JPS62148566U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62148566U JPS62148566U JP3476486U JP3476486U JPS62148566U JP S62148566 U JPS62148566 U JP S62148566U JP 3476486 U JP3476486 U JP 3476486U JP 3476486 U JP3476486 U JP 3476486U JP S62148566 U JPS62148566 U JP S62148566U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- signal
- relay
- heater
- switch
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は、本考案の一実施例に係る真空炉の昇
温装置を示す構成図である。 1……電離真空計、2……リレー、3……マグ
ネツトスイツチ、4……ヒータ、5……真空炉。
温装置を示す構成図である。 1……電離真空計、2……リレー、3……マグ
ネツトスイツチ、4……ヒータ、5……真空炉。
Claims (1)
- 真空炉内にヒータを用いた加熱装置において、
真空度を測定する真空計と、該真空計の下限設定
値でON作動信号を出し、上限設定値でOFF作
動信号を出すリレーと、同リレーの信号で電源を
ON、OFFするスイツチと、同スイツチの信号
で昇温開始、停止するヒータを具備してなること
を特徴とする真空炉の昇温装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3476486U JPS62148566U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3476486U JPS62148566U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62148566U true JPS62148566U (ja) | 1987-09-19 |
Family
ID=30843620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3476486U Pending JPS62148566U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62148566U (ja) |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP3476486U patent/JPS62148566U/ja active Pending