to the ultrasonic transmitting surface of the array probe 1 in line with the edge of the array probe 1.
The sound pressure reflectance γ is set to −1. The first-order grating lobe 7 propagates through the object 4 as it is, but the -1st-order grating lobe 8 is reflected by the ultrasound reflecting surface 3 and propagates in the same direction as the first-order grating lobe 7. Ru. At this time, since the reflected grating lobe 8 is in the same phase as the first-order grating lobe, both of them strengthen each other and become a combined ultrasonic wave 12.

従って、倍の大きさのアレイ探触子1′が存在するのと
同様の音圧分布が得られ、しかもθ方向のみの超音波分
布となる。尚、第4図を含め簡単のため逆位相送信のア
レイ素子11を一記号、正位相送信のアレイ素子10を
十記号で示す。これを、具体的に示した方法が第1図の
実施例である。
Therefore, a sound pressure distribution similar to that obtained when the array probe 1' of twice the size is present is obtained, and the ultrasonic wave distribution is only in the θ direction. For the sake of simplicity, including FIG. 4, the array element 11 for anti-phase transmission is indicated by one symbol, and the array element 10 for positive-phase transmission is indicated by a ten symbol. A method specifically illustrating this is the embodiment shown in FIG.

以下に他の実施例を数例示す。第5図(a)。Several other examples are shown below. Figure 5(a).

(b)超音波反射面の音圧反射査γ;0(lγ1く1)
の時の例であり、超音波反射面3に対して、アレイ探触
子1を設置する位置関係を示すものである。
(b) Sound pressure reflection of ultrasonic reflecting surface γ; 0 (lγ1 × 1)
This is an example in which the array probe 1 is installed with respect to the ultrasonic reflecting surface 3.

第5図(a)はγくOの場合で超音波反射面3の位置は
アレイ探触子の縁と一致させる必要がある。
FIG. 5(a) shows the case where γ is O, and the position of the ultrasonic reflecting surface 3 needs to match the edge of the array probe.

第5図(b)はγ〉0の場合で超音波反射面3の位置は
アレイ探触子1の縁のアレイ素子10の中央部にしなけ
ればならない。これらの必要性は、反射された1次のグ
レーティングローブ8が1次のグレーティングローブと
干渉しあい、その音圧振幅を大きくなるためであり、こ
れらの条件が得られない場合には、両方の超音波は互い
を打消するように働いてしまうためである。
FIG. 5(b) shows the case where γ>0, and the position of the ultrasonic reflecting surface 3 must be at the center of the array element 10 at the edge of the array probe 1. These are necessary because the reflected first-order grating lobe 8 interferes with the first-order grating lobe, increasing the sound pressure amplitude. If these conditions cannot be obtained, both superfluous This is because sound waves tend to cancel each other out.

第6図(a)、(b)にもう一つの実施例を示す。これ
は、何らかの理由により、第5図(a)。
Another embodiment is shown in FIGS. 6(a) and 6(b). For some reason, this is shown in FIG. 5(a).

(b)で示した条件が成立できない場合であり。This is a case where the condition shown in (b) cannot be satisfied.

超音波反射面3とアレイ探触子1の縁が近接して設置で
きない時の条件を示した図である。アレイ素子10の長
さをPとした時、γくOではnp、γ〉では(n + 
−) p離して設置すれば良い事を示している。(n:
整数) 尚、第1図から第6図までは説明の簡単のため、アレイ
素子1のは1個おきに正位相、逆位相で送信していたが
、式(3)により選択する素子の間の個数を変更できる
ため、必ずしも第1図から第6図の通りにならない場合
もある。
FIG. 3 is a diagram showing conditions when the ultrasonic reflecting surface 3 and the edge of the array probe 1 cannot be placed close to each other. When the length of the array element 10 is P, np for γ 0, and (n +
-) This indicates that it is sufficient to install the devices at a distance of p. (n:
(Integer) Note that from Fig. 1 to Fig. 6, for the sake of simplicity, every other array element 1 transmits in positive phase and anti-phase, but between the elements selected by formula (3), Since the number of objects can be changed, the results may not always be as shown in FIGS. 1 to 6.

さらに、超音波反射面はシュー2と空気のみで構成され
るばかりでなく、空気のかわりに例えばシュー2と大き
く音響インピーダンスが異なる場合も同様の方法が使え
る。
Furthermore, the same method can be used not only when the ultrasonic reflecting surface is composed of only the shoe 2 and air, but also when the acoustic impedance is significantly different from that of the shoe 2 instead of air.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、空間走査方式による斜角深傷用のグレ
ーティングローブを一方向にのみ伝搬させる事ができ、
超音波の送受信を一個のアレイ探触子で狭あい部の探傷
が可能となる上、送受信効率が2倍近くなるのでSN比
も向上できる。
According to the present invention, grating lobes for oblique deep scratches using a spatial scanning method can be propagated only in one direction,
Not only is it possible to detect defects in narrow spaces by transmitting and receiving ultrasonic waves using a single array probe, but also the signal-to-noise ratio can be improved because the transmission and reception efficiency is nearly doubled.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明である空間走査用アレイ探触子の構造を
示す側面図、第2図は空間走査方式による超音波ビーム
制御を示す側面図、第3図は空間走査方式においてメイ
ンローブを消去する方法を示す側面図、第4図は本発明
の基本原理を示す側面図、第5図(a)、(b)および
第6図(a)。 (b)は本発明の空間走査用アレイ探触子の実施例を示
す側面図である。 1・・・アレイ探触子、1′・・・倍長のアレイ探触子
、2・・・シュー、3・・・超音波反射面、4・・・被
検体、5・・・超音波、6・・・メインローブ、7・・
・1次のグレーティングローブ、8・・・1次のグレー
ティングローブ、9・・・超音波送受信器(正位相)、
9′・・超音波送受信器(逆位相)、10・・・アレイ
素子(正位相)、11・・・アレイ素子(逆位相)、1
2・・・合成超音波。
Fig. 1 is a side view showing the structure of the spatial scanning array probe according to the present invention, Fig. 2 is a side view showing ultrasonic beam control using the spatial scanning method, and Fig. 3 is a side view showing the main lobe control in the spatial scanning method. FIG. 4 is a side view showing the erasing method, FIG. 4 is a side view showing the basic principle of the present invention, FIGS. 5(a), (b), and FIG. 6(a). (b) is a side view showing an embodiment of the spatial scanning array probe of the present invention. 1... Array probe, 1'... Double length array probe, 2... Shoe, 3... Ultrasonic reflecting surface, 4... Subject, 5... Ultrasonic wave , 6... Main lobe, 7...
・First-order grating lobe, 8... First-order grating lobe, 9... Ultrasonic transceiver (positive phase),
9'... Ultrasonic transmitter/receiver (opposite phase), 10... Array element (positive phase), 11... Array element (opposite phase), 1
2...Synthetic ultrasound.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、複数の超音波送受素子が並ぶアレイ探触子において
、アレイ探触子の超音波送信面と垂直な反射面をアレイ
探触子の縁に合わせて有するシューを取付けた事により
、該反射面の反射を利用して効率よく超音波を送受信で
きる事を特徴とす空間走査用アレイ探触子。
1. In an array probe with multiple ultrasonic transmitting/receiving elements lined up, a shoe with a reflective surface perpendicular to the ultrasonic transmitting surface of the array probe aligned with the edge of the array probe is installed to reduce the reflection. A spatial scanning array probe that is characterized by its ability to efficiently transmit and receive ultrasonic waves using surface reflection.
JP60290621A 1985-12-25 1985-12-25 Array probe for spatial scanning Pending JPS62150158A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107271549A (en) * 2013-11-07 2017-10-20 三菱日立电力系统株式会社 The control device and ultrasonic fault detection system of ultrasonic fault detection system
JP2019045317A (en) * 2017-09-01 2019-03-22 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 Ultrasonic probe, ultrasonic flaw detection apparatus and method

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